CN101893614B - 一种检测腐蚀性气体中杂质的方法 - Google Patents
一种检测腐蚀性气体中杂质的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101893614B CN101893614B CN 201010229295 CN201010229295A CN101893614B CN 101893614 B CN101893614 B CN 101893614B CN 201010229295 CN201010229295 CN 201010229295 CN 201010229295 A CN201010229295 A CN 201010229295A CN 101893614 B CN101893614 B CN 101893614B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- corrosion
- way valve
- resistant band
- purges
- passage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012535 impurity Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 51
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 98
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 96
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 94
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 41
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 25
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 21
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 21
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 13
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N silicon tetrafluoride Chemical compound F[Si](F)(F)F ABTOQLMXBSRXSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 2
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
本发明涉及气体的检测装置和方法，公开了一种分析检测腐蚀性气体中杂质的装置和方法，通过阀门的切换，改变气体流向，来进行分离检测。本发明结构简单，分析过程简便快捷，可以进行在线检测；杂质组分分离效果好；可以满足不同纯度腐蚀性气体的分析需求。
Description
技术领域
本发明涉及气体的检测装置和方法，具体为用于分析检测腐蚀性气体中杂质的装置和方法。
背景技术
腐蚀性气体，如卤素类的氯气和氟气等，在分析其纯度时还需要检测其中所含的杂质气体的组分。这些杂质气体组分包括氢气、氧气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅和四氟化碳等。
上述杂质组分种类多，含量不同，分子量差异大，因此要分析检测时，需将组分逐一分离后再进行分析。而且，高纯度和低纯度气体的分析检测元件不同，现有设备如单一的气相色谱仪等还无法满足检测需求。
发明内容
本发明旨在提供一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置。
本发明的另一个目的在于提供一种用于检测腐蚀性气体中杂质的方法。
其方案是设置耐腐蚀带吹扫十通阀、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐蚀带吹扫四通阀，通过上述阀门的切换，改变气体流向，来进行分离检测。
一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置，其结构包括：三路辅助载气稳流系统、腐蚀性气体底气通路、氦气通路、耐腐蚀带吹扫十通阀、取样柱、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐蚀带吹扫四通阀、预分离柱、分析色谱柱A和分析色谱柱B、氦离子化检测器和热导检测器；
其中，第一路辅助载气稳流系统、第二路辅助载气稳流系统、取样柱的两端、预分离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀；
耐腐蚀带吹扫十通阀连接到耐腐蚀带吹扫六通阀；分析色谱柱A和分析色谱柱B的两端分别与耐腐蚀带吹扫六通阀连接；
耐腐蚀带吹扫四通阀分别与氦离子化检测器、热导检测器、第三路辅助载气稳流系统和耐腐蚀带吹扫六通阀连接。
优选方案为：耐腐蚀带吹扫十通阀设有十个通道，第一路辅助载气稳流系统连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第七通道，第二路辅助载气稳流系统102连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第四通道，取样柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第一通道和第八通道；预分离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第二通道和第五通道；
氦气通路和腐蚀性气体底气通路分别连接到三通阀的两端，三通阀的另一端与耐腐蚀带吹扫十通阀的第十通道连接；第九通道和第三通道分别连接碱石灰吸收罐，碱石灰吸收罐下游依次连接真空泵和回收罐。
耐腐蚀带吹扫六通阀设有六个通道；耐腐蚀带吹扫十通阀的第六通道连接到耐腐蚀带吹扫六通阀的第四通道，分析色谱柱A的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第五通道和第六通道，分析色谱柱B的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀的第二通道和第三通道；
耐腐蚀带吹扫四通阀设有四个通道，耐腐蚀带吹扫六通阀的第一通道与耐腐蚀带吹扫四通阀的第三通道连接，第三路辅助载气稳流系统连接到耐腐蚀带吹扫四通阀的第一通道，第二通道和第四通道分别连接到热导检测器（TCD）和氦离子化检测器（PDD）。
一种用于检测腐蚀性气体中杂质的方法，其方案是利用上述装置，通过切换阀门来改变气体的流向，用于检测腐蚀性气体中杂质。其方案包括：
（1）取样：切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通腐蚀性气体底气通路和取样柱；
（2）预分离：切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通第一路辅助载气稳流系统、取样柱和预分离柱；
（3）分离小分子和大分子杂质组分：切换耐腐蚀带吹扫六通阀，使预分离柱与分析色谱柱A和分析色谱柱B分别接通；
（4）检测：将分离后的杂质气体组分送入热导检测器或氦离子化检测器进行分析检测。
检测完成后，切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通第一路辅助载气稳流系统、预分离柱和碱石灰回收罐，同时接通氦气通路、取样柱和碱石灰回收罐，将残留在预分离柱和取样柱内的腐蚀性气体吹出，以清洁系统。
通过本发明的装置和方法，可以满足不同纯度腐蚀性气体的分析需求；杂质组分分离效果好；而且可以进行在线检测，结构简单，分析过程简便快捷，通过阀门的切换改变气体流向来即可完成检测。
附图说明
图1为实施例1的使用状态图一
图2为实施例1的使用状态图二
101—第一路辅助载气稳流系统，102—第二路辅助载气稳流系统，103—第三路辅助载气稳流系统，104—腐蚀性气体底气通路，105—氦气通路，2—耐腐蚀带吹扫十通阀，201—第一通道，202—第二通道，203—第三通道，204—第四通道，205—第五通道，206—第六通道，207—第七通道，208—第八通道，209—第九通道，210—第十通道；3—取样柱，401—三通阀，402、403—阀门，5—耐腐蚀带吹扫六通阀，501—第一通道，502—第二通道，502—第二通道，203—第三通道，504—第四通道，505—第五通道，506—第六通道；601—分析色谱柱A，602-分析色谱柱B，603预分离柱，7耐腐蚀带吹扫四通阀，701-第一通道，702-第二通道，703第三通道，704第四通道，801-氦离子化检测器，802热导检测器，901碱石灰吸收罐，902-真空泵，903-回收罐
具体实施方式
实施例1
如图1和图2所示，一种用于分析腐蚀性气体中杂质的装置，其结构包括三路辅助载气稳流系统、腐蚀性气体底气通路104、氦气通路105、耐腐蚀带吹扫十通阀2、取样柱3、耐腐蚀带吹扫六通阀5和耐腐蚀带吹扫四通阀7、预分离柱603、分析色谱柱A601和分析色谱柱B602。
耐腐蚀带吹扫十通阀2设有十个通道，第一路辅助载气稳流系统101连接到耐腐蚀带吹扫十通阀2的第七通道207，第二路辅助载气稳流系统102连接到耐腐蚀带吹扫十通阀2的第四通道204，取样柱3的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀2的第一通道201和第八通道208；预分离柱603的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀2的第二通道202和第五通道205；
氦气通路105和腐蚀性气体底气通路104分别通过阀门403、402连接到三通阀4的两端，三通阀的另一端与耐腐蚀带吹扫十通阀2的第十通道210连接；第九通道209和第三通道203分别连接碱石灰吸收罐901，碱石灰吸收罐下游依次连接真空泵902和回收罐903。
耐腐蚀带吹扫十通阀2的第六通道206连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第四通道504，分析色谱柱A601的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第五通道505和第六通道506，分析色谱柱B602的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀5的第二通道502和第三通道503；
耐腐蚀带吹扫六通阀5的第一通道501与耐腐蚀带吹扫四通阀7的第三通道703连接，第三路辅助载气稳流系统103连接到耐腐蚀带吹扫四通阀7的第一通道701，第二通道702和第四通道704分别连接到热导检测器802（TCD）和氦离子化检测器801（PDD）。
耐腐蚀带吹扫十通阀可切换为两种状态，状态一为：第一通道与第二通道连接，第三通道与第四通道连接，第五通道与第六通道连接，第七通道与第八通道连接，第九通道与第十通道连接；状态二为：第一通道与第十通道连接，第二通道与第三通道连接，第四通道与第五通道连接，第六通道与第七通道连接，第八通道与第九通道连接。
耐腐蚀带吹扫六通阀可切换为两种状态，状态一为：第一通道与第二通道连接，第三通道与第四通道连接，第五通道与第六通道连接；状态二为：第一通道与第六通道连接，第二通道与第三通道连接，第四通道与第五通道连接。
耐腐蚀带吹扫四通阀可切换为两种状态，状态一为：第一通道与第二通道连接，第三通道与第四通道连接；状态二为：第一通道与第四通道连接，第二通道与第三通道连接。
使用中，需要对腐蚀性气体中杂质组分进行分析检测时，如图2所示，切换耐腐蚀带吹扫十通阀，分别接通第一通道和第十通道、第二通道和第三通道、第四通道和第五通道、第六通道和第七通道、第八通道和第九通道。此时，关闭阀门403，开启阀门402，腐蚀性气体底气通路连通取样柱，经第十通道、第一通道，由第一通道进入取样柱，多余的腐蚀性气体由第九通道进入碱石灰吸收罐，并经真空泵进入回收罐。
此时的第二路辅助载气稳流系统连通预分离柱，辅助载气II由第二路辅助载气稳流系统进入耐腐蚀带吹扫十通阀的第四通道，由第五通道吹入预分离柱，再经第二通道和第三通道流出耐腐蚀带吹扫十通阀，进入碱石灰吸收罐。
此时的第一路辅助载气稳流系统依次连通耐腐蚀带吹扫十通阀、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐蚀带吹扫四通阀，辅助载气I由第一路辅助载气稳流系统进入耐腐蚀带吹扫十通阀的第七通道，由第六通道进入耐腐蚀带吹扫六通阀的第四通道；耐腐蚀带吹扫六通阀的第四通道与第五通道连接，第一通道与第六通道链接，第二通道与第三通道连接，使辅助载气I吹入分析色谱柱A；若耐腐蚀带吹扫六通阀的第四通道与第三通道连接，第一通道与第二通道连接，第五通道与第六通道连接，则辅助载气I吹入分析色谱柱B。
当待测的腐蚀性气体为高纯度时，如图1所示，取样完成后迅速关闭阀门402，切换耐腐蚀带吹扫十通阀，分别接通第一通道和第二通道、第三通道和第四通道、第五通道和第六通道、第七通道和第八通道、第九通道和第十通道。
第一路辅助载气稳流系统依次连接取样柱、预分离柱；辅助载气I将取样柱内的腐蚀性气体底气和氦气的混合气体吹入预分离柱。耐腐蚀带吹扫六通阀的第四通道与第五通道连接，第一通道与第六通道链接，第二通道与第三通道连接，在预分离柱中，极性较强、沸点较高的腐蚀性气体底气被保留在杂质组分之后，轻质低小分子杂质组分，如氢气、氧气、氮气、甲烷和一氧化碳等组分首先流出预分离柱，由辅助载气I带入分析色谱柱A进行分离分析。然后，在分子量较大的杂质组分，如二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅和四氟化碳等组分流出预分离柱时，切换耐腐蚀带吹扫六通阀的第三通道与第四通道连接，第一通道与第二通道链接，第五通道与第六通道连接，则辅助载气I将上述杂质组分吹入分析色谱柱B进行分离分析。
耐腐蚀带吹扫六通阀的第一通道连接到耐腐蚀带吹扫四通阀的第三通道；在待测的腐蚀性气体为高纯度，即杂质组分含量低时，耐腐蚀带吹扫四通阀的第二通道与第三通道连接，第一通道与第四通道连接，使辅助载气I带着杂质组分从分析色谱柱A或分析色谱柱B流出后，由第三通道和第四通道进入氦离子化检测器；第三路辅助载气稳流系统辅助载气与热导检测器相通，对未使用的热导检测器进行保护。
在杂质组分流出预分离柱之后，腐蚀性气体流出预分离柱之前，切换耐腐蚀带吹扫十通阀，如图2所示，此时辅助载气II流入预分离柱，将预分离柱中残留的腐蚀性气体吹入碱石灰吸收罐，经真空泵进入回收罐，以清洁预分离柱，同时避免腐蚀性气体的污染。开启阀门403，使氦气流入取样柱，将取样柱中残留的腐蚀性气体吹入碱石灰吸收罐，经真空泵进入回收罐，以清洁系统。
实施例2
对于低纯度的腐蚀性气体，其中的杂质组分含量较高，取样过程同实施例1，耐腐蚀带吹扫四通阀的第三通道与第四通道连接，第一通道与第二通道相连。辅助载气I带着杂质组分从分析色谱柱A或分析色谱柱B流出后进入热导检测器802进行分析检测。其余同实施例1。
Claims (1)
1.一种检测腐蚀性气体中杂质的方法，其特征在于，利用一种检测腐蚀性气体中杂质的装置进行检测，所述装置的结构包括：三路辅助载气稳流系统、腐蚀性气体底气通路、氦气通路、耐腐蚀带吹扫十通阀、取样柱、耐腐蚀带吹扫六通阀和耐腐蚀带吹扫四通阀、预分离柱、分析色谱柱A和、氦离子化检测器和热导检测器；
其中，第一路辅助载气稳流系统、第二路辅助载气稳流系统、取样柱的两端、预分离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀；
耐腐蚀带吹扫十通阀连接到耐腐蚀带吹扫六通阀；分析色谱柱A和分析色谱柱B的两端分别与耐腐蚀带吹扫六通阀连接；
耐腐蚀带吹扫四通阀分别与氦离子化检测器、热导检测器、第三路辅助载气稳流系统和耐腐蚀带吹扫六通阀连接；
所述的耐腐蚀带吹扫十通阀设有十个通道，第一路辅助载气稳流系统连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第七通道，第二路辅助载气稳流系统(102)连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第四通道，取样柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第一通道和第八通道；预分离柱的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫十通阀的第二通道和第五通道；
氦气通路和腐蚀性气体底气通路分别连接到三通阀的两端，三通阀的另一端与耐腐蚀带吹扫十通阀的第十通道连接；第九通道和第三通道分别连接碱石灰吸收罐，碱石灰吸收罐下游依次连接真空泵和回收罐；
耐腐蚀带吹扫十通阀的第六通道与耐腐蚀带吹扫六通阀连接；
所述的耐腐蚀带吹扫六通阀设有六个通道；第一通道连接到耐腐蚀带吹扫四通阀；分析色谱柱A的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀(5)的第五通道和第六通道，分析色谱柱B的两端分别连接到耐腐蚀带吹扫六通阀的第二通道和第三通道；第四通道与耐腐蚀带吹扫十通阀连接；
所述的耐腐蚀带吹扫四通阀设有四个通道，第一通道连接第三路辅助载气稳流系统；第二通道和第四通道分别连接到热导检测器和氦离子化检测器；第三通道与耐腐蚀带吹扫六通阀连接；
包括以下步骤：
（1）取样：切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通腐蚀性气体底气通路和取样柱；
（2）预分离：切换耐腐蚀带吹扫十通阀，接通第一路辅助载气稳流系统、取样柱和预分离柱；
（3）分离小分子和大分子杂质组分：切换耐腐蚀带吹扫六通阀，使预分离柱与分析色谱柱A和分析色谱柱B分别接通；
（4）检测：将分离后的杂质气体组分送入热导检测器或氦离子化检测器进行分析检测。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010229295 CN101893614B (zh) | 2010-07-16 | 2010-07-16 | 一种检测腐蚀性气体中杂质的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010229295 CN101893614B (zh) | 2010-07-16 | 2010-07-16 | 一种检测腐蚀性气体中杂质的方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101893614A CN101893614A (zh) | 2010-11-24 |
| CN101893614B true CN101893614B (zh) | 2013-05-15 |
Family
ID=43102873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201010229295 Active CN101893614B (zh) | 2010-07-16 | 2010-07-16 | 一种检测腐蚀性气体中杂质的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101893614B (zh) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103134875A (zh) * | 2011-12-01 | 2013-06-05 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种水中挥发性有机物的在线前处理装置 |
| CN102636598B (zh) * | 2012-04-10 | 2014-03-05 | 黎明化工研究院 | 一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统及其使用方法 |
| CN105784863A (zh) * | 2016-03-09 | 2016-07-20 | 广东华特气体股份有限公司 | 一种有毒有害气体的分析系统及使用方法 |
| CN111766018A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-10-13 | 国网上海市电力公司 | 一种判断油气套管内六氟化硫内部泄漏的方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2520508Y (zh) * | 2002-02-07 | 2002-11-13 | 中国石油化工股份有限公司 | 多维气相色谱分析仪 |
| CN2585232Y (zh) * | 2002-12-11 | 2003-11-05 | 中国石油化工股份有限公司上海石油化工研究院 | 丙烯氨氧化反应产物的在线分析装置 |
| CN101629936A (zh) * | 2009-08-12 | 2010-01-20 | 上海华爱色谱分析技术有限公司 | 脉冲氦离子化气相色谱仪 |
| CN201837613U (zh) * | 2010-07-16 | 2011-05-18 | 上海炫一电子科技有限公司 | 一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001208738A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Sumitomo Chem Co Ltd | 分析条件選択方法および高速液体クロマトグラフィ装置 |
-
2010
- 2010-07-16 CN CN 201010229295 patent/CN101893614B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2520508Y (zh) * | 2002-02-07 | 2002-11-13 | 中国石油化工股份有限公司 | 多维气相色谱分析仪 |
| CN2585232Y (zh) * | 2002-12-11 | 2003-11-05 | 中国石油化工股份有限公司上海石油化工研究院 | 丙烯氨氧化反应产物的在线分析装置 |
| CN101629936A (zh) * | 2009-08-12 | 2010-01-20 | 上海华爱色谱分析技术有限公司 | 脉冲氦离子化气相色谱仪 |
| CN201837613U (zh) * | 2010-07-16 | 2011-05-18 | 上海炫一电子科技有限公司 | 一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| JP特开2001－208738A 2001.08.03 |
| 方华等.GC9560－HF气相色谱仪在氟气纯度分析中的应用.《低温与特气》.2009,第27卷(第6期),第42－45页. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101893614A (zh) | 2010-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104678034B (zh) | 测定高纯气体中杂质成分的分析系统及测定方法 | |
| CN101893614B (zh) | 一种检测腐蚀性气体中杂质的方法 | |
| CN101915811B (zh) | 一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置和方法 | |
| CN102937627B (zh) | 天然气制氢工艺中气体组分的在线分析方法 | |
| CN104297389B (zh) | 一种色谱分析系统 | |
| CN104931615B (zh) | 一种气体中微量杂质分析装置及方法 | |
| CN111948327B (zh) | 一种工业氢气中微量氧气、氩气、氮气、一氧化碳、甲烷和二氧化碳的分析方法 | |
| CN102305869B (zh) | 用于电气设备中六氟化硫气体质量分析的仪器 | |
| CN102636598A (zh) | 一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统及其使用方法 | |
| CN104198638B (zh) | 一种检测六氟化硫分解产物的色谱分析系统及方法 | |
| CN201780285U (zh) | 一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置 | |
| CN201837613U (zh) | 一种用于检测腐蚀性气体中杂质的装置 | |
| CN104267132A (zh) | 检测sf6分解产物的色谱分析方法 | |
| CN103472177A (zh) | 一种用于检测六氟化硫分解产物氟化硫酰的气相色谱装置 | |
| CN104198601A (zh) | 一种色谱柱并联分析装置及方法 | |
| CN107121520A (zh) | 一种高纯三氟化氮分析用无氧吸附的气相色谱阀路系统及其使用方法 | |
| CN206573538U (zh) | 一种用于检测环境空气中挥发性有机物全组分通用装置 | |
| CN103604882A (zh) | Sf6分解产物的氦离子色谱分析方法 | |
| CN202305489U (zh) | 一种检测sf6电气设备故障的色谱仪 | |
| CN201637728U (zh) | 一种快捷检测氢气组分的装置 | |
| CN205861632U (zh) | 一种气相色谱载气系统 | |
| CN202631492U (zh) | 一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统 | |
| CN109115919B (zh) | 气体中痕量氢气、氧气和氮气的气相色谱分析装置和分析方法 | |
| CN203811584U (zh) | 纯氧气相色谱检测通用装置 | |
| CN101907612A (zh) | 一种对成品氢气中微量组份进行气相色谱分析的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SHANGHAI XUANYI ELECTRIC CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: SHANGHAI XUANYI ELECTRONIC TECHNOLOGY CO., LTD. Effective date: 20140626 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 200241 MINHANG, SHANGHAI TO: 201108 MINHANG, SHANGHAI |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20140626 Address after: 201108, 209A, room 1, 1999 Minhang District Road, Shanghai, China Patentee after: SHANGHAI XUANYI ELECTRIC Co.,Ltd. Address before: 200241 room 2006, building 555, Dongchuan Road, Minhang District, Shanghai, China Patentee before: SHANGHAI XUANYI ELECTRONIC TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20211223 Address after: 200241 room 107, jilou, 555 Dongchuan Road, Minhang District, Shanghai Patentee after: Shanghai Xuanyi Intelligent Technology Co.,Ltd. Address before: 201108 room 209A, building 1, 1999 Duhui Road, Minhang District, Shanghai Patentee before: SHANGHAI XUANYI ELECTRIC Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220711 Address after: 215300 floor 5, C2 workshop, building 005, No. 555, Dujuan Road, Kunshan Development Zone, Kunshan City, Suzhou City, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu Xuanyi Scientific Instrument Co.,Ltd. Address before: 200241 room 107, jilou, 555 Dongchuan Road, Minhang District, Shanghai Patentee before: Shanghai Xuanyi Intelligent Technology Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |