CN101942641B - Oled蒸镀机的蒸发源装置 - Google Patents
Oled蒸镀机的蒸发源装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101942641B CN101942641B CN2010102754753A CN201010275475A CN101942641B CN 101942641 B CN101942641 B CN 101942641B CN 2010102754753 A CN2010102754753 A CN 2010102754753A CN 201010275475 A CN201010275475 A CN 201010275475A CN 101942641 B CN101942641 B CN 101942641B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- hole
- crucible
- evaporation source
- assembly
- lift component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
本发明涉及一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的中央具有工作通孔，至少一组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转。本发明的有益效果是：可以自动的对排列在工作通孔四周的坩埚组件堵塞的蒸镀材料进行疏通，因此保持了生产的连贯性和效率，也避免了人工疏通过程中对OLED显示器件品质的影响。
Description
技术领域
本发明属于OLED显示技术领域，尤其涉及OLED显示器件有机发光层的蒸镀设备。
背景技术
OLED显示器件通过蒸镀有机物来制作构成OLED显示器件的载流子传输层和有机发光层。如图1所示，现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括包括工作平台1、坩埚组件2、蒸发源挡板组件3，工作平台1的中央具有工作通孔11，多组坩埚组件2和蒸发源挡板组件3在工作通孔内按照圆周均匀排列，蒸发源挡板组件3可以与装置外部的动力机构连接，不断的开启和遮挡坩埚组件2，以便有选择的进行蒸镀工艺。在有机物蒸镀过程中，由于蒸镀出的有机物为蓬松结构，很容易在坩埚组件2的出口部位集结，直至将坩埚组件2的出口完全堵住。但由于OLED显示器件制作工艺的特殊性，需要在持续的真空环境下，连续完成有机物的蒸镀，而一旦坩埚组件2的出口被堵，将使有机物无法蒸发，使蒸镀工艺无法继续进行，严重影响生产、实验进度。同时，在现有情况下，疏通坩埚组件2的出口需要打开蒸镀腔室，手动疏通坩埚组件2的出口，打开蒸镀腔室并重新抽真空，一般需要1～2个小时，对生产的连贯性和效率性带来很大影响，同时由于器件制作中断，器件性能也收到一定程度的影响，影响产品质量。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置不能自动疏通疏通其坩埚组件的出口堵塞的材料的不足，提出了一种可以自动疏通坩埚组件的出口堵塞的材料的OLED蒸镀机的蒸发源装置。
为了实现上述目的，本发明的具体方案是：一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的中央具有工作通孔，至少一组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转。
上述升降构件包括升降轴、定位齿轮、电机齿轮和固定盘，所述升降轴的外侧具有凸缘，所述固定盘和定位齿轮具有与升降轴截面匹配的通孔，所述升降轴安装在固定盘和定位齿轮的通孔内，所述定位齿轮与电机齿轮啮合，所述电机齿轮与装置外部的伺服电机连接并可在伺服电机的带动下旋转，所述升降轴与装置外部的气缸连接并可在气缸的带动下垂直运动。
本发明的有益效果是：由于在现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置的基础上增加了坩埚疏通组件，坩埚疏通组件的探针可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转，因此可以自动的对排列在工作通孔四周的坩埚组件堵塞的蒸镀材料进行疏通，因此保持了生产的连贯性和效率，也避免了人工疏通过程中对OLED显示器件品质的影响。
附图说明
图1是现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置结构示意图。
图2是本发明的OLED蒸镀机的蒸发源装置结构示意图。
图3是本发明的坩埚疏通组件的升降构件上升状态的结构示意图。
图4是本发明的坩埚疏通组件的升降构件下降状态的结构示意图。
附图标记说明：工作平台1、工作通孔11、坩埚组件2、蒸发源挡板组件3、坩埚疏通组件4、探针41、挂臂42、升降构件43、升降轴431、凸缘4311、固定盘432、定位齿轮433、电机齿轮434。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。
如图1，一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台1、坩埚组件2、蒸发源挡板组件3和坩埚疏通组件4，工作平台1的中央具有工作通孔11，六组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，坩埚疏通组件4位于工作通孔11的中心，包括探针41、挂臂42和升降构件43，探针41通过挂臂42与升降构件43固定连接，并可以随升降构件43垂直运动和沿工作通孔11中心旋转。
上述坩埚组件和蒸发源挡板组件成对配置，其数量可以根据需要任意设置。
如图2和3所示，为了便于说明，图中的升降构件43与实际安装位置颠倒，升降构件43包括升降轴431、定位齿轮433、电机齿轮434和固定盘432，升降轴431的外侧具有凸缘4311，固定盘432和定位齿轮433具有与升降轴截面匹配的通孔，升降轴431安装在固定盘432和定位齿轮433的通孔内，定位齿轮433与电机齿轮434啮合，电机齿轮434与装置外部的伺服电机连接并可在伺服电机的带动下旋转，所述升降轴431与装置外部的气缸连接并可在气缸的带动下垂直运动。
本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。本领域的普通技术人员可以根据本发明公开的这些技术启示做出各种不脱离本发明实质的其它各种具体变形和组合，这些变形和组合仍然在本发明的保护范围内。
Claims (1)
1.一种OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括工作平台、坩埚组件、蒸发源挡板组件，所述工作平台的中央具有工作通孔，至少一组坩埚组件和蒸发源挡板组件在工作通孔内按照圆周均匀排列，其特征在于，还包括坩埚疏通组件，所述坩埚疏通组件位于工作通孔的中心，包括探针、挂臂和升降构件，所述探针通过挂臂与升降构件固定连接，并可以随升降构件垂直运动和沿工作通孔中心旋转；所述升降构件包括升降轴、定位齿轮、电机齿轮和固定盘，所述升降轴的外侧具有凸缘，所述固定盘和定位齿轮具有与升降轴截面匹配的通孔，所述升降轴安装在固定盘和定位齿轮的通孔内，所述定位齿轮与电机齿轮啮合，所述电机齿轮与装置外部的伺服电机连接并可在伺服电机的带动下旋转，所述升降轴与装置外部的气缸连接并可在气缸的带动下垂直运动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010102754753A CN101942641B (zh) | 2010-09-08 | 2010-09-08 | Oled蒸镀机的蒸发源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010102754753A CN101942641B (zh) | 2010-09-08 | 2010-09-08 | Oled蒸镀机的蒸发源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101942641A CN101942641A (zh) | 2011-01-12 |
| CN101942641B true CN101942641B (zh) | 2012-06-13 |
Family
ID=43434841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010102754753A Expired - Fee Related CN101942641B (zh) | 2010-09-08 | 2010-09-08 | Oled蒸镀机的蒸发源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101942641B (zh) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103741096B (zh) * | 2013-12-27 | 2015-11-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | Oled蒸镀机的蒸发源组件 |
| CN104947041B (zh) * | 2015-07-07 | 2017-08-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种蒸镀坩埚以及oled材料的蒸镀装置 |
| CN105177504A (zh) | 2015-07-29 | 2015-12-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种堵孔处理装置及处理方法 |
| CN106756805B (zh) * | 2016-12-28 | 2019-12-13 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚和蒸镀系统 |
| CN109763103B (zh) * | 2018-12-24 | 2020-12-04 | 信利半导体有限公司 | 送料装置及其应用 |
| CN113373413B (zh) * | 2021-06-10 | 2022-09-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机 |
| CN113446851A (zh) * | 2021-06-21 | 2021-09-28 | 中国原子能科学研究院 | 疏通装置及熔融系统 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6342103B1 (en) * | 2000-06-01 | 2002-01-29 | The Boc Group, Inc. | Multiple pocket electron beam source |
| CN1310342C (zh) * | 2003-05-07 | 2007-04-11 | 友达光电股份有限公司 | 有机发光二极管蒸镀机台 |
| CN100999813A (zh) * | 2007-01-17 | 2007-07-18 | 友达光电股份有限公司 | 真空蒸镀设备及其防附着结构 |
| CN201778103U (zh) * | 2010-09-08 | 2011-03-30 | 四川虹视显示技术有限公司 | Oled蒸镀机的蒸发源装置 |
-
2010
- 2010-09-08 CN CN2010102754753A patent/CN101942641B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101942641A (zh) | 2011-01-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101942641B (zh) | Oled蒸镀机的蒸发源装置 | |
| CN201778103U (zh) | Oled蒸镀机的蒸发源装置 | |
| CN2903094Y (zh) | 用双向离子镀磁控溅射代替电镀设备的炉体 | |
| CN101280418B (zh) | 具有多层辐射式蒸发源分布结构的多源真空蒸镀装置 | |
| CN100560782C (zh) | 一种有机电致发光器件的新型掩膜体系及制作方法 | |
| CN102051590B (zh) | 发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机 | |
| CN107604328A (zh) | 一种燃料电池金属双极板高效环形真空镀膜装置 | |
| CN201670871U (zh) | 一种新型高效镀膜装置 | |
| CN102037813B (zh) | 双轴锥齿轮传动斜置式宽窄行插秧机分插机构 | |
| CN104404452B (zh) | 一种真空镀膜系统的样品室结构 | |
| CN104294217A (zh) | 蒸发源装置 | |
| CN106756807B (zh) | 一种蒸镀源、蒸镀装置及其蒸镀方法 | |
| JP2020521038A (ja) | 蒸着装置 | |
| CN103741101A (zh) | 一种MoN/CrN纳米复合涂层及其活塞环 | |
| CN103966548B (zh) | 一种掩模板及其制作方法、掩模组件 | |
| CN207331044U (zh) | 一种蒸镀用角度限制机构及蒸镀设备 | |
| CN104233193A (zh) | 蒸镀装置及蒸镀方法 | |
| CN105339522B (zh) | 一种真空镀膜设备以及真空镀膜的方法 | |
| CN209039579U (zh) | 制备太阳能电池背电极的磁控溅射镀膜生产线 | |
| CN203222614U (zh) | 复式轨道双对称可分离腔体磁控溅射镀膜设备 | |
| CN201942744U (zh) | 发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机 | |
| CN103184420B (zh) | 用于驱动磁控管的扫描机构、磁控源和磁控溅射设备 | |
| CN105961262B (zh) | 一种太阳能投饵机 | |
| CN109423628A (zh) | 一次性全表面气相沉积支架、气相沉积炉及其沉积方法 | |
| CN210030874U (zh) | 真空镀膜设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP02 | Change in the address of a patent holder | ||
| CP02 | Change in the address of a patent holder |
Address after: 610000 No. 168 Kexinxi Street, Chengdu High-tech Zone, Sichuan Province Patentee after: Sichuan CCO Display Technology Co., Ltd. Address before: 611731 Chengdu province high tech Zone (West) branch, new West Street, No. 168 Patentee before: Sichuan CCO Display Technology Co., Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120613 Termination date: 20200908 |