CN101920438B - 一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边滚花，去除连接豁口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
Description
技术领域
本发明属于钽材的机械加工工艺，特别是涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺。
背景技术
物理气相沉积（PVD）是半导体芯片生产过程中最关键的工艺之一，其目的是把金属或金属的化合物以薄膜的形式沉积到硅片或其他的基板上，并随后通过光刻与腐蚀等工艺的配合，最终形成半导体芯片中复杂的配线结构。物理气相沉积是通过溅射机台来完成的，溅射钽环件就是用于上述工艺中的一个非常重要的关键耗材。
溅射钽环件在半导体工艺中的主要作用有两点：
第一：约束溅射粒子的运动轨迹，起到聚焦的作用；
第二：吸附溅射过程中产生的大的颗粒物，起到净化的作用。
由于溅射钽环件的特殊使用环境，因而其对表面滚花的要求极为严格，具体为：表面滚花为８０TPI凸出的菱形，既在一英寸范围内有８０道花纹，滚花均匀，表面无可视平点。但是，在实际生产中，存在如下难点：
第一：环件为开口环件，表面滚花不但要求纹路一致，并要求深浅一致：
第二：环件侧边为圆弧形；
第三：圆弧要求滚花和表面滚花一致。
目前，溅射钽环件内外表面的滚花只能在国外生产，国内还未有相关的成熟技术存在。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的缺陷，提供一种能够生产出纹理结构满足半导体用户使用要求的溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺。
为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：
一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其特征在于工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边圆弧滚花，去除连接豁口即可；
上述制备的钽条表面光滑；
上述切割连接豁口是指将钽条两端分别切割成相互配合的凸出部分和凹进部分；
上述酸洗是指用体积比为5：2：3的HCl 、HF和H2O混合溶液浸泡，浸泡时间2～5分钟；
上述卷圆时在钽条的上下表面垫橡胶皮，控制圆度≤1.0mm；
上述连接豁口的连接是指利用油压机和专用压接工装，使钽环件两端的凸出部分和凹进部分配合连接，压装时要在钽环件上下表面垫橡胶皮；
所述的专用压接工装是由T形支架、压块和内衬芯块组成，钽环件置于内衬芯块上，利用压块压装；
上述整形控制圆度≤0.2mm；
上述侧边圆弧滚花采用普通斜纹滚花轮，通过改变刀架角度，分7次完成整个圆弧的滚花，刀架角度依次为：45°、60°、75°、90°、105°、120°和135°。
通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
附图说明
图1为本发明开口溅射钽环件的结构示意图；
图2为图1的内外表面的纹理示意图；
图3为图1中侧边纹理示意图；
图4为钽条连接豁口的结构示意图；
图5为采用专业压装工件卷圆时加工示意图；
图6为侧边圆弧滚花示意图。
具体实施方式
本发明溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花的具体工艺步骤如下：
1、制备钽条
按照生产要求制备钽条，为了满足后续工艺的顺利进行，制备的钽条要表面光滑备钽条，无划伤、坑点等缺陷。
2、切割连接豁口
采用线切割，将钽条两端分别切割成相互配合的凸出部分和凹进部分，如图4所示，此加工要保证精度在±0.1mm，使装配连接可靠。
3、酸洗
用HCl ：HF：H2O＝5：2：3的溶液浸泡钽条，浸泡时间2～5分钟，去除表面氧化层。
4、卷圆
利用精密卷圆机卷圆，控制圆度≤1.0mm，卷圆时注意保护表面，在钽条上下表面垫1.5mm的橡胶皮。
5、将连接豁口连接
利用油压机和专用压接工装，使钽环件两端的凸出部分和凹进部分配合连接，压装时要在钽环件上下表面垫橡胶皮。
上述专用压接工装是由T形支架4、压块2和内衬芯块1组成，钽环件3置于内衬芯块1上，利用压块2压装。
6、整形
焊压接环件进行整形，保证后期滚花要求，圆度≤0.2mm。
7、内外表面滚花
内外表面滚花必须均匀一致，表面没有可视点。
8、车削侧边圆弧
加工设备为普通车床，先车削大概轮廓，然后利用专用圆弧车刀车削。
9、侧边圆弧滚花：侧边圆弧滚花所用滚花轮为普通斜纹滚花轮，通过改变刀架角度，分7次完成整个圆弧的滚花，刀架角度依次为：45°、60°、75°、90°、105°、120°和135°，见图6示意。
10、去除连接豁口
完成表面滚花后，为了实现端头滚花，将豁口切断，切断尺寸为：6.35mm。
Claims (5)
1.一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其特征在于工艺过程为：首先制备钽条，将钽条两端分别切割成相互配合的凸出部分和凹进部分作为连接豁口，酸洗，卷圆控制圆度≤1.0mm，将连接豁口利用油压机和专用压接工装，使钽环件两端的凸出部分和凹进部分配合连接，整形控制圆度≤0.2mm，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边圆弧滚花，最后去除连接豁口，
其中侧边圆弧滚花采用普通斜纹滚花轮，通过改变刀架角度，分7次完成整个圆弧的滚花，刀架角度依次为：45o、60o、75o、90o、105o、120o和135o，
所述的专用压接工装是由T形支架（4）、压块（2）和内衬芯块（1）组成，钽环件（3）置于内衬芯块（1）上，利用压块（2）压装。
2.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其特征是：上述制备的钽条表面光滑。
3.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其特征是：上述酸洗是指用体积比为5：2：3的HCl 、HF和H2O混合溶液浸泡，浸泡时间2～5分钟。
4.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其特征是：上述卷圆时在钽条的上下表面垫橡胶皮。
5.按照权利要求1所述的溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其特征是：在进行连接豁口的连接压装时要在钽环件上下表面垫橡胶皮。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010258811 CN101920438B (zh) | 2010-08-20 | 2010-08-20 | 一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010258811 CN101920438B (zh) | 2010-08-20 | 2010-08-20 | 一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101920438A CN101920438A (zh) | 2010-12-22 |
| CN101920438B true CN101920438B (zh) | 2012-01-11 |
Family
ID=43335789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201010258811 Expired - Fee Related CN101920438B (zh) | 2010-08-20 | 2010-08-20 | 一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101920438B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106493525A (zh) * | 2016-12-23 | 2017-03-15 | 有研亿金新材料有限公司 | 一种溅射钛环的制备方法 |
| CN108942110B (zh) * | 2018-08-21 | 2019-11-05 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 与靶材配合使用的环件肩部滚花的加工工艺 |
| CN112958997A (zh) * | 2021-02-18 | 2021-06-15 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种80tpi钽环件修复再利用的方法 |
| CN115319399A (zh) * | 2022-08-26 | 2022-11-11 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种半导体溅射钽环的修复方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6955748B2 (en) * | 2002-07-16 | 2005-10-18 | Honeywell International Inc. | PVD target constructions comprising projections |
| AU2002368353A1 (en) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Honeywell International Inc. | Die cast sputter targets |
| JP2006519315A (ja) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | 物理蒸着チャンバで使用するように形成されたコイル構造及びコイル構造の形成方法 |
| US20090194414A1 (en) * | 2008-01-31 | 2009-08-06 | Nolander Ira G | Modified sputtering target and deposition components, methods of production and uses thereof |
| CN101565819A (zh) * | 2009-06-04 | 2009-10-28 | 西北稀有金属材料研究院 | 磁控溅射环 |
| CN201538814U (zh) * | 2009-11-12 | 2010-08-04 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 钽溅射环组件 |
-
2010
- 2010-08-20 CN CN 201010258811 patent/CN101920438B/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101920438A (zh) | 2010-12-22 |
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| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
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