CN112958997A - 一种80tpi钽环件修复再利用的方法 - Google Patents

一种80tpi钽环件修复再利用的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112958997A
CN112958997A CN202110190365.5A CN202110190365A CN112958997A CN 112958997 A CN112958997 A CN 112958997A CN 202110190365 A CN202110190365 A CN 202110190365A CN 112958997 A CN112958997 A CN 112958997A
Authority
CN
China
Prior art keywords
80tpi
tantalum
ring piece
tantalum ring
knurling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110190365.5A
Other languages
English (en)
Inventor
姚力军
边逸军
潘杰
王学泽
陈林华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ningbo Jiangfeng Electronic Material Co Ltd
Original Assignee
Ningbo Jiangfeng Electronic Material Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ningbo Jiangfeng Electronic Material Co Ltd filed Critical Ningbo Jiangfeng Electronic Material Co Ltd
Priority to CN202110190365.5A priority Critical patent/CN112958997A/zh
Publication of CN112958997A publication Critical patent/CN112958997A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P6/00—Restoring or reconditioning objects

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

本发明提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，所述方法包括以下步骤：将所述80TPI钽环件固定于机床的专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认；对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理；对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理。所述方法可以对80TPI钽环件进行高效修复，修复后的80TPI钽环件的性能基本可以达到新80TPI钽环件的同等水平。

Description

一种80TPI钽环件修复再利用的方法
技术领域
本发明属于靶材加工领域，涉及一种80TPI钽环件修复再利用的方法。
背景技术
在半导体PVD镀膜生产过程中，为了提高薄膜的均匀性，通常会使用一些环件产品配合靶材一起使用，比如在PVD镀钽薄膜时候，会使用钽环配合钽靶材一起使用。在溅射过程中，会有一些钽原子掉落在钽环上面，这就要求钽环表面任何一个地方都很粗糙且均匀，这样覆着在钽环上面的钽原子不至于掉落下来。随着使用时间的增长，钽环表面覆着的钽原子越来越多，钽环件表面越来越光滑,逐渐不能覆着钽原子了，这个时候钽环就不能使用了，正是由于钽环使用过程的高要求，所以钽环制作很复杂，表面滚花要求很高。
目前钽环通常使用以后,由于钽环件上面覆盖了大量的沉积物,导致钽环报废不能再使用。目前25TPI型号的钽环件环有标准的修复工艺，但是80TPI钽环件的滚花处理前的要求要高于25TPI型号的钽环件，因此80TPI钽环件的修复工艺还不完善。
发明内容
为解决现有技术中存在的技术问题，本发明提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，所述方法可以对80TPI钽环件进行高效修复，修复后的80TPI钽环件的性能基本可以达到新80TPI钽环件的同等水平。
为达到上述技术效果，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，所述方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理。
本发明中，80TPI钽环件修复方法的原理在于：环件使用后表面有一层附着层，通过车削抛光去除附着层，并且保证环件的厚度，在进行滚花后，产品能够再度使用。
作为本发明优选的技术方案，所述专用夹具为环件专用夹具。
作为本发明优选的技术方案，所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.2mm，如0mm、0.01mm、0.02mm、0.05mm、0.08mm、0.10mm、0.12mm、0.15mm或0.18mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度大于2.2mm，如2.3mm、2.4mm、2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm或3.0mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行。
作为本发明优选的技术方案，所述滚花处理的压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致。
本发明中，所述滚花处理的方法可以与80TPI钽环件的原有加工工艺相同或不同，但其最终形成的滚花其粗糙度需要达到原有80TPI钽环件的滚花的粗糙度，以及原有80TPI钽环件的滚花的压降量。
作为本发明优选的技术方案，所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理。
本发明中，所述喷砂处理的具体方法，以及喷砂粗糙度的要求参照原有80TPI钽环件的加工工艺进行。
作为本发明优选的技术方案，对所述喷砂处理后的80TPI钽环件进行清洗。
作为本发明优选的技术方案，所述清洗包括依次进行酸洗和水洗。
作为本发明优选的技术方案，上述80TPI钽环件修复再利用的方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的环件专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认，确保所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.2mm；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度大于2.2mm；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行，压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致；
对所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理；
对所述喷砂处理后的80TPI钽环件依次进行酸洗和水洗。
与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：
本发明提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，所述方法可以对80TPI钽环件进行高效修复，修复后的80TPI钽环件的性能基本可以达到新80TPI钽环件的同等水平。
附图说明
图1本发明具体实施方式提供的80TPI钽环件修复再利用的方法的流程示意图。
下面对本发明进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本发明的简易例子，并不代表或限制本发明的权利保护范围，本发明的保护范围以权利要求书为准。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
为更好地说明本发明，便于理解本发明的技术方案，本发明的典型但非限制性的实施例如下：
实施例1
本实施例提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，其流程如图1所示，所述方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的环件专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认，确保所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.2mm；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度为5.0mm；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行，压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致；
对所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理；
对所述喷砂处理后的80TPI钽环件依次进行酸洗和水洗。
实施例2
本实施例提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，其流程如图1所示，所述方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的环件专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认，确保所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.15mm；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度为3.5mm；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行，压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致；
对所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理；
对所述喷砂处理后的80TPI钽环件依次进行酸洗和水洗。
实施例3
本实施例提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，其流程如图1所示，所述方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的环件专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认，确保所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.10mm；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度为3.0mm；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行，压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致；
对所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理；
对所述喷砂处理后的80TPI钽环件依次进行酸洗和水洗。
实施例4
本实施例提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，其流程如图1所示，所述方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的环件专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认，确保所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.05mm；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度为2.5mm；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行，压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致；
对所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理；
对所述喷砂处理后的80TPI钽环件依次进行酸洗和水洗。
使用实施例1-4以及未修复的钽环件和全新的钽环件作为对比，在相同条件下对相同型号的钽靶材进行PVD镀膜。使用台阶仪对镀膜的均匀性相对偏差进行测试，其结果如表1所示。钽靶材的型号为durasource。
表1
均匀性相对偏差/％
实施例1 0.33～-0.37
实施例2 0.29～-0.31
实施例3 0.31～-0.35
实施例4 0.30～-0.33
未修复的钽环件 1.20～-1.52
全新的钽环件 0.30～-0.32
申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
以上详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明的思想，其同样应当视为本发明所公开的内容。

Claims (10)

1.一种80TPI钽环件修复再利用的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述专用夹具为环件专用夹具。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.2mm。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度大于2.2mm。
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行。
6.根据权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，所述滚花处理的压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致。
7.根据权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，对所述喷砂处理后的80TPI钽环件进行清洗。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述清洗包括依次进行酸洗和水洗。
10.根据权利要求1-9任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
将所述80TPI钽环件固定于机床的环件专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认，确保所述80TPI钽环件的内圈圆度不大于0.2mm；
对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理，所述车削抛光处理后所述80TPI钽环件的厚度大于2.2mm；
对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理，所述滚花处理按照所述80TPI钽环件的原有粗糙度要求进行，压降量与80TPI钽环件的原有滚花压降量一致；
对所述滚花处理后对所述80TPI钽环件的凸起部位进行喷砂处理；
对所述喷砂处理后的80TPI钽环件依次进行酸洗和水洗。
CN202110190365.5A 2021-02-18 2021-02-18 一种80tpi钽环件修复再利用的方法 Pending CN112958997A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110190365.5A CN112958997A (zh) 2021-02-18 2021-02-18 一种80tpi钽环件修复再利用的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110190365.5A CN112958997A (zh) 2021-02-18 2021-02-18 一种80tpi钽环件修复再利用的方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112958997A true CN112958997A (zh) 2021-06-15

Family

ID=76285148

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110190365.5A Pending CN112958997A (zh) 2021-02-18 2021-02-18 一种80tpi钽环件修复再利用的方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112958997A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115319399A (zh) * 2022-08-26 2022-11-11 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种半导体溅射钽环的修复方法

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5997107A (en) * 1995-03-10 1999-12-07 Mitsubishi Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha Regenerative control apparatus of electric vehicle, which obtains regenerative torque for brake from motor for running
CN101519767A (zh) * 2009-02-24 2009-09-02 宁波江丰电子材料有限公司 聚焦线圈修复再利用的方法
US7691461B1 (en) * 2002-04-01 2010-04-06 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Hybrid stent and method of making
CN101920435A (zh) * 2010-08-20 2010-12-22 宁夏东方钽业股份有限公司 溅射钽环件的制备工艺
CN101920438A (zh) * 2010-08-20 2010-12-22 宁夏东方钽业股份有限公司 一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺
CN201922266U (zh) * 2010-12-30 2011-08-10 宁波江丰电子材料有限公司 一种用于环状工件的夹具
JP5280589B1 (ja) * 2011-09-30 2013-09-04 Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 スパッタリング用タンタル製コイルの再生方法及び該再生方法によって得られたタンタル製コイル
CN104746021A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 宁波江丰电子材料股份有限公司 环件结构及其制造方法
US20160172215A1 (en) * 2014-12-12 2016-06-16 Tokai Carbon Korea Co., Ltd Method for repairing semiconductor processing components
CN106493525A (zh) * 2016-12-23 2017-03-15 有研亿金新材料有限公司 一种溅射钛环的制备方法
JP2017070283A (ja) * 2015-10-08 2017-04-13 凸版印刷株式会社 ピロールイミダゾール含有ポリアミドを用いた標的二本鎖核酸分子の濃縮方法およびキット
CN211438728U (zh) * 2019-10-18 2020-09-08 有研亿金新材料有限公司 一种溅射环的焊接组件

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5997107A (en) * 1995-03-10 1999-12-07 Mitsubishi Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha Regenerative control apparatus of electric vehicle, which obtains regenerative torque for brake from motor for running
US7691461B1 (en) * 2002-04-01 2010-04-06 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Hybrid stent and method of making
CN101519767A (zh) * 2009-02-24 2009-09-02 宁波江丰电子材料有限公司 聚焦线圈修复再利用的方法
CN101920435A (zh) * 2010-08-20 2010-12-22 宁夏东方钽业股份有限公司 溅射钽环件的制备工艺
CN101920438A (zh) * 2010-08-20 2010-12-22 宁夏东方钽业股份有限公司 一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺
CN201922266U (zh) * 2010-12-30 2011-08-10 宁波江丰电子材料有限公司 一种用于环状工件的夹具
JP5280589B1 (ja) * 2011-09-30 2013-09-04 Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 スパッタリング用タンタル製コイルの再生方法及び該再生方法によって得られたタンタル製コイル
CN103748258A (zh) * 2011-09-30 2014-04-23 吉坤日矿日石金属株式会社 溅射用钽制线圈的再生方法及通过该再生方法得到的钽制线圈
CN104746021A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 宁波江丰电子材料股份有限公司 环件结构及其制造方法
US20160172215A1 (en) * 2014-12-12 2016-06-16 Tokai Carbon Korea Co., Ltd Method for repairing semiconductor processing components
JP2017070283A (ja) * 2015-10-08 2017-04-13 凸版印刷株式会社 ピロールイミダゾール含有ポリアミドを用いた標的二本鎖核酸分子の濃縮方法およびキット
CN106493525A (zh) * 2016-12-23 2017-03-15 有研亿金新材料有限公司 一种溅射钛环的制备方法
CN211438728U (zh) * 2019-10-18 2020-09-08 有研亿金新材料有限公司 一种溅射环的焊接组件

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张英鸽: "《纳米毒理学》", 31 January 2010, 中国协和医科大学出版社 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115319399A (zh) * 2022-08-26 2022-11-11 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种半导体溅射钽环的修复方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10586687B2 (en) Method and apparatus for reproducing component of semiconductor manufacturing apparatus, and reproduced component
CN112958997A (zh) 一种80tpi钽环件修复再利用的方法
CN109207991B (zh) 一种轴套的修复工艺
CN111850482A (zh) 一种真空电镀pvd镀膜工艺
CN108103430B (zh) 一种电弧工艺铝熔射层表面尖端毛刺的控制方法
CN105695942B (zh) 环件结构及其制作方法
CN108893707A (zh) 铝压铸模具表面涂层处理工艺及具有涂层的铝压铸模具
CN114717513A (zh) 一种适用于物理气相沉积工艺的不锈钢部件的电弧熔射方法
JP2018014515A (ja) 静電チャック及びその製造方法並びに静電チャックの再生方法
CN113445001A (zh) 发动机气门耐磨降噪复合pvd涂层工艺
CN114559373B (zh) 一种铝合金零件通孔类损伤的修复方法
CN110983242A (zh) 一种航空发动机钛合金零件TiN涂层制备方法
KR20090075362A (ko) 금속재 도장 방법 및 그에 의해 도장된 부품
JP2009127088A (ja) 溶射用マスキング治具
CN112575298A (zh) 一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺
US20100112239A1 (en) Methods for repairing gas turbine engine components
CN118204713A (zh) 一种300mm钽环件的修复方法
CN114535186A (zh) 再生pecvd设备或dry etch设备腔体中的构件的方法
JP4999264B2 (ja) 薄膜製造装置及びその製造方法
CN110512253B (zh) 一种用于加热基座阳极氧化前的表面处理工艺
CN112959010A (zh) 一种靶材与铜背板的装配方法
CN111243934B (zh) 一种环件连接部的翻新方法
KR20060057571A (ko) Ｐｖｄ 부재 및 코일의 리퍼비싱 방법
CN215404483U (zh) 一种表面具有四棱台花纹的环件
CN110977779A (zh) 一种钛板表面喷砂工艺

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20210615

RJ01 Rejection of invention patent application after publication