CN113373413B - 一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机，所述蒸发源组件包括电热元件，电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，电热元件加热时通过电热元件的工作端处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料，使堆积在坩埚角度板下方的蒸镀材料融化或升华，解决了因提高产量而提高蒸镀时间造成的坩埚角度板上蒸镀材料堆积的问题，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，膜层均一性变差，提升连续蒸镀的时间，提高产能，降低单耗，进而减少蒸镀机的宕机时间，进一步增加连续生产，提高生产产能的效果。

Description

一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机。

背景技术

由于蒸发源中有机材料蒸镀方向的不确定性，目前OLED产品生产所使用的蒸发源(Source)结构中，使用角度板来限制有机材料的蒸镀方向及沉积角度。而蒸镀时腔室处于真空状态，在长时间的蒸镀过程中，角度板上沉积的有机材料也会越来越多，蒸镀时间过长时，角度板上沉积的有机材料会与坩埚上的喷嘴接触，从而导致喷嘴有有机材料凝结，并在继续蒸镀过程中堵塞喷嘴，因此，角度板上堆积的有机材料严重限制了蒸镀机能够连续生产的时间。

本领域亟需一种解决角度板上蒸镀材料堆积问题的技术方案，以延长蒸镀机能够连续生产的时间。

发明内容

为了解决角度板上蒸镀材料堆积问题，本发明提供一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机，能有效延长蒸镀机能够连续生产的时间。

第一方面，本发明实施例提供一种蒸发源组件，包括电热元件；所述电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，所述电热元件加热时通过所述电热元件的工作端处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料。

在一些实施方式中，所述电热元件为合金电热丝。

在一些实施方式中，所述电热元件能够通过卷曲装置收回和伸长，所述电热元件伸长时能够到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。

在一些实施方式中，所述电热元件的工作端为刚性弯折结构，所述电热元件加热时通过所述弯折结构处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料。

在一些实施方式中，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述电热元件的固定端安装于所述轨道，以使所述电热元件能沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动。

在一些实施方式中，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述轨道上安装有保护装置，所述电热元件的固定端安装于所述保护装置内，以使所述电热元件能随所述保护装置沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动；所述电热元件能够收回至所述保护装置内和伸出所述保护装置到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。

在一些实施方式中，所述轨道为工字型轨道。

在一些实施方式中，所述保护装置的面向坩埚角度板一侧安装有遮挡装置，所述遮挡装置在所述电热元件收回至所述保护装置内时遮挡所述顶部角度板的凹槽开口处。

第二方面，本发明实施例提供一种蒸发源系统，包括，第一方面所述的蒸发源组件。

第三方面，本发明实施例提供一种蒸镀机，包括第二方面所述的蒸发源系统。

与现有技术相比，本发明的一个或多个实施例至少具有如下有益效果：

本发明的蒸发源组件包括电热元件，电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，电热元件加热时通过电热元件的工作端处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料，使堆积在坩埚角度板下方的蒸镀材料融化或升华，解决了因提高产量而提高蒸镀时间造成的坩埚角度板上蒸镀材料堆积的问题，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，膜层均一性变差，提升连续蒸镀的时间，提高产能，降低单耗，进而减少蒸镀机的宕机时间，进一步增加连续生产，提高生产产能的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明实施例提供的一种蒸发源组件示意图；

图2是本发明实施例提供的电热元件的工作端为弯折结构的示意图；

图3A是本发明实施例提供的电热元件伸长状态示意图；

图3B是本发明实施例提供的电热元件收回状态示意图；

图4是本发明实施例提供的轨道示意图；

图5是本发明实施例提供的遮挡装置示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

图1示出了一种蒸发源组件示意图，如图1所示，本实施例提供一种蒸发源组件，包括电热元件1。

电热元件1的固定端安装于蒸发源初始位置(Home位置)上方的顶部角度板2，电热元件1加热时通过该电热元件1的工作端1-1处理坩埚角度板3堆积的蒸镀材料4。

相关技术中，蒸镀机的蒸发源系统包括蒸发源5及其上设置的带有喷嘴7的坩埚6，在蒸镀过程中使用坩埚角度板3来限制蒸镀(有机)材料的蒸镀方向及沉积角度，而蒸镀时腔室处于真空状态，在长时间的蒸镀过程中，坩埚角度板3上沉积的蒸镀材料也会越来越多，蒸镀时间过长时坩埚角度板3上沉积的有机材料会与坩埚6上的喷嘴7接触，从而导致喷嘴7凝结堆积蒸镀材料4，并在继续蒸镀过程中堵塞喷嘴7，坩埚角度板3上堆积的蒸镀材料4严重限制了蒸镀机能够连续生产的时间。

本实施例中，电热元件1具有固定端(图中未示出)和工作端1-1，固定端用于将电热元件1固定安装，相关技术中，蒸发源初始位置上方的顶部角度板2呈“几”字形，优选地，本实施例中的电热元件1的固定端安装于该“几”字形顶部角度板2的凹槽内，但不限于安装于该凹槽内，电热元件1的工作端1-1悬空，用于伸入坩埚角度板3之间，在电热元件1加热状态下处理坩埚角度板3上堆积的蒸镀材料，使蒸镀材料融化或升华，从而减轻或者消除堆积的蒸镀材料。

应当理解的是，在需要处理坩埚角度板3上堆积的蒸镀材料时，通过将电热元件1加热，来使坩埚角度板3上堆积的蒸镀材料融化或升华，而无需处理时，则不需要加热。

在实际应用中，电热元件1可以为合金电热丝，优选地，电热元件1可以为镍铬合金电热丝，由于合金(如镍铬合金)具有耐高温、寿命长、抗腐蚀性好的特点，适用于高温真空的蒸镀环境。

在一种优选的实现方式中，如图2所示，电热元件1的工作端1-1为刚性弯折结构，电热元件1加热时通过该刚性弯折结构处理坩埚角度板3堆积的蒸镀材料，优选地，该刚性弯折结构可以是直角弯折结构。蒸镀材料可能堆积在坩埚角度板3的角落，也可能堆积在坩埚角度板3的光滑表面，通过在合金电热丝末端设计刚性弯折结构，对合金电热丝施以高温加热时，通过合金电热丝末端的刚性弯折结构不仅能够利用刚性处理堆积在坩埚角度板3的光滑表面的蒸镀材料，还可以伸至坩埚角度板3的难以处理到的角落里堆积的蒸镀材料，使蒸镀材料融化或升华，坩埚角度板3各位置堆积的蒸镀材料都能够得以减轻或消除，以解决因提高产量而提高蒸镀时间造成的坩埚角度板上蒸镀材料堆积的问题，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，膜层均一性变差，提升连续蒸镀的时间，提高产能，降低单耗。

图3A示出了电热元件伸长状态示意图，图3B示出了电热元件收回状态示意图，如图3A和图3B所示，电热元件1能够通过卷曲装置9收回和伸长，电热元件1伸长时能够到达相邻坩埚角度板3所形成的空间内，这一可卷曲设计可以使电热元件1在无需使用时收纳起来，既不影响蒸发源系统继续工作，也不会因电热元件1长期悬于坩埚角度板3上方，导致电热元件1本身因长时间蒸镀而堆积蒸镀材料。

在实际应用中，卷曲装置9可以是轴承，合金电热丝可以通过轴承卷曲收缩以及伸长，实现合金电热丝的工作端1-1的升降，通过调节工作端1-1的高度，可以使电热元件能够处理各坩埚角度板3不同高度位置堆积的蒸镀材料。

在一种优选的实现方式中，顶部角度板2的凹槽内安装有轨道10，优选地，轨道10为如图4所示的工字型轨道，优选为工字形滑块轨道，可以通过焊接等方式固定安装轨道10，但不限于此。

在一些情形下，电热元件1的固定端安装于轨道10，以使电热元件1能沿着轨道10在顶部角度板2的凹槽内移动。在实际应用中，可以通过将电热元件1的固定端安装于工字形滑块轨道的滑块上，使电热元件1能够随滑块在轨道10上运行。

在另一些情形中，顶部角度板2的凹槽内安装的轨道10上安装有保护装置8，电热元件1的固定端安装于保护装置8内，以使电热元件1能随保护装置8沿着轨道10在顶部角度板2的凹槽内移动，电热元件1能够收回至保护装置8内和伸出保护装置8到达相邻坩埚角度板3所形成的空间内。在实际应用中，可以通过将保护装置8安装于工字形滑块轨道的滑块上，电热元件1的固定端安装于保护装置8内，使电热元件1和保护装置8能够随滑块在轨道10上运行。

本实施例中，在无需处理坩埚角度板3上堆积的蒸镀材料时，通过卷曲收纳将电热元件1收回至保护装置8内，以对电热元件1做进一步保护，这一既收纳电热元件1，避免其一直悬于坩埚角度板3上方而可能影响蒸发源系统继续工作，也不会因电热元件1长期悬于坩埚角度板3上方而易产生蒸镀材料堆积，进一步地将其收纳至保护装置8内，更进一步防止电热元件1在收回状态下仍被蒸镀用的有机材料覆盖。电热元件1可以通过轨道10到达顶部角度板2下方各相邻坩埚角度板3所形成的空间内，以全面清理各坩埚角度板3上所堆积的蒸镀材料，最大化清理堆积的蒸镀材料的范围。

在实际应用中，保护装置8可以为金属材质的保护盒，电热元件1的固定端以及卷曲装置9能够容纳于该保护盒内，实现电热元件1能够收回至保护装置8内和伸出保护装置8到达相邻坩埚角度板3所形成的空间内。

在一些优选的实现方式中，工字形轨道的两个平行边尽可能分别靠近凹槽的两个侧沿的方向安装，以使电热元件1(和保护装置8)在该凹槽内运动的范围能够尽可能覆盖顶部角度板2下方的各坩埚角度板3。电热元件1(和保护装置8)能在轨道10上图4中沿着箭头所示方向运动，也就是，电热元件1既能够沿着工字形轨道的两个平行边运动，又能够沿着工字形轨道的两个平行边之间的横边运动，这样的工字型轨道安装到顶部角度板2的凹槽内，能够最大化电热元件1在该凹槽内的运动范围，使得清理堆积的蒸镀材料的范围最大化。

在一些优选的实现方式中，如图5所示，保护装置8的面向坩埚角度板3一侧安装有遮挡装置11，遮挡装置11在电热元件1收回至保护装置8内时遮挡顶部角度板2的凹槽开口处。保护装置8外侧的这一Cover设计，可有效防止保护装置8被喷嘴7喷出的有机材料覆盖。在实际应用中，遮挡装置11可以为金属材质的遮挡板，其形状可以为方形，以在电热元件1收回至保护装置8内时覆盖顶部角度板2的凹槽开口处，保护凹槽内安装的轨道10、保护装置8以及收回至保护装置8内的电热元件1，优选地，遮挡装置11可以通过机械导轨提供动力，以在需要遮挡顶部角度板2的凹槽开口处时移动至该凹槽开口处，而当电热元件1需要伸出保护装置8时移走。

通过本实施例的蒸发源组件，安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板的电热元件加热时，能够使堆积在坩埚角度板下方的蒸镀材料融化或升华，解决了因提高产量而提高蒸镀时间造成的坩埚角度板上蒸镀材料堆积的问题，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，膜层均一性变差，提升连续蒸镀的时间，提高产能，降低单耗，进而减少蒸镀机的宕机时间，进一步增加连续生产，提高生产产能的效果。

实施例二

本实施例提供一种蒸发源系统，包括，实施例一的蒸发源组件。

在实际应用中，该蒸发源系统还包括蒸发源5及其上设置的带有喷嘴7的坩埚6，在蒸镀过程中使用坩埚角度板3来限制蒸镀(有机)材料的蒸镀方向及沉积角度，而蒸镀时腔室处于真空状态，在长时间的蒸镀过程中，随着坩埚角度板3上堆积蒸镀材料，利用实施例一的蒸发源组件可及时清理堆积的蒸镀材料，将加热的电热元件1伸入相邻坩埚角度板3所形成的空间内可进行蒸镀材料的处理，使堆积的蒸镀材料融化或升华，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，提升了蒸镀机能够连续生产的时间。

蒸发源组件的具体内容请参见实施例一，本实施例不再赘述。

实施例三

本实施例提供一种蒸镀机，包括实施例二的蒸发源系统。

在实际应用中，实施例二的蒸发源系统设置于蒸镀机的腔室内，蒸镀时该腔室处于真空状态，在长时间的蒸镀过程中，随着坩埚角度板3上堆积蒸镀材料，利用实施例一的蒸发源组件可及时清理堆积的蒸镀材料，将加热的电热元件1伸入相邻坩埚角度板3所形成的空间内可进行蒸镀材料的处理，使堆积的蒸镀材料融化或升华，避免长时间蒸镀造成喷嘴堵塞，提升了蒸镀机能够连续生产的时间。

蒸发源组件及蒸发源系统的具体内容请参见前述实施例，本实施例不再赘述。

在本发明实施例所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统和方法，也可以通过其它的方式实现。以上所描述的系统和方法实施例仅仅是示意性的。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容只是为了便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属技术领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式上及细节上作任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (8)

1.一种蒸发源组件，其特征在于，包括电热元件；所述电热元件的固定端安装于蒸发源初始位置上方的顶部角度板，所述电热元件的工作端为刚性弯折结构，所述电热元件加热时通过弯折结构处理坩埚角度板堆积的蒸镀材料；所述电热元件能够通过卷曲装置收回或伸长，所述电热元件伸长时能够到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。

2.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述电热元件为合金电热丝。

3.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述电热元件的固定端安装于所述轨道，以使所述电热元件能沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动。

4.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述顶部角度板的凹槽内安装有轨道，所述轨道上安装有保护装置，所述电热元件的固定端安装于所述保护装置内，以使所述电热元件能随所述保护装置沿着所述轨道在所述顶部角度板的凹槽内移动；所述电热元件能够收回至所述保护装置内和伸出所述保护装置到达相邻坩埚角度板所形成的空间内。

5.根据权利要求3或4所述的蒸发源组件，其特征在于，所述轨道为工字型轨道。

6.根据权利要求4所述的蒸发源组件，其特征在于，所述保护装置的面向坩埚角度板一侧安装有遮挡装置，所述遮挡装置在所述电热元件收回至所述保护装置内时遮挡所述顶部角度板的凹槽开口处。

7.一种蒸发源系统，其特征在于，包括，权利要求1至6中任一项所述的蒸发源组件。

8.一种蒸镀机，其特征在于，包括权利要求7所述的蒸发源系统。

Images