CN101702394B - 用于碳纳米管场致发射器件电极保护涂层及制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于碳纳米管场致发射器件电极保护涂层及制备方法，其特征在于：该电极保护的涂层涂料由下述重量百分比的原料配制而成：溶剂5％-20％；树脂50％-70％；光敏单体2％-10％；光引发剂5％-20％。其方法步骤为：1)阴极玻璃基板上涂覆导电银浆，光刻法得到栅极电极层；2)栅极电极层烧结；3)绝缘介质层印刷；4)绝缘介质层烧结；5)绝缘介质层上套准印刷导电银浆阴极电极层图形，光刻法得到阴极图形层；6)阴极电极层烧结；7)保护电极涂层印刷；8)阴极电极层图形湿法刻蚀；9)喷淋保护电极涂层；10)碳纳米管层印刷；11)碳纳米管层烧结、表面超声处理。它能够对碳纳米管场致发射器件电极引线进行有效保护，免于出现引线脱落或受损的情况。
Description
技术领域
本发明涉及属于场发射显示器制造技术领域，特别是一种用于碳纳米管场致发射器件电极保护涂层及制备方法。
背景技术
碳纳米管场致发射显示器件作为新型的显示技术，一些技术瓶颈仍不能得到有效的解决。其中高效的器件结构设计与制作是一个典型的问题。简单的二极结构场致发射显示屏，其制作工艺简单，但一方面阳极需要高压才能给电子足够能量轰击荧光粉实现高亮度，另一方面阳极电极又充当调制电极，连接外围驱动电路又需要低电压，因此存在发光亮度和驱动电压之间存在不可调和的矛盾，必须在二极结构的基础上引入栅极结构，由栅极进行电压调制，由阳极控制亮度。由于控制栅极和阴极之间的距离很近，因此在控制栅极上施加相对比较低的电压，就容易在阴极的顶端形成强大的电场强度。
如图1所示，是新型三电极结构碳纳米管场致发射显示组件结构图，一般现有的场致发射显示器1，其结构至少包括阳极2和阴极3，该阳极2与阴极3之间设置有隔离子4以提供阳极2与阴极3之间真空区域的间隔，还可以作为阳极2与阴极3之间的支撑。此外，该阳极2至少包括一阳极玻璃基板21、一阳极电极层22以及一荧光粉体涂层23；而该阴极3至少包括一阴极玻璃基板31、一阴极电极层32、阴极材料层33及一栅极电极层34；其中阳极2与阴极3之间设有的隔离子4，不仅保持阴极与阳极之间的真空区域的支撑，并提供一场所，使阴极板上的电子源在外加电场的作用下产生电子并射向阳极板上的荧光粉体从而使荧光粉发光。
此三电极结构的碳纳米管场致发射器件，为了实现大面积、高精度的显示功能，对于隔绝栅极电极层34和阴极电极层32的绝缘介质材料层35一般采取湿法刻蚀方法进行，在进行湿法刻蚀的过程中，在保证介质孔洞的精确刻蚀下，往往造成酸液对场致发射器件上层电极的伤害。
有鉴于上述以现有技术制作的碳纳米管场致发射显示器件技术的不足，需要一种用于碳纳米管场致发射器件电极保护的涂层及其制作方法成为本领域丞待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于碳纳米管场致发射器件电极保护的涂层，包括其配制方法及制备的工艺流程，其主要特点在于对碳纳米管场致发射器件的行、列电极引线进行有效保护，免于出现引线脱落或受损的情况。
本发明的目的是通过下述技术方案实现的，一种用于碳纳米管场致发射器件电极保护涂层，其特征在于：该电极保护的涂层涂料由下述重量百分比的原料配制而成：
溶剂5％-20％；树脂50％-70％；光敏单体2％-10％；光引发剂5％-20％。
所述溶剂为Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯)。
所述树脂为由甲基丙烯酸甲酯、乙酰乙酸甲酯、十二硫醇及偶氮二异丁腈(AIBN)共聚制成的丙烯酸树脂，其酸值为70-80。
所述树脂共聚步骤为：
1)制备活性部分：将重量百分比为98％的Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯)与2％偶氮二异丁腈(AIBN)两者混合，超声20min；备用；
2)制备胶体：将重量百分比为82％甲基丙烯酸甲酯、15％乙酰乙酸甲酯、1％十二硫醇及2％偶氮二异丁腈(AIBN)混合制成胶体；
3)将胶体装入三口烧瓶，并将活性部分在90℃下，以真空泵抽入三口烧瓶中，与胶体混合均匀，即得丙烯酸树脂。
所述光敏单体为丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。
所述光引发剂为裂解型引发剂，包括1173、184、907、369、1490、1700。
该用于碳纳米管场致发射器件电极保护涂层制备方法包括如下步骤：
1)该电极保护的涂层涂料是先制备成保护电极涂层，将上述重量百分比的涂层涂料置于研钵或脱泡搅拌机中进行机械混合，其粘度控制在10000到30000cps之间；
2)在阴极玻璃基板上涂覆整面感光性导电银浆，在80℃，大气压下，烘干20-30min，利用光刻法得到栅极电极层，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
3)栅极电极层在570℃，大气压下，烧结20min；
4)绝缘介质层印刷，在130℃，大气压下，烘干10-15min；
5)绝缘介质层在600℃，大气压下，烧结20min；
6)在绝缘层上套准印刷导电银浆阴极电极层图形，在80℃，大气压下，烘干20-30min，利用光刻法得到阴极图形层，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)阴极电极层在570℃，大气压下，烧结20min；
8)将步骤1)制备的保护电极涂层进行印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
9)利用阴极电极层图形做掩膜对介质进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，采用0.3％稀硝酸溶液，40℃，刻蚀150s-300s；
10)用0.4％的碳酸钠溶液整面喷淋保护电极涂层，12-15s后保护电极涂层整片剥离；
11)碳纳米管层印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
12)碳纳米管层在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
作为本发明的另一种方法的改进，所述步骤6)后的制备方法或是：
6)、在绝缘介质层上套准印刷导电银浆阴极电极层图形，在80℃，大气压下，烘干30min，利用光刻法得到阴极图形层，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)、将上述重量百分比配制好的电极保护涂层印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
8)、利用阴极电极层32图形做掩膜对介质进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，药液采用0.3％稀硝酸溶液，溶液温度为40℃，刻蚀时间为150s-300s；
9)、阴极电极层在570℃，大气压下，烧结20min；
10)、碳纳米管层印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
11)、碳纳米管层在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
作为本发明的再一种方法的改进，所述步骤8)后的制备方法或是：
8)将步骤1)制备的保护电极涂层进行印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
9)利用栅极电极层的菲林对保护电极涂层进行光刻，以得到与栅极电极层引线区一致的保护电极图形，曝光能量为300mJ，显影液采用的是0.4％的碳酸钠溶液；
10)利用阴极电极层图形做掩膜对介质进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，药液采用0.3％稀硝酸溶液，40℃，刻蚀时间为150s-300s；
11)用0.4％的碳酸钠溶液整面喷淋保护电极涂层，12-15s后保护电极涂层整片剥离；
12)碳纳米管层印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
13)碳纳米管层在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
本发明提出的一种电极保护的涂料：溶剂、高分子树脂，溶于溶剂中；光引发剂和光敏单体，具有负型光阻特性，溶于溶剂中，其黏度控制在10000到30000cps之间，以适应丝网印刷的需求。
本发明碳纳米管场致发射显示器采用了背栅结构，并通过曝光显影的方式得到条状栅极电极图形；再在栅极电极层34上涂覆可用于湿法刻蚀类的绝缘介质层35，对该绝缘介质层35进行高温烧结；在烧结后的绝缘介质层35上涂覆阴极电极层32，阴极电极层32使用感光性银浆制作，利用阴极电极层32的掩膜得到阴极电极图形后进行烧结；烧结后的阴极电极层32的引线区涂覆本发明的保护碳纳米管场致发射器件电极的涂料，然后再利用酸液对绝缘介质层35进行湿法刻蚀，本发明的保护电极的涂层，可以确保相对脆弱的阴极电极引线区在酸液的冲蚀下保持完整导通；利用湿法刻蚀得到精确的介质孔后，利用碳酸钠溶液对保护电极的涂层进行剥离，由于本发明中的保护电极的涂层是碱性体系，故其在低浓度的碳酸钠溶液中即全部冲掉，不会对碳纳米管场致发射器件的性能和结构造成影响；最后在阴极电极层上涂覆碳纳米管层。
本发明并且碳纳米管场致发射显示器采用了背栅结构，其电极保护涂层的制造方法包括：先将栅极电极层通过印刷的方式涂覆在阴极玻璃基板上，并通过曝光显影的方式得到条状栅极电极图形；再在栅极电极层上涂覆可用于湿法刻蚀类的绝缘介质层，对该介质层进行高温烧结；在烧结后的绝缘介质层上涂覆阴极电极层，阴极电极层使用感光性银浆制作，利用阴极电极层的掩膜得到阴极电极图形后，阴极电极层可以烧结后再做下一步，也可以不经过烧结，直接在阴极电极层的引线区涂覆本发明的保护碳纳米管场致发射器件电极的涂料。由于本发明的保护电极的涂料和阴极电极层的材料同属碱性感光体系，故不会发生相互干扰；然后再利用酸液对绝缘介质层进行湿法刻蚀。本发明的保护电极的涂层，可以确保相对脆弱的阴极电极引线区在酸液的冲蚀下保持完整导通；利用湿法刻蚀得到精确的介质孔后，对阴极电极层进行烧结，在570°的烧结温度下，阴极电极层的引线区就会暴露出来，省略了对保护电极的涂层进行剥离的过程，工艺更加简单；最后在阴极电极层上涂覆碳纳米管层。
本发明在不干扰本三电极结构的情况下，很好的保护了湿刻过程中暴露在外的电极引线区，且本电极保护涂层制作和剥离工艺简单，适合大面积、高精度面板的制作。
附图说明
图1为常规的场发射显示组件的结构示意图。
图2-4为依据本发明的实施例1制作完成的一种具有碳纳米管场致发射显示器电极保护结构的制造方法的俯视图。
图5为依据本发明的实施例2制作完成的一种具有碳纳米管场致发射显示器电极保护结构的制造方法的俯视图。
图6为依据本发明的是实例3制作完成的一种具有碳纳米管场致发射显示器电极保护结构的制造方法的俯视图。
图7为图6所示的A处局部放大图。
具体实施方式
为进一步阐述实现本发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
实施例1
先制备电极保护的涂层36。首先按照树脂由甲基丙烯酸甲酯、乙酰乙酸甲酯、十二硫醇及偶氮二异丁腈(AIBN)共聚制成丙烯酸树脂。
1)制备活性部分：将重量百分比为98％的Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯)与2％偶氮二异丁腈(AIBN)两者混合，超声20min；备用；
2)制备胶体：将重量百分比为82％甲基丙烯酸甲酯、15％乙酰乙酸甲酯、0.9％十二硫醇及2％偶氮二异丁腈(AIBN)制成胶体；
3)将胶体装入三口烧瓶，并将活性部分在90℃下，以真空泵抽入三口烧瓶中，与胶体混合均匀，即得本发明所述的树脂。
图2是本发明碳纳米管场致发射显示器结构制备方法示意图。
如图所示的阴极玻璃基板31经过丙酮超声清洗后，进行如下步骤的制作过程：
1)按照下述重量百分比的原料配制电极保护的涂层36：取上述经配制的树脂50％，丙烯酸酯10％，裂解型光引发剂90720％溶于Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯)中进行机械混合，溶剂量为20％，即得电极保护涂层36，备用。其黏度控制在10000到30000cps之间，以适应丝网印刷的需求；
2)在阴极玻璃基板31上涂覆整面感光性导电银浆，在80℃，大气压下，烘干20min，利用光刻法得到栅极电极层34，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
3)栅极电极层34在570℃，大气压下，烧结20min；
4)绝缘介质层35印刷，在130℃，大气压下，烘干10min；
5)绝缘介质层35在600℃，大气压下，烧结20min；
6)在绝缘介质层35上套准印刷导电银浆阴极电极层32图形，在80℃，大气压下，烘干20min，利用光刻法得到阴极图形层32，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)阴极电极层32在570℃，大气压下，烧结20min；
8)见图3所示，将上述步骤1)配制好的极涂层36材料印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
9)利用阴极电极层32图形做掩膜对介质进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，采用0.3％稀硝酸溶液，40℃，刻蚀150s-300s；
10)用0.4％的碳酸钠溶液整面喷淋保护电极涂层36，12-15s后保护电极涂层36整片剥离；见图4所示；
11)碳纳米管层5印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
12)碳纳米管层5在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
附图2所示，在本实施例1中用一曝光源对阴极电极层32进行选择性曝光，使得曝光区中的抗蚀剂发生交联，交联使得抗蚀剂不溶于抗蚀剂显影化合物，所以在显影时曝光区的图案遗留下来，形成所需的阴极电极层图形，由于本发明使用的感光介质体系是碱溶性体系，所以利用浓度为0.4％的碳酸钠溶液可实现阴极电极层的图形化。
附图3所示的保护阴极电极引线区的涂层36，其包括：溶剂、溶于该溶剂中高分子树脂及光引发剂和光敏单体，其具有负型光阻特性，并且也溶于该溶剂中，其黏度控制在10000到30000cps之间，以适应丝网印刷的需求。
如附图4所示，在印刷保护电极的涂层后，利用烧结后的阴极电极层32图形做掩膜，对烧结后的绝缘介质层35进行刻蚀，刻蚀液为0.3％的稀硝酸溶液，刻蚀时长为150-300s，最终得到栅极电极层与阴极电极层交叉的背栅结构，再利用0.4％碳酸钠溶液进行保护电极涂层的剥离。最后进行碳纳米管的印刷、烧结。
实施例2
先制备电极保护的涂层36。按照树脂共聚制成丙烯酸树脂同实施例1。
阴极玻璃基板31经过丙酮超声清洗后，进行如下步骤的制作过程：
1)按照下述重量百分比的原料配制电极保护的涂层36：取上述经配制的树脂68％，甲基丙烯酸酯7％，裂解型光引发剂1173 20％溶于Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯)中进行机械混合，溶剂量为5％，即得电极保护涂层36，备用。其黏度控制在10000到30000cps之间，以适应丝网印刷的需求；
2)在阴极玻璃基板31上涂覆整面感光性导电银浆，在80℃，大气压下，烘干30min，利用光刻法得到栅极电极层34，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
3)栅极电极层34在570℃，大气压下，烧结20min；
4)绝缘介质层35印刷，在130℃，大气压下，烘干15min；
5)绝缘介质层35在600℃，大气压下，烧结20min；
6)、在绝缘介质层35上套准印刷导电银浆阴极电极层32图形，在80℃，大气压下，烘干30min，利用光刻法得到阴极图形层32，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)、将上述重量百分比配制好的电极保护涂层36印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
8)、利用阴极电极层32图形做掩膜对介质进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，药液采用稀硝酸溶液(浓度为0.3％)，溶液温度为40℃，刻蚀时间为150s-300s；
9)、阴极电极层32在570℃，大气压下，烧结20min；
10)、碳纳米管层5印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
11)、碳纳米管层5在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
本发明实施例2作为对实施例1方法的进一步改进，是把步骤7)推后到步骤9)，实施例1中步骤7)中所述的阴极电极层32不经过烧结，直接进行步骤7)-8)的制作，然后再进行阴极电极层32的烧结，其优化之处在于省略了实施例1中的步骤10)的电极保护涂层的剥离过程，如图5所示，在进行阴极电极层32烧结时，阴极电极层的引线区在高温烧结下暴露出来。
实施例3
先制备电极保护的涂层36。按照树脂共聚制成丙烯酸树脂同实施例1。
阴极玻璃基板31经过丙酮超声清洗后，进行如下步骤的制作过程：
1)按照下述重量百分比的原料配制电极保护的涂层36：取上述经配制的树脂70％，甲基丙烯酸酯2％，裂解型光引发剂18418％溶于Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯)中进行机械混合，溶剂量为10％，即得电极保护涂层36，备用。其黏度控制在10000到30000cps之间，以适应丝网印刷的需求；
2)在阴极玻璃基板31上涂覆整面感光性导电银浆，在80℃，大气压下，烘干30min，利用光刻法得到栅极电极层34，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
3)栅极电极层34在570℃，大气压下，烧结20min；
4)绝缘介质层35印刷，在130℃，大气压下，烘干10min；
5)绝缘介质层35在600℃，大气压下，烧结20min；
6)在绝缘介质层35上套准印刷导电银浆阴极电极层32图形，在80℃，大气压下，烘干20min，利用光刻法得到阴极图形层32，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)阴极电极层32在570℃，大气压下，烧结20min；
8)见图3所示，将上述步骤1)配制好的电极保护涂层36印刷，在80℃，大气压下，烘干20min；
9)、利用栅极电极层的菲林对保护电极涂层36进行光刻，以得到与栅极电极层引线区一致的保护电极图形，曝光能量为300mJ，显影液采用的是0.4％的碳酸钠溶液；见图6所示；
10)、利用阴极电极层图形做掩膜对介质进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，药液采用稀硝酸溶液(浓度为0.3％)，溶液温度为40℃，刻蚀时间为300s；
11)用0.4％的碳酸钠溶液整面喷淋保护电极涂层36，12s后保护电极涂层36整片剥离；见图4所示；
12)碳纳米管层5印刷，在100℃，大气压下，烘干10min；
13)碳纳米管层5在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
本实施例1)-10)步骤和实施例1相同，比实施例1优化之处在于，如附图6、图7所示，电极保护涂层利用光刻法制作，使其与栅极电极的引线区重合，不仅精确地保护了栅极电极的引线区，而且避免了整面引线区印刷造成的凹凸不平，从而加强了本电极保护涂层的作用。
上述实施例3方法的进一步改进，是插入了一个步骤9)，即利用栅极电极层的菲林对保护电极涂层36进行光刻，以得到与栅极电极层引线区一致的保护电极图形，曝光能量为300mJ，显影液采用的是0.4％的碳酸钠溶液。电极保护涂层利用光刻法制作，使其与栅极电极的引线区重合，不仅精确地保护了栅极电极的引线区，而且避免了整面引线区印刷造成的凹凸不平，从而加强了本电极保护涂层的作用。
实施例4
先制备电极保护的涂层36。按照树脂共聚制成丙烯酸树脂同实施例1。
阴极玻璃基板31经过丙酮超声清洗后，进行如下步骤的制作过程：
1)按照下述重量百分比的原料配制电极保护的涂层36：取上述经配制的树脂65％，甲基丙烯酸酯10％，裂解型光引发剂3695％溶于Texanol酯醇(2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯)中进行机械混合，溶剂量为20％，备用。其黏度控制在10000到30000cps之间，以适应丝网印刷的需求；
2)在阴极玻璃基板31上涂覆整面感光性导电银浆，在80℃，大气压下，烘干30min，利用光刻法得到栅极电极层34，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
3)栅极电极层34在570℃，大气压下，烧结20min；
4)绝缘介质层35印刷，在130℃，大气压下，烘干15min；
5)绝缘介质层35在600℃，大气压下，烧结20min；
6)在绝缘介质层35上套准印刷导电银浆阴极电极层32图形，在80℃，大气压下，烘干30min，利用光刻法得到阴极图形层32，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)阴极电极层32在570℃，大气压下，烧结20min；
8)见图3所示，将上述重量百分比配制好的电极保护涂层36印刷，在80℃，大气压下，烘干30min；
9)、利用栅极电极层34的菲林对保护电极涂层36进行光刻，以得到与栅极电极层引线区一致的保护电极图形，曝光能量为300mJ，显影液采用的是0.4％的碳酸钠溶液；见图6所示；
10)、利用阴极电极层32图形做掩膜对介质进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，药液采用稀硝酸溶液(浓度为0.3％)，溶液温度为40℃，刻蚀时间为150s；
11)用0.4％的碳酸钠溶液整面喷淋保护电极涂层36，15s后保护电极涂层36整片剥离；见图4所示；
12)碳纳米管层5印刷，在100℃，大气压下，烘干15min；
13)碳纳米管层5在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
上述实施例仅用于说明本发明，但并不用于限制本发明的实施范围，本发明光引发剂为裂解型引发剂，还包括光引发剂1490、1700。
Claims (8)
1.一种用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层，其特征在于：该电极引线区的保护涂层的涂料由下述重量百分比的原料配制而成：
溶剂 5％-20％；
树脂 50％-70％；
光敏单体 2％-10％；
光引发剂 5％-20％；
所述树脂为由甲基丙烯酸甲酯、乙酰乙酸甲酯、十二硫醇及偶氮二异丁腈共聚制成的丙烯酸树脂，其酸值为70-80。
2.如权利要求1所述的用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层，其特征在于：所述溶剂为2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯。
3.如权利要求1所述的用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层，其特征在于：所述树脂共聚步骤为：
1)制备活性部分：将重量百分比为98％的2，2，4-三甲基-1.3戊二醇单异丁酸酯与2％偶氮二异丁腈两者混合，超声20min；备用；
2)制备胶体：将重量百分比为82％甲基丙烯酸甲酯、15％乙酰乙酸甲酯、1％十二硫醇及2％偶氮二异丁腈混合制成胶体；
3)将胶体装入三口烧瓶，并将活性部分在90℃下，以真空泵抽入三口烧瓶中，与胶体混合均匀，即得丙烯酸树脂。
4.如权利要求1所述的用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层，其特征在于：所述光敏单体为丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。
5.如权利要求1所述的用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层，其特征在于：所述光引发剂为裂解型引发剂，包括1173、184、907、369、1490、1700。
6.一种如权利要求1所述的用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层制备方法，其特征在于：所述制备方法步骤如下：
1)该电极引线区的保护涂层的涂料是先制备成电极引线区的保护涂层(36)，将重量百分比的涂层涂料置于研钵或脱泡搅拌机中进行机械混合，其粘度控制在10000到30000cps之间；
2)在阴极玻璃基板(31)上涂覆整面感光性导电银浆，在80℃，大气压下，烘干20-30min，利用光刻法得到栅极电极层(34)，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
3)栅极电极层(34)在570℃，大气压下，烧结20min；
4)绝缘介质层(35)印刷，在130℃，大气压下，烘干10-15min；
5)绝缘介质层(35)在600℃，大气压下，烧结20min；
6)在绝缘介质层(35)上套准印刷导电银浆阴极电极层图形，在80℃，大气压下，烘干20-30min，利用光刻法得到阴极图形层(32)，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)阴极电极层(32)在570℃，大气压下，烧结20min；
8)将步骤1)制备的电极引线区的保护涂层(36)进行印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
9)利用阴极电极层(32)图形做掩膜对绝缘介质层进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，采用0.3％稀硝酸溶液，40℃，刻蚀150s-300s；
10)用0.4％的碳酸钠溶液整面喷淋电极引线区的保护涂层，12-15s后电极引线区的保护涂层整片剥离；
11)碳纳米管层印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
12)碳纳米管层在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
7.如权利要求6所述的用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层制备方法，其特征在于：所述步骤6)后的制备方法或是：
6)、在绝缘介质层(35)上套准印刷导电银浆阴极电极层(32)图形，在80℃，大气压下，烘干30min，利用光刻法得到阴极图形层(32)，曝光能量为500mJ，采用0.4％的碳酸钠溶液显影；
7)、将上述重量百分比配制好的电极引线区的保护涂层(36)印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
8)、利用阴极电极层(32)图形做掩膜对绝缘介质层进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，药液采用0.3％稀硝酸溶液，溶液温度为40℃，刻蚀时间为150s-300s；
9)、阴极电极层(32)在570℃，大气压下，烧结20min；
10)、碳纳米管层(5)印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
11)、碳纳米管层(5)在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
8.如权利要求6所述的用于碳纳米管场致发射器件电极引线区的保护涂层制备方法，其特征在于：所述步骤8)后的制备方法或是：
8)将步骤1)制备的电极引线区的保护涂层(36)进行印刷，在80℃，大气压下，烘干20-30min；
9)利用栅极电极层(34)的菲林对电极引线区的保护涂层(36)进行光刻，以得到与栅极电极层(34)引线区一致的保护电极图形，曝光能量为300mJ，显影液采用的是0.4％的碳酸钠溶液；
10)利用阴极电极层(32)图形做掩膜对绝缘介质层进行湿法刻蚀，以得到孔洞结构，药液采用0.3％稀硝酸溶液，40℃，刻蚀时间为150s-300s；
11)用0.4％的碳酸钠溶液整面喷淋电极引线区的保护涂层，12-15s后电极引线区的保护涂层整片剥离；
12)碳纳米管层印刷，在100℃，大气压下，烘干10-15min；
13)碳纳米管层在350℃，大气压下，烧结15min，表面超声处理。
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