CN101907946A - 触控面板线路单边外扩的方法 - Google Patents
触控面板线路单边外扩的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101907946A CN101907946A CN2010102521274A CN201010252127A CN101907946A CN 101907946 A CN101907946 A CN 101907946A CN 2010102521274 A CN2010102521274 A CN 2010102521274A CN 201010252127 A CN201010252127 A CN 201010252127A CN 101907946 A CN101907946 A CN 101907946A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- etching
- microns
- conductive material
- metal routing
- touch panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04112—Electrode mesh in capacitive digitiser: electrode for touch sensing is formed of a mesh of very fine, normally metallic, interconnected lines that are almost invisible to see. This provides a quite large but transparent electrode surface, without need for ITO or similar transparent conductive material
Abstract
本发明涉及一种触控面板线路单边外扩的方法,属于触控面板制作技术领域。本发明中透明导电材料上直接电镀金属导电材料,在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;此操作方法可控性强,工序流程简单,可以降低制造成本。光阻膜的宽度相对于金属走线的宽度进行外扩,有效保护金属走线不被侵蚀利于信号传输。
Description
技术领域
本发明涉及一种触控面板线路单边外扩的方法,属于触控面板制作技术领域。
背景技术
在加工触控面板过程中,很容易出现金属线路电极偏离导电区域端的现象。本发明通过采用光阻工艺可以对触控面板的不同深度层面进行光阻蚀刻得到相应的图案。比如,透明导电材料上直接电镀金属导电材料,在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;此操作方法可控性强,工序流程简单,可以降低制造成本。
对透明导电材料加工时,使用光阻技术对透明导电材料蚀刻形成网格图案非导电区域来降低蚀刻痕迹,减少蚀刻废液利于环保。电镀工艺与光阻工艺的有机结合,避免了用复杂的贴合工序来加工触控面板,从而有效降低触控面板的厚度和重量,提高透光度和触控敏感度。
发明内容
技术问题:本发明通过直接在透明导电材料上电镀金属导电材料,金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线,消除金属线路电极偏离导电区域端的现象。其中,光阻膜相对于金属走线单边外扩,保证金属走线的完整性利于电信号传输。本发明使用光阻技术对透明导电材料蚀刻得到网格图案非导电区域来降低蚀刻痕迹,减少蚀刻废液利于环保。
技术方案:本发明公开一种触控面板线路单边外扩的方法,包括如下步骤在无尘干燥条件下进行;
步骤一:在透明导电材料表面电镀金属导电材料;
步骤二:在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;在室温状态下,用硫酸双氧水混合溶液蚀刻金属导电材料得到金属走线;
步骤三:先在金属走线上贴光阻膜,其中,金属走线宽度小于光阻膜宽度;然后,曝光显影蚀刻透明导电材料;在40摄氏度温度下,用盐酸对透明导电材料蚀刻,形成感应线和网格图案非导电区域;
步骤四:用透明光学胶将铭板层贴合在金属走线和透明导电材料上。
上述步骤三中盐酸的摩尔浓度范围值在4.1MOL/L到4.5MOL/L之间;步骤二中硫酸双氧水混合液的摩尔浓度值是1MOL/L。步骤三中网格图案为方块矩阵;其中,单个方块蚀刻边长0.35毫米,蚀刻线宽60微米;步骤三中光阻膜的宽度相对于金属走线单边外扩5微米到10微米。所述光阻膜的厚度范围值在15微米到20微米之间。蚀刻反应时间为30秒钟到60秒钟。金属导电材料是铜;步骤二中金属走线线宽是50微米;透明导电材料是氧化铟锡。步骤四中透明光学胶的厚度范围值在50微米到100微米之间。最后,各线路图案成形后用光阻剂清除残余光阻膜,提高产品外观品质。
有益效果:本发明公开了一种触控面板线路单边外扩的方法,通过采用光阻工艺可以对触控面板的不同深度层面进行光阻蚀刻得到相应的图案,使用光阻蚀刻加工透明导电材料形成网格图案非导电区域来降低蚀刻痕迹,减少蚀刻废液利于环保;透明导电材料上直接电镀金属导电材料,在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线,避免金属线路电极偏离导电区域端的现象。光阻膜的宽度相对于金属走线的单边外扩5微米到10微米,能够使金属走线完好无损,有利于电信号传输。本发明操作可控性强,工序流程简单,可以降低制造成本。
附图说明:
图1是本发明的局部结构图案示意框图。
图2是本发明的局部网格图案非导电区域示意框图。
图3是本发明的制作流程示意框图。
具体实施方式
下面是本发明的具体实施例来进一步描述:
图3所示,本发明公开一种触控面板线路单边外扩的方法,包括如下步骤在无尘干燥条件下进行;
步骤一:在透明导电材料表面电镀金属导电材料;
步骤二:在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;在室温状态下,用硫酸双氧水混合溶液蚀刻金属导电材料得到金属走线;
步骤三:先在金属走线上贴光阻膜,其中,金属走线宽度小于光阻膜宽度;然后,曝光显影蚀刻透明导电材料;在40摄氏度温度下,用盐酸对透明导电材料蚀刻,形成感应线和网格图案非导电区域;
步骤四:用透明光学胶将铭板层贴合在金属走线和透明导电材料上。
上述步骤三中盐酸的摩尔浓度范围值在4.1MOL/L到4.5MOL/L之间;步骤二中硫酸双氧水混合液的摩尔浓度值是1MOL/L。步骤三中网格图案为方块矩阵;其中,单个方块蚀刻边长0.35毫米,蚀刻线宽60微米;步骤三中光阻膜的宽度比金属走线的单边外扩5微米到10微米。所述光阻膜的厚度范围值在15微米到20微米之间。蚀刻反应时间为30秒钟到60秒钟。金属导电材料是铜;透明导电材料是氧化铟锡。步骤四中透明光学胶的厚度范围值在50微米到100微米之间。
实施例1:
铭板层的厚度是0.7毫米;金属导电材料的厚度是0.05微米;透明导电材料的厚度是0.045微米;基板层的厚度是50微米,基板层是聚碳酸树脂。
触控面板线路单边外扩的方法,包括如下步骤在无尘干燥条件下进行;
步骤一:在透明导电材料表面电镀金属导电材料;
步骤二:在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;在室温状态下,用硫酸双氧水混合溶液蚀刻金属导电材料得到金属走线;
步骤三:先在金属走线上贴光阻膜,其中,单条金属走线上的光阻膜宽度是65微米;然后,曝光显影蚀刻透明导电材料;在40摄氏度温度下,用盐酸对透明导电材料蚀刻,形成感应线和网格图案非导电区域;
步骤四:用透明光学胶将铭板层贴合在金属走线和透明导电材料上。
上述步骤三中盐酸的摩尔浓度是4.1MOL/L;步骤二中硫酸双氧水混合液的摩尔浓度是1.0MOL/L。步骤三中网格图案为方块矩阵;其中,单个方块蚀刻边长0.35毫米,蚀刻线宽60微米。光阻膜的厚度是15微米。蚀刻反应时间为30秒钟。步骤四中透明光学胶的厚度是50微米。步骤二中单条金属走线线宽是50微米。
实施例2:
铭板层的厚度是1.8毫米;金属导电材料的厚度是0.1微米;透明导电材料的厚度是0.1微米;基板层的厚度是180微米,基板层是硬化玻璃。
触控面板线路单边外扩的方法,包括如下步骤在无尘干燥条件下进行;
步骤一:在透明导电材料表面电镀金属导电材料;
步骤二:在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;在室温状态下,用硫酸双氧水混合溶液蚀刻金属导电材料得到金属走线;
步骤三:先在金属走线上贴光阻膜,其中,单条金属走线上的光阻膜宽度是75微米;然后,曝光显影蚀刻透明导电材料;在40摄氏度温度下,用盐酸对透明导电材料蚀刻,形成感应线和网格图案非导电区域;
步骤四:用透明光学胶将铭板层贴合在金属走线和透明导电材料上。
上述步骤三中盐酸的摩尔浓度是4.5MOL/L;步骤二中硫酸双氧水混合液的摩尔浓度是1.0MOL/L。步骤三中网格图案为方块矩阵;其中,单个方块蚀刻边长0.35毫米,蚀刻线宽60微米;光阻膜的厚度是20微米。蚀刻反应时间为60秒钟。步骤四中透明光学胶的厚度是100微米。步骤二中单条金属走线线宽是50微米。
实施例3:
铭板层的厚度是1.1毫米;金属导电材料的厚度是0.09微米;透明导电材料的厚度是0.08微米;基板层的厚度是125微米,基板层是聚碳酸树脂。
触控面板线路单边外扩的方法,包括如下步骤在无尘干燥条件下进行;
步骤一:在透明导电材料表面电镀金属导电材料;
步骤二:在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;在室温状态下,用硫酸双氧水混合溶液蚀刻金属导电材料得到金属走线;
步骤三:先在金属走线上贴光阻膜,其中,单条金属走线上的光阻膜宽度是70微米;然后,曝光显影蚀刻透明导电材料;在40摄氏度温度下,用盐酸对透明导电材料蚀刻,形成感应线和网格图案非导电区域;
步骤四:用透明光学胶将铭板层贴合在金属走线和透明导电材料上。
上述步骤三中盐酸的摩尔浓度是4.3MOL/L;步骤二中硫酸双氧水混合液的摩尔浓度是1.0MOL/L。步骤三中网格图案为方块矩阵;其中,单个方块蚀刻边长0.35毫米,蚀刻线宽60微米;光阻膜的厚度是18微米。蚀刻反应时间为45秒钟。步骤四中透明光学胶的厚度是75微米。步骤二中单条金属走线线宽是50微米。
Claims (6)
1.一种触控面板线路单边外扩的方法,包括如下步骤,其特征在于:所述步骤在无尘干燥条件下进行;
步骤一:在透明导电材料表面电镀金属导电材料;
步骤二:在金属导电材料上贴光阻膜,曝光显影蚀刻形成金属走线;在室温状态下,用硫酸双氧水混合溶液蚀刻金属导电材料得到金属走线;
步骤三:先在金属走线上贴光阻膜,其中,金属走线宽度小于光阻膜宽度;然后,曝光显影蚀刻透明导电材料;在40摄氏度温度下,用盐酸对透明导电材料蚀刻,形成感应线和网格图案非导电区域;
步骤四:用透明光学胶将铭板层贴合在金属走线和透明导电材料上。
2.如权利要求1所述触控面板线路单边外扩的方法,其特征在于:所述步骤三中盐酸的摩尔浓度范围值在4.1MOL/L到4.5MOL/L之间;步骤二中硫酸双氧水混合液的摩尔浓度值是1MOL/L。
3.如权利要求1所述触控面板线路单边外扩的方法,其特征在于:所述光阻膜的厚度范围值在15微米到20微米之间;步骤三中网格图案为方块矩阵;其中,单个方块蚀刻边长0.35毫米,蚀刻线宽60微米;步骤三中光阻膜相对于金属走线单边外扩5微米到10微米。
4.如权利要求1所述触控面板线路单边外扩的方法,其特征在于:所述蚀刻反应时间为30秒钟到60秒钟。
5.如权利要求1所述触控面板线路单边外扩的方法,其特征在于:所述金属导电材料是铜;透明导电材料是氧化铟锡。
6.如权利要求1所述触控面板线路单边外扩的方法,其特征在于:所述步骤四中透明光学胶的厚度范围值在50微米到100微米之间。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010102521274A CN101907946A (zh) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | 触控面板线路单边外扩的方法 |
PCT/CN2011/078107 WO2012019528A1 (zh) | 2010-08-13 | 2011-08-08 | 触控面板线路单边外扩的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2010102521274A CN101907946A (zh) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | 触控面板线路单边外扩的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101907946A true CN101907946A (zh) | 2010-12-08 |
Family
ID=43263420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2010102521274A Pending CN101907946A (zh) | 2010-08-13 | 2010-08-13 | 触控面板线路单边外扩的方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101907946A (zh) |
WO (1) | WO2012019528A1 (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012019528A1 (zh) * | 2010-08-13 | 2012-02-16 | 牧东光电(苏州)有限公司 | 触控面板线路单边外扩的方法 |
CN102768586A (zh) * | 2011-05-06 | 2012-11-07 | 许明松 | 触控面板及其制造方法 |
CN103309510A (zh) * | 2013-06-08 | 2013-09-18 | 南昌欧菲光科技有限公司 | 触摸屏电极制造方法 |
CN107908304A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-04-13 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 一种触控线的走线方法 |
CN109992163A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-09 | 业成科技(成都)有限公司 | 触控感测模组及其制作方法以及应用其的电子装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1936705A (zh) * | 2005-08-23 | 2007-03-28 | 三星电子株式会社 | 光致抗蚀剂组合物及利用它制备薄膜晶体管基底的方法 |
CN101024484A (zh) * | 2007-03-23 | 2007-08-29 | 中国科学院光电技术研究所 | 实现表面等离子体结构成形的方法 |
CN101261560A (zh) * | 2008-04-17 | 2008-09-10 | 张树峰 | 触摸屏电极制造方法 |
TW201013488A (en) * | 2008-07-31 | 2010-04-01 | Gunze Kk | Planar element, and touch switch |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101365300A (zh) * | 2007-08-08 | 2009-02-11 | 富葵精密组件(深圳)有限公司 | 电路板导电线路的制作方法 |
JP2009129604A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Seiko Epson Corp | 表示装置及び有機el装置の製造方法、有機el装置及び電子機器 |
TW200941322A (en) * | 2008-03-28 | 2009-10-01 | Tpk Touch Solutions Inc | Manufacturing method for conducting films on two surfaces of transparent substrate of touch-control circuit |
CN101907946A (zh) * | 2010-08-13 | 2010-12-08 | 牧东光电(苏州)有限公司 | 触控面板线路单边外扩的方法 |
-
2010
- 2010-08-13 CN CN2010102521274A patent/CN101907946A/zh active Pending
-
2011
- 2011-08-08 WO PCT/CN2011/078107 patent/WO2012019528A1/zh active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1936705A (zh) * | 2005-08-23 | 2007-03-28 | 三星电子株式会社 | 光致抗蚀剂组合物及利用它制备薄膜晶体管基底的方法 |
CN101024484A (zh) * | 2007-03-23 | 2007-08-29 | 中国科学院光电技术研究所 | 实现表面等离子体结构成形的方法 |
CN101261560A (zh) * | 2008-04-17 | 2008-09-10 | 张树峰 | 触摸屏电极制造方法 |
TW201013488A (en) * | 2008-07-31 | 2010-04-01 | Gunze Kk | Planar element, and touch switch |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012019528A1 (zh) * | 2010-08-13 | 2012-02-16 | 牧东光电(苏州)有限公司 | 触控面板线路单边外扩的方法 |
CN102768586A (zh) * | 2011-05-06 | 2012-11-07 | 许明松 | 触控面板及其制造方法 |
CN103309510A (zh) * | 2013-06-08 | 2013-09-18 | 南昌欧菲光科技有限公司 | 触摸屏电极制造方法 |
CN103309510B (zh) * | 2013-06-08 | 2016-06-08 | 南昌欧菲光科技有限公司 | 触摸屏电极制造方法 |
CN107908304A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-04-13 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 一种触控线的走线方法 |
CN107908304B (zh) * | 2017-09-29 | 2021-06-01 | 信利(惠州)智能显示有限公司 | 一种触控线的走线方法 |
CN109992163A (zh) * | 2019-04-15 | 2019-07-09 | 业成科技(成都)有限公司 | 触控感测模组及其制作方法以及应用其的电子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012019528A1 (zh) | 2012-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101968697B (zh) | 制造网格图案型触控面板的方法 | |
US9532449B2 (en) | Double-sided patterned transparent conductive film and method for manufacturing the same | |
CN103257746B (zh) | 一种ogs触控屏制作方法 | |
CN103207702B (zh) | 触摸屏及其制造方法 | |
CN101907946A (zh) | 触控面板线路单边外扩的方法 | |
KR102129674B1 (ko) | 투명 발광소자 디스플레이용 전극 기판 및 이의 제조방법 | |
CN102929462A (zh) | 一种电容式触控面板 | |
CN102541368A (zh) | 一种电容式触控面板及其制造方法 | |
CN103345337B (zh) | 柔性触摸屏及其制作方法 | |
CN106371686A (zh) | 柔性电容式触摸屏及其制作方法 | |
CN103823595A (zh) | 触摸屏制备方法 | |
CN103309510A (zh) | 触摸屏电极制造方法 | |
CN103430133A (zh) | 触摸面板用垫板的制造方法及通过该制造方法制造的触摸面板用垫板 | |
CN101893966A (zh) | 具有中间导电层的触控面板及其制作方法 | |
CN104820535A (zh) | 一种纯ito膜结构单层多点的电容式触摸屏制作工艺 | |
KR20130022170A (ko) | 터치패널 및 그 제조방법 | |
CN206339959U (zh) | 柔性电容式触摸屏 | |
CN103294310A (zh) | 一种ogs触摸屏的制作方法 | |
CN102014577A (zh) | 局部镀金板的制作工艺 | |
CN101017925A (zh) | 薄膜天线的制造方法 | |
CN106168867A (zh) | 电容屏及其制备方法 | |
KR102129675B1 (ko) | 투명 발광소자 디스플레이용 전극 기판 및 이의 제조방법 | |
CN202795324U (zh) | 触控感应层 | |
CN102156601A (zh) | 电容式触摸屏导电线路的制造方法 | |
CN103092447B (zh) | 图形化电路结构、其制备方法及应用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20101208 |