CN206396317U - 一种led蒸镀机的蒸发源组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种LED蒸镀机的蒸发源组件,包括承载平台和均匀设在承载平台上的若干蒸镀坩埚,所述承载平台上方通过两个由液压杆驱动的伸缩杆固接有疏通机构,所述疏通机构包括设于两个伸缩杆顶端的安装板,所述安装板的底部设有竖直连杆,所述竖直连杆的底部设有横板,所述横板的下表面均匀安装有若干探针。本实用新型可以在不打开腔体的情况下处理出气孔堵塞的问题,不需要停机,保证生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种LED蒸镀机的蒸发源组件,属于LED加工设备零部件技术领域。
背景技术
蒸镀是LED加工过程中的一个重要环节,即在真空腔体内加热有机小分子材料,使其升华或者熔融气化成材料蒸汽,透过金属光罩的开孔沉积在基板上。但是蒸发源由于坩埚、温度、材料等原因,有机材料蒸汽在出气口冷凝,逐渐堵住出气孔,导致速率逐渐减低,直至完全堵住,由于长时间镀膜,挡板上沉积的有机材料会逐渐变厚,有时会成片剥落,刚好落在出气孔上,会直接挡住有机材料蒸汽,影响蒸镀的效果,现有的蒸镀机在这种情况下只能将材料降至室温,再打开蒸镀机腔体,处理完堵塞后再合上腔体继续蒸镀,耗时非常长,影响生产效率。为此,我们提出一种LED蒸镀机的蒸发源组件。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种LED蒸镀机的蒸发源组件,可以在不打开腔体的情况下处理出气孔堵塞的问题,不需要停机,保证生产效率,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种LED蒸镀机的蒸发源组件,包括承载平台和均匀设在承载平台上的若干蒸镀坩埚,所述承载平台上方通过两个由液压杆驱动的伸缩杆固接有疏通机构,所述疏通机构包括设于两个伸缩杆顶端的安装板,所述安装板的底部设有竖直连杆,所述竖直连杆的底部设有横板,所述横板的下表面均匀安装有若干探针。
进一步的,所述竖直连杆的顶端连接有由电机驱动的限位滑块,所述限位滑块处于安装板上表面。
进一步的,所述安装板上开有一条与竖直连杆相配合的长条形通孔。
进一步的,每两个所述探针间的距离与每两个蒸镀坩埚上的出气孔间的距离相等。
进一步的,所述液压杆置于伸缩杆内。
进一步的,所述探针与横板间通过螺纹固接。
本实用新型在使用时若蒸镀坩埚的出气孔出现堵塞现象,通过电机驱动滑块沿着安装板左右滑动,调整探针的位置,使探针与蒸镀坩埚上的出气孔的位置相对应,再通过液压杆驱动伸缩杆上下伸缩,探针对出气孔内的堵塞材料进行疏通。本实用新型可以在不打开腔体的情况下处理出气孔堵塞的问题,不需要停机,保证生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为本实用新型蒸镀坩埚的结构放大示意图。
图中:1、承载平台;2、蒸镀坩埚;3、液压杆;4、伸缩杆;5、安装板;6、电机;7、滑块;8、长条形通孔;9、竖直连杆;10、横板;11、探针;12、出气孔。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1和2所示,本实施例提供一种LED蒸镀机的蒸发源组件,包括承载平台和均匀设在承载平台上的若干蒸镀坩埚,所述承载平台上方通过两个由液压杆驱动的伸缩杆固接有疏通机构,所述疏通机构包括设于两个伸缩杆顶端的安装板,所述安装板的底部设有竖直连杆,所述竖直连杆的底部设有横板,所述横板的下表面均匀安装有若干探针,可以在不打开腔体的情况下处理出气孔堵塞的问题,不需要停机,保证生产效率。
竖直连杆的顶端连接有由电机驱动的限位滑块,限位滑块处于安装板上表面,可以带动竖直连杆沿安装板滑动,安装板上开有一条与竖直连杆相配合的长条形通孔,便于竖直连杆随着滑块的滑动而滑动,每两个探针间的距离与每两个蒸镀坩埚上的出气孔间的距离相等,保证探针可以与出气孔的位置相对应,便于处理出气孔的堵塞问题,液压杆置于伸缩杆内,探针与横板间通过螺纹固接,拆卸方便,便于更换和维护。
以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例,毋庸置疑,对于本领域的普通技术人员,在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下,可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此,上述附图和描述在本质上是说明性的,不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。
Claims (6)
1.一种LED蒸镀机的蒸发源组件,包括承载平台和均匀设在承载平台上的若干蒸镀坩埚,其特征在于:所述承载平台上方通过两个由液压驱动的伸缩杆固接有疏通机构,所述疏通机构包括设于两个伸缩杆顶端的安装板,所述安装板的底部设有竖直连杆,所述竖直连杆的底部设有横板,所述横板的下表面均匀安装有若干探针。
2.根据权利要求1所述的一种LED蒸镀机的蒸发源组件,其特征在于:所述竖直连杆的顶端连接有由电机驱动的限位滑块,所述限位滑块处于安装板上表面。
3.根据权利要求1所述的一种LED蒸镀机的蒸发源组件,其特征在于:所述安装板上开有一条与竖直连杆相配合的长条形通孔。
4.根据权利要求1所述的一种LED蒸镀机的蒸发源组件,其特征在于:每两个所述探针间的距离与每两个蒸镀坩埚上的出气孔间的距离相等。
5.根据权利要求1所述的一种LED蒸镀机的蒸发源组件,其特征在于:所述液压杆置于伸缩杆内。
6.根据权利要求1所述的一种LED蒸镀机的蒸发源组件,其特征在于:所述探针与横板间通过螺纹固接。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN108237119A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-07-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 有机源蒸发孔清理设备、系统及其清理方法 |
CN113373413A (zh) * | 2021-06-10 | 2021-09-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机 |
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CN113373413B (zh) * | 2021-06-10 | 2022-09-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸发源组件、蒸发源系统及蒸镀机 |
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