CN101928930B - 真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

一种真空镀膜机，其包括装载腔室、镀膜腔室及卸载腔室，镀膜腔室两端具有入料口及出料口。装载腔室与入料口连接，装载腔室内设装载架、第一驱动机构及传输装置。装载架承载多个水平放置的相互平行排列的载盘，第一驱动机构固定于装载腔室内，第一驱动机构与装载架相连接，并驱动装载架做下降运动，且能够将各载盘对准入料口，传输装置将对准入料口的载盘运入入料口。卸载腔室与出料口连接，卸载腔室内设卸载架及第二驱动机构。卸载架用于将从出料口出来的多个载盘按层水平排列，第二驱动机构固定于卸载腔室内，第二驱动机构与卸载架相连接，并驱动卸载架做上升运动。该发明的真空镀膜机在装载及卸载时均批量进行，可有效减少人力及提高生产效率。

Description

真空镀膜机

技术领域

本发明涉及一种真空镀膜机。

背景技术

现有的真空镀膜机使用时，在装入及卸下装载有待镀工件的载盘时，每一个载盘都需要人工将其取出，放置一侧，再将下一个载盘装入真空镀膜机。此种镀膜机在使用时由于每次都需要人工将载盘取出、置入、拿上拿下，所以大大的增加了人力的消耗及影响了加工的连续性，从而导致生产效率低，人工耗费大。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可提高生产效率的真空镀膜机。

一种真空镀膜机，其包括镀膜腔室，所述镀膜腔室两端具有入料口及出料口。所述真空镀膜机还包括装载腔室及卸载腔室。所述装载腔室与所述入料口连接。所述装载腔室内设有装载架、第一驱动机构及传输装置。所述装载架承载多个水平放置的相互平行排列的载盘。所述第一驱动机构固定于所述装载腔室内，所述第一驱动机构与所述装载架相连接，并驱动所述装载架做下降运动，且能够将各载盘对准所述入料口。所述传输装置用于将对准所述入料口的载盘运入所述入料口。所述卸载腔室与所述出料口连接，所述卸载腔室内设有卸载架及第二驱动机构。所述卸载架用于将从所述出料口出来的多个载盘按层水平排列。所述第二驱动机构固定于所述卸载腔室内。所述第二驱动机构与所述卸载架相连接，并驱动所述卸载架做上升运动。

该发明提供的真空镀膜机在装载时按批装载，卸载时将多个载盘依序放置，可以等一批产品完全生产完后再取下，从而可有效减少人力及提高生产效率。

附图说明

图1为本发明提供的真空镀膜机的示意图。

图2为图1的真空镀膜机的内部示意图。

图3为图1的真空镀膜机工作状态示意图。

具体实施方式

请参见图1及图2，本发明实施方式提供的一种真空镀膜机100，所述真空镀膜机100自一端向另一端依次设有装载腔室10、镀膜腔室20及卸载腔室30。所述镀膜腔室20两端设有入料口21及出料口22。所述装载腔室10与所述入料口21连接。所述卸载腔室30与所述出料口22连接。所述镀膜腔室20内安装有第一传感器23、第二传感器24及传输带25，所述第一传感器23用于感测承载待镀工件的载盘200是否完全进入镀膜腔室20。所述第一传感器23可以采用位置传感器或位移传感器。本实施方式中，所述第一传感器23采用位置传感器。当所述第一传感器23感测到载盘200完全进入所述镀膜腔室20内时，所述第一传感器23发出第一信号关闭所述入料口21。所述第二传感器24用于感测所述载盘200是否完全离开所述镀膜腔室20。所述第二传感器24可以采用位置传感器或位移传感器。本实施方式中，所述第二传感器24采用位置传感器。当所述第二传感器24感测到所述载盘200完全离开所述镀膜腔室20时，所述第二传感器24发出第二信号关闭所述出料口22，并打开所述入料口21。当然，所述镀膜腔室20也可以不包含所述第一传感器23及第二传感器24，直接采用人工控制所述入料口21及所述出料口22的开闭。本实施方式中，为了实现自动化连续生产，所以采用第一传感器23及第二传感器24。所述传输带25用于带动承载工件的载盘200在所述镀膜腔室20内部运动。

所述装载腔室10具有装载腔壁11，所述装载腔壁11采用透明玻璃，便于观察所述装载腔室10内部的工作状态。当然所述装载腔室10的装载腔壁11也可以采用不透明材料制成，通过安装观察窗实现对所述装载腔室10内部的工作状态的监控。本实施方式中，所述装载腔壁11开设有一装载连接口110，所述装载连接口110与所述入料口21尺寸相同，并与所述入料口21连通。所述装载腔壁11内设有装载架12、第一驱动机构13、第三传感器14、传输装置15、清洁装置16。

所述装载架12用于承载多个水平放置的相互平行排列的载盘200。所述装载架12可以利用平板承载载盘200或利用支杆支撑所述载盘200。本实施方式中，所述装载架12从上到下等间距排列有多个相互平行的承载板120。所述载盘200放置于所述承载板120上。所述装载架12包括四根支撑杆12a。所述四个支撑杆12a按矩形排列。所述承载板120包括固定部121及承载部122。所述固定部121固定在所述装载架12的四根支撑杆12a上。所述承载部122为矩形板状结构，用于承载所述载盘200。为了防止所述承载板120运动时与所述传输装置15干涉，所述承载部122可以设计成能够穿过所述传输装置15空隙的形状，例如采用较窄的板或四个水平的杆结构。所述承载部122也可以设计成具有可以让传输装置15穿过的形状，例如将所述承载部122设计成两块板或在其中间开设孔。本实施方式中，将所述承载部122设计成较窄的板状结构，且承载部122的宽度L1小于所述载盘200的宽度L2，使所述载盘200悬空的部分可以与所述传输装置15相接触。为了便于所述载盘200在所述承载板120上滑动，所述承载板120上还安装多个水平排列的滚轮123。

所述第一驱动机构13用于驱动所述装载架12做下降运动，并能够将各载盘200依次对准所述入料口21。本实施方式中，所述第一驱动机构13能够将各载盘200依次对准所述装载连接口110。所述第一驱动机构13可以采用液压、气压、螺杆或齿轮等传动方式进行传动。本实施方式中，所述第一驱动机构13采用气压缸进行传动。所述第一驱动机构13可以手动控制，也可以根据装载架12的每个承载板120对准所述入料口21需要的时间、载盘200脱离承载板120需要的时间及载盘200镀膜的时间，利用编程设置所述第一驱动机构13动作的时间点，还可以通过感测器感测所述装载架12相对所述入料口21的位置，来控制所述第一驱动机构13。本实施方式中，所述第一驱动机构13与所述第一传感器23及第三传感器14电连接。所述第一驱动机构13利用所述第一传感器23的第一信号及第三传感器14感测所述装载架12相对所述装载连接口110的位置进行动作。当所述第一驱动机构13获取到所述第一传感器23的第一信号时，所述第一驱动机构13驱动所述装载架12做下降运动。

所述第三传感器14与所述第一驱动机构13、传输装置15、清洁装置16电连接，用于感测所述载盘200相对所述入料口21的位置。本实施方式中，所述第三传感器14用于感测所述载盘200相对所述装载连接口110的位置。所述第三传感器14可以采用位置传感器或位移传感器。本实施方式中，所述第三传感器14采用光电位置传感器。所述第三传感器14固定在所述装载腔壁11上。当所述装载架12的各承载板120承载的载盘200到达所述装载连接口110的位置时，第三传感器14向所述第一驱动机构13、传输装置15、清洁装置16发出第三信号，当所述第一驱动机构13获得第三信号后停止运动。

所述传输装置15用于将对准所述入料口21的载盘200运入所述入料口21。本实施方式中，所述传输装置15用于将对准所述装载连接口110的载盘200运入所述入料口21。所述传输装置15可以设置于承载板120上，也可以单独固定到装载腔室10内。本实施方式中，所述传输装置15单独安装于所述装载腔室10内。所述传输装置15可以采用辊子或传动带的方式传输。本实施方式中，所述传输装置15是两对水平排布的辊子150并由两个马达151驱动。每对辊子150内采用皮带153传动，以保持同步并节省马达151的数量。所述两对辊子150之间的间隙大于所述承载部122的宽度L1,且小于所述载盘200的宽度L2。从而防止所述承载板120运动时与各对辊子150之间的干涉，且可以传输所述载盘200。所述马达151固定于所述装载腔室10的底部。所述传输装置15可以采用与所述第一驱动机构13相同的控制方式。本实施方式中，所述传输装置15与所述第一传感器23、第二传感器24及第三传感器14电连接。当所述传输装置15接收到所述第三传感器14发出的第三信号时，所述马达151驱动所述辊子150转动，将所述载盘200运入所述入料口21。当获取到所述第一传感器23的第一信号时停止传输动作。当所述载盘200完全离开所述镀膜腔室20时，所述传输装置15将接收到所述第二传感器24发出的第二信号，并再次进行传输作业。

所述清洁装置16用于将对准所述入料口21的载盘200进行清洁。本实施方式中，所述清洁装置16用于将对准所述装载连接口110的载盘200进行清洁。本实施方式中，所述清洁装置16是安装于所述装载连接口110顶部的去除静电的去离子风枪。当然，所述清洁装置16还可以附加其他清洗机构。所述清洁装置16可以采用与所述第一驱动机构13相同的控制方式。本实施方式中，所述清洁装置16与所述第一传感器23、第二传感器24及第三传感器14电连接。当所述传输装置15接收到所述第三传感器14发出的第三信号时，所述清洁装置16进行清洁作业。当获取到所述第一传感器23的第一信号时停止清洁作业。当所述载盘200完全离开所述镀膜腔室20时，所述清洁装置16将接收到所述第二传感器24发出的第二信号，并再次进行清洁作业。

所述卸载腔室30具有卸载腔壁31，所述卸载腔壁31采用透明玻璃，便于观察所述卸载腔室30内部的工作状态。当然所述卸载腔室30的卸载腔壁31也可以采用不透明材料制成，通过安装观察窗实现对所述卸载腔室30内部的工作状态的监控。本实施方式中，所述卸载腔室30的卸载腔壁31开设有一卸载连接口310，所述卸载连接口310与所述出料口22尺寸相同，并与所述出料口22连通。所述卸载腔室30的卸载腔壁31内设有卸载架32、第二驱动机构33及第四传感器34。所述卸载架32用于将从所述出料口22出来的多个载盘200按层装载于所述卸载架32。本实施方式中，所述卸载架32采用与所述装载架12相同的结构，在此不再赘述。所述卸载架32包括多个从上到下等间距水平排列的卸载板320。所述承载板320上还安装有多个滚轮322，便于所述载盘200在所述卸载板320表面滑动，提高装载效率。

所述第二驱动机构33用于驱动所述卸载架32做上升运动，且能够将所述卸载板320依次对准所述出料口22。所述第二驱动机构33可以采用液压、气压、螺杆或齿轮等传动方式进行传动。本实施方式中，所述第二驱动机构33采用气压缸进行传动。所述第二驱动机构33能够将各卸载板320依次对准所述卸载连接口310。所述第二驱动机构33可以采用与所述第一驱动机构13相同的方式驱动。本实施方式中，所述第二驱动机构33与所述第二传感器24、第四传感器34电连接。所述第二驱动机构33通过所述第二传感器24的第二信号及第四传感器34感测所述卸载架32相对所述卸载连接口310的位置进行动作。当所述第二驱动机构33获取到所述第二传感器24的第二信号时，所述第二驱动机构33驱动所述卸载架32做上升运动。

所述第四传感器34用于感测所述卸载板320相对所述出料口22的位置。本实施方式中，所述第四传感器34用于感测所述卸载板320相对所述卸载连接口310的位置。所述第四传感器34可以采用位置传感器或位移传感器。本实施方式中，所述第四传感器34采用光电位置传感器。所述第四传感器34固定在所述卸载腔壁31上。当所述卸载板320到达对应所述卸载连接口310的位置时，所述第四传感器34向所述第二驱动机构33发出第四信号，当所述第二驱动机构33获得第四信号后停止运动。

请参阅图1及图3，当所述真空镀膜机100开始工作时，所述第一驱动机构13驱动所述装载架12做下降运动，当所述第三传感器14感测到所述装载板120到达所述装载连接口110的位置时，所述第三传感器14向所述第一驱动机构13、传输装置15、清洁装置16发出第三信号，当所述第一驱动机构13获得第三信号后停止运动。所述传输装置15的马达151带动所述辊子150转动开始进行传输作业，同时所述清洁装置16开始进行清洁作业。

当所述第一传感器23感测到载盘200完全进入所述镀膜腔室20内时，所述第一传感器23发出第一信号关闭所述入料口21。同时所述传输装置15停止传输作业，所述清洁装置16停止清洁作业，所述第一驱动机构13接收到所述第一信号后驱动所述装载架12做下降运动，将下一个装载板120下降到到达所述装载连接口110的位置，为下次镀膜作准备。

当所述第二驱动机构33获取所述第二传感器24的第二信号时，所述第二驱动机构33驱动所述卸载架32做上升运动，当所述第四传感器34感测到所述卸载板320到达所述卸载连接口310的位置时，所述第四传感器34向所述第二驱动机构33发出第四信号，所述第二驱动机构33获得控制信号后停止运动。

当所述镀膜腔室20对所述载盘200上的工件进行完镀膜作业后，所述载盘200从所述镀膜腔室20传出。当所述第二传感器24感测到所述载盘200完全从所述镀膜腔室20离开时，发出第二信号关闭所述出料口22。当所述第二驱动机构33获取到所述第二传感器24发出的第二信号时，驱动所述卸载架32做上升运动，同时所述传输装置15将装载腔室10内准备好的载盘200进行传输，所述清洁装置16进行清洁，开始新的装载、卸载作业。

该发明提供的真空镀膜机在装载时按批装载，卸载时将多个载盘依序放置，可以等一批产品完全生产完后再取下，从而可有效减少人力及提高生产效率。

本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。

Claims (9)

1.一种真空镀膜机，其包括镀膜腔室，所述镀膜腔室两端具有入料口及出料口，其特征在于，所述真空镀膜机还包括装载腔室、卸载腔室、第一传感器及第二传感器，所述装载腔室与所述入料口连接，所述装载腔室内设有装载架、第一驱动机构及传输装置，所述装载架承载多个水平放置的相互平行排列的载盘，所述第一驱动机构固定于所述装载腔室内，所述第一驱动机构与所述装载架相连接，并驱动所述装载架做下降运动，且能够将各载盘对准所述入料口，所述传输装置用于将对准所述入料口的载盘运入所述入料口，所述卸载腔室与所述出料口连接，所述卸载腔室内设有卸载架及第二驱动机构，所述卸载架用于将从所述出料口出来的多个载盘按层水平排列，所述第二驱动机构固定于所述卸载腔室内，所述第二驱动机构与所述卸载架相连接，并驱动所述卸载架做上升运动；所述第一传感器设置于所述镀膜腔室内且与所述第一驱动机构及传输装置电连接，所述第一传感器用于感测所述载盘是否完全进入所述镀膜腔室，当感测到所述载盘完全进入所述镀膜腔室内时，所述第一传感器发出第一信号关闭所述入料口同时所述传输装置停止传输作业；所述第二传感器设置于所述镀膜腔室内且与所述传输装置电连接，所述第二传感器用于感测所述载盘是否完全离开所述镀膜腔室，当感测到所述载盘完全离开所述镀膜腔室时，所述第二传感器发出第二信号关闭所述出料口同时所述第二驱动机构驱动所述卸载架做上升运动。

2.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述装载腔室还包括清洁装置，所述清洁装置设置于所述入料口周围，所述清洁装置用于将对准所述入料口的载盘进行清洁。

3.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述装载腔室还包括第三传感器，其用于感测所述载盘相对所述入料口的位置，所述第三传感器与所述第一驱动机构及传输装置电连接，所述卸载腔室还包括第四传感器，其用于感测所述卸载架的卸载板相对所述出料口的位置，所述第四传感器与所述第二驱动机构电连接。

4.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述第一传感器及第二传感器采用位移传感器或位置传感器。

5.如权利要求3所述的真空镀膜机，其特征在于，所述第三传感器及第四传感器采用位移传感器或位置传感器。

6.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述装载架包括沿所述装载架运动方向按层排列的多个承载板，所述载盘放置于所述承载板上。

7.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述装载架还包括多个滚轮，所述载盘放置于所述滚轮上。

8.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述传输装置采用辊子或传动带的方式传输。

9.如权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述装载腔室及卸载腔室的腔壁采用透明材料制成。

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