CN101764024A - 侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极面板、阳极面板和玻璃边框所构成的密封真空室；设置在阴极面板上的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构；位于阳极面板和阴极面板之间的隔离壁以及消气剂；设置在阳极面板上的阳极传导层、阳极引线层、阳极隔离层以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层，具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优点。

Description

侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于纳米科学与技术领域、真空科学与技术领域和平板显示技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及到侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

场致发射显示器是一种新型的固体真空平面器件，具有CRT显示器的高图像质量、液晶显示器的超薄型以及等离子体显示器的大面积性等诸多特点，因此将目前主流显示器的优越点集于一身，具备了优异的显示特性，因而备受众多科研人员的高度关注，也掀起了对新型场致发射显示器进行研发的高潮。碳纳米管是一种具有特异形状的小管状物质，能够在较低外加电场强度下发射出大量的电子，是一种理想的电子源材料。将碳纳米管用作场致发射显示器的阴极，能够使得场致发射显示器的工作电压更低，同时也避免了阴极烧毁、阴极老化等其它不良现象，从而极大的促进了场致发射显示器的研发进展。

为了降低整体器件的工作电压，使之既符合低功耗平面器件的要求，同时还能够降低总体器件制作成本，制作三极结构的场致发射显示器就已经成为了一种必然的选择。所谓的三极结构，就是在原有的阴极和阳极之间添加一个栅极。由于栅极和阴极的距离很低，因此能够将整体器件的工作电压进一步降低。但是，由于栅极的加入，所带来的副作用就是使得整体器件结构变得复杂，使得整体器件的制作工艺也变得非简单化。目前所研发的三极结构器件普遍都具有栅极电压偏高、制作工艺复杂化等缺点，还需要众多科研人员进行大量的研究。另外，碳纳米管阴极的制作工艺以及阴极形状也都对偏高的栅极电压负有不可推卸的关联责任。此外，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺简单、制作过程稳定可靠也是不可忽视的一个重要方面。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作工艺简单的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：

一种侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和玻璃边框所构成的密封真空室；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离壁以及消气剂；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层、阳极引线层、阳极隔离层以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层；其特征在于：

在阴极玻璃面板上设置有侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构；所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的衬底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极分隔层；阴极分隔层上面存在阴极传导层；阴极传导层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极传导层是相互连通的；阴极传导层上面存在阴极牺牲层，阴极牺牲层呈现圆环型形状，并和阴极传导层相互连通；阴极传导层上面存在阴极底层，阴极底层呈现倒置圆台型形状，即上表面直径大，下表面直径小，且下表面和阴极传导层相互接触，圆台的下表面要位于圆环型阴极牺牲层内圆中；阴极底层上表面存在阴极过渡层，阴极过渡层呈现圆环型形状位于阴极底层上表面，阴极过渡层的外边缘与阴极底层上表面的边缘是重合的，即阴极底层上表面的中间部分不存在阴极过渡层；阴极传导层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成增高层；增高层的上下表面均为平面，其下表面和阴极传导层相互接触；增高层中存在方型电子孔，暴露出阴极牺牲层、阴极底层和阴极过渡层；电子孔侧壁是垂直于阴极传导层表面的；电子孔侧壁上存在栅极电极层，栅极电极层呈现方面型形状；电子孔四个侧壁上都存在栅极电极层，栅极电极层上边缘与阴极底层的上表面相平齐，但不相互接触，栅极电极层下边缘为与阴极底层的二分之一高度相平齐；增高层上面存在栅极引线层，栅极引线层和栅极电极层是相互连通的；增高层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成遮盖层，遮盖层要覆盖栅极引线层；碳纳米管制备在阴极过渡层和阴极牺牲层的表面。

所述的阴极传导层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一；阴极底层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极过渡层为金属铁、钴、镍之一；栅极电极层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；栅极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；栅极电极层的走向和阴极传导层的走向是相互垂直的。

阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

一种所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极分隔层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极分隔层；

3)阴极传导层的制作：在阴极分隔层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层；

4)阴极引线层的制作：在阴极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层；

5)阴极牺牲层的制作：在阴极传导层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层；

6)阴极底层的制作：在阴极传导层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极底层；

7)阴极过渡层的制作：在阴极底层的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极过渡层；

8)增高层的制作：在阴极传导层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成增高层；

9)栅极电极层的制作：在电子孔的侧壁上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极层；

10)栅极引线层的制作：在增高层上表面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层；

11)遮盖层的制作：在增高层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成遮盖层；

12)侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的表面清洁处理：对侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲层和阴极过渡层的表面上；

14)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极传导层的制作：对阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜，经常规刻蚀工艺后形成阳极传导层；

16)阳极引线层的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；

17)阳极隔离层的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极隔离层；

18)荧光粉层的制备：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)器件装配：将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、支撑墙结构、四周玻璃边框装配到一起，并将消气剂附属元件安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极面板的非显示区域以及阳极传导层间的空余位置印刷绝缘浆料，经过烘烤，烘烤温度：220℃，保持时间：5分钟，之后放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤18具体为在阳极面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下积极效果：

本发明中的主要特点在于制作了具有侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的、碳纳米管阴极的平板场致发射平板显示器件。将高性能的制作材料和低成本的制作工艺有机结合起来，制作出性能更加优良的平板发光器件。

其一，采用了倒置圆台型阴极结构，增加了碳纳米管的发射面积，提升了碳纳米管的发射效率，从而增多了发射的电子数量；

其二，采用了侧立面方栅控结构，进一步缩减了栅极-阴极之间的有效距离，从而达到降低器件工作电压的目的；

其三，在本发明中，是在阳极结构和栅极控制结构全部制作完毕的情况下，最后才进行碳纳米管阴极的制作，也就是说，碳纳米管阴极的制作不受其它制作器件工艺的影响，极大减少了碳纳米管阴极的损伤，提高了显示器件制作的成功率。

此外，在本发明中的器件制作过程中，在充分结合丝网印刷工艺和常规刻蚀工艺的基础上进行的器件制作，具有制作大面积显示器件的可行性；并没有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工艺，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优越之处。

附图说明

图1给出了侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的、碳纳米管阴极场致发射平板显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但本发明并不局限于实施例。

如图1、2、3所示，本发明包括由阴极玻璃面板1、阳极玻璃面板17和玻璃边框15所构成的密封真空室；位于阳极玻璃面板17和阴极玻璃面板1之间的隔离壁13以及消气剂14；设置在阳极玻璃面板17上的阳极传导层18、阳极引线层20、阳极隔离层16以及制备在阳极传导层18上面的荧光粉层19；其特征在于：

在阴极玻璃面板1上设置有侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构；所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的衬底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极分隔层；阴极分隔层上面存在阴极传导层；阴极传导层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极传导层是相互连通的；阴极传导层上面存在阴极牺牲层，阴极牺牲层呈现圆环型形状，并和阴极传导层相互连通；阴极传导层上面存在阴极底层，阴极底层呈现倒置圆台型形状，即上表面直径大，下表面直径小，且下表面和阴极传导层相互接触，圆台的下表面要位于圆环型阴极牺牲层内圆中；阴极底层上表面存在阴极过渡层，阴极过渡层呈现圆环型形状位于阴极底层上表面，阴极过渡层的外边缘与阴极底层上表面的边缘是重合的，即阴极底层上表面的中间部分不存在阴极过渡层；阴极传导层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成增高层；增高层的上下表面均为平面，其下表面和阴极传导层相互接触；增高层中存在方型电子孔，暴露出阴极牺牲层、阴极底层和阴极过渡层；电子孔侧壁是垂直于阴极传导层表面的；电子孔侧壁上存在栅极电极层，栅极电极层呈现方面型形状；电子孔四个侧壁上都存在栅极电极层，栅极电极层上边缘与阴极底层的上表面相平齐，但不相互接触，栅极电极层下边缘为与阴极底层的二分之一高度相平齐；增高层上面存在栅极引线层，栅极引线层和栅极电极层是相互连通的；增高层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成遮盖层，遮盖层要覆盖栅极引线层；碳纳米管制备在阴极过渡层和阴极牺牲层的表面。

所述的阴极传导层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一；阴极底层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极过渡层为金属铁、钴、镍之一；栅极电极层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；栅极引线层为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；栅极电极层的走向和阴极传导层的走向是相互垂直的。

阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

一种所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板1的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极分隔层2的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极分隔层；

3)阴极传导层3的制作：在阴极分隔层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层；

4)阴极引线层4的制作：在阴极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层；

5)阴极牺牲层5的制作：在阴极传导层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层；

6)阴极底层6的制作：在阴极传导层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极底层；

7)阴极过渡层7的制作：在阴极底层的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极过渡层；

8)增高层8的制作：在阴极传导层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成增高层；

9)栅极电极层9的制作：在电子孔的侧壁上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极层；

10)栅极引线层10的制作：在增高层上表面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层；

11)遮盖层11的制作：在增高层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成遮盖层；

12)侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的表面清洁处理：对侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管12的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲层和阴极过渡层的表面上；

14)阳极玻璃面板17的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极传导层18的制作：对阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜，经常规刻蚀工艺后形成阳极传导层；

16)阳极引线层20的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；

17)阳极隔离层16的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极隔离层；

18)荧光粉层19的制备：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)器件装配：将阳极玻璃面板17、阴极玻璃面板1、支撑墙结构13、四周玻璃边框15装配到一起，并将消气剂附属元件14安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。

所述步骤17具体为在阳极面板的非显示区域以及阳极传导层间的空余位置印刷绝缘浆料，经过烘烤，烘烤温度：220℃，保持时间：5分钟，之后放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤18具体为在阳极面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1.一种侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板(1)、阳极玻璃面板(17)和玻璃边框(15)所构成的密封真空室；位于阳极玻璃面板(17)和阴极玻璃面板(1)之间的隔离壁(13)以及消气剂(14)；设置在阳极玻璃面板(17)上的阳极传导层(18)、阳极引线层(20)、阳极隔离层(16)以及制备在阳极传导层(18)上面的荧光粉层(19)；其特征在于：

在阴极玻璃面板(1)上设置有侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构；所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的衬底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极分隔层(2)；阴极分隔层(2)上面存在阴极传导层(3)；阴极传导层(3)周围存在阴极引线层(4)，阴极引线层(4)和阴极传导层(3)是相互连通的；阴极传导层(3)上面存在阴极牺牲层(5)，阴极牺牲层(5)呈现圆环型形状，并和阴极传导层(3)相互连通；阴极传导层(3)上面存在阴极底层(6)，阴极底层(6)呈现倒置圆台型形状，即上表面直径大，下表面直径小，且下表面和阴极传导层(3)相互接触，圆台的下表面要位于圆环型阴极牺牲层(5)内圆中；阴极底层(6)上表面存在阴极过渡层(7)，阴极过渡层(7)呈现圆环型形状位于阴极底层(6)上表面，阴极过渡层(7)的外边缘与阴极底层(6)上表面的边缘是重合的，即阴极底层(6)上表面的中间部分不存在阴极过渡层(7)；阴极传导层(3)上面印刷并烧结的绝缘浆料形成增高层(8)；增高层(8)的上下表面均为平面，其下表面和阴极传导层(3)相互接触；增高层(8)中存在方型电子孔，暴露出阴极牺牲层(5)、阴极底层(6)和阴极过渡层(7)；电子孔侧壁是垂直于阴极传导层(3)表面的；电子孔侧壁上存在栅极电极层(9)，栅极电极层(9)呈现方面型形状；电子孔四个侧壁上都存在栅极电极层(9)，栅极电极层(9)上边缘与阴极底层(6)的上表面相平齐，但不相互接触，栅极电极层(9)下边缘为与阴极底层(6)的二分之一高度相平齐；增高层(8)上面存在栅极引线层(10)，栅极引线层(10)和栅极电极层(9)是相互连通的；增高层(8)上面印刷并烧结的绝缘浆料形成遮盖层(11)，遮盖层(11)要覆盖栅极引线层(10)；碳纳米管(12)制备在阴极过渡层(7)和阴极牺牲层(5)的表面。

2.根据权利要求1所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器，其特征在于：所述的阴极传导层(3)为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极引线层(4)为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极牺牲层(5)为金属铁、钴、镍之一；阴极底层(6)为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极过渡层(7)为金属铁、钴、镍之一；栅极电极层(9)为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；栅极引线层(10)为金属金、银、铝、铜、钼、铬、铅、锡、铟之一；栅极电极层(9)的走向和阴极传导层(3)的走向是相互垂直的。

3.根据权利要求1所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器，其特征在于：阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

4.一种如权利要求1所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极分隔层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极分隔层(2)；

3)阴极传导层(3)的制作：在阴极分隔层(2)上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层(3)；

4)阴极引线层(4)的制作：在阴极传导层(3)的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层(4)；

5)阴极牺牲层(5)的制作：在阴极传导层(3)上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层(5)；

6)阴极底层(6)的制作：在阴极传导层(3)上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极底层(6)；

7)阴极过渡层(7)的制作：在阴极底层(6)的上表面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极过渡层(7)；

8)增高层(8)的制作：在阴极传导层(3)上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成增高层(8)；

9)栅极电极层(9)的制作：在电子孔的侧壁上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极层(9)；

10)栅极引线层(10)的制作：在增高层(8)上表面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层(10)；

11)遮盖层(11)的制作：在增高层(8)上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成遮盖层(11)；

12)侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的表面清洁处理：对侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管(12)的制备：将碳纳米管(12)制备在阴极牺牲层(5)和阴极过渡层(7)的表面上；

14)阳极玻璃面板(17)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极传导层(18)的制作：对阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜，经常规刻蚀工艺后形成阳极传导层；

16)阳极引线层(20)的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；

17)阳极隔离层(16)的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极隔离层；

18)荧光粉层(19)的制备：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)器件装配：将阳极玻璃面板(17)、阴极玻璃面板(1)、支撑墙结构(13)、四周玻璃边框(15)装配到一起，并将消气剂附属元件(14)安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。

5.根据权利要求4所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极面板的非显示区域以及阳极传导层间的空余位置印刷绝缘浆料，经过烘烤，烘烤温度：220℃，保持时间：5分钟，之后放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6.根据权利要求4所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7.根据权利要求4所述的侧立面方栅控倒置圆台型阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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