CN101777471B - 长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极面板、阳极面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；在阳极面板上有阳极传导层、阳极引线层、阳极绝缘层以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层；位于阳极面板和阴极面板之间的空间隔离壁以及消气剂附属元件；在阴极面板上有长条阴极方圆型横向组栅控结构；能够提高碳纳米管阴极的电子发射面积和电子发射效率，降低栅极电压，具有制作过程稳定可靠、制作工艺简单、制作成本低廉、结构简单的优点。

Description

长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、微电子科学与技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作方面的内容，特别涉及一种长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

场致发射显示器是一种新型的固体平面显示装置，它以CRT技术的延伸来进行高速发展，其发光原理与CRT是相同的，都是利用高速电子束对荧光粉进行轰击而发出可见光的，因此场致发射显示器保留了CRT显示器的高图像质量优越性；但是场致发射显示器在制作结构、制作材料以及制作工艺上都与CRT技术存在很大的区别。场致发射显示器所具有的超薄型、大面积性、低功耗以及低制作成本等特性也是CRT显示器所无法比拟的。碳纳米管的出现，使得场致发射显示器的研发有了进一步的发展。由于其能够在较低电场强度下就发射出大量电子，因而碳纳米管非常适用于场致发射显示器的阴极材料。由于二极结构场致发射显示器的工作电压太高，因此以降低总体器件制作成本、降低场致发射显示器工作电压为目的的三极结构显示器也就出现了。目前，所研发的三极结构场致发射显示器普遍都存在着栅极工作电压偏高、栅极工作电流偏大、制作工艺复杂、制作成本居高不下、对器件制作材料要求过高等不利之处，还需要进行大量的研究。此外，碳纳米管阴极的制作形状和制作工艺也对居高不下的栅极电压负有不可推卸的责任。对于这些实际问题，目前还没有一个比较完美的解决办法，都需要众多研究人员认真的考虑和解决。此外，在三极结构的平板场致发射显示器件当中，在确保栅极结构对碳纳米管阴极具有良好控制作用的前提下，还需要尽可能的降低总体器件成本，进行稳定可靠、成本低廉、性能优良、高质量的器件制作。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作成功率高、结构简单的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板场致发射显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：

一种长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和四周玻璃围框所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层、阳极引线层、阳极绝缘层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；其特征在于：

在阴极玻璃面板上设置有长条阴极方圆型横向组栅控结构；所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的衬底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极阻滞层；阴极阻滞层上面存在阴极传导层；阴极传导层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极传导层是相互连通的；阴极传导层上面存在阴极增高层，阴极增高层为长条方型形状，即横截面为方型形状，纵截面呈现长条型形状；阴极增高层的上下表面均为平面，下表面和阴极传导层相接触；阴极增高层上表面存在阴极度越一层和阴极度越二层，均为长条方型形状；阴极度越一层和阴极度越二层分别位于阴极增高层上表面，其外边缘分别于阴极增高层上表面与侧面交接处边缘相重合；阴极度越一层和阴极度越二层的上表面存在阴极牺牲层；阴极传导层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴绝缘层；栅阴绝缘层的上下表面均为平面，下表面和阴极传导层相接触；栅阴绝缘层中存在电子束孔，暴露出底部的阴极增高层、阴极度越一层、阴极度越二层和阴极牺牲层；一组电子束孔由内电子束孔洞和外电子束孔洞组成，内电子束孔洞为圆型，外电子束孔洞为方型，圆型形状与方型形状的中心是重合的；栅阴绝缘层中电子束孔的侧壁垂直于阴极传导层表面；栅阴绝缘层上面存在栅极传导层；栅极传导层布满栅阴绝缘层上表面，其前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极传导层周围存在栅极引线层，栅极引线层和栅极传导层是相互连通的；栅阴绝缘层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅极覆盖层，栅极覆盖层要覆盖栅极传导层和栅极引线层；碳纳米管制备在阴极牺牲层上面。

所述的阴极传导层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极引线层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极增高层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极度越一层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极度越二层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍；栅极传导层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；栅极引线层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；栅极传导层的走向和阴极传导层的走向是相互垂直的。

阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

一种所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极阻滞层的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极阻滞层；

3)阴极传导层的制作：在阴极阻挡层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层；

4)阴极引线层的制作：在阴极玻璃面板上印刷银浆层，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层；

5)阴极增高层的制作：在阴极传导层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；

6)阴极度越一层和阴极度越二层的制作：在阴极增高层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极度越一层和阴极度越二层；

7)阴极牺牲层的制作：在阴极度越一层和阴极度越二层上表面制备出金属层，经刻蚀工艺后形成阴极牺牲层；

8)栅阴绝缘层的制作：在阴极传导层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴绝缘层；

9)栅极传导层的制作：在栅阴绝缘层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极传导层；

10)栅极引线层的制作：在栅极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层；

11)栅极覆盖层的制作：在栅阴绝缘层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

12)长条阴极方圆型横向组栅控结构的表面清洁处理：对长条阴极方圆型横向组栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；

14)阳极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极传导层的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀锡铟氧化物膜层，经刻蚀工艺后形成阳极传导层；

16)阳极引线层的制作：在阳极传导层周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；

17)阳极绝缘层的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极绝缘层；

18)荧光粉层的制备：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)器件装配：将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、支撑墙结构、玻璃围框装配到一起，并将消气剂附属元件安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及显示区域的阳极传导层间空余位置印刷绝缘浆料层；经过烘烤之后，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，放置在烧结炉中进行烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极玻璃面板的显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下积极效果：

本发明中的主要特点在于制作了具有长条阴极方圆型横向组栅控结构的、碳纳米管阴极的平板场致发射平板显示器件。在充分利用碳纳米管阴极以“场致发射”形式发射大量电子的基础上，由位于碳纳米管阴极上方的栅极来控制碳纳米管阴极的电子发射。将高性能的制作材料和低成本的制作工艺有机结合起来，制作出性能更加优良的平板发光器件。

其一，采用了长条阴极方圆型横向组栅控结构，增加了碳纳米管的发射表面积，增多了发射的电子数量，充分利用阴极边缘部分电场高度集中的原理，极大提升碳纳米管的发射效率；简化了栅极结构的制作工艺，进一步缩减了栅极-阴极之间的有效距离，从而达到降低器件工作电压的目的；

其二，在本发明中，是在阳极结构和栅极控制结构全部制作完毕的情况下，最后才进行碳纳米管阴极的制作，减少了碳纳米管阴极的损伤，提高了显示器件制作的成功率。

此外，在本发明中的器件制作过程中，并没有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工艺，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优越之处。

附图说明

图1给出了长条阴极方圆型横向组栅控结构的纵向结构示意图。

图2给出了长条阴极方圆型横向组栅控结构的横向结构示意图。

图3给出了带有长条阴极方圆型横向组栅控结构的、碳纳米管场致发射平面显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但并不局限于实施例。

如图1、2、3所示，本发明包括由阴极玻璃面板1、阳极玻璃面板17和四周玻璃围框16所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板17上的阳极导电层18、阳极引线层21、阳极绝缘层20以及制备在阳极导电层18上面的荧光粉层19；位于阳极玻璃面板17和阴极玻璃面板1之间的支撑墙结构14以及消气剂附属元件15；其特征在于：

在阴极玻璃面板1上设置有长条阴极方圆型横向组栅控结构；所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的衬底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极阻滞层；阴极阻滞层上面存在阴极传导层；阴极传导层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极传导层是相互连通的；阴极传导层上面存在阴极增高层，阴极增高层为长条方型形状，即横截面为方型形状，纵截面呈现长条型形状；阴极增高层的上下表面均为平面，下表面和阴极传导层相接触；阴极增高层上表面存在阴极度越一层和阴极度越二层，均为长条方型形状；阴极度越一层和阴极度越二层分别位于阴极增高层上表面，其外边缘分别于阴极增高层上表面与侧面交接处边缘相重合；阴极度越一层和阴极度越二层的上表面存在阴极牺牲层；阴极传导层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴绝缘层；栅阴绝缘层的上下表面均为平面，下表面和阴极传导层相接触；栅阴绝缘层中存在电子束孔，暴露出底部的阴极增高层、阴极度越一层、阴极度越二层和阴极牺牲层；一组电子束孔由内电子束孔洞和外电子束孔洞组成，内电子束孔洞为圆型，外电子束孔洞为方型，圆型形状与方型形状的中心是重合的；栅阴绝缘层中电子束孔的侧壁垂直于阴极传导层表面；栅阴绝缘层上面存在栅极传导层；栅极传导层布满栅阴绝缘层上表面，其前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极传导层周围存在栅极引线层，栅极引线层和栅极传导层是相互连通的；栅阴绝缘层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅极覆盖层，栅极覆盖层要覆盖栅极传导层和栅极引线层；碳纳米管制备在阴极牺牲层上面。

一种所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器，阴极传导层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极引线层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极增高层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极度越一层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极度越二层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍；栅极传导层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；栅极引线层为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；栅极传导层的走向和阴极传导层的走向是相互垂直的。

阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

一种所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作工艺如下：

1)阴极玻璃面板1的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极阻滞层2的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极阻滞层；

3)阴极传导层3的制作：在阴极阻挡层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层；

4)阴极引线层4的制作：在阴极玻璃面板上印刷银浆层，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层；

5)阴极增高层5的制作：在阴极传导层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层；

6)阴极度越一12层和阴极度越二层6的制作：在阴极增高层上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极度越一层和阴极度越二层；

7)阴极牺牲层7的制作：在阴极度越一层和阴极度越二层上表面制备出金属层，经刻蚀工艺后形成阴极牺牲层；

8)栅阴绝缘层8的制作：在阴极传导层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴绝缘层；

9)栅极传导层9的制作：在栅阴绝缘层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极传导层；

10)栅极引线层10的制作：在栅极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层；

11)栅极覆盖层11的制作：在栅阴绝缘层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层；

12)长条阴极方圆型横向组栅控结构的表面清洁处理：对长条阴极方圆型横向组栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管13的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；

14)阳极玻璃面板17的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极传导层18的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀锡铟氧化物膜层，经刻蚀工艺后形成阳极传导层；

16)阳极引线层21的制作：在阳极传导层周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；

17)阳极绝缘层20的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极绝缘层；

18)荧光粉层19的制备：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)器件装配：将阳极玻璃面板17、阴极玻璃面板1、支撑墙结构14、玻璃围框16装配到一起，并将消气剂附属元件15安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5、根据权利要求4所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及显示区域的阳极传导层间空余位置印刷绝缘浆料层；经过烘烤之后，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，放置在烧结炉中进行烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤18具体为在阳极玻璃面板的显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1.一种长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板(1)、阳极玻璃面板(17)和四周玻璃围框(16)所构成的密封真空腔；设置在阳极玻璃面板(17)上的阳极导电层(18)、阳极引线层(21)、阳极绝缘层(20)以及制备在阳极导电层(18)上面的荧光粉层(19)；位于阳极玻璃面板(17)和阴极玻璃面板(1)之间的支撑墙结构(14)以及消气剂附属元件(15)；其特征在于：

在阴极玻璃面板(1)上设置有长条阴极方圆型横向组栅控结构；所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的基底为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极阻滞层(2)；阴极阻滞层(2)上面存在阴极传导层(3)；阴极传导层(3)周围存在阴极引线层(4)，阴极引线层(4)和阴极传导层(3)是相互连通的；阴极传导层(3)上面存在阴极增高层(5)，阴极增高层(5)为长条方型形状，即横截面为方型形状，纵截面呈现长条型形状；阴极增高层(5)的上下表面均为平面，下表面和阴极传导层(3)相接触；阴极增高层(5)上表面存在阴极度越一层(12)和阴极度越二层(6)，均为长条方型形状；阴极度越一层(12)和阴极度越二层(6)分别位于阴极增高层(5)上表面，其外边缘分别于阴极增高层(5)上表面与侧面交接处边缘相重合；阴极度越一层(12)和阴极度越二层(6)的上表面存在阴极牺牲层(7)；阴极传导层(3)上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴绝缘层(8)；栅阴绝缘层(8)的上下表面均为平面，下表面和阴极传导层(3)相接触；栅阴绝缘层(8)中存在电子束孔，暴露出底部的阴极增高层(5)、阴极度越一层(12)、阴极度越二层(6)和阴极牺牲层(7)；一组电子束孔由内电子束孔洞和外电子束孔洞组成，内电子束孔洞为圆型，外电子束孔洞为方型，圆型形状与方型形状的中心是重合的；栅阴绝缘层(8)中电子束孔的侧壁垂直于阴极传导层(3)表面；栅阴绝缘层(8)上面存在栅极传导层(9)；栅极传导层(9)布满栅阴绝缘层(8)上表面，其前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极传导层(9)周围存在栅极引线层(10)，栅极引线层(10)和栅极传导层(9)是相互连通的；栅阴绝缘层(8)上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅极覆盖层(11)，栅极覆盖层(11)要覆盖栅极传导层(9)和栅极引线层(10)；碳纳米管(13)制备在阴极牺牲层(7)上面。

2.根据权利要求1所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器，其特征在于：所述的阴极传导层(3)为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极引线层(4)为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极增高层(5)为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极度越一层(12)为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极度越二层(6)为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；阴极牺牲层(7)为金属铁、钴、镍；栅极传导层(9)为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；栅极引线层(10)为金属金、铬、锡、银、锌、铝、铜、钼、铟之一；栅极传导层(9)的走向和阴极传导层(3)的走向是相互垂直的。

3.根据权利要求1所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器，其特征在于：阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

4.一种如权利要求1所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阴极阻滞层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料层，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极阻滞层(2)；

3)阴极传导层(3)的制作：在阴极阻挡层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极传导层(3)；

4)阴极引线层(4)的制作：在阴极玻璃面板上印刷银浆层，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极引线层(4)；

5)阴极增高层(5)的制作：在阴极传导层(3)上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极增高层(5)；

6)阴极度越一(12)层和阴极度越二层(6)的制作：在阴极增高层(5)上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极度越一层(12)和阴极度越二层(6)；

7)阴极牺牲层(7)的制作：在阴极度越一层(12)和阴极度越二层(6)上表面制备出金属层，经刻蚀工艺后形成阴极牺牲层(7)；

8)栅阴绝缘层(8)的制作：在阴极传导层(3)上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴绝缘层(8)；

9)栅极传导层(9)的制作：在栅阴绝缘层(8)上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极传导层(9)；

10)栅极引线层(10)的制作：在栅极传导层(9)的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极引线层(10)；

11)栅极覆盖层(11)的制作：在栅阴绝缘层(8)上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极覆盖层(11)；

12)长条阴极方圆型横向组栅控结构的表面清洁处理：对长条阴极方圆型横向组栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管(13)的制备：将碳纳米管(13)制备在阴极牺牲层(7)的上面；

14)阳极玻璃面板(17)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

15)阳极传导层(18)的制作：在阳极玻璃面板上蒸镀锡铟氧化物膜层，经刻蚀工艺后形成阳极传导层；

16)阳极引线层(21)的制作：在阳极传导层周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极引线层；

17)阳极绝缘层(20)的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极绝缘层；

18)荧光粉层(19)的制备：在阳极传导层上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)器件装配：将阳极玻璃面板(17)、阴极玻璃面板(1)、支撑墙结构(14)玻璃围框(16)装配到一起，并将消气剂附属元件(15)安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

20)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺形成成品件。

5.根据权利要求4所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及显示区域的阳极传导层间空余位置印刷绝缘浆料层；经过烘烤之后，烘烤温度：150℃，保持时间：5分钟，放置在烧结炉中进行烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

6.根据权利要求4所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18具体为在阳极玻璃面板的显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉；在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

7.根据权利要求4所述的长条阴极方圆型横向组栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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