CN101956174B - 循环蒸镀装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种循环蒸镀装置，其包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，副腔体与主腔体连接，长轴贯穿地枢接于副腔体上，长轴的一端与驱动机构连接，长轴的另一端与蒸发舟连接，蒸发舟伸入主腔体内并与主腔体密封地枢接，驱动机构通过长轴带动蒸发舟运动；其中一组活动蒸发舟单元在主腔体内进行蒸镀工艺时，另外的活动蒸发舟单元可在其副腔体内更换或添加蒸镀材料，清洁或维护蒸发舟等，完成后再将该蒸发舟送入主腔体进行蒸镀，使蒸镀材料供给和添加及时方便；如此循环交替，使主腔体内不间断的进行蒸镀，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使蒸镀装置的结构简单、操作便捷。
Description
技术领域
本发明涉及一种蒸镀装置，尤其涉及一种可对蒸镀材料及时供给并循环输入，且能进行连续蒸镀的循环蒸镀装置。
背景技术
OLED(Organic Light-Emitting Diode，即有机发光二极管)，其最基本的结构包括阴极、阳极及发光层，发光层形成于阴极与阳极之间，在阴极与阳极之间加适当电压后，阴极向发光层注入电子，阳极向发光层注入空穴，当电子和空穴达较高的注入密度时，会在发光层中结合形成大量的激子(即空穴-电子对)，激子由激发状态回落在基础状态时产生辐射进而发光；为提高有机发光器件的发光效率，必须通过发光层顺畅地输送空穴和电子，为此在阴极和发光层之间依次形成电子注入层和电子输送层，在发光层与阳极之间依次形成空穴传输层和空穴注入层，其生产工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极；而在基板上形成薄膜的方法主要有真空蒸镀法、镀离子法及溅射法等物理蒸镀法，还有利用气体反应的化学气相沉积法等，其中，在有机发光器件的薄膜主要利用真空蒸镀法形成。
用于真空蒸镀法的蒸镀装置一般包括真空腔体、抽真空系统及动力传输系统，真空腔体用于执行蒸镀工艺，该真空腔体与抽真空系统连通，待蒸镀的基板通过动力传输系统传输到真空腔体内，在真空腔体内设置有蒸发舟，蒸发舟与外界电源连接，当适当的电流流通到蒸发舟后，蒸发舟因电阻效应产生热量，加热蒸发舟内的蒸镀材料，蒸镀材料到达熔点后产生蒸气，气化后的蒸镀材料沉积在待蒸镀的基板上行形成薄膜层。然而，现有的蒸镀装置需要更换、添加蒸镀材料，或需要清洁维护蒸发舟时，需要停止蒸镀工艺，开启真空腔体后进行更换和维护，不便于蒸镀材料的及时添加，也使操作不够灵活，待更换完蒸镀材料或维护完蒸发舟后再继续蒸镀工艺，使得蒸镀工艺不能连续进行，降低蒸镀效率。
因此，急需一种结构简单、方便蒸镀材料及时供给及循环添加、并能进行连续蒸镀的蒸镀装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单、方便蒸镀材料及时供给及循环添加、并能进行连续蒸镀的循环蒸镀装置。
为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种循环蒸镀装置，包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，所述主腔体与抽真空系统连通，所述活动蒸发舟单元密封地枢接于所述主腔体上，其中，所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动。
较佳地，所述主腔体上相对于所活动蒸发舟单元的位置处开设有蒸镀通道，所述活动蒸发舟单元的蒸发舟穿过所述蒸镀通道并伸入所述主腔体内，所述长轴位于所述主腔体外；更具体地，所述副腔体上对应所述蒸镀通道的位置处设置有蒸发舟通道，所述蒸发舟通过所述蒸发舟通道进出所述副腔体。蒸镀过程中需要更换蒸镀材料或需要对蒸发舟进行维护时，驱动机构通过长轴拉动蒸发舟，蒸发舟通过蒸发舟通道被拉入副腔体内，在副腔体内进行蒸镀材料的更换或添加，蒸发舟的清洁或维护等，不需要打开主腔体即可方便的进行蒸镀材料的供给或蒸发舟的维护，操作简单灵活。
较佳地，所述主腔体的蒸镀通道处均设置有真空阀门；更具体地，所述真空阀门为闸板阀。闸板阀具有结构简单、开闭省力、操作精确等优点，使用闸板阀控制蒸镀通道的启闭，操作简单并能很好的保持主腔体内的真空度。
较佳地，所述抽真空系统包括第一抽真空系统及第二抽真空系统，所述第一抽真空系统与所述主腔体连通，所述第二抽真空系统与所述副腔体连通。蒸发舟在副腔体内添加蒸镀材料或维护的过程中，或完成上述过程后，第二抽真空系统对副腔体进行抽真空，以产生与主腔体相适应的真空度，当副腔体内的真空度与主腔体内的真空度相适应时，将蒸发舟送入主腔体内进行蒸镀工艺，这样减少蒸镀前的等待时间，提高蒸镀效率，同时使主腔体内的环境一直维持在蒸镀条件下，进而保证较高的蒸镀质量。
与现有技术相比，由于本发明蒸镀装置具有至少两组活动蒸发舟单元，所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动；蒸镀过程中，一组活动蒸发舟单元在主腔体内进行蒸镀工艺时，另一组活动蒸发舟单元可在其副腔体内进行蒸镀材料的更换或添加，或对蒸发舟进行维护及清洁等，即驱动机构通过长轴将蒸发舟拉入到副腔体内，在副箱体内对蒸发舟上的蒸镀材料进行更换或添加，或对蒸发舟本身进行清洁维护等，完成后驱动机构再将该蒸发舟送入主腔体内进行蒸镀工艺，使蒸镀材料供给及时并能方便地添加；两组以上的活动蒸发舟单元循环交替的更换材料或进行维护，在主腔体内不间断的进行蒸镀，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使蒸镀装置的结构简单、操作便捷。
附图说明
图1是本发明循环蒸镀装置的结构示意图。
具体实施方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。
如图1所示，本发明循环蒸镀装置100包括主腔体110、相互并列设置的活动蒸发舟单元120、130，主腔体110与抽真空系统及动力传输机构相连通，抽真空系统用于对主腔体110进行抽真空处理，动力传输机构用于将待蒸镀的基板传输到主腔体110内进行蒸镀，主腔体110上相对于活动蒸发舟单元120的位置处设置有蒸镀通道111，活动蒸发舟单元120通过蒸镀通道111枢接于主腔体110上，主腔体110上对于活动蒸发舟单元130的位置处设置有蒸镀通道112，活动蒸发舟单元130通过蒸镀通道112枢接于主腔体110上，其中，活动蒸发舟单元120包括驱动机构121、长轴122、副腔体123及蒸发舟124，副腔体123呈中空结构，副腔体123与主腔体110连接，长轴122水平贯穿副腔体123并枢接于副腔体123上，长轴122的一端与驱动机构121连接，长轴122的另一端与蒸发舟124连接，蒸发舟124穿过蒸镀通道111并伸入主腔体110内，长轴122位于主腔体110外，副腔体123上相对于蒸镀通道111的位置处具有蒸发舟通道，蒸发舟124可通过该蒸发舟通道出入副腔体123，驱动机构121通过长轴122驱动蒸发舟124运动，使蒸发舟124可由主腔体110进入到副腔体123，并可由副腔体123进入主腔体110；活动蒸发舟单元130包括驱动机构131、长轴132、副腔体133及蒸发舟134，副腔体133呈中空结构的，副腔体133与主腔体110连接，长轴133水平贯穿副腔体133并枢接于副腔体133上，长轴133的一端与驱动机构131连接，长轴133的另一端与蒸发舟134连接，蒸发舟134穿过蒸镀通道112并伸入主腔体110内，长轴133位于主腔体110外，副腔体133上相对于蒸镀通道112的位置处具有蒸发舟通道，蒸发舟134可通过该蒸发舟通道出入副腔体133，驱动机构131通过长轴133驱动蒸发舟134运动，使蒸发舟134可由主腔体110进入到副腔体133，并可由副腔体133进入主腔体110；在蒸镀通道111处设置有真空阀门140a，蒸镀通道112处设置有真空阀门140b，在该实施例中，真空阀门140a、140b均为闸板阀，闸板阀140a、140b具有结构简单、开闭省力、操作精确等优点，使用闸板阀140a、140b分别控制蒸镀通道111及蒸镀通道112的启闭，操作简单并能很好的保持主腔体110内的真空度。
较佳者，本发明循环蒸镀装置100的抽真空系统包括第一抽真空系统及第二抽真空系统，第一抽真空系统与主腔体110连通，第二抽真空系统分别与副腔体123和副腔体133连通。当蒸发舟124在副腔体123内更换、添加蒸镀材料，或在副腔体123内对蒸发舟124进行清洗、维护的过程中，第二抽真空系统对副腔体123进行抽真空，以产生与主腔体110相适应的真空度，第二抽真空系统也可在添加材料或维护完成后再对副腔体123进行抽真空，当副腔体123内的真空度与主腔体110内的真空度相适应时，将蒸发舟124送入主腔体110内进行蒸镀工艺；相应地，当蒸发舟134在副腔体133内更换、添加蒸镀材料，或在副腔体133内对蒸发舟134进行清洗、维护的过程中，第二抽真空系统对副腔体133进行抽真空，以产生与主腔体110相适应的真空度，第二抽真空系统亦可在添加材料或维护完成后再对副腔体133进行抽真空，当副腔体133内真空度与主腔体110内的真空度相适应时，将蒸发舟134送入主腔体110内进行蒸镀工艺；这样减少蒸镀前的等待时间，提高蒸镀效率，同时使主腔体110内的环境一直维持在蒸镀条件下，进而保证较高的蒸镀质量。
下面结合图1，对本发明循环蒸镀装置100的工作原理进行详细说明。在蒸镀过程中，活动蒸发舟单元120在主腔体10内进行蒸镀时候，活动蒸发舟单元130可在主腔体110外进行蒸镀材料的更换或添加，或对蒸发舟134进行清洁或维护等，完成后再将蒸发舟134送入主腔体110内进行蒸镀，反之亦然；例如活动蒸发舟单元130在主腔体110内进行蒸镀，而活动蒸发舟单元120需要添加蒸镀材料或进行维护，这样，蒸发舟134位于主腔体110内，加热机构对其进行加热使蒸发舟134内的蒸镀材料蒸发，进而进行蒸镀工艺，与此同时，打开主腔体110上的闸板阀140a，驱动机构121通过长轴122拉动蒸发舟124，蒸发舟124通过蒸镀通道111从主腔体110被拉出后进入副腔体123内，在蒸发舟124离开主腔体110的瞬间，闸板阀140a将蒸镀通道111关闭；然后在副腔体123内进行蒸镀材料的添加或更换，或对蒸发舟124进行清洁或维护等，在此过程中，第二抽真空系统对副腔体123进行抽真空，以产生与主腔体110相适应的真空度，第二抽真空系统对副腔体123的抽真空处理也可在完成蒸镀材料的更换及蒸发舟124的维护之后进行，当副腔体123内的真空度与主腔体110内的相适应时，打开主腔体110上的闸板阀140a，驱动机构121通过长轴122将蒸发舟124送入主腔体110内进行蒸镀；蒸发舟124在主腔体110内进行蒸镀时，若蒸发舟134需要更换、添加蒸发材料，或者需要清洁、维护蒸发舟134，则打开主腔体110上的闸板阀140b，驱动机构131通过长轴132拉动蒸发舟134，将蒸发舟134从主腔体110拉到副腔体133内，在蒸发舟134离开主腔体110的瞬间，闸板阀140b将蒸镀通道112关闭，然后在副腔体133内进行蒸镀材料的添加或更换，或对蒸发舟134进行清洁或维护等，在此过程中，第二抽真空系统对副腔体133进行抽真空，以产生与主腔体110相适应的真空度，第二抽真空系统对副腔体133的抽真空处理也可在完成蒸镀材料的更换及蒸发舟134的维护之后进行，当副腔体133内的真空度与主腔体110内的相适应时，打开主腔体110上的闸板阀140b，驱动机构131通过长轴133将蒸发舟134送入主腔体110内进行蒸镀；如此循环，活动蒸发舟单元120在蒸镀时，活动蒸发舟单元130可进行蒸镀材料添加或维护，活动蒸发舟单元130在蒸镀时，活动蒸发舟单元120可进行蒸镀材料添加或维护，这样，主腔体110内的蒸镀不会间断，实现蒸镀设备的循环蒸镀，提高蒸镀效率；并且在在副腔体123、133内进行蒸镀材料的更换或添加，或对蒸发舟124、134进行清洁、维护等，不需要打开主腔体110，操作简单灵活并能很好的维持真空度，进而提高蒸镀质量。
由于本发明循环蒸镀装置100具有两组活动蒸发舟单元120、130，活动蒸发舟单元120包括驱动机构121、长轴122、蒸发舟124及呈中空结构的副腔体123，副腔体123与主腔体110连接，长轴122贯穿副腔体123并枢接于副腔体123上，长轴122的一端与驱动机构121连接，长轴122的另一端与蒸发舟124连接，蒸发舟124穿过蒸镀通道111并伸入主腔体110内，长轴122位于主腔体110外，副腔体123上相对于蒸镀通道111的位置处具有蒸发舟通道，蒸发舟124可通过该蒸发舟通道出入副腔体123，驱动机构121通过所述长轴122带动所述蒸发舟124运动；活动蒸发舟单元130包括驱动机构131、长轴133、蒸发舟134及呈中空结构的副腔体133，副腔体133与主腔体110连接，长轴132贯穿副腔体133并枢接于副腔体133上，长轴132的一端与驱动机构131连接，长轴133的另一端与蒸发舟134连接，蒸发舟134穿过蒸镀通道111并伸入主腔体110内，长轴132位于主腔体110外，副腔体133上相对于蒸镀通道111的位置处具有蒸发舟通道，蒸发舟134可通过该蒸发舟通道出入副腔体133，驱动机构131通过所述长轴132带动所述蒸发舟134运动；蒸镀过程中，活动蒸发舟单元120在主腔体110内进行蒸镀工艺时，活动蒸发舟单元130可在其副腔体133内进行蒸镀材料的更换或添加，或对蒸发舟134进行维护及清洁等，完成后驱动机构131再将蒸发舟134送入主腔体110进行蒸镀工艺；活动蒸发舟单元130在主腔体110内进行蒸镀工艺时，活动蒸发舟单元120可在其副腔体123内进行蒸镀材料的更换或添加，或对蒸发舟124进行维护及清洁等，完成后驱动机构121再将蒸发舟124送入主腔体110进行蒸镀工艺，使蒸镀材料供给及时并能方便地添加；两组活动蒸发舟单元120、130循环交替的更换材料或进行维护，在主腔体110内不停地循环蒸镀，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使循环蒸镀装置100的结构简单、操作便捷。
本发明循环蒸镀装置100的活动蒸发单元并不限于两组，还可以根据实际需要设置更多的活动蒸发单元，活动蒸发单元的安装方式也不限于上述实施例中的安装方法，其安装为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。
本发明的活动蒸发舟单元亦可同时在主腔体110内进行蒸镀，同时在其副腔体内进行蒸镀材料添加或维护，或对蒸发舟进行清洁及维护等。
以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
Claims (3)
1.一种循环蒸镀装置，包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，所述主腔体与抽真空系统连通，所述活动蒸发舟单元密封地枢接于所述主腔体上，其特征在于：所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动；
所述主腔体上相对于所述活动蒸发舟单元的位置处开设有蒸镀通道，所述活动蒸发舟单元的蒸发舟穿过所述蒸镀通道并伸入所述主腔体内，所述长轴位于所述主腔体外；
所述主腔体的蒸镀通道处均设置有真空阀门；
所述副腔体上对应所述蒸镀通道的位置处设置有蒸发舟通道，所述蒸发舟通过所述蒸发舟通道进出所述副腔体。
2.如权利要求1所述的循环蒸镀装置，其特征在于：所述真空阀门为闸板阀。
3.如权利要求1所述的循环蒸镀装置，其特征在于：所述抽真空系统包括第一抽真空系统及第二抽真空系统，所述第一抽真空系统与所述主腔体连通，所述第二抽真空系统与所述副腔体连通。
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| CN101956174A (zh) | 2011-01-26 |
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