CN101876668A - 探测用承载台的旋转机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探测用承载台的旋转机构，其是固设于一基台上，该旋转机构包括：一马达、受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、一端枢接于该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄系利用一端而枢接于该连杆的另一端，而该曲柄的另一端是固接于该承载台，其中当该马达动作时，该螺杆转动以推动该滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台相对于该基台而同时旋转一角度。

Description

探测用承载台的旋转机构

技术领域

本发明涉及一种旋转机构，特别涉及应用在探测用承载台的旋转机构。

背景技术

在LED、半导体等测试领域的测试机中，承载台用于承载LED、半导体等晶圆待测物，通过在承载台进行一角度的旋转，将通过测试机的探针点触晶圆待测物的接触垫，进而测试晶圆待测物的电性。

一般常用的测试机是在承载台侧边使用皮带(belt)，通过马达带动皮带的方式，使得承载台产生一角度的旋转。然而，由于承载台必须要维持该角度，因此使用皮带会有间隙密度的问题，而影响承载台的旋转精度，最后则是导致晶圆待测物的电性测试不佳。

请参阅图1，其为中国台湾专利I302862所提出的一种常用定位系统的俯视示意图。在图1中，定位系统1主要是由第一平台10、配置于第一平台10上的第二平台11、配置于第一平台10上的螺杆12、以及连接第二平台11与螺杆12的连杆13所构成。

在定位系统1中，第二平台11可沿着一预定路径14而往复移动，其中预定路径14的延伸方向与螺杆12成一夹角。当螺杆12转动而使得连杆13移动时，便能够带动第二平台11沿着预定路径14移动，藉以提高定位的精度。

然而，定位系统1的缺点在于，当螺杆12转动而使得连杆13移动时，螺杆12会产生非水平于螺杆12方向的施力，因此，在使用上容易造成螺杆12的变形，进而影响定位系统1移动时的精度。

另一方面，请参阅图2，其为中国台湾专利I233847所提出的一种常用旋转机构的俯视示意图。在图2中，旋转机构2主要是由马达20、受控于马达的螺杆21、连接于螺杆21的连杆22、以可旋转一小角度的方式而连接于连杆22的曲柄23、以及作为旋转中心的工作台24所构成。

在旋转机构2中，当驱动马达20时，螺杆21转动便可使得连杆22移动，藉此微调曲柄23而使得工作台24旋转，藉以提高定位的精度。

然而，旋转机构2的缺点与图1的定位系统1相同，当驱动马达20时，螺杆21转动使得连杆22移动的过程中，螺杆21除了产生水平于螺杆21方向的施力，也会产生非水平于螺杆21方向的施力，容易产生变形而影响到精度。

发明内容

因此，有必要构思一种应用在探测用承载台的旋转机构，当工作台旋转时，螺杆不会受到侧向力量而影响精度。

根据上述构想，本发明一方面提出一种探测用承载台的旋转机构，包括：一马达、受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、一端枢接于该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄利用一端而固接于该连杆的另一端，而该曲柄的另一端是固接于该承载台，其中当该马达起动时，该螺杆转动以推动该滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。

根据上述构想，本发明另一方面提出一种探测用承载台的旋转机构，包括：一马达、受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、利用一连接件与固接于该螺杆的该滑块相连而于该滑轨上滑动的另一滑块、一端枢接于未固接于该螺杆的该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄利用一端而固接于该连杆的另一端，而该曲柄的另一端是固接于该承载台，其中当该马达起动时，该螺杆转动以推动该等滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于未固接于该螺杆的该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。

根据上述构想，本发明再一方面提出一种探测用承载台的旋转机构，包括：一马达、受控于该马达而转动的一螺杆、一端固接于该螺杆而于一滑轨上滑动的一滑块、利用一连接件与固接于该螺杆的该滑块相连而于该滑轨上滑动的另一滑块、一端枢接于固接于该螺杆的该滑块的一连杆、以及一曲柄，该曲柄利用一端而枢接于该连杆的另一端，而该曲柄的另一端是固接于该承载台，其中当该马达动作时，该螺杆转动以推动该等滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于固接于该螺杆的该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。

较佳者，该连杆是以旋转式关节而枢接于该滑块。

较佳者，该曲柄是以旋转式关节而枢接于该连杆。

较佳者，该角度是相对于该些滑块于该滑轨上滑动的距离而处于十度以内。

较佳者，该旋转机构是固设于一基台上，且该曲柄及该承载台是相对于该基台而同时旋转该角度。

本发明通过下列图式及详细说明，使得更深入的了解。

附图说明

图1是中国台湾专利I302862所提出的一种常用定位系统的俯视示意图。

图2是中国台湾专利I233847所提出的一种常用旋转机构的俯视示意图。

图3是本发明所提出探测用承载台的旋转机构一第一较佳实施例的俯视示意图。

图4是本发明所提出探测用承载台的旋转机构一第二较佳实施例的俯视示意图。

图5：本发明所提出探测用承载台之旋转机构一第三较佳实施例的俯视示意图。

【主要元件符号说明】

1定位系统

10第一平台

11第二平台

12螺杆

13连杆

14预定路径

2旋转机构

20马达

21螺杆

22连杆

23曲柄

24工作台

3旋转机构

30马达

31螺杆

32、32’滑块

33滑轨

34连杆

35曲柄

36承载台

361旋转中心

37连接件

ST基台

具体实施方式

请参阅图3，其为本发明所提出探测用承载台的旋转机构一第一较佳实施例的俯视示意图。在图3中，旋转机构3是由马达30、受控于马达30而转动的螺杆31、一端固接于螺杆31而于滑轨33上滑动的滑块32、一端枢接于滑块32的连杆34、以及曲柄35所构成，且旋转机构3是固设于基台ST上。其中，曲柄35是利用一端而枢接于连杆34的另一端、且利用另一端而固接于承载台36。

其中，当马达30动作时，螺杆31转动以推动滑块32于滑轨33上滑动，使得连杆34相对于滑块32枢转，而使得曲柄35及承载台36相对于基台ST而同时旋转处于十度以内的一角度，以供被承载于承载台36上的待测物接受测试，此处所谓的曲柄35及承载台36相对于基台ST而同时旋转，是指承载台36依据承载台36的旋转中心361进行旋转，而旋转中心361的一端是固接在基台ST上，旋转中心361的另一端是枢接承载台36。由于曲柄35的另一端是固接于承载台36，所以当滑块32移动使得连杆34枢转时，将使曲柄35与承载台36依据旋转中心361进行旋转。要注意的是，上述所谓该角度的范围是指曲柄35及承载台36相对于滑块32于滑轨33上滑动的距离而言；亦即，以滑块32于滑轨33上滑动的距离范围为基准，曲柄35及承载台36相对于基台ST而同时旋转的角度范围在十度以内。

值得一提的是，螺杆31是经由未图示出的一连轴器(Coupling)而受控于于马达30。该连轴器的一端固接马达30的转轴、另一端则固接于螺杆31。在马达30动作时，由马达的转轴带动该连轴器，再由该连轴器带动螺杆31转动。

此外，连杆34是以旋转式关节而枢接于滑块32，曲柄35是以旋转式关节而枢接于连杆34；也就是说，在螺杆31推动滑块32而使得曲柄35及承载台36同时旋转时，连杆34与滑块32之间的关节会转动，曲柄35与连杆34之间的关节也会随之转动。

与前述中国台湾专利I302862及I233847相比，本发明使用了滑轨，螺杆只受到轴向力而不会受到侧向力的影响，因此不会产生变形而影响精度。

请参阅图4，其为本发明所提出探测用承载台的旋转机构一第二较佳实施例的俯视示意图。与图3的相异处在于，在滑轨33上多设置了一个滑块32’，并利用连接件37将滑块32与32’连接成一个滑块组。此举可使得滑块组32、32’在滑轨33上的滑动更为笔直，可大幅提升连杆34带动曲柄35及承载台36同时旋转时的精度。

请参阅图5，其为本发明所提出探测用承载台的旋转机构一第三较佳实施例的俯视示意图。与图4的相异处在于，在图4中原来利用一端枢接于滑块32的连杆34，也可以改成利用该端连接于滑块32’，此时，滑块32则扮演用来稳定滑块组的滑动的角色，其可以减少螺杆31所受连杆34回传的螺杆31侧向反作用力所造成的螺杆31侧向变形的机会。

综上所述，本发明所提出的探测用承载台的旋转机构的优点在于，由于使用了曲柄、滑轨与连杆的协同作动，其本身的旋转精度远大于皮带的旋转精度及可靠度，所以不会因旋转精度的问题影响承载台的角度。

本发明可由熟悉本技术的人士进行设计而做出各种相应的改变和变形，但都不超过权利要求书所要保护的内容。

Claims (15)

1.一种探测用承载台的旋转机构，包括：

一马达；

一螺杆，受控于该马达而转动；

一滑块，一端固接于该螺杆，而于一滑轨上滑动；

一连杆，一端枢接于该滑块；及

一曲柄，利用一端而枢接于该连杆的另一端，该曲柄的另一端固接该承载台；

其中，当该马达动作时，该螺杆转动以推动该滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。

2.如权利要求1所述的旋转机构，其中该连杆是以旋转式关节而枢接于该滑块。

3.如权利要求1所述的旋转机构，其中该曲柄是以旋转式关节而枢接于该连杆。

4.如权利要求1所述的旋转机构，其中该角度是相对于该滑块于该滑轨上滑动的距离而处于十度以内。

5.如权利要求1所述的旋转机构，其中该旋转机构是固设于一基台上，且该曲柄及该承载台是相对于该基台而同时旋转该角度。

6.一种探测用承载台的旋转机构，包括：

一马达；

一螺杆，受控于该马达而转动；

二滑块，其中一滑块固接于该螺杆，未固接于该螺杆的另一滑块利用一连接件与固接于该螺杆的该滑块相连，二滑块能于一滑轨上滑动；

一连杆，一端枢接于未固接于该螺杆的该滑块；及

一曲柄，利用一端而枢接于该连杆的另一端，该曲柄的另一端固接该承载台；

其中，当该马达动作时，该螺杆转动以推动该些滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于未固接于该螺杆的该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。

7.如权利要求6所述的旋转机构，其中该连杆是以旋转式关节而枢接于未固接于该螺杆的该滑块。

8.如权利要求6所述的旋转机构，其中该曲柄是以旋转式关节而枢接于该连杆。

9.如权利要求6所述的旋转机构，其中该角度是相对于该些滑块于该滑轨上滑动的距离而处于十度以内。

10.如权利要求6所述的旋转机构，其中该旋转机构是固设于一基台上，且该曲柄及该承载台是相对于该基台而同时旋转该角度。

11.一种探测用承载台的旋转机构，包括：

一马达；

一螺杆，受控于该马达而转动；

二滑块，其中一滑块固接于该螺杆，未固接于该螺杆的另一滑块利用一连接件与固接于该螺杆的该滑块相连，二滑块能于一滑轨上滑动；

一连杆，一端枢接于固接于该螺杆的该滑块；及

一曲柄，利用一端而枢接于该连杆的另一端，该曲柄的另一端固接该承载台；

其中，当该马达动作时，该螺杆转动以推动该些滑块于该滑轨上滑动，使得该连杆相对于固接于该螺杆的该滑块枢转，而使得该曲柄及该承载台同时旋转一角度。

12.如权利要求11所述的旋转机构，其中该连杆是以旋转式关节而枢接于固接于该螺杆的该滑块。

13.如权利要求11所述的旋转机构，其中该曲柄是以旋转式关节而枢接于该连杆。

14.如权利要求11所述的旋转机构，其中该角度是相对于该些滑块于该滑轨上滑动的距离而处于十度以内。

15.如权利要求11所述的旋转机构，其中该旋转机构是固设于一基台上，且该曲柄及该承载台是相对于该基台而同时旋转该角度。

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