CN101736308B - 镀膜工件承载装置及镀膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种镀膜工件承载装置，包括底盘、至少一根穿设于该底盘内部的冷却管及多个固持件，所述底盘具有承载面，所述冷却管具有多个突出于所述承载面的突出部，每个固持件套设于相应的突出部，用以固定待镀工件，所述冷却管供冷却流体流动以冷却待镀工件。本发明还提供一种利用上述镀膜工件承载装置对待镀工件进行镀膜的镀膜方法。

Description

镀膜工件承载装置及镀膜方法

技术领域

本发明涉及镀膜技术领域，特别涉及用于溅镀式镀膜的镀膜工件承载装置及镀膜方法。

背景技术

随着摄像技术的发展，镜头模组在各种用途的摄像装置中得到广泛的应用，镜头模组与各种便携式电子装置如手机、计算机等的结合，更得到众多消费者的青睐。

镜头模组一般包括镜片、镜座、滤光片及影像感测器等。镜片的设计方法请参阅Min-Kang Chao与Sheng-Wen Cheng在IEEE超声波会议(2000 IEEE Ultrasonics Symposium)上发表的论文Aspheric Lens Design。为了降低影像感测器受电磁干扰的程度，一般还需于镜座的表面镀上一层防电磁干扰(Electro Magnetic Interference，EMI)镀膜。

现有技术中，常用连续式溅镀机(In-Line Sputtering)对镜筒、镜座等元件进行镀膜，这种连续式溅镀机具有速度快、产量高且镀膜品质好等优点。然而，该连续式溅镀机用于承载待镀工件的镀膜工件承载装置的散热性能不佳，导致工件镀膜时温度过高而产生扭曲变形等损伤。且，镀膜工件承载装置与待镀工件固定固定方式欠佳，工件镀膜时产生微量变形，从而可能导致工件冷却后镀膜层与工件之间存在较大的残留应力，影响镀膜的附着能力。

因此，有必要提供一种可有效提高镀膜附着能力以及降低镀膜工件扭曲变形的镀膜工件承载装置及镀膜方法。

发明内容

下面将以具体实施例说明一种镀膜工件承载装置及镀膜方法。

一种镀膜工件承载装置，包括底盘、至少一根穿设于该底盘内部的冷却管及多个固持件，所述底盘具有承载面，所述冷却管具有多个突出于所述承载面的突出部，每个固持件套设于相应的突出部，用以固定待镀工件，所述冷却管供冷却流体流动以冷却待镀工件。

提供待镀工件以及如上所述的镀膜工件承载装置；将待镀工件旋合于固定件；将已旋合待镀工件的固定件套设于冷却管的突出部；对待镀工件进行镀膜；镀膜冷却后，取下已镀膜工件。

相对于现有技术，本技术方案的镀膜工件承载装置及镀膜方法具有如下优点：首先，利用固持件旋合固定待镀工件，与待镀工件旋合的固持件在镀膜过程中可保持待镀工件内部的内螺纹不变形，同时减少工件镀膜时的微量变形，以降低镀膜工件冷却后其镀膜层与工件间的附着应力。其次，在镀膜过程中利用冷却装置的突出部冷却旋合固定于固持件的待镀工件，突出部可加强镀膜工件的散热效果，避免工件镀膜时由于局部温度过高而产生扭曲变形等损伤。

附图说明

图1是本技术方案实施例提供的镀膜工件承载装置的示意图。

图2是图1沿II-II方向的剖视图。

图3是利用本技术方案的镀膜工件承载装置对待镀工件进行镀膜的示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本技术方案的镀膜工件承载装置作进一步详细说明。

请一并参阅图1及图2，本技术方案实施例提供的镀膜工件承载装置100，包括底盘10、至少一根穿设于该底盘10内部的冷却管20及多个固持件30。冷却管20固设于底盘10，固持件30设于冷却管20，固持件30用于固定待镀工件以对该待镀工件进行镀膜。

底盘10为长方形平板状结构，底盘10具有第一表面12、第二表面14以及连接于第一表面12与第二表面14之间的第一侧面16和第二侧面18。第一表面12与第二表面14平行相对，其中第一表面12为承载面。第一侧面16与第二侧面18也平行相对。本实施例中，底盘10具有多个收容孔102，每一收容孔102包括一个水平收容部104以及与该水平收容部104相连通的多个垂直收容部106。水平收容部104贯穿第一侧面16与第二侧面18。多个垂直收容部106自水平收容部104贯穿至第一表面12。

本实施例中，镀膜工件承载装置100具有多根相互平行设置的冷却管20。冷却管20具有相连的第一冷却部22和突出部24。冷却管20的突出部22突出于底盘10的第一表面12，即突出于承载面。第一冷却部22穿设于底盘10的水平收容部104内，且与底盘10固定。突出部24由冷却管20弯折形成，突出部24收容固定于垂直收容部106内。该突出部24自垂直收容部106向底盘10的承载面方向突出。第一冷却部22延伸贯穿第一侧面16与第二侧面18。第一冷却部22的一端为冷却流体入口，另一端为冷却流体出口，以可使冷却流体自该第一冷却部22的一端流入，并自第一冷却部22的另一端流出，以实现冷却流体在冷却装置20中的循环更新。一般地，冷却流体可为纯水、氨水、甲醇、丙酮、庚烷或其混合液体。

固持件30具有套孔32和外螺纹34。本实施例中，固持件30近似为一圆柱形套筒。固持件30的套孔32沿固持件30的中心轴线开设，其为一圆孔。套孔32与突出部24的大小相当，从而固持件30可通过套孔32套设固定于突出部24。固持件30的外螺纹34设于固持件30的外表面，其与待镀工件相配合，用于与待镀工件旋合以固定该待镀工件。当然，固持件30也可没有外螺纹，只要其与待镀工件套紧固定，即可避免待镀工件的过度变形。

请参阅图3，本技术方案还提供一种利用上述镀膜工件承载装置100对待镀工件进行镀膜的镀膜方法，以下以镜座作为待镀工件为例说明其镀膜步骤：

第一步，提供待镀工件以及如上所述的镀膜工件承载装置100。

所述待镀工件为镜座200，其具有用于旋合镜筒的内螺纹210，其外表面220需要镀上防电磁干扰镀膜。

第二步，将待镀工件旋合于固定件30。

将镜座200与固定件30相对，由于固持件30的外螺纹34与镜座200的内螺纹210可相互配合，从而镜座200可旋合于固定件30，并与固定件30相固定。

第三步，将已旋合待镀工件的固定件30套设于冷却管20的突出部24。

使固定件30的套孔32与突出部24相对，由于套孔32与突出部24的大小相当，所以已旋合镜座200的固定件30可套设固定于冷却管20的突出部24。

第四步，对待镀工件进行镀膜。

给镜座200的外表面220镀上防电磁干扰镀膜，该镀膜可采用真空溅镀方式进行镀覆。

第五步，镀膜冷却后，取下已镀膜工件。

待镜座200的镀膜冷却后，取下固定件30，并旋出镜座200，即完成对该镜座200的镀膜处理。

相对于现有技术，本技术方案的镀膜工件承载装置及镀膜方法具有如下优点：首先，利用固持件旋合固定待镀工件，与待镀工件旋合的固持件在镀膜过程中可保持待镀工件内部的内螺纹不变形，同时减少工件镀膜时的微量变形，以降低镀膜工件冷却后其镀膜层与工件间的附着应力。其次，在镀膜过程中利用冷却装置的突出部冷却旋合固定于固持件的待镀工件，突出部可加强镀膜工件的散热效果，避免工件镀膜时由于局部温度过高而产生扭曲变形等损伤。

可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本技术方案的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本技术方案权利要求的保护范围。

Claims (7)

1.一种镀膜工件承载装置，包括底盘、至少一根穿设于该底盘内部的冷却管及多个固持件，所述底盘具有作为承载面的第一表面、第二表面以及连接于第一表面与第二表面之间的第一侧面和第二侧面；第一表面与第二表面平行相对，第一侧面与第二侧面也平行相对；所述底盘具有多个收容孔，每一收容孔包括一个水平收容部以及与该水平收容部相连通的多个垂直收容部，水平收容部贯穿第一侧面与第二侧面，多个垂直收容部自水平收容部贯穿第一表面，所述冷却管具有相连的第一冷却部及多个突出于所述第一表面的突出部，每个固持件套设于相应的突出部，用以固定待镀工件，所述第一冷却部穿设于底盘的水平收容部内，且与底盘固定，突出部由冷却管弯折而成，所述突出部收容固定于垂直收容部内，突出部自垂直收容部向底盘的承载面方向突出，第一冷却部延伸贯穿第一侧面与第二侧面；所述冷却管供冷却流体流动以冷却待镀工件。

2.如权利要求1所述的镀膜工件承载装置，其特征在于，所述镀膜工件承载装置包括多根相互平行设置的冷却管。

3.如权利要求1所述的镀膜工件承载装置，其特征在于，所述固持件具有套孔和外螺纹，固持件通过套孔套设于突出部，固持件的外螺纹用于与待镀工件旋合。

4.如权利要求1所述的镀膜工件承载装置，其特征在于，所述冷却管中具有冷却流体，所述冷却流体为纯水、氨水、甲醇、丙酮、庚烷或其混合液体。

5.一种镀膜方法，包括步骤：

提供待镀工件以及如权利要求1所述的镀膜工件承载装置；

将待镀工件旋合于固持件；

将已旋合待镀工件的固持件套设于冷却管的突出部；

对待镀工件进行镀膜；

镀膜冷却后，取下已镀膜工件。

6.如权利要求5所述的镀膜方法，其特征在于，采用真空溅镀方式对待镀膜元件进行镀膜。

7.如权利要求5所述的镀膜方法，其特征在于，所述镀膜为金属镀膜。

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