CN101728192B - 倒y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明特别涉及倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和玻璃边框所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层、阳极连线层、阳极隔离层以及制备阳极传导层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器和消气剂；所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构包括阴极玻璃面板、阻挡隔离层、阴极导电层、阴极连线层、阴极提升层、阴极过渡一层、阴极过渡二层、阴极牺牲层、栅阴间隔一层、栅极电极一层、栅极连线层、栅阴间隔二层、栅极电极二层、栅阴间隔三层、碳纳米管部分；具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优点。

Description

倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器及其制作工艺

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、纳米科学与技术领域以及真空科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及一种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

显示器的主要功能就是进行显示图像，目前，平板显示器这个名词已经为大家所熟悉，平板显示器件也逐渐走入人们的日常生活，并成为显示市场产品的主流设备。场致发射显示器是最近几年中新兴的一种平板显示装置，它集成了目前主流显示器件的优越之处，例如具有CRT显示器的高图像质量、液晶显示器的超薄型以及等离子体显示器的大面积性等等，并兼顾具有低功耗、低制作成本以及宽的工作温区等特性，已经被公认为是理想的下一代显示装置。碳纳米管是一种薄薄的石墨层管状物质，能够在外加较低电场强度下发射出大量的电子，是一种优秀的场致发射阴极材料。将碳纳米管应用于场致发射显示器中，加速了场致发射平板显示器的研究进展。而在目前所研发的三极结构场致发射显示器中，普遍都存在着器件制作成本高、器件制作工艺复杂、栅极工作电压偏高等不利之处，而且对于器件制作材料的要求也比较高，这些不利之处都在阻碍着场致发射显示器的研究进展。而对于碳纳米管阴极的制作工艺以及制作结构也没有一个令人满意的方案，都还需要进行大量的研究和开发。此外，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺简单、制作过程稳定可靠也是不可忽视的一个重要方面。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作过程稳定可靠、制作工艺简单的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：

一种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板20、阴极玻璃面板1和玻璃边框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层19、阳极连线层23、阳极隔离层21以及制备阳极传导层上面的荧光粉层18；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器22和消气剂16；其特征在于：

所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡隔离层2；阻挡隔离层上面存在阴极导电层3；阴极导电层为条形形状；阴极导电层的周围存在阴极连线层4，阴极连线层和阴极导电层是相互连通的；阴极导电层上面存在阴极提升层5，阴极提升层呈现圆锥型形状，其底面为平面，和阴极导电层相接触；阴极提升层上面存在阴极过渡一层6和阴极过渡二层7，阴极过渡一层呈现圆环型形状，位于阴极提升层侧面中间位置，其下边缘的高度和阴极提升层半高度相平齐，阴极过渡一层位于圆锥型阴极提升层的尖端位置，阴极过渡一层和阴极过渡二层是不互相连接的；阴极过渡一层和阴极过渡二层上面存在阴极牺牲层8；阴极导电层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴间隔一层9；栅阴间隔一层的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层相接触；栅阴间隔一层中存在电子束孔，侧壁垂直于阴极导电层表面，并暴露出底部的部分阴极导电层、阴极提升层、阴极过渡一层、阴极过渡二层和阴极牺牲层；栅阴间隔一层上面存在栅极电极一层10，栅极电极一层的前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极一层的周围存在栅极连线层11，栅极连线层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔一层上面存在栅阴间隔二层12，栅阴间隔二层呈现直角三角型形状，一条直角边形成下表面，和栅阴间隔一层相接触，栅阴间隔二层的另一条直角边和栅阴间隔一层中电子束孔的侧壁是相平行的，且位于同一垂直面上；栅阴间隔二层的斜坡面上存在栅极电极二层13，栅极电极二层布满栅阴间隔二层的斜边表面，且前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极二层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔二层上面存在栅阴间隔三层14，栅阴间隔三层要覆盖栅极电极二层和栅极连线层；碳纳米管15制备在阴极牺牲层的上面。所述的阴极导电层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极连线层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极提升层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极过渡一层为金属铁、钴、镍之一；阴极过渡二层为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一；栅极电极一层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极电极二层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极连线层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极电极一层的走向和阴极导电层的走向是相互垂直的。

一种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：

1)阴极玻璃面板1的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻挡隔离层2的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阻挡隔离层；

3)阴极导电层3的制作：在阻挡隔离层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极导电层；

4)阴极连线层4的制作：在阴极导电层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极连线层；

5)阴极提升层5的制作：在阴极导电层的上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极提升层；

6)阴极过渡一层6和阴极过渡二层7的制作：在阴极提升层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后分别形成阴极过渡一层和阴极过渡二层；

7)阴极牺牲层8的制作：在阴极过渡一层和阴极过渡二层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层；

8)栅阴间隔一层9的制作：在阴极导电层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔一层；

9)栅极电极一层10的制作：在栅阴间隔一层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极一层；

10)栅极连线层11的制作：在栅极电极一层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极连线层；

11)栅阴间隔二层12的制作：在栅阴间隔一层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔二层；

12)栅极电极二层13的制作：在栅阴间隔二层的斜坡面上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极二层；

13)栅阴间隔三层14的制作：在栅阴间隔二层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔三层；

14)倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的表面清洁处理：对倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

15)碳纳米管15的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；

16)阳极玻璃面板20的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极传导层19的制作：在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀工艺后形成阳极传导层；

18)阳极连线层23的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极连线层；

19)阳极隔离层21的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极隔离层；

20)荧光粉层18的制备：在阳极传导层的上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

21)器件装配：将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、隔离支撑器22、玻璃边框17装配到一起，并将消气剂16安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。

所述步骤19具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及阳极传导层中间的空余位置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度：220℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤20具体为在阳极玻璃面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

本发明具有如下积极效果：本发明中的主要特点在于制作了具有倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的、碳纳米管阴极的平板场致发射平板显示器件。

其一，采用了单尖端阴极结构，充分利用了碳纳米管阴极边缘部分电场高度集中的原理，能够极大地提升碳纳米管的发射效率；增加了碳纳米管阴极发射的表面积，从而发射的电子数量也能够得到极大的增多。

其二，采用了倒Y型斜高栅控制结构，进一步缩减了栅极-阴极之间的有效距离，从而达到降低整体器件工作电压的目的，还兼顾具有电子束聚集的效果和作用。

其三，在本发明中，是在阳极结构和栅极控制结构全部制作完毕的情况下，最后才进行碳纳米管阴极的制作，也就是说，碳纳米管阴极的制作不受其它制作器件工艺的影响，极大减少了碳纳米管阴极的损伤，提高了显示器件制作的成功率。

此外，在本发明中的器件制作过程中，并没有采用特殊的器件制作材料以及特殊的器件制作工艺，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优越之处。

附图说明

图1给出了倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的纵向结构示意图。

图2给出了倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的横向结构示意图。

图3给出了倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的、碳纳米管阴极场致发射平板显示器的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但本发明并不局限于实施例。

如图1、2、3所示，一种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板20、阴极玻璃面板1和玻璃边框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层19、阳极连线层23、阳极隔离层21以及制备阳极传导层上面的荧光粉层18；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器22和消气剂16；其特征在于：

所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡隔离层；阻挡隔离层上面存在阴极导电层；阴极导电层为条形形状；阴极导电层的周围存在阴极连线层，阴极连线层和阴极导电层是相互连通的；阴极导电层上面存在阴极提升层，阴极提升层呈现圆锥型形状，其底面为平面，和阴极导电层相接触；阴极提升层上面存在阴极过渡一层和阴极过渡二层，阴极过渡一层呈现圆环型形状，位于阴极提升层侧面中间位置，其下边缘的高度和阴极提升层半高度相平齐，阴极过渡一层位于圆锥型阴极提升层的尖端位置，阴极过渡一层和阴极过渡二层是不互相连接的；阴极过渡一层和阴极过渡二层上面存在阴极牺牲层；阴极导电层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴间隔一层；栅阴间隔一层的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层相接触；栅阴间隔一层中存在电子束孔，侧壁垂直于阴极导电层表面，并暴露出底部的部分阴极导电层、阴极提升层、阴极过渡一层、阴极过渡二层和阴极牺牲层；栅阴间隔一层上面存在栅极电极一层，栅极电极一层的前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极一层的周围存在栅极连线层，栅极连线层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔一层上面存在栅阴间隔二层，栅阴间隔二层呈现直角三角型形状，一条直角边形成下表面，和栅阴间隔一层相接触，栅阴间隔二层的另一条直角边和栅阴间隔一层中电子束孔的侧壁是相平行的，且位于同一垂直面上；栅阴间隔二层的斜坡面上存在栅极电极二层，栅极电极二层布满栅阴间隔二层的斜边表面，且前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极二层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔二层上面存在栅阴间隔三层，栅阴间隔三层要覆盖栅极电极二层和栅极连线层；碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面。

所述的阴极导电层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极连线层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极提升层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极过渡一层为金属铁、钴、镍之一；阴极过渡二层为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一；栅极电极一层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极电极二层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极连线层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极电极一层的走向和阴极导电层的走向是相互垂直的。

一种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：

1)阴极玻璃面板1的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻挡隔离层2的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阻挡隔离层；

3)阴极导电层3的制作：在阻挡隔离层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极导电层；

4)阴极连线层4的制作：在阴极导电层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极连线层；

5)阴极提升层5的制作：在阴极导电层的上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极提升层；

6)阴极过渡一层6和阴极过渡二层7的制作：在阴极提升层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后分别形成阴极过渡一层和阴极过渡二层；

7)阴极牺牲层8的制作：在阴极过渡一层和阴极过渡二层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层；

8)栅阴间隔一层9的制作：在阴极导电层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔一层；

9)栅极电极一层10的制作：在栅阴间隔一层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极一层；

10)栅极连线层11的制作：在栅极电极一层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极连线层；

11)栅阴间隔二层12的制作：在栅阴间隔一层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔二层；

12)栅极电极二层13的制作：在栅阴间隔二层的斜坡面上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极二层；

13)栅阴间隔三层14的制作：在栅阴间隔二层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔三层；

14)倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的表面清洁处理：对倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

15)碳纳米管15的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；

16)阳极玻璃面板20的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极传导层19的制作：在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀工艺后形成阳极传导层；

18)阳极连线层23的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极连线层；

19)阳极隔离层21的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极隔离层；

20)荧光粉层18的制备：在阳极传导层的上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

21)器件装配：将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、隔离支撑器22、玻璃边框17装配到一起，并将消气剂16安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。

所述步骤19具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及阳极传导层中间的空余位置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度：220℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

所述步骤20具体为在阳极玻璃面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

所述的带有倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板20、阴极玻璃面板1和玻璃边框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层19、阳极连线层23、阳极隔离层21以及制备阳极传导层上面的荧光粉层18；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器22和消气剂16；所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构包括阴极玻璃面板1、阻挡隔离层2、阴极导电层3、阴极连线层4、阴极提升层5、阴极过渡一层6、阴极过渡二层7、阴极牺牲层8、栅阴间隔一层9、栅极电极一层10、栅极连线层11、栅阴间隔二层12、栅极电极二层13、栅阴间隔三层14、碳纳米管15部分。所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的基底材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃之一

Claims (6)

1.一种倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板(20)、阴极玻璃面板(1)和玻璃边框(17)所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层(19)、阳极连线层(23)、阳极隔离层(21)以及制备阳极传导层上面的荧光粉层(18)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器(22)和消气剂(16)；其特征在于：

所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡隔离层(2)；阻挡隔离层上面存在阴极导电层(3)；阴极导电层为条形形状；阴极导电层的周围存在阴极连线层(4)，阴极连线层和阴极导电层是相互连通的；阴极导电层上面存在阴极提升层(5)，阴极提升层呈现圆锥型形状，其底面为平面，和阴极导电层相接触；阴极提升层上面存在阴极过渡一层(6)和阴极过渡二层(7)，阴极过渡一层呈现圆环型形状，位于阴极提升层侧面中间位置，其下边缘的高度和阴极提升层半高度相平齐，阴极过渡二层位于圆锥型阴极提升层的尖端位置，阴极过渡一层和阴极过渡二层是不互相连接的；阴极过渡一层和阴极过渡二层上面存在阴极牺牲层(8)；阴极导电层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴间隔一层(9)；栅阴间隔一层的上下表面均为平面，下表面和阴极导电层相接触；栅阴间隔一层中存在电子束孔，侧壁垂直于阴极导电层表面，并暴露出底部的部分阴极导电层、阴极提升层、阴极过渡一层、阴极过渡二层和阴极牺牲层；栅阴间隔一层上面存在栅极电极一层(10)，栅极电极一层的前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极一层的周围存在栅极连线层(11)，栅极连线层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔一层上面存在栅阴间隔二层(12)，栅阴间隔二层呈现直角三角型形状，一条直角边形成下表面，和栅阴间隔一层相接触，栅阴间隔二层的另一条直角边和栅阴间隔一层中电子束孔的侧壁是相平行的，且位于同一垂直面上；栅阴间隔二层的斜坡面上存在栅极电极二层(13)，栅极电极二层布满栅阴间隔二层的斜边表面，且前端延伸到电子束孔中，呈现悬空状态；栅极电极二层和栅极电极一层是相互连通的；栅阴间隔二层上面存在栅阴间隔三层(14)，栅阴间隔三层要覆盖栅极电极二层和栅极连线层；碳纳米管(15)制备在阴极牺牲层的上面。

2.根据权利要求1所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器，其特征在于：所述的阴极导电层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极连线层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极提升层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；阴极过渡一层为金属铁、钴、镍之一；阴极过渡二层为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一；栅极电极一层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极电极二层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极连线层为金属金、银、铜、铅、锡、铟、铝、钼、铬之一；栅极电极一层的走向和阴极导电层的走向是相互垂直的。

3.一种如权利要求1所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：

1)阴极玻璃面板(1)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；

2)阻挡隔离层(2)的制作：在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阻挡隔离层；

3)阴极导电层(3)的制作：在阻挡隔离层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极导电层；

4)阴极连线层(4)的制作：在阴极导电层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极连线层；

5)阴极提升层(5)的制作：在阴极导电层的上面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阴极提升层；

6)阴极过渡一层(6)和阴极过渡二层(7)的制作：在阴极提升层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后分别形成阴极过渡一层和阴极过渡二层；

7)阴极牺牲层(8)的制作：在阴极过渡一层和阴极过渡二层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极牺牲层；

8)栅阴间隔一层(9)的制作：在阴极导电层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔一层；

9)栅极电极一层(10)的制作：在栅阴间隔一层上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极一层；

10)栅极连线层(11)的制作：在栅极电极一层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅极连线层；

11)栅阴间隔二层(12)的制作：在栅阴间隔一层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔二层；

12)栅极电极二层(13)的制作：在栅阴间隔二层的斜坡面上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成栅极电极二层；

13)栅阴间隔三层(14)的制作：在栅阴间隔二层上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成栅阴间隔三层；

14)倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的表面清洁处理：对倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

15)碳纳米管(15)的制备：将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；

16)阳极玻璃面板(20)的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；

17)阳极传导层(19)的制作：在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀工艺后形成阳极传导层；

18)阳极连线层(23)的制作：在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极连线层；

19)阳极隔离层(21)的制作：在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成阳极隔离层；

20)荧光粉层(18)的制备：在阳极传导层的上面印刷荧光粉，经常规烘烤工艺后形成荧光粉层；

21)器件装配：将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、隔离支撑器(22)、玻璃边框(17)装配到一起，并将消气剂(16)安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；

22)成品制作：对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。

4.根据权利要求3所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤19具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及阳极传导层中间的空余位置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度：220℃，保持时间：5分钟，之后，放置在烧结炉中进行高温烧结，烧结温度：580℃，保持时间：10分钟。

5.根据权利要求3所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20具体为在阳极玻璃面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度：120℃，保持时间：10分钟。

6.根据权利要求3所述的倒Y型斜高栅单尖端阴极控制结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤22具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺：将样品器件放入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

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