CN101985939A - 一种具有轴端动密封结构的干式真空泵 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。工作时，各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布，提高泵的极限压力、缩短抽气时间，又可防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。
Description
技术领域
本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。
背景技术
目前的干式真空泵动密封虽然有采用骨架密封和迷宫密封组合式密封的形式，但尚不能完全实现双向密封，无法控制油蒸气进入泵腔或防止腐蚀性气体及颗粒对轴承的影响。为提高泵腔的无油程度，有在齿轮室另设真空泵进行排气以降低齿轮室压力的结构安排；也有在轴承座处喷吹氮气以形成一个高压区，阻止腐蚀性气体及微粒靠近轴承的结构设计，但都无法防止油蒸气进入泵腔，也不能阻止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。
发明内容
针对目前干式真空泵所存在的问题，本发明提供一种具有轴端动密封结构的干式真空泵，有效的防止油蒸气进入泵腔，提高泵的极限压力和缩短抽气时间，又防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。
本发明具有轴端动密封结构的干式真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，中间转子所在的腔为一级腔体，中间转子两侧的转子所在的腔为二级腔体，二级腔体对称分布在一级腔体的两侧，二级腔体两侧的转子所在的腔为三级腔体，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，要点在于所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。
所述的干式真空泵各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布。
所述的干式真空泵腔体为2级～6级，对应的转子组数为3组～11组。
本发明与现有技术相比较显著的特点和产生的有益效果是：由于本申请技术方案中，将骨架密封、气体密封和迷宫密封相组合，可有效防止油蒸气向泵腔的泄漏，也使有害气体和颗粒无法接近轴承，同时各级腔体的工作压力沿轴向呈V型分布，位于两侧的泵腔工作压力最高，有效的提高双向动密封效果，从而提高了多级干式真空泵的无油程度、抽气性能和使用寿命。
附图说明
图1为本发明的主视图；
图2为图1的左视图；
图3为本发明的轴端密封结构示意图；
图中：1轴承端盖、2左端封板、3三级腔体、4二级腔体、5一级腔体、6进气口、7排气口、8隔板、9主轴、10从动轴、11主动齿轮、12从动齿轮、13电机、14轴承、15骨架密封、16气体密封、17惰性气体充入流道、18迷宫密封、19右端封板、20齿轮室盖、21转子、22排气流道、23排气孔、24泵壳、25泵壁板、26惰性气体流道口。
具体实施方式
下面结合附图对本发明做进一步说明。
例1.本发明具有轴端动密封结构的干式真空泵，包括电机13，主轴9，在主轴9上装配有主动齿轮11，与主动齿轮11相啮合的从动齿轮12装配在从动轴10上，在主轴9和从动轴10上均装有五组转子21，转子组之间用隔板8隔开，气孔位于左端封板2和右端封板19上，在主轴9和从动轴10的两端装配有轴承14，轴承14与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封15和迷宫密封18，骨架密封15和迷宫密封18之间的空间又形成气体密封16,中间转子21所在的腔为一级腔体5，中间转子21两侧的转子所在的腔为二级腔体4，二级腔体4对称分布在一级腔体5的两侧，二级腔体4两侧的转子所在的腔为三级腔体3，一级腔体5顶部的泵壳24上开有一进气口6，在两侧三级腔体3底部的泵壳24上各开有一排气孔23，两个排气孔23通过排气流道22与排气口7相通，电机13通过螺栓与齿轮室盖20相连，齿轮室盖20通过螺栓固定在右端封板19上，右端封板19通过螺栓与泵壁板25相连接，左端封板2通过螺栓装配在泵壳24上，轴承端盖1通过螺栓固定在左端封板2上。
如图3所示，依据本发明所提供的轴端动密封结构是包括骨架密封15、气体密封16和迷宫密封18三种密封方式的组合。在轴承14与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封15和迷宫密封18，骨架密封15和迷宫密封18之间的空间又形成气体密封16, 两根轴上的气体密封16内部空间通过惰性气体充入流道17与惰性气体流道口26相连，气体密封16内部的空间通过惰性气体流道口26充入惰性气体，气体密封16的气体压力高于泵腔内压力、轴承14附近压力和齿轮附近的压力。骨架密封15将轴承14、主动齿轮11、从动齿轮12与气体密封16相分隔，可有效防止油蒸气向泵腔的泄漏；迷宫密封18用来分隔泵腔和气体密封16，即保证惰性气体密封16维持较高的压力，又可通过密封间隙的泄漏，使一定流量的惰性气体喷吹入泵腔，防止有害气体和颗粒接近轴承14。工作时，在电机13驱动下通过主动齿轮11和从动齿轮12的啮合，主轴9和从动轴10按相反方向同步转动。一级腔体由进气口6吸入气体并压缩后通过隔板8上的气孔被两侧的二级腔体4吸入，气体在二级腔体4被压缩后又通过通过隔板8上的气孔被两侧的三级腔体3吸入，三级腔体3压缩气体后通过排气孔23经排气流道22和排气口7将气体排入大气。各泵腔的工作压力呈“V”型分布，位于两侧的三级腔体3工作压力最高，有效的提高双向动密封效果，从而提高了干式真空泵的无油程度、抽气性能和使用寿命。
例2. 其结构，连接和工作过程与实施例1相同，不同点在于在主轴9和从动轴10上均装有七组转子21。
Claims (3)
1.一种具有轴端动密封结构的干式真空泵, 包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，中间转子所在的腔为一级腔体，中间转子两侧的转子所在的腔为二级腔体，二级腔体对称分布在一级腔体的两侧，二级腔体两侧的转子所在的腔为三级腔体，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，其特征在于所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。
2.如权利要求1所述的一种具有轴端动密封结构的干式真空泵，其特征在于所述的干式真空泵各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布。
3.如权利要求1所述的一种具有轴端动密封结构的干式真空泵，其特征在于所述的干式真空泵腔体为2级～6级，对应的转子组数为3组～11组。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010105656803A CN101985939B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 一种具有轴端动密封结构的干式真空泵 |
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|---|---|---|---|
| CN2010105656803A CN101985939B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 一种具有轴端动密封结构的干式真空泵 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101985939A true CN101985939A (zh) | 2011-03-16 |
| CN101985939B CN101985939B (zh) | 2012-06-27 |
Family
ID=43710324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010105656803A Active CN101985939B (zh) | 2010-11-30 | 2010-11-30 | 一种具有轴端动密封结构的干式真空泵 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN101985939B (zh) |
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