CN101960184A

CN101960184A - 密封件

Info

Publication number: CN101960184A
Application number: CN2009801088553A
Authority: CN
Inventors: 辻和明
Original assignee: Nippon Valqua Industries Ltd
Current assignee: Co Walka
Priority date: 2008-03-13
Filing date: 2009-03-02
Publication date: 2011-01-26
Anticipated expiration: 2029-03-02
Also published as: JP5126999B2; TWI435012B; CN101960184B; US20110018211A1; KR20100121686A; TW200946803A; US9447881B2; JPWO2009113417A1; WO2009113417A1; KR101260574B1

Abstract

一种密封件，该密封件即使例如在高温、高压下长时间使用，也不仅能确保良好的密封性还能将密封件从密封面容易地拉开。所述密封件在形成于第一构件(10)的密封槽(2)内安装有密封件主体(4a)，通过使第二构件(12)与所述第一构件(10)压接来形成密封部，其特征在于，与第二构件(12)在整个表面发生接触的密封部遍及所述密封构件的外周面的全周地形成，并且越接近密封槽(2)的底面侧、密封部的接触面积越小的台阶部(6)形成于所述密封构件的外周面。

Description

密封件

技术领域

本发明涉及一种密封件。

背景技术

橡胶密封件广泛用作一般的通过低紧固力便能简单地确保密封性的密封件，例如，用作半导体制造装置和液晶制造装置的真空用闸阀的密封件。

橡胶密封件的形状除了极其一般的O形圈或唇形密封圈等之外，例如，多数采用如专利文献1～专利文献3所公开那样的异形截面品。

专利文献1：日本专利特开平10-318373号公报

专利文献2：日本专利特许第3050919号公报

专利文献3：日本专利特开2004-316724号公报

发明的公开

发明所要解决的技术问题

但是，例如，在半导体制造装置等也会进行高温处理等情况，此时存在在密封件与对方密封面之间发生粘固的问题。在此，粘固是指橡胶密封件与金属等对方密封面在高温、高压下长时间接触的情况下，密封件与对方密封面发生物理和化学结合，剥离密封件所需要的力(粘固力)增大的现象。由于若是为了避免这种粘固的问题而使用金属制密封件，则密封件的紧固需要很大的负载，使装置不得不大型化，因此希望能在使用由橡胶等制成的密封件的同时抑制粘固的影响。

本发明基于这种现实情况发明而成，其目的在于提供一种例如即使在高温、高压下长时间使用密封件也能容易地将密封件从对方密封面剥离的密封件。

解决技术问题所采用的技术方案

用于实现上述目的的本发明的密封件是

在形成于第一构件的密封槽内安装有密封件主体，通过使第二构件与上述第一构件压接来形成密封部，其特征在于，

与上述第二构件在整个表面发生接触的密封部遍及上述密封构件的外周面的全周地形成，并且越接近上述密封槽的底面侧、上述密封部的接触面积越小的台阶部形成于上述密封构件的外周面。

若是这种结构，则能以密封部的接触面积小的部分为起点，将密封件从第二构件(即、对方密封面)容易地剥离。

而且，还可以将上述台阶部形成于从密封件主体朝外方以倾斜姿势伸出的唇部的前端侧表面。

如上所述，本发明能在唇密封件中较为理想地使用。即、在形成有台阶部的唇部的前端侧表面上，通过形成密封部的接触面积变小的台阶部，从而能以该部分为起点，将密封件从第二构件容易地剥离。

此外，在本发明中，上述台阶部还可以在主视图上以描绘波状的曲线的形态形成。

若如上所述通过波状的曲线来形成台阶部，则由于在解除密封时密封部与第二构件的接触面积以大致相同的间隔大致均匀地变化，因此同样地粘固力也大致均匀地变化，从而能将密封件从第二构件可靠地剥离。

此外，在本发明中，上述台阶部还可以通过贴附另设构件来形成。

在如上所述将另设构件贴附在密封件上来形成台阶部的情况下，根据需要，通过采用例如氟树脂等耐药品性、耐腐蚀气体性好的材料的构件作为另设构件，从而能提供使耐药品性、耐腐蚀气体性等提高的密封件。

而且，在本发明中，密封件的高度也可以形成为在周向上不均匀。

通过如上所述使密封件的高度形成为在周向上不均匀从而第二构件与密封件的压接程度会在周向上发生变化，粘固力也随之在周向上发生变化，因此能以在周向上粘固力小的部位为起点，将密封件从第二构件更容易地剥离。

发明效果

根据本发明的密封件，在密封件被紧固的状态下，能良好地维持密封性。

此外，由于若解除了紧固力，则密封件与第二构件的接触面积越接近密封槽的底面侧越小，粘固力也随之越接近密封槽的底面侧越小，因此能以上述密封部的接触面积小的部分为起点，将密封件从第二构件容易地剥离。

附图说明

图1是本发明一实施例的密封件的说明用剖视图。

图2是安装有图1所示的密封件的单燕尾槽的单剖视图。

图3是表示将本发明一实施例的密封件安装于单燕尾槽、处于压缩时的初始状态的概略剖视图。

图4是将本发明一实施例的密封件安装于单燕尾槽、处于密封状态时的概略剖视图。

图5是本发明另一实施例的密封件的单剖视图。

图6是表示本发明的又一实施例的台阶部的线S的图。

图7(A)、图7(B)是分别表示本发明的又一实施例的台阶部的曲线S的图。

图8(A)、图8(B)是使本发明的另一实施例的密封件的形状在周向上不均匀、以致整体高度不同这样不均匀的例子的剖视图。

(符号说明)

2 单燕尾槽

2a 密封槽底面

2b 径向内方侧壁面

4 密封件主体

6 台阶部

8 另设构件

10 第一构件

12 第二构件

S 曲线

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的密封件进行详细的说明。

图1是表示本发明一实施例的密封件4的图，图2是表示作为安装有图1的密封件4的密封槽、尤其是单燕尾槽2的截面的图。

另外，例如，这种单燕尾槽2形成于干式蚀刻(dry etching)装置或等离子CVD装置等半导体制造装置的接头部分，其密封槽底面2a侧的宽度比单燕尾槽2的开口部侧的宽度大。此外，单燕尾槽2的径向内方侧壁面2b作为垂直面，单燕尾槽2的径向外方侧壁面2c作为倾斜面。

另一方面，密封件4为闭环状的密封件，由安装于单燕尾槽2内的密封件主体4a和从该密封件主体4a朝上述单燕尾槽2的外方以倾斜姿势伸出的唇部4b形成为截面近似L字状。此外，这种密封件主体4a的壁厚D比唇部4b的壁厚d厚。

而且，密封件4的唇部4b的前端侧外表面与基端侧外表面之间形成有密封件主体4a侧比唇部4b侧低的台阶部6。该台阶部6在密封件4的周向上连续形成，若在主视图上局部观察，则如图1所示，当唇部4b的前端部为A、唇部4b的下端侧前端部为B、密封件主体4a的底面4c为C时，在A-B之间，形成台阶部6的曲线被看作在左右上扩展的曲线S。这样沿曲线S的台阶部6例如通过进行放电加工来形成。另外，台阶部6既可以通过切削加工形成，也可以在模具成形时赋形。

此外，上述密封件4只要是可发生弹性变形的材料即可，不对材质作特别的限定，但较为理想的是由天然橡胶、氟橡胶等合成橡胶构成。

如上所述构成本实施例的密封件4，但以下，参照图3和图4对其作用进行说明。

现在，密封件4安装在所欲密封的第一构件10与第二构件12之间的单燕尾槽2内。另外，图3和图4是表示单燕尾槽2的左侧的截面的图，密封件4的中心在图3、图4中位于右方的位置。

如图3所示，在将密封件4安装在单燕尾槽2内的状态下，当第二构件12与第一构件10按压接触时，如图4所示，密封件4被压紧，唇部4b的前端侧表面与第二构件12按压接触。

此时，在第一构件10与第二构件12之间，图1所示的唇部4b上的被直线A与曲线S围住的区域(图1的斜线部分)为密封部，在此通过被密封，就能确保密封性。

即、若在第一构件10与第二构件12之间压缩密封件4，则在唇部4b的A-D区域内，遍及全周地保持着周向上的接触的姿势倒塌。

此外，唇部4b如图4所示，在完全倒塌的状态下(使用时)，由于唇部4b的A-D区域遍及全周地在整个表面上发生接触，因此能确保密封性。

另一方面，在存在图1所示的波形的台阶差6的D-B区域内，密封件4不遍及全周地与对方侧的第二构件12接触。即、如直线E所示，与第二构件12接触的部分和不与第二构件12接触的部分交替出现。而且，其接触面积随着接近唇部4b的下端侧前端部B点而逐渐减少。

此外，在唇部4b的下端侧前端部B上，由于与第二构件12的接触面积变得最小，即使在紧固了密封构件4的状态下，这部分也最不容易产生粘固。

以下，对解除密封件的紧固力的情况进行说明。

当解除第一构件10与第二构件12的紧固力时，密封件4从唇部4b的下端侧前端部B开始剥离。此时，由于唇部4b的下端侧前端部B与第二构件12的接触面积最小，因此以上述唇部4b的下端侧前端侧B为起点，就能容易地剥离密封件4。此外，由于随着接近图1所示的直线D，接触面积逐渐增加，因此能可靠地剥离密封件4。

以上对本发明一实施例进行了说明，但本发明不受上述实施例的任何限定。

例如，在上述实施例中，密封件主体4a和唇部4b为相同材料且由连体物形成，但除此之外，还可以例如，如图5所示，将在主视图上作为曲线S的槽7遍及全周地形成于唇部4b，并将另设构件8与该槽7内粘接。此外，上述另设构件8既可以是环状(无端状)的构件，也可以是将带状(有端状)的构件围成环状的构件。此外，另设构件8与密封件主体4a或唇部4b为相同材料，但另设构件8也可以由其他材料形成。例如，可以将作为整体基础的部分由具有弹性的橡胶形成，将另设构件8由氟橡胶形成。这样，通过采用氟橡胶作为另设构件8，能使唇部4b具有耐药品性、耐等离子气体性等。

作为氟橡胶，可使用偏氟乙烯/六氟丙烯类共聚物、偏氟乙烯/三氟氯乙烯类共聚物、偏氟乙烯/五氟丙烯类共聚物等二元类的偏氟乙烯类橡胶，偏氟乙烯/四氟乙烯/六氟丙烯类共聚物、偏氟乙烯/四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚类共聚物、偏氟乙烯/四氟乙烯/丙烯类共聚物等三元类的偏氟乙烯橡胶或四氟乙烯/丙烯类共聚物、四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚类共聚物、热塑性氟橡胶等。

如上所述，若唇部4b的表面由氟橡胶形成，则即使与腐蚀性气体、等离子体接触，也对腐蚀性气体、等离子体等有良好的耐久性。

此外，在上述实施例中，台阶部6以描绘出波状的曲线S的方式形成，但不限定于此，还可以如图6所示，由山形的直线S形成。

此外，还可以如图7(A)所示，通过由大的圆弧14和小的圆弧16的组合而成的波状的曲线S来形成台阶部6。

此外，还可以如图7(B)所示，通过在大的圆弧18的前端包括凸部20的曲线S来形成台阶部6。这样形成台阶部6的线只要是越接近密封槽的底面侧、第二构件12与密封件4的唇部的接触面积越小的线，不管什么样的线都可以。而且，还可以如图8所示，在台阶部6的上侧构成的唇部4b的高度H1、H2制成部分不均匀。

在图8的例子中，一方侧低而另一方侧高，但也可以是在周向上形成许多这样的高低差。总而言之，若密封件4的高度在周向整体上不均匀地形成，则第二构件12与密封件4的压接程度在周向上发生变化，因此，由于也能使密封件4的粘固力在周向上不均匀，因此能调整密封件4的粘固力。即，由于能任意形成在周向上粘固力小的部位，因此能以这个在周向上粘固力小的部位为起点，更容易地剥离密封件4。

此外，在上述实施例中，对安装在单燕尾槽2内的密封件4进行了说明，但本发明的密封槽不限定于单燕尾槽2。

而且，密封件4不限定于包括唇部4b的唇密封件，还能适用于截面圆形的O形圈。

此外，还能适用于异形品的密封件。

Claims

1.一种密封件，该密封件在形成于第一构件的密封槽内安装有密封件主体，通过使第二构件与所述第一构件压接来形成密封部，其特征在于，

与所述第二构件在整个表面发生接触的密封部遍及所述密封构件的外周面的全周地形成，并且越接近所述密封槽的底面侧、所述密封部的接触面积越小的台阶部形成于所述密封构件的外周面。

2.如权利要求1所述的密封件，其特征在于，将所述台阶部形成于从密封件主体朝外方以倾斜姿势伸出的唇部的前端侧表面。

3.如权利要求2所述的密封件，其特征在于，所述台阶部在主视图上以描绘波状的曲线的形态形成。

4.如权利要求1至3中任一项所述的密封件，其特征在于，所述台阶部通过贴附另设构件来形成。

5.如权利要求4所述的密封件，其特征在于，密封件的高度形成为在周向上不均匀。