CN101958354A - 太阳能电池模块和太阳能电池模块的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种太阳能电池模块和太阳能电池模块的制造方法。太阳能电池模块包括：透光性基板；在透光性基板上的第一面上形成的太阳能电池；和第一反射部，由与构成太阳能电池的一部分的电极相同的材料形成，设置在透光性基板的第二面上，且反射来自上述基板侧的光。
Description
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池模块和太阳能电池模块的制造方法。
背景技术
在图5中示出现有技术的太阳能电池模块的俯视图。图6是图5所示的太阳能电池模块170的A-A剖面图。下面使用图5及图6说明现有技术的太阳能电池模块。
太阳能电池模块170，在透光性基板(透明基板)101上依次叠层第一电极层(透明导电膜)111、半导体层(光电转换层)112、第二电极层(背面电极)114后，使用公知的激光制图(laser patterning)法进行分割，形成多个太阳能电池110。如此形成的多个太阳能电池110被密封材(填充材料)150密封在透光性基板101和保护材155之间，通过树脂160将金属框165固定在该密封的太阳能电池110的端部(参照专利文献1)。再有，在图3中，省略了密封材150和保护材155的图示。
这种太阳能电池110通过使用pn结的内部电场将由于从透光性基板101侧射入的光而在半导体层112内产生的电子空穴对分别在第一电极层111和第二电极层114侧取出，从而获得发电电力。因此，为了尽量使射入半导体层112内的光量增加，一直进行着各种改良。例如，在透光性基板101上依次叠层第一电极层111、作为半导体层112的具有p-i-n结的非晶硅层、第二电极层114，在第二电极层114使用在有效波长区域反射率高的Ag电极，使入射光在第二电极层114与第一电极层111之间反射，从而使到达半导体层112的光量增加。这样，通过提高第二电极层114的反射率来有效地利用透过半导体层112内部的长波长的光，提高短路电流。而且，如前所述，作为反射率高的第二电极层114，最常使用Ag。
如上所述，在利用由丁基橡胶(butyl rubber)等构成的树脂160将金属框165安装在太阳能电池模块170的端部的太阳能电池模块170中，在射入到基板101的入射光、和该入射光在基板101与太阳能电池110的接触面、及太阳能电池110内被散射而产生的散射光射入到太阳能电池模块170的两端部的情况下，大量的散射光会被树脂160吸收。因此，未能有效地将所射入的光用于发电。
发明内容
本发明是鉴于上述状况而完成的，本发明的目的在于，提供一种使向太阳能电池模块的端部射入的光再次射入太阳能电池、从而增大输出电流的太阳能电池模块的制造方法。
本发明的一种方式提供一种太阳能电池模块，其包括：透光性基板；形成在透光性基板的第一面上的太阳能电池；和第一反射部，其由与构成太阳能电池的一部分的电极相同的材料构成，设置在透光性基板的第二面上，且反射来自基板一侧的光。在该方式中，也可以为：上述第一反射部形成在与在所述透光性基板上形成的上述太阳能电池中电流流向的方向不同的方向的端部。
本发明的另一种方式提供一种太阳能电池模块，其包括：透光性基板；形成在透光性基板的第一面上的太阳能电池；和第二反射部，其由与构成太阳能电池的一部分的电极相同的材料构成，设置在透光性基板的侧端面上，且反射来自基板一侧的光。
本发明的又一种方式提供一种太阳能电池模块的制造方法，其包括：在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；在第一电极层上形成半导体层的工序；通过在线溅射装置(in-line sputteringapparatus，也称为连续式溅射装置)在半导体层上和透光性基板的第二面上形成反射性导电膜的工序；以及至少分离第一电极层或反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池、及第二电极和第一反射部的工序，在形成反射性导电膜的工序中，半导体层的电流所流动的方向与在线溅射装置中的透光性基板的输送方向不同。
本发明的又一种方式提供一种太阳能电池模块的制造方法，其包括：在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；在第一电极层上形成半导体层的工序；通过在线溅射装置在半导体层上和透光性基板的侧端面上形成反射性导电膜的工序；以及至少分离第一电极层或反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池、及第二电极和第二反射部的工序，在形成反射性导电膜的工序中，半导体层的电流所流动的方向与在线溅射装置中的透光性基板的输送方向不同。
本发明的又一种方式提供一种太阳能电池模块的制造方法，其包括：在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；在第一电极层上形成半导体层的工序；通过在线溅射装置在半导体层上和透光性基板的第二面上形成反射性导电膜的工序；以及至少分离第一电极层或反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池、及第二电极和第一反射部的工序，在形成反射性导电膜的工序中，沿着半导体层的电流所流动的方向利用在线溅射装置输送透光性基板。
本发明的又一种方式提供一种太阳能电池模块的制造方法，其包括：在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；在第一电极层上形成半导体层的工序；通过在线溅射装置在半导体层上和透光性基板的侧端面上形成反射性导电膜的工序；以及至少分离第一电极层或反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池、及第二电极和第二反射部的工序，在形成反射性导电膜的工序中，沿着半导体层的电流所流动的方向利用在线溅射装置输送透光性基板。
附图说明
图1是本发明的实施方式的太阳能电池模块的俯视图。
图2是图1所示的实施方式的太阳能电池模块的端部的放大剖面图。
图3是用于说明本发明的实施方式的太阳能电池模块的制造工序的太阳能电池模块端部的放大剖面图。
图4是表示在本发明的实施方式的太阳能电池模块的制造工序中使用的太阳能电池模块的制造装置的结构的示意图。
图5是背景技术的太阳能电池模块的俯视图。
图6是背景技术的太阳能电池模块的端部的放大剖面图。
符号说明
1基板
10太阳能电池
11第一电极层
12半导体层
13透明导电膜
14a第二电极层
14b反射部
20取出电极
25第一分离槽
26第二分离槽
30取出配线材料
35输出配线材料
40绝缘薄膜
50密封材料
55保护材料
70太阳能电池模块
80在线溅射装置
具体实施方式
使用附图说明本发明的实施方式。在下文的附图的记载中，对于相同或相似的部分赋予相同或相似的符号。但是，附图是示意性的，应该注意各尺寸的比例等与现实的实物是不同的。因此，具体的尺寸等应该参考以下的说明进行判断。再有，毫无疑问，在附图相互间也包含彼此的尺寸关系和比例不同的部分。
(太阳能电池模块的结构)
使用附图说明本发明的实施方式的太阳能电池70及其制造方法。作为由本发明的实施方式制造的太阳能电池模块70的俯视图，图1(a)表示从背面侧观看时的俯视图，图1(b)表示在光接收面侧观看时的俯视图。图2表示图1所述的太阳能电池模块70的放大剖面图。图2是对应图1所示的太阳能电池模块70的A-A剖面的放大剖面图。
下面，参照图1及图2，说明实施方式的太阳能电池模块70的结构。再有，在图1中，省略了对密封材料50和保护材料55的图示。
太阳能电池模块70包括：基板1、多个太阳能电池10、取出电极20、取出配线材料30、输出配线材料35、绝缘薄膜40、密封材料50和保护材料55。
基板1是用于形成多个太阳能电池10和取出电极20的单一基板。作为基板1，可以使用具有绝缘性的玻璃、塑料等。
在基板1上沿第一方向形成多个太阳能电池10。多个太阳能电池10沿与第一方向大致正交的第二方向排列，彼此串联地电连接。
太阳能电池10具有第一电极层11、半导体层12、透明导电膜13及第二电极层14a。实施公知的激光图案形成(laser patterning)，在基板1上依次叠层第一电极层11、半导体层12、透明导电膜13及第二电极层14a。
第一电极层11被形成在基板1的主面上，具有导电性和透光性。作为第一电极层11，在本实施方式中使用具有高的透光性、低电阻性、可塑性的、廉价的ZnO。
半导体层12利用来自第一电极层11侧的入射光产生电荷(电子及空穴)。作为半导体层12，例如能够使用以pin结或pn结为基本结构的非晶硅半导体层、微晶硅半导体层的单层体或叠层体。在本实施方式的半导体层12中，使用由2个光电转换单元构成，自第一电极层11侧起分别由非晶硅半导体、微晶硅半导体构成的结构。再有，在本说明书中，“微晶硅”的用语不仅是指完全的结晶状态，还指包含部分为非结晶状态的状态。
透明导电膜13至少被形成在半导体层12上，以覆盖基板1的侧端部和光接收面侧的端部两面的方式形成。利用透明导电膜13，能够防止半导体层12和第二电极层14a的合金化，减少半导体层12和第二电极层14a的连接电阻。
第二电极层14a被形成在透明导电膜13上。一个太阳能电池10的透明导电膜13和第二电极层14a，与相邻于一个太阳能电池10的另一个太阳能电池10的第一电极层11接触。由此，一个太阳能电池10和另一个太阳能电池10电串联连接。
此外，第二电极层14a以覆盖基板1的侧端部和端部两面的方式形成，构成由此部分形成的反射部14b。再有，在本实施方式中，作为第二电极层14a，使用厚度为200nm的具有高反射率的Ag膜。
取出电极20取出由多个太阳能电池10产生的电荷。取出电极20与太阳能电池10同样地具有第一电极层11、半导体层12、及第二电极层14a。实施公知的激光图案形成(激光构图)，在基板1上依次叠层第一电极层11、半导体层12、第二电极层14a及反射部14b。在基板1上沿第一方向形成取出电极20。
取出配线材料30从取出电极20取出电荷。即，取出配线材料30具有作为从取出电极20收集电荷的收集电极的功能。
取出配线材料30由导电性基材和电镀在基材的外周的焊料构成。取出配线材料30沿取出电极20(沿第一方向)被焊接在取出电极20上。作为基材能够使用成型为薄板状、线状或捻线状的铜等。再有，取出配线材料30也可以在多处被部分地焊接在取出电极20上。
输出配线材料35将由取出配线材料30收集的电荷导向太阳能电池模块70的外部。输出配线材料35具有与取出配线材料30相同的结构，输出配线材料35的一端，焊接在取出配线材料30上。此时，在输出配线材料35和多个太阳能电池10之间配置绝缘薄膜40，使输出配线材料35和多个太阳能电池10绝缘。
密封材料50以将多个太阳能电池10、取出电极20和取出配线材料30密封在基板1与保护材料55之间，缓冲施加给太阳能电池10的冲击的方式配置。在本实施方式中，作为密封材料50使用EVA。
保护材料55被配置在密封材料50上。在本实施方式中，作为保护材料55，使用由PET/Al箔/PET构成的叠层体。
从设置在密封材料50和保护材料55上的开口引出输出配线材料35的未与电力取出配线30连接的一个端部，连接到未图示的端子盒上。
然后，利用由丁基橡胶等形成的具有绝缘性和耐气候性的树脂60在被密封的多个太阳能电池10的端部安装Al、SUS、或铁制的框65，由此完成太阳能电池模块70。
在本实施方式中，虽然使用依次叠层有非晶硅半导体和微晶硅半导体的光电转换单元，但即使使用由微晶或非晶质层构成的单层或叠层了3层以上的光电转换单元也能得到同样的效果。
此外，也可以在光电转换单元间设置由ZnO、SnO2、SiO2、MgZnO形成的中间层，成为使光学特性提高的结构。
第一电极层11除在本实施方式中使用的ZnO外，也可以由从SnO2、In2O3、或TiO2、Zn2SnO4的金属氧化物中选择的一种或多种的叠层体构成。再有，在这些金属氧化物中也可以掺杂F、Sn、Al、Ga、Nb等。
在本实施方式中，在形成由ZnO构成的透明导电膜13后，形成Ag的单层体作为第二电极层14a，但例如也可以在半导体层12上依次使用1层或多层的In2O3、SnO2、TiO2、Zn2SnO4的金属氧化物作为透明导电膜13，使用1层或多层Al、Ti、Ni等金属膜作为第二电极层14a。此外，使用至少具有1层第二电极层14a的结构即可，也可以为无透明导电膜的结构。
作为密封材料50，除EVA外，也可以使用EEA等乙烯类树脂、PVB、硅酮(硅有机树脂)、氨基甲酸乙酯、丙烯酸(树脂)、环氧树脂。
作为保护材料55，除由PET/Al箔/PET构成的叠层体外，还可以使用氟类树脂(ETFE、PVDF、PCTFE等)、PC、PET、PEN、PVF、丙烯酸等树脂的单层体或夹入有金属箔的结构，以及SUS和(ガルバリウム：Galvalume)镀铝锌板等钢板、玻璃等。
在此，根据图1及图2，详细地说明本实施方式的特征部分即反射部14b。
在本实施方式的太阳能电池模块70中，在基板1的背面形成第二电极层14a时，以绕入到光接收面侧的方式形成有反射部14b，反射部14b覆盖基板1的侧端部和端部两面。绕入的反射部14b在光接收面覆盖在无助于发电的无效区域上、并且覆盖位于基板1端部的太阳能电池10。由此，不会使射向太阳能电池10的半导体层12的光量减少就能使射入到基板1的光有效地用于发电。也就是说，通过反射部14b使直接入射到未形成太阳能电池10和取出电极20的端部的入射光、以及在基板1与第一电极层11的界面、半导体层12与第二电极层14a的界面、或第一电极层11与半导体层12的界面被散射并入射到反射部14b的光再次反射，使其入射到半导体层12。由反射部14b反射的光在半导体层12内产生电子空穴对，通过pn结的内部电场使光电流产生。即，反射部14b通过使射向半导体层12的入射光量增加，有助于加大太阳能电池模块70的短路电路。在覆盖基板1的侧端部的反射部14b与基板1之间也可以具有透明导电膜13，在采用这样的结构时，能得到与没有透明导电膜时相同的效果。
此外，在太阳能电池模块70的背面侧形成分离取出电极20和反射部14b的第一分离槽25，确保基板1的端部的绝缘。此外，为了不使取出电极20和多个太阳能电池10通过反射部14b短路，形成第二分离槽26，使取出电极20和多个太阳能电池10分别与反射部14b分离。因此，能确保本实施方式的多个太阳能电池10与外部的绝缘性。
并且，太阳能电池模块70以覆盖所形成的反射部14b的方式配置树脂60，安装框65。树脂60被配置在由金属形成的框65和太阳能电池模块70之间，不仅能作为缓冲材料避免从外部对太阳能电池模块70施加的冲击，还能通过使用绝缘性的树脂60来更良好地确保其与外部的绝缘性。
此外，可以在位于基板1的光接收面上的反射部14b的端部，透明导电膜13覆盖反射部14b的端部，以不露出透明导电膜13的端部的方式形成。由此，反射部14b能防止水分向透明导电膜13浸入，防止光透过率下降。因此，能更良好地使射向反射部14b的光反射，并使其入射到太阳能电池10。
如上所述，根据本发明，通过在太阳能电池模块70的端部也使从光接收面入射到基板1的光反射，并再次入射到半导体层12，不仅能使入射到半导体层12的光量增加、增大短路电流，还能提高太阳能电池模块70的可靠性。
(太阳能电池模块的制造方法)
接着，参照图1、图2及图3，说明本实施方式的太阳能电池模块70的制作方法。图3是表示对应于图1(a)所述的太阳能电池模块70的B-B的部分的制造工序的放大剖面图。
首先，如图3(a)所记载的那样，在4mm厚的由玻璃制成的透光性基板1上通过溅射形成600nm厚的由ZnO形成的第一电极层11。然后，从透光性基板1的第一电极层11侧照射YAG激光，将第一电极层11图案形成为长方形状。在该激光分离加工中，使用波长约1.06μm、能量密度13J/cm3、脉冲频率3kHz的Nd:YAG激光器。
接着，如图3(b)所记载的那样，通过等离子体处理装置形成半导体层12。
半导体层12按如下顺序进行叠层：以SiH4、CH4、H2和B2H6的混合气体为原料气体形成膜厚10nm的p型非晶硅半导体层，以SiH4和H2的混合气体为原料气体形成膜厚300nm的i型非晶硅半导体层，以SiH4、H2及PH4的混合气体为原料气体形成膜厚20nm的n型非晶硅半导体层。接着，按如下顺序进行叠层：以SiH4、H2和B2H6的混合气体为原料气体形成膜厚10nm的p型微晶硅半导体层，以SiH4和H2的混合气体为原料气体形成膜厚2000nm的i型微晶硅半导体层，以SiH4、H2和PH4的混合气体为原料气体形成膜厚20nm的n型微晶硅半导体层。在下文中，在表1详细地表示等离子体处理装置的各个条件。
[表1]
在第一电极层11的图案形成位置的侧面(旁边、两侧)，从第一电极层11侧对叠层而成的半导体层12照射YAG激光，以分离形成在基板1的背面侧的半导体层12的方式进行除去，图案形成为长方形状。在该激光分离加工中使用能量密度0.7J/cm3、脉冲频率3kHz的Nd:YAG激光器。
接着，如图3(c)所记载的那样，通过溅射在半导体层12上形成由ZnO形成的透明导电膜13。透明导电膜13绕入(蔓延)到通过图案形成除去了半导体层12的区域、及基板1的侧端部和端部两面，以与第二电极层14a同样的方法形成。
然后，如图3(d)所记载的那样，通过溅射在透明导电膜13上形成200nm厚的Ag膜，形成第二电极层14a。按后述的那样，Ag膜绕入到通过图案形成除去了半导体层12的区域及包含基板1的端部的光接收面的端部，进行成膜形成。此时，位于光接收面侧的透明导电膜13的端部以被反射膜14b覆盖的方式形成。
然后，如图3(e)所记载的那样，通过从背面侧对半导体层12的图案形成(patterning)位置的旁边的部分照射YAG激光，分离半导体层12、透明导电膜13和第二电极层14a，图案形成为长方形状。在该激光分离加工中，使用能量密度0.7J/cm3、脉冲频率4kHz的Nd:YAG激光器。
如图3(f)所记载的那样，利用激光(器)形成第一分离槽25，该第一分离槽25在第二方向上延伸，用于使绕入的透明导电膜13和第二电极层14a与太阳能电池10和取出电极20分离。同样地，利用激光器形成在图1所记载的第一方向上延伸的第二分离槽26，与取出电极20分离。在该激光分离加工中，使用波长约1.06μm、能量密度13J/cm3、脉冲频率3kHz的Nd:YAG激光器。其中，为了有效地进行绝缘，优选令第一分离槽25和第二分离槽26的宽度为1mm以上。
基于上述步骤，在基板1上形成彼此串联连接的多个太阳能电池10、取出电极20和反射部14b。
如图3(g)所记载的那样，在取出电极20上配置取出配线材料30，进行焊接。
然后，如图3(h)所记载的那样，在多个太阳能电池10上配置绝缘薄膜40后，在绝缘薄膜40上配置输出配线材料35，将输出配线材料35的一个端部连接到取出配线材料30上。
如图2所示，在太阳能电池10的第二电极层14a及取出配线部件30上设置由EVA形成的密封材料50、及由PET/Al箔/PET形成的保护材料55。此时，从设置在密封材料50和保护材料55的开口引出并形成未与电力取出配线30连接的输出配线材料35的一个端部。然后，将未图示的端子盒连接在从开口引出的输出配线材料35的端部。
如图2所示，在密封的多个太阳能电池10的端部设置由丁基橡胶等构成的树脂60所构成的缓冲材料，设置由Al构成的框65来完成太阳能电池模块70。
下面，参照图4，详细说明本发明的特征即第二电极层14a的溅射方法。图4是连续输送多个基板依次进行溅射的在线溅射装置80的示意图。图4(a)是表示在线溅射装置80的结构的概略图，图4(b)是表示在反应室81内部输送基板1的形态的俯视图。再有，在图4(b)中，省略了对由Ag制成的靶82、支承靶82的支承部83、设置在基板1的下部的电极85、和输送基板1的辊86的表示。
利用图4所记载的在线溅射装置80形成第二电极层14a。在本实施方式中，首先，准备在透光性基板1上依次叠层有第一电极层11和半导体层12的部件。然后，在图4(a)所示的在线溅射装置80的反应室81内，在形成第二电极层14a时，将形成有直到上述半导体层12的结构的基板1加热到60℃～120℃，并进行输送。反应室81通过真空泵90被排气到1.0×10-5Pa程度后，由吸气口82导入氩气体(以下简记为Ar)和氧(以下简记为O2)，将内压维持在0.4～0.7Pa。由Ag制成的靶82被固定在支承部83上，在该支持部83上连接电源装置95的正极，在防着板(防着板(日语)：用于防止溅射物向希望的方向以外飞散)84和设置在基板1的下部的电极85上连接电源装置的负极，以0.9～4.0W/cm2的DC功率密度放电，同时使基板1移动，对靶83进行溅射，连续在上述半导体层12上形成由Ag制成的第二电极层14a。
在本实施方式中，在靶82和基板1之间配置防着板84，通过防着板84的开口在基板1上形成Ag膜。防着板84的开口以下述方式形成，在与基板输送方向大致正交的方向上设置比基板1的长度大的开口，使得成膜材料更容易地绕入到基板1的第一方向的两端部。
此外，在图1(a)所记载的太阳能电池模块70中，能通过使光入射到太阳能电池10的半导体层12而产生光电流，另一方面，即使使光入射到取出电极20也不能有助于发电。因此，在端部形成反射部14b的情况下，与基板1的取出电极20所相邻的在第一方向上延伸的边相比，在形成于基板1上的多个太阳能电池10的端部所相邻的沿第二方向延伸的边上形成良好的反射部14b，更能使入射的光较多地有助于发电。
在本实施方式中，仅使用Ar等惰性气体形成反射性导电膜，该Ar等惰性气体用于弹出由作为反射性导电材料的Ag制成的靶的分子。但是，在通过溅射形成由金属氧化膜制成的透明导电膜13时，为了稳定地进行透明导电膜13的成膜而导入的O2会被导入形成第二电极层14a的处理室81中，由Ag制成的反射性导电膜变黑，存在反射率下降的问题。
在在线溅射装置80中，一面利用辊86输送基板1一面在基板1上形成Ag膜。在使用在线溅射装置80进行成膜时，为了提高生产率而以窄的间隔输送基板10。因此，与基板1和相邻的基板1之间相比，基板1和反应室81的壁面间的距离变大。由此，与基板1和反应室81的壁面之间相比，基板1和相邻的基板1之间变成高的真空度。因此，在在线溅射装置80中形成反射性导电膜时，能更良好地除去存在于基板1和相邻的基板1之间的O2。即，在基板1和基板1彼此相邻的边，由金属形成的反射性导电膜难以成为氧化物，能形成高反射率的反射性导电膜。
因此，在本实施方式中，为了在多个太阳能电池10的端部所相邻的沿第二方向延伸的边上形成成为优选条件的反射部14b，而以使得基板1的输送方向与形成在基板1上的多个太阳能电池10的端部所相邻的第一方向成为大致相同的方向的方式形成Ag膜。即，通过按与太阳能电池10延伸的第一方向的边大致相同的方向输送基板，就能在太阳能电池10的端部所相邻的第二方向的边上形成高反射率的反射部。此外，通过在多个太阳能电池10的端部所相邻的沿第二方向延伸的边上设置反射部14b，就能使光良好地反射，使更多的光入射到太阳能电池10。由此，能增大在每个太阳能电池10中产生的光电流，作为太阳能电池模块70能得到更大的输出。
此外，在在线溅射装置80中，一面通过辊86输送基板1、一面在基板1上形成Ag膜。因此，如果比较与基板1的输送方向大致平行的边、和与基板输送方向大致正交的边，则在与输送方向大致平行的边容易形成Ag膜均匀地绕入的反射部14b，与此相对，在与输送方向大致正交的边，Ag膜难以均匀地绕入，难以将反射部14b控制在适合的膜厚。
因此，通过在与多个太阳能电池10的端部所相邻的沿第二方向延伸的边大致相同的方向上输送基板，就能形成均匀厚度的反射部。此外，通过在多个太阳能电池10的端部所相邻的沿第二方向延伸的边上设置反射部14b，就能使光良好地被反射，使更多的光入射到太阳能电池10。由此，能增大在每个太阳能电池10中产生的光电流，作为太阳能电池模块70能得到更大的输出。
再有，在像本实施方式这样，作为透明导电膜13形成ZnO的单层体、作为第二电极层14a形成Ag的单层体的情况之外，同样地能够作为靶82代替本次使用的ZnO、Ag设置In2O3、SnO2、TiO2、Zn2SnO4等金属氧化物和Al、Ti、Ni等金属，通过进行溅射而形成透明导电膜13、第二电极层14a。此外，通过使用多个同样的装置，或替换靶83重复进行溅射，就能够形成多层透明导电膜13、第二电极层14a。
进一步，在本实施方式中，作为在线溅射装置80，虽然使用直流(DC)溅射装置，但也能够适当使用高频溅射、磁控管溅射等。
进一步，在本实施方式中，作为溅射装置80，虽然使用了直流(DC)溅射装置，但也可以适当使用高频溅射、磁控管溅射等。
此外，为了使绕入的透明导电膜13和第二电极层14a与叠层第一电极层11、半导体层12、透明导电膜13、第二电极层14a构成的太阳能电池10和取出电极20分离，利用激光形成向第二方向延伸的1mm的第一分离槽25。同样地，利用激光形成图1所记载的向第一方向延伸的1mm的第二分离槽26，与取出电极20分离。由此，在隔着密封材料50用保护材料55密封太阳能电池10时，就能确保太阳能电池10与外部的绝缘性，使可靠性提高。
如上所述，根据本发明的太阳能电池模块的制造方法，通过用反射部14b使从光接收面入射到基板1的光反射，并再次入射到半导体层12，不仅能增大短路电流，还能确保太阳能电池模块90与外部的绝缘性，因此能够提高可靠性。即，根据本发明的太阳能电池的制造方法，能兼顾提高太阳能电池模块的输出并防止太阳能电池模块的可靠性降低。
Claims (17)
1.一种太阳能电池模块，其特征在于，包括：
透光性基板；
形成在所述透光性基板上的第一面上的太阳能电池；和
第一反射部，其由与构成所述太阳能电池的一部分的电极相同的材料形成，设置在所述透光性基板的第二面，且反射来自所述基板侧的光。
2.一种太阳能电池模块，其特征在于，包括：
透光性基板；
形成在所述透光性基板上的第一面上的太阳能电池；和
第二反射部，其由与构成所述太阳能电池的一部分的电极相同的材料形成，设置在所述透光性基板的侧端面，且反射来自所述基板侧的光。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其特征在于，还包括：
第二反射部，其由与构成所述太阳能电池的一部分的电极相同的材料形成，设置在所述透光性基板的侧端面，且反射来自所述基板侧的光。
4.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其特征在于：
在所述第一反射部与所述透光性基板之间存在透光性导电膜。
5.根据权利要求4所述的太阳能电池模块，其特征在于：
在所述透光性基板的第二面上，所述第一反射部覆盖所述透光性导电膜的端部。
6.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其特征在于：
所述第一反射部还延伸并绕入至所述透光性基板的第一面侧。
7.根据权利要求1所述的太阳能电池模块，其特征在于：
所述第一反射部形成在与在所述透光性基板上形成的所述太阳能电池中电流流动的方向不同的方向的端部。
8.一种太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括：
在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；
在所述第一电极层上形成半导体层的工序；
利用在线溅射装置在所述半导体层上和所述透光性基板的第二面上形成反射性导电膜的工序；以及
至少分离所述第一电极层或所述反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池以及第二电极和第一反射部的工序，
在形成所述反射性导电膜的工序中，所述半导体层的电流所流动的方向与所述在线溅射装置中的所述透光性基板的输送方向不同。
9.一种太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括：
在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；
在所述第一电极层上形成半导体层的工序；
利用在线溅射装置在所述半导体层上和所述透光性基板的侧端面上形成反射性导电膜的工序；以及
至少分离所述第一电极层或所述反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池以及第二电极和第二反射部的工序，
在形成所述反射性导电膜的工序中，所述半导体层的电流所流动的方向与所述在线溅射装置中的所述透光性基板的输送方向不同。
10.根据权利要求8所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：
还利用在线溅射装置在所述透光性基板的侧端面上形成所述反射性导电膜。
11.根据权利要求8所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：
在所述第一反射部与所述透光性基板之间存在透光性导电膜。
12.根据权利要求11所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：
在所述透光性基板的第二面上，所述第一反射部覆盖所述透光性导电膜的端部。
13.一种太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括：
在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；
在所述第一电极层上形成半导体层的工序；
利用在线溅射装置在所述半导体层上和所述透光性基板的第二面上形成反射性导电膜的工序；以及
至少分离所述第一电极层或所述反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池以及第二电极和第一反射部的工序，
在形成所述反射性导电膜的工序中，沿着半导体层的电流所流动的方向，在所述在线溅射装置中输送所述透光性基板。
14.一种太阳能电池模块的制造方法，其特征在于，包括：
在透光性基板的第一面上形成第一电极层的工序；
在所述第一电极层上形成半导体层的工序；
利用在线溅射装置在所述半导体层上和所述透光性基板的侧端面上形成反射性导电膜的工序；以及
至少分离所述第一电极层或所述反射性导电膜，形成1个或多个太阳能电池以及第二电极和第二反射部的工序，
在形成所述反射性导电膜的工序中，沿着所述半导体层的电流所流动的方向，在所述在线溅射装置中输送所述透光性基板。
15.根据权利要求13所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：
利用在线溅射装置在所述透光性基板的侧端面上形成所述反射性导电膜。
16.根据权利要求13所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：
在所述第一反射部与所述透光性基板之间存在透光性导电膜。
17.根据权利要求16所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：
在所述透光性基板的第二面上，所述第一反射部覆盖所述透光性导电膜的端部。
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Also Published As
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