CN107565062B - 膜厚监控仪与蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种膜厚监控仪与蒸镀机。本发明的膜厚监控仪包括：壳体、设于所述壳体内的转盘、设于所述壳体内且固定于所述转盘上的数个膜厚监测传感器、设于所述壳体上的窗口、及安装于所述窗口上的风扇，所述转盘转动时带动所述数个膜厚监测传感器依次经过所述窗口。通过在壳体的窗口上安装风扇，蒸镀过程中挥发至所述窗口处的有机小分子材料减少，降低沉积于膜厚监测传感器表面的膜厚，从而延长膜厚监测传感器的使用寿命，进而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能。本发明的蒸镀机通过安装上述膜厚监控仪减少了使用过程中打开蒸镀机的腔体的次数，提高了蒸镀机的稼动率及产能。

Description

膜厚监控仪与蒸镀机

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种膜厚监控仪与蒸镀机。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示器，也称为有机电致发光显示器，是一种新兴的平板显示装置，由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快，而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点，因而具有广阔的应用前景。

OLED按照驱动方式可以分为无源矩阵型OLED(Passive Matrix OLED，PMOLED)和有源矩阵型OLED(Active Matrix OLED，AMOLED)两大类，即直接寻址和薄膜晶体管(TFT，Thin Film Transistor)矩阵寻址两类。其中，AMOLED具有呈阵列式排布的像素，属于主动显示类型，发光效能高，通常用作高清晰度的大尺寸显示装置。

OLED通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层(Hole InjectLayer，HIL)、设于空穴注入层上的空穴传输层(Hole Transport Layer，HTL)、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层(Electron Transport Layer，ETL)、设于电子传输层上的电子注入层(Electron Inject Layer，EIL)、及设于电子注入层上的阴极。OLED显示器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。具体的，OLED显示器件通常采用ITO像素电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。

目前OLED的主流制备方法是蒸镀法，即在OLED蒸镀机的腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属光罩的开孔沉积在基板上。

通常，OLED蒸镀机的腔体内都设有膜厚监控仪(Thickness Monitor)，所述膜厚监控仪包括壳体、设于所述壳体内的转盘、设于所述壳体内且固定于所述转盘上的数个膜厚监测传感器(sensor)，所述壳体上设有一窗口，所述膜厚监控仪使用时，所述数个膜厚监测传感器中的一个移至该窗口处，蒸镀时，真空OLED蒸镀机的腔体内的有机小分子材料挥发至该窗口，并沉积于膜厚监测传感器的表面，所述膜厚监测传感器通过监测自身表面的膜厚经过换算后得出镀在基板表面的膜厚。

一旦位于窗口处的膜厚监测传感器表面的膜厚达到一定程度时，该膜厚监测传感器即达到其使用寿命，无法继续工作，因此需要转动转盘，使其它膜厚监测传感器移动至该窗口处继续工作，当所述转盘上的所有膜厚监测传感器均达到使用寿命时，就需要打开OLED蒸镀机的腔体，更换膜厚监控仪中的所有膜厚监测传感器，由于现有的OLED制程中，OLED蒸镀机的使用频率较高，使得膜厚监测传感器的使用寿命较短，因此需要频繁打开OLED蒸镀机的腔体，从而降低了OLED蒸镀机的稼动率及产能，进而降低了OLED生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种膜厚监控仪，能够延长膜厚监测传感器的使用寿命，从而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能。

本发明的目的还在于提供一种蒸镀机，膜厚监控仪中的膜厚监测传感器的使用寿命较长，从而可减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能。

为实现上述目的，本发明提供一种膜厚监控仪，包括：壳体、设于所述壳体内的转盘、设于所述壳体内且固定于所述转盘上的数个膜厚监测传感器、设于所述壳体上的窗口、及安装于所述窗口上的风扇，所述转盘转动时带动所述数个膜厚监测传感器依次经过所述窗口。

所述风扇的扇叶的转速可调。

所述风扇的扇叶为可折叠扇叶。

所述窗口凸出于所述壳体表面。

所述膜厚监测传感器的形状及大小与所述窗口的形状及大小相匹配。

所述数个膜厚监测传感器在所述转盘上可伸缩设置，当一个膜厚监测传感器移至所述窗口处开始工作时，该膜厚监测传感器向外伸出，与所述窗口紧密配合，当一个膜厚监测传感器达到使用寿命后，该膜厚监测传感器向内缩回。

所述转盘上安装有10个或者12个膜厚监测传感器。

所述膜厚监控仪还包括与所述壳体相连的杆体、以及与所述杆体另一端相连的底座。

本发明还提供一种蒸镀机，包括：腔体、设于所述腔体内的蒸镀源、设于所述腔体内且位于所述蒸镀源上方的待镀膜基板、以及设于所述腔体内位于所述蒸镀源上方且位于所述待镀膜基板周边的上述膜厚监控仪。

所述膜厚监控仪的壳体上的窗口朝向所述蒸镀源。

本发明的有益效果：本发明提供的一种膜厚监控仪，通过在壳体的窗口上安装风扇，使得蒸镀过程中挥发至所述窗口处的有机小分子材料减少，降低沉积于膜厚监测传感器表面的膜厚，从而延长膜厚监测传感器的使用寿命，进而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能，提高生产效率。本发明提供的一种蒸镀机，通过安装上述膜厚监控仪，减少了使用过程中打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能，提高生产效率。

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图说明

下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。

附图中，

图1为本发明的膜厚监控仪的局部示意图；

图2为本发明的膜厚监控仪的立体示意图；

图3为本发明的膜厚监控仪的风扇的结构示意图；

图4为本发明的蒸镀机的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1至图3，本发明提供一种膜厚监控仪10，包括：壳体11、设于所述壳体11内的转盘12、设于所述壳体11内且固定于所述转盘12上的数个膜厚监测传感器13、设于所述壳体11上的窗口14、及安装于所述窗口14上的风扇15，所述转盘12转动时带动所述数个膜厚监测传感器13依次经过所述窗口14。

具体的，所述数个膜厚监测传感器13位于以所述转盘12的中心为圆心的同一圆周上。

所述膜厚监控仪10使用时，一个膜厚监测传感器13位于所述窗口14处，蒸镀时，真空蒸镀机的腔体20内的有机小分子材料内挥发至该窗口14，并沉积于膜厚监测传感器13的表面，所述膜厚监测传感器13通过监测自身表面的膜厚经过换算后得出镀在基板表面的膜厚。

通过在所述窗口14上安装风扇15，使得蒸镀过程中挥发至所述窗口14处的有机小分子材料减少，降低沉积于膜厚监测传感器13表面的膜厚，从而延长膜厚监测传感器13的使用寿命，进而减少打开蒸镀机的腔体20的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能，提高OLED生产效率。

具体的，所述风扇15的扇叶16的转速越大，沉积于膜厚监测传感器13表面的膜厚越小，因此优选的，所述风扇15的扇叶16的转速可调，从而可根据蒸镀厚度及蒸镀速率来调控所述扇叶16的转速，进而调整沉积于膜厚监测传感器13表面的膜厚，具体的，可以在蒸镀厚度较大、蒸镀速率较快时选择较大转速，在蒸镀厚度较小、蒸镀速率较慢时选择较小转速。

具体的，所述风扇15的扇叶16的面积越大，沉积于膜厚监测传感器13表面的膜厚越小，因此优选的，所述风扇15的扇叶16为可折叠扇叶，从而可根据蒸镀厚度及蒸镀速率来调控所述扇叶16的面积，进而调整沉积于膜厚监测传感器13表面的膜厚，具体的，可以在蒸镀厚度较大、蒸镀速率较快时选择将扇叶16打开，增大扇叶16面积，在蒸镀厚度较小、蒸镀速率较慢时选择将扇叶16折叠，减小扇叶16面积。

具体的，如图2所示，所述窗口14凸出于所述壳体11表面。

具体的，所述膜厚监测传感器13的形状及大小与所述窗口14的形状及大小相匹配。

优选的，所述数个膜厚监测传感器13在所述转盘12上可伸缩设置，当一个膜厚监测传感器13移至所述窗口14处开始工作时，该膜厚监测传感器13向外伸出，与所述窗口14紧密配合，防止蒸镀机的腔体20内的有机小分子材料扩散至所述膜厚监控仪10的壳体11内造成其它非使用中的膜厚监测传感器13受到污染，当一个膜厚监测传感器13达到使用寿命后，该膜厚监测传感器13向内缩回，接着，转动转盘12，使下一个膜厚监测传感器13移至所述窗口14处继续工作。

具体的，所述转盘12上可以安装有10个(如图1所示)或者12个膜厚监测传感器13。

具体的，所述膜厚监控仪10还包括与所述壳体11相连的杆体17、以及与所述杆体17另一端相连的底座18。

上述膜厚监控仪，通过在壳体11的窗口14上安装风扇15，使得蒸镀过程中挥发至所述窗口14处的有机小分子材料减少，降低沉积于膜厚监测传感器13表面的膜厚，从而延长膜厚监测传感器13的使用寿命，进而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能，提高生产效率。

请参阅图4，基于上述膜厚监控仪，本发明还提供一种蒸镀机，包括：腔体20、设于所述腔体20内的蒸镀源30、设于所述腔体20内且位于所述蒸镀源30上方的待镀膜基板40、以及设于所述腔体20内位于所述蒸镀源30上方且位于所述待镀膜基板40周边的膜厚监控仪10。所述膜厚监控仪10的结构如上文所述，此处不再赘述。

具体的，所述膜厚监控仪10的壳体11上的窗口14朝向所述蒸镀源30。

具体的，所述蒸镀机用于蒸镀OLED材料。

具体的，所述待镀膜基板40为玻璃基板。

上述蒸镀机，通过安装上述膜厚监控仪，减少了使用过程中打开蒸镀机的腔体20的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能，提高生产效率。

综上所述，本发明提供一种膜厚监控仪与蒸镀机。本发明的膜厚监控仪，通过在壳体的窗口上安装风扇，使得蒸镀过程中挥发至所述窗口处的有机小分子材料减少，降低沉积于膜厚监测传感器表面的膜厚，从而延长膜厚监测传感器的使用寿命，进而减少打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能，提高生产效率。本发明的蒸镀机，通过安装上述膜厚监控仪，减少了使用过程中打开蒸镀机的腔体的次数，提高蒸镀机的稼动率及产能，提高生产效率。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种膜厚监控仪，其特征在于，包括：壳体(11)、设于所述壳体(11)内的转盘(12)、设于所述壳体(11)内且固定于所述转盘(12)上的数个膜厚监测传感器(13)、设于所述壳体(11)上的窗口(14)、及安装于所述窗口(14)上的风扇(15)，所述转盘(12)转动时带动所述数个膜厚监测传感器(13)依次经过所述窗口(14)；

所述风扇(15)的扇叶(16)为可折叠扇叶。

2.如权利要求1所述的膜厚监控仪，其特征在于，所述风扇(15)的扇叶(16)的转速可调。

3.如权利要求1所述的膜厚监控仪，其特征在于，所述窗口(14)凸出于所述壳体(11)表面。

4.如权利要求3所述的膜厚监控仪，其特征在于，所述膜厚监测传感器(13)的形状及大小与所述窗口(14)的形状及大小相匹配。

5.如权利要求4所述的膜厚监控仪，其特征在于，所述数个膜厚监测传感器(13)在所述转盘(12)上可伸缩设置，当一个膜厚监测传感器(13)移至所述窗口(14)处开始工作时，该膜厚监测传感器(13)向外伸出，与所述窗口(14)紧密配合，当一个膜厚监测传感器(13)达到使用寿命后，该膜厚监测传感器(13)向内缩回。

6.如权利要求1所述的膜厚监控仪，其特征在于，所述转盘(12)上安装有10个或者12个膜厚监测传感器(13)。

7.如权利要求1所述的膜厚监控仪，其特征在于，还包括与所述壳体(11)相连的杆体(17)、以及与所述杆体(17)另一端相连的底座(18)。

8.一种蒸镀机，其特征在于，包括：腔体(20)、设于所述腔体(20)内的蒸镀源(30)、设于所述腔体(20)内且位于所述蒸镀源(30)上方的待镀膜基板(40)、以及设于所述腔体(20)内位于所述蒸镀源(30)上方且位于所述待镀膜基板(40)周边的如权利要求1所述的膜厚监控仪(10)。

9.如权利要求8所述的蒸镀机，其特征在于，所述膜厚监控仪(10)的壳体(11)上的窗口(14)朝向所述蒸镀源(30)。