JP2005155781A - シール装置およびこれを用いた真空用ゲート弁、シール部材、ならびにシール材の固着防止方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を防止することができ、固着したシール材も容易に剥離することができるシール装置およびこれを用いた真空用ゲート弁、シール部材、ならびにシール材の固着防止方法を提供する。
【解決手段】 ゴム成形物であるシール材が取り付けられた第１部材と、金属からなるシール座面が設けられた第２部材とを備え、これらの間を閉開するシール装置において、シール材４とシール座面５とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に、シール材４がシール座面５に固着することを防止するための加熱手段を設け、シール材４とシール座面５の界面を加熱することによりシール材４の固着を防止する。加熱手段としては、シール材４の内部に埋設された線状ヒーター７、あるいは第２部材におけるシール座面５の近傍位置に設けた面状ヒーター８などが挙げられる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ゴム成形物であるシール材が取り付けられた第１部材と、金属からなるシール座面が設けられた第２部材とを備え、これらを接近させてシール材とシール座面とを当接させることによりその間を閉止し、これらを離反させることによりその間を開放するシール装置に関し、さらにこれを用いた真空用ゲート弁、シール部材、ならびにシール材の固着防止方法に関する。特に本発明は、シール材のシール座面への固着防止についての改良に関する。

半導体、液晶装置などの製造過程では、クリーンな環境下、高い真空中で、イオンプレーティング、プラズマエッチングなどによるワークの加工、処理が行われている。ワークは一旦予備室に搬入され、予備室内を所定の真空度にした後、加工室、処理室などへ順次ワークを搬入して加工、処理などが行われる。

これらの予備室、加工室、処理室などの間の搬出入口には密封性、気密性を有する真空用ゲート弁が設けられ、所定の真空度、クリーン条件が維持されるようになっている。

この真空用ゲート弁は、例えば、フッ素系エラストマーのようなゴムの成形物であるシール材が取り付けられた弁体を、弁箱本体に設けられたシール座面と接近、離反させることによってゲート開口部を閉止、開放している。

ワークの加工、処理などのプロセスの途中では、弁体の端部に取り付けられたシール材とシール座面とを圧接させて弁体をシール座面に着座させ、これによりゲート開口部を閉止した状態で隣接した室間を気密的に隔離している。

この際、シール材は、通常８０〜１５０℃の雰囲気下にて圧縮固定されている。プロセス終了後、あるいはメンテナンスなどを行う際に、温度が下がってからゲート開口部を開放しようとすると、シール材がシール座面に固着することが多い。特に近年開発された大型のゲート弁ではシール材とシール座面との接触面積が広くなり、高温下で使用されるためシール材の固着が起こり易くなっている。

このように固着してしまうとシール材が弁体に形成されたシール溝から脱落する、あるいはゲート開口部を開放できないなどの可能性がある。また、固着しているシール材をシール座面から無理に引き離すとシール材を傷つけ、その後のシール性能が低下するという問題を引き起こす。

真空用ゲート弁に限らず、真空室と外部雰囲気との間、あるいは真空室相互間に設けられ閉開駆動により各室間を隔離、開放するシール機構では、シール材の固着はシール性能に大きな影響を及ぼすため、これを防止することが要望されている。

従来、シール材の固着を防止する手段として、シール材の材質面からのアプローチが為されている。特許文献１には、アクリルゴムからなるガスケット本体の表面にシリコーン樹脂の固着防止層を形成したシール材が開示されている。特許文献２には、ゴム成形物の表面にオレフィン系炭化水素化合物からなる離型性皮膜を滲出させたシール材が開示されている。
特開平４−１０３１３１号公報 特開平７−１３２６７３号公報

しかしながら、上記したようなシール材を改良する技術では、固着防止のための化合物との関係で適用可能なゴムの材質が限られてしまう。このため、広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を防止することができる手段が要望されていた。

本発明は上記したような従来技術の問題点を解決するために為されたものであり、広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を防止することができ、固着したシール材も容易に剥離することができるシール装置およびこれを用いた真空用ゲート弁、シール部材、ならびにシール材の固着防止方法を提供することを目的としている。

上記した目的を達成するために、本発明の第１の態様では、ゴム成形物であるシール材が取り付けられた第１部材と、金属からなるシール座面が設けられた第２部材とを備え、
前記第１部材と第２部材とを接近させて前記シール材と前記シール座面とを当接させることにより第１部材と第２部材との間を閉止し、前記第１部材と第２部材とを離反させることにより第１部材と第２部材との間を開放するシール装置であって、
前記シール材と前記シール座面とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に、前記シール材が前記シール座面に固着することを防止するための加熱手段が設けられていることを特徴とするシール装置が提供される。

さらに、ゴム成形物であるシール材が取り付けられた第１部材と、金属からなるシール座面が設けられた第２部材とを備え、
前記第１部材と第２部材とを接近させて前記シール材と前記シール座面とを当接させることにより第１部材と第２部材との間を閉止し、前記第１部材と第２部材とを離反させることにより第１部材と第２部材との間を開放するシール装置におけるシール材の固着防止方法であって、
前記シール材と前記シール座面とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に設けられた加熱手段によって、当接している前記シール材と前記シール座面との界面を加熱することを特徴とするシール材の固着防止方法が提供される。

第１の態様における本発明では、シール材とシール座面とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に設けられた加熱手段がシール材（シール材とシール座面との界面）を加熱することによって、シール座面への固着を防止する。加熱、冷却の熱履歴などにより一旦シール座面に固着したシール材も容易に剥離される。また、加温によりシール材の固着を防止しているので、あらゆる材質のシール材に対して適用可能である。

したがって、広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を防止することができ、固着したシール材も容易に剥離することができる。

本発明の第２の態様では、前記加熱手段が、前記シール材の内部に埋設された線状ヒーターであることを特徴とするシール装置およびシール材の固着防止方法が提供される。

第２の態様における本発明では、シール材の内部に埋設された線状ヒーターを加熱することによって、シール座面への固着を防止する。冷却などにより一旦シール座面に固着したシール材も容易に剥離される。

したがって、広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を確実に防止す
ることができ、固着したシール材も容易に剥離することができる。

本発明の第３の態様では、前記加熱手段が、前記第２部材におけるシール座面の近傍位置に設けられていることを特徴とするシール装置およびシール材の固着防止方法が提供される。

第３の態様における本発明では、第２部材におけるシール座面の近傍位置に設けられた加熱手段を加熱することによって、シール座面への固着を防止する。冷却などにより一旦シール座面に固着したシール材も容易に剥離される。例えば、面状ヒーターなどの加熱手段をシール座面に埋設することが好ましい。

したがって、広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を確実に防止することができ、固着したシール材も容易に剥離することができる。

第１〜３の態様における本発明のシール装置は、真空用ゲート弁のゲート開口部の開放および閉止に用いることができる。

本発明の第４の態様では、ゴム成形物であるシール材と、
前記シール材の内部に埋設された線状ヒーターとを備えることを特徴とするシール部材が提供される。

第４の態様における本発明では、シール材の内部に埋設された線状ヒーターを加熱することによって、シール座面への固着を防止する。冷却などにより一旦シール座面に固着したシール材も容易に剥離される。

したがって、広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を確実に防止することができ、固着したシール材も容易に剥離することができる。

本発明のシール装置およびこれを用いた真空用ゲート弁、シール部材、ならびにシール材の固着防止方法によれば、広範な材質のシール材に対して、そのシール座面への固着を防止することができ、固着したシール材も容易に剥離することができる。

以下、本発明について図面を参照しながら具体的に説明する。図１、２は本発明の一実施例におけるシール装置を説明する図である。同図に示したように、本実施例のシール装置１は、ゴム成形物であるシール材４が取り付けられた第１部材２と、金属からなるシール座面５が設けられた第２部材３とを備えている。

第１部材２と第２部材３としては、例えば、バルブなどのように開口を閉開する装置における弁と弁座面を有する部材；熱処理炉のドアと壁材；プロセスチャンバのＬＩＤ部材などが挙げられ、シール材を金属面と接触もしくは圧接してその間を閉止する部材であれば特に限定されない。

特に、本発明は真空室と外部雰囲気との間、あるいは真空室相互間に設けられ、閉開駆動により各室間を隔離、開放する部材に好ましく適用される。

シール材４としては、例えば、Ｏリング、ガスケットなどのゴム成形物が挙げられる。そのゴム材料としては、フッ素系エラストマー、パーフルオロ系エラストマー、ＮＢＲ（ニトリルゴム）、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエン三次元共重合体）、シリコンゴム
などが挙げられる。特に純粋性の高い熱可塑性エラストマーシール材は金属面に固着し易く、本発明の構成が好ましく適用される。

シール材４の内部には、線状ヒーター７が埋設されている。この線状ヒーター７としては、例えば、シーズヒーターや外装を樹脂チューブなどで絶縁したニクロム線を用いることができる。

図３はシール材の内部に線状ヒーターを埋設して形成された本発明の一実施例におけるシール部材を説明する図である。同図に示したように、本実施例のシール部材１１ではシール材４の長手方向に沿って、シール材４の断面中央部に線状ヒーター７が埋設されている。線状ヒーター７はヒーター端子１２を介して制御装置９と接続され、この制御装置９によって線状ヒーター７を加熱するとともにその温度制御を行う。

このシール部材１１は、例えば、線状ヒーター７を所定位置に配置した状態でゴム材を金型による成形、プレス成形、射出成形などの従来の方法で成形することにより製造することができる。

本実施例ではシール材４の断面中央部に線状ヒーター７を埋設したが、本発明では線状ヒーター７のシール材４の断面における配置位置およびその本数は特に限定されず、例えば、シール材４の内部に複数の線状ヒーターを平行に埋設してもよい。

図１、２のシール装置１では、次のようにしてシール材４のシール座面５への固着を防止している。例えば、シール材４とシール座面５とを高温、高圧下で当接させて第１部材２と第２部材３との間を閉止した状態とすると（図１）、シール材４がシール座面５に固着し易くなり、プロセス終了後もしくはメンテナンスなどを行う際に、雰囲気の温度が下がってから第１部材２と第２部材３との間を開放しようとすると（図２）、シール材４がシール溝１０から脱落する、あるいはシリンダ機構などにより開放しようとしても開放できないなどの可能性がある。また、固着しているシール材４をシール座面５から無理に引き離すとシール材４を傷つけ、その後のシール性能が低下するという問題を引き起こす。

本実施例ではこのようなシール材４の固着を防止するために、シール材４に埋設した線状ヒーター７を制御装置９によって所定温度に加熱し、これによりシール材４を所定の加熱温度に維持している。

これにより、雰囲気の温度が下がってから第１部材２と第２部材３との間を開放する際においてもシール材７とシール座面５との界面の温度は所定の加熱温度に保たれているため、シール材７の固着を防止することができる。

線状ヒーター７によるシール材７への加熱は、第１部材と第２部材との間の閉止時、開放時を通して常に行っていてもよく、あるいは開放時の前後において行ってもよい。これによりシール材４の固着が防止される。

また、例えば高温下でのプロセスを終了した後、室温程度において第１部材と第２部材との間を閉止した状態を長時間維持した場合であっても、開放前に線状ヒーター７による加熱を行うことによってシール材４の固着が防止され、シール材４が一旦シール座面５に固着した場合であってもこれを容易に剥離することができる。

線状ヒーター７によるシール材４の加熱温度は、使用するシール材４のゴム材質、プロセスの温度条件、シール材４とシール座面５との界面の接触面積、シール材４の潰し率などによるが、通常は５０℃以上に維持することが好ましく、熱可塑性エラストマーの場合
にはシール材４の融点未満の温度で加熱される。シール材４の加熱温度は、より好ましくは６０℃〜８０℃に維持される。

本実施例では加熱手段である線状ヒーター７をシール材４の内部に設けているため、例えば真空用ゲート弁のように高真空度が要求され、アウトガスの放出によるチャンバ内の汚染を抑制する必要がある用途において、ヒーターに起因するこのような弊害を防止することができる。

図４、５は本発明の他の実施例におけるシール装置を説明する図である。本実施例においても第１部材２と第２部材３、およびシール部材４は前述した具体例などとして使用されるものである。同図に示したように、本実施例のシール装置１では、第２部材３におけるシール座面５の近傍位置に面状ヒーター８が設けられている。この面状ヒーター８としては、特に限定されないが、真空用ゲート弁のように高真空度が要求され、アウトガスの放出によるチャンバ内の汚染を抑制する必要がある用途においては、アウトガスの放出が少ないためにポリイミドヒーターを使用することが好ましい。

図６は本発明において加熱手段として用いられる面状ヒーターを説明する図である。この面状ヒーター８は、通電により発熱する抵抗体６１と、抵抗体６１の一面側に設けられた絶縁フィルム６２ａと、抵抗体６１の他面側に設けられた絶縁フィルム６２ｂとを有している。抵抗体６１は、絶縁フィルムを介して２層以上に積層されていてもよい。面状ヒーター８の厚さは、特に限定されないが、通常５０〜５００μｍである。

抵抗体６１は、絶縁フィルム面が均一に加熱されるように、例えば蛇行もしくは曲折してフィルム全体に一様に配置され、そのパターンはエッチング加工等により形成される。

このような抵抗体６１としては、例えばニクロム線（ニッケル−クロム合金）、カンタル、ステンレススチール、鉄−ニッケル合金、銅−ニッケル合金等の箔状物が挙げられる。

絶縁フィルム６２ａ、６２ｂは、抵抗体６１を挟持するように接合される。絶縁フィルム６２ａ、６２ｂの形成材料としては、合成樹脂が使用される。この合成樹脂としては、例えばポリイミド、ＦＥＰ、ＰＦＡ、ＰＥＴが挙げられるが、ポリイミドが、機械的強度、耐熱性および電気的特性に優れている。

絶縁フィルム３６ａ、３６ｂとしてポリイミドを使用する場合、これらのフィルムを接着剤を介して接着するか、あるいはこれらのフィルムを熱融着して直接に接合する。この接着剤としては、例えばシリコーン、ゴム系材料、ポリアミック酸溶液を接合面に塗布した後、加熱して脱水縮合させて接着を行う熱硬化性ポリイミド、および融着（ホットメルト）タイプの熱可塑性ポリイミドが挙げられる。

抵抗体６１は、加熱および温度制御を行うための図示しない制御装置とリード線を介して接続され、この制御装置は、図示しない測温体からの測温情報に基づいて抵抗体６１への通電を制御し、これにより温度調節を行っている。この測温体としては、例えば熱電対が使用される。

図４、５の実施例では、面状ヒーター８を第２部材３におけるシール座面５に形成した溝に埋設するとともに、シール材４とシール座面５とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に配置している。このシール装置１では、次のようにしてシール材４のシール座面５への固着を防止している。前述したように、例えばシール材４とシール座面５とを高温、高圧下で当接させて第１部材２と第２部材３との間を閉止した状態とすると（図４）
、シール材４がシール座面５に固着し易くなり、プロセス終了後もしくはメンテナンスなどを行う際に、雰囲気の温度が下がってから第１部材２と第２部材３との間を開放しようとすると（図５）、シール材４の脱落、開放不能、シール材４の損傷などの問題を引き起こす。

本実施例ではこのようなシール材４の固着を防止するために、シール座面５の近傍に設けられた面状ヒーター８を制御装置９によって所定温度に加熱し、これによりシール材４（シール材４とシール座面５との界面）を所定の加熱温度に維持している。

これにより、雰囲気の温度が下がってから第１部材２と第２部材３との間を開放する際においてもシール材４とシール座面５との界面の温度は所定の加熱温度に保たれているため、シール材４の固着を防止することができる。

面状ヒーター８によるシール材４への加熱は、第１部材と第２部材との間の閉止時、開放時を通して常に行っていてもよく、あるいは開放時の前後において行ってもよい。これによりシール材４の固着が防止される。

また、例えば高温下でのプロセスを終了した後、室温程度において第１部材と第２部材との間を閉止した状態を長時間維持した場合であっても、開放前に面状ヒーター８による加熱を行うことによってシール材４の固着が防止され、シール材４が一旦シール座面５に固着した場合であってもこれを容易に剥離することができる。

本実施例においても、面状ヒーター８によるシール材４の加熱温度は前述した範囲とすることが好ましい。

本実施例では面状ヒーター８をシール座面５に形成した溝に埋設したが、本発明では第２部材３におけるシール座面５の近傍位置にこのような加熱手段を設けるとともに、シール材４とシール座面５とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に配置することによってシール材４を所定の加熱温度に維持することができればよい。

本実施例では面状ヒーター８を使用したが、本発明はこれに限定されず、例えば前述した線状ヒーターなど、他の加熱手段を設けてもよい。

図７〜９は本発明の他の実施例におけるシール装置を説明する図であり、真空用ゲート弁に用いた例を示している。同図の真空用ゲート弁１５は、箱形状の弁箱本体１６と、弁体４６と、図示しない駆動部とから構成されている。図７、８に示したように、弁箱本体１６は、長側壁１７、１８と短側壁１９、２０とを備えた箱状に形成されている。弁箱本体１６内には、その内壁を構成する四側壁から内側に受座隔壁２６が延設され、この受座隔壁２６により、内部の空間が下方空間部３０と上方空間部２８とに区画されている。また、下方空間部３０を貫通して、対向する長側壁１７、１８に略矩形状のゲート開口部２２、２４を備えている。

この受座隔壁２６の上面部が、第１シール座面３２を構成している。また、この受座隔壁２６によって、水平方向のゲート開口部２２、２４に対して垂直方向に弁体用開口部３４が形成されている。また、下方空間部３０の底面および長手側の両端内壁部分に渡って略Ｕ字状の第２シール座面４４が形成されている。

弁体４６は、弁体用開口部３４を介して上下方向へ移動可能に設けられている。この弁体４６は、図７、９に示したように、弁体本体５７と、この弁体本体５７に装着されたシール材４とから構成されている。弁体本体５７は、上方から見て長方形状で、且つ長手方
向両端部が傾斜した弁体基端部５０と、該弁体基端部５０の下面に延出された板状部５６とから構成されている。なお、板状部５６は、図７、８に示した弁箱本体１６の弁体用開口部３４を介して下方空間部３０内に挿入される部分である。

弁体本体５７の弁体基端部５０の下面には、図７、９に示したように、第１当接面２５、２５が形成されている。板状部５６の側面には、略Ｕ字状に第２当接面２７が形成されている。この第１当接面２５は弁箱本体１６の第１シール座面３２に当接し、第２当接面２７は弁箱本体１２の第２シール座面４４に当接する。

弁体本体５７の弁体基端部５０の下面には、環状の第１シール溝３５が形成されている。また、板状部５６の側面に略Ｕ字状の第２シール溝３６が形成されている。これらのシール溝３５、３６内にシール材４が装着される。

この真空用ゲート弁１５において、シール装置はシール材４と、このシール材４が取り付けられた弁体本体５７（第１部材）と、金属からなるシール座面３２、４４が設けられた弁箱本体１６（第２部材）と、シール座面５に形成した溝に埋設した面状のポリイミドヒーター８と、この面状ポリイミドヒーター８の加熱および温度制御を行う図示しない制御装置とから構成されている。

シール材４は、ワーク加工などのプロセスにおいて、例えば８０℃〜１５０℃の雰囲気下でシール座面３２、４４に圧接されている。このため、プロセス終了時に雰囲気の温度が低下するとシール材４の固着が生じ易い。本実施例ではこのようなシール材４の固着を防止するために、シール座面５の近傍に設けられた面状ポリイミドヒーター８を制御装置によって所定温度に加熱し、これによりシール材４を所定の加熱温度に維持することによってシール材７の固着を防止している。

面状のポリイミドヒーター８は、シール材４の固着を有効に防止できるように、シール座面３２、４４に沿って連続的に、あるいは断続的に配置される。

以上、実施例に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されず、本発明の効果を有する範囲内で様々な変形が可能である。例えば、線状ヒーターおよび面状ヒーターのようなシール材を加熱するための加熱手段は、シール材とシール座面とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に、シール材の固着を防止することができるように設けられていればよく、具体的には、面状ヒーターのような加熱手段を、第２部材ではなく、第１部材にシール材の近傍となる位置に設けてもよい。

[試験例１]
７６ｍｍ×６５０ｍｍのゲート開口部を有する真空用ゲート弁のシール座面に沿って面状ポリイミドヒーターを設置した。シール材にはフッ素系エラストマーからなるシール材を用いた。まず弁箱ごと９０℃まで加熱を行い、次いで室温まで放冷した。このゲート弁について、弁体をシール座面から引き離すのに要する力を測定した。

[試験例２]
試験例１の真空用ゲート弁を用い、まず弁箱ごと９０℃まで加熱を行い、当該温度においてそのまま弁体をシール座面から引き離すのに要する力を測定した。

[試験例３]
試験例１の真空用ゲート弁を用い、まず弁箱ごと９０℃まで加熱を行い、次いで室温まで放冷した。このゲート弁について、面状ポリイミドヒーターを加熱してシール材を４０℃に保持した状態で弁体をシール座面から引き離すのに要する力を測定した。

[試験例４]
試験例１の真空用ゲート弁を用い、まず弁箱ごと９０℃まで加熱を行い、次いで室温まで放冷した。このゲート弁について、面状ポリイミドヒーターを加熱してシール材を５０℃に保持した状態で弁体をシール座面から引き離すのに要する力を測定した。

[試験例５]
試験例１の真空用ゲート弁を用い、まず弁箱ごと９０℃まで加熱を行い、次いで室温まで放冷した。このゲート弁について、面状ポリイミドヒーターを加熱してシール材を９０℃に保持した状態で弁体をシール座面から引き離すのに要する力を測定した。

試験例１〜５で測定した結果を表１に示した。

図１は本発明の一実施例におけるシール装置を説明する図であり、第１部材と第２部材との間が閉止されている状態を示す。 図２は、図１のシール装置において第１部材と第２部材との間が開放されている状態を示す。 図３は本発明の一実施例におけるシール部材を説明する図である。 図４は本発明の他の実施例におけるシール装置を説明する図であり、第１部材と第２部材との間が閉止されている状態を示す。 図５は、図４のシール装置において第１部材と第２部材との間が開放されている状態を示す。 図６は本発明において加熱手段として用いられる面状ヒーターを説明する断面図である。 図７は本発明の他の実施例におけるシール装置を説明する図であり、真空用ゲート弁に用いた例を示した断面図である。 図８は、図７の真空用ゲート弁における弁箱本体の要部斜視図である。 図９は、図７の真空用ゲート弁における弁体の分解斜視図である。

符号の説明

１ シール装置
２ 第１部材
３ 第２部材
４ シール材
５ シール座面
６ 加熱手段
７ 線状ヒーター
８ 面状ヒーター
９ 制御装置
１０ シール溝
１１ シール部材
１２ ヒーター端子
１５ 真空用ゲート弁
１６ 弁箱本体
１７、１８ 長側壁
１９、２０ 短側壁
２２、２４ ゲート開口部
２５ 第１当接面
２６ 受座隔壁
２７ 第２当接面
２８ 上方空間部
３０ 下方空間部
３２ 第１シール座面
３４ 弁体用開口部
３５ 第１シール溝
３６ 第２シール溝
４４ 第２シール座面
４６ 弁体
５０ 弁体基端部
５６ 板状部
５７ 弁体本体
６１ 抵抗体
６２ａ、６２ｂ 絶縁フィルム

Claims (8)

1. ゴム成形物であるシール材が取り付けられた第１部材と、金属からなるシール座面が設けられた第２部材とを備え、
   前記第１部材と第２部材とを接近させて前記シール材と前記シール座面とを当接させることにより第１部材と第２部材との間を閉止し、前記第１部材と第２部材とを離反させることにより第１部材と第２部材との間を開放するシール装置であって、
   前記シール材と前記シール座面とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に、前記シール材が前記シール座面に固着することを防止するための加熱手段が設けられていることを特徴とするシール装置。
2. 前記加熱手段が、前記シール材の内部に埋設された線状ヒーターであることを特徴とする請求項１に記載のシール装置。
3. 前記加熱手段が、前記第２部材におけるシール座面の近傍位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシール装置。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のシール装置によりゲート開口部の開放および閉止を行うことを特徴とする真空用ゲート弁。
5. ゴム成形物であるシール材と、
   前記シール材の内部に埋設された線状ヒーターとを備えることを特徴とするシール部材。
6. ゴム成形物であるシール材が取り付けられた第１部材と、金属からなるシール座面が設けられた第２部材とを備え、
   前記第１部材と第２部材とを接近させて前記シール材と前記シール座面とを当接させることにより第１部材と第２部材との間を閉止し、前記第１部材と第２部材とを離反させることにより第１部材と第２部材との間を開放するシール装置におけるシール材の固着防止方法であって、
   前記シール材と前記シール座面とが当接した際に該当接位置の近傍となる位置に設けられた加熱手段によって、当接している前記シール材と前記シール座面との界面を加熱することを特徴とするシール材の固着防止方法。
7. 前記加熱手段が、前記シール材の内部に埋設された線状ヒーターであることを特徴とする請求項６に記載のシール材の固着防止方法。
8. 前記加熱手段が、前記第２部材におけるシール座面の近傍位置に設けられていることを特徴とする請求項６に記載のシール材の固着防止方法。

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