CN101644670A - 六氟化硫气体放电微量组分的红外检测装置及方法 - Google Patents

Abstract

一种六氟化硫气体放电微量组分的红外检测装置及方法，涉及六氟化硫气体红外吸收光谱分析装置及方法。本发明装置主要包括感应调压器、无电晕实验变压器、无局部放电保护电阻、标准电容分压器、GIS模拟元件、无感电阻、傅里叶变换红外光谱仪、宽频高速超大容量数字存储示波器。其中傅里叶变换红外光谱仪中的气体池为长光程气体池。本发明方法是利用本发明装置，对GIS中的SF₆气体样品进行放电微量组分检测。本发明能准确检测SF₆气体放电分解的各种生成物，具有检测精度高，光谱图分辨率高，吸收峰对称性好，信噪比高等特点。本发明可广泛应用于GIS设备在线运行局部放电的检测，为GIS设备在线运行状态分析提供可靠数据。

Description

六氟化硫气体放电微量组分的红外检测装置及方法

技术领域

本发明属于气体红外吸收光谱分析技术领域，特别是涉及六氟化硫(SF₆)气体红外吸收光谱分析装置及方法。

背景技术

气体绝缘组合电器(GIS)，以六氟化硫(SF₆)气体作为绝缘介质，具有绝缘强度高、运行稳定、占地面积少和维护工作量小等优点，在电力系统中，尤其在大中城市城网建设和改造中得到愈来愈广泛的应用。但是从近年来的运行情况来看，国内外的GIS在使用中都出现了许多问题，其中以绝缘故障为主，绝缘故障最通常的特征是：GIS中的绝缘介质在完全击穿前发生局部放电(PD)。在放电的作用下，SF₆气体发生分解，主要分解产物是SOF₂、SO₂F₂、CF₄、SO₂、SOF₄、S₂F₁₀等，因此，可用采气袋等容器定期将GIS中的SF₆气体样本带到实验室进行气体组分分析，从而判断GIS的设备故障情况，避免大停电事故的发生，所以研究SF₆气体放电分解微量检测装置及方法是保证电力系统安全运行的重要手段之一。

现有的检测六氟化硫(SF₆)气体放电分解组分的装置及方法，是红外吸收光谱分析法，该方法是采用傅里叶变换红外光谱仪对GIS中SF₆气体的气样进行检测分析，该光谱仪因具有检测快速，直接对气样进行检测且不消耗气样，并能同时完成多个组分的检测等优点，在电力系统的试验中得到广泛应用。但是，由于GIS中SF₆气体局部放电时，分解产物的浓度很低，为μL/L量级，加上红外光源一般较弱、红外检测器灵敏度较低，造成微量气体组分的检测非常困难。现有傅立叶变换红外检测光谱仪的气体池如天津天光光学仪器有限公司生产的0.1米的短光程气体池，如图1所示，该短光程气体池结构简单，主要由圆柱型玻璃外壁，两个窗片，进气玻璃阀，出气玻璃阀组成，红外光线直接经两个窗片透射气体池，无其他增加光程长措施，有效光程长只有0.1米，如图2所示，利用此短光程气体池对100μL/L的SO₂标准气体、22μL/L的SO₂F₂标准气体进行检测得到的光谱图分辨率低，信噪比低，检测限低，精度低，只能粗糙的进行定性分析，无法进行定量分析。

发明内容

本发明目的是针对现有检测六氟化硫(SF₆)气体放电组分的装置及方法的不足之处，提出一种六氟化硫气体放电微量组分的红外检测装置及方法，具有线性好，检测限高，检测快速，不消耗样气，同时检测多个组分，信噪比高，精确度高等特点。

本发明机理为：本发明装置中的气体池为长光程气体池，基于怀特池结构原理，利用三个凹面反射镜实现光线的往返反射来增加光程长，主要的元件为池内的三镜系统，三球面反射镜的曲率半径相等，如图6所示，MI、M2为物镜，M3为场镜，由凹球面反射镜的特殊光路可知，球面镜上任意点与曲率中心的连线都可以作为其主光轴，又因入射光线与反射光线关于主光轴对称，所以各镜的入射点与像点关于其曲率中心对称，三镜系统中入射光线入射到M1上，经M1反射光线射于M3上，经M3反射到M2上，M2反射到M3上，经M3反射再回到M1上的出射点。M1、M2两物镜的曲率中心CA，CA′置于M3场镜的前反射面上，M3的曲率中心O于M1和M2的中间处，这样便形成了一个共轭系统，M1上的点对应M2上的点，M3上的像点发出的光经M1或M2反射后在原像点附近形成一个像点，同排相邻像点之间的间距为物镜曲率中心距离的2倍，通过调节两球面物镜曲率中心距离和球面场镜的尺寸大小可以确定总的反射次数，在此也需考虑红外光斑本身的大小，入射光线的入射方式决定了场镜M3上的像点分布图，反射次数可以通过球面场镜M3上的像点来判定，例如物镜上像点为n个，则

N＝2*n+2                (1)

式中N为反射次数。

实现本发明目的技术方案是：一种六氟化硫气体放电微量组分的红外检测装置，主要由感应调压器、无电晕实验变压器、无局部放电保护电阻、标准电容分压器、GIS模拟元件、无感电阻、傅里叶变换红外光谱仪、宽频高速超大容量数字存储示波器构成。GIS模拟元件为申请号为200710078493.0“六氟化硫放电分解气体组分分析系统及其使用方法”专利，公开的六氟化硫放电分解装置。本发明的特征是：傅里叶变换红外光谱仪中的气体池为能有效检测微量组分的长光程气体池，本发明长光程气体池主要包括样品池、硼硅玻璃外壳、球面物镜、不锈钢管、窗片、球面场镜、金属外壳基底、反射镜、反射镜微调按钮、真空表、出气不锈钢阀门、进气不锈钢阀门、气体池顶部金属外壳。在金属外壳基底下端面内侧的左、右，分别固接有反射镜微调按扭和反射镜，反射镜微调按扭用以调节反射镜的角度。在金属外壳基底左、右两侧面上并分别对应于两反射镜镜面中心处，分别设置有通光孔，以便红外光谱仪发射出的红外线，通过一个通光孔直射在金属外壳基底内侧的一个反射镜上，该反射镜将直射来的红外光线通过窗片射入样品池内，红外光线在样品池内发生多次的反射，最终反射光线入射到金属外壳基底内侧的另一反射镜，通过另一通光孔出射。在金属外壳基底的上端面外侧的左、右，并分别对应于两个反射镜的正上方，分别装设有窗片，两个窗片的材料为溴化钾(kBr)或氟化钙(CaF)等，在中红外波段不吸收红外光线，使红外光线可以无损耗的进出样品池并对样品池起密封作用。硼硅玻璃外壳的下端通过密封圈和螺母与金属外壳基底固接，硼硅玻璃外壳的上端通过密封圈和螺母与气体池顶部金属外壳固接，因此金属外壳基底的上端面，窗片，硼硅玻璃外壳，气体池顶部金属外壳就构成了一个封闭的样品池，从而保证气体样品在样品池内不受外界的干扰，且通过硼硅玻璃外壳可以方便的观察样品池内红外光线的光路。在金属外壳基底上端面外侧的左、右窗片之间的中间位置，固接有球面场镜(M3)，在气体池顶部金属外壳内侧的左、右并分别与两个窗片对应处，分别固接有球面物镜(M1和M2)，两球面物镜(M1和M2)的曲率中心均位于对侧球面场镜(M3)的反射面上，球面场镜(M3)的曲率中心位于两球面物镜(M1和M2)之间。样品池上端的两个球面物镜(M1和M2)和样品池下端的球面场镜的曲率中心在一个平面上，且三个球面反射镜的曲率半径相等，在样品池内构成了一个红外光线多次反射的共轭系统，增长了红外线的光程。在气体池顶部金属外壳的外侧左、右，分别固接有不锈钢管，两不锈钢管的一端均与样品池相通，另一端分别固接有进气不锈钢阀门、出气不锈钢阀门及真空表，两不锈钢管分别用于通过阀门引入和引出样气，进气不锈钢阀门控制进气，出气不锈钢阀门控制出气，真空表用于实时观察样品池内的气压。

一种六氟化硫气体放电微量组分红外检测方法，利用本发明装置，对GIS中的SF₆气体放电分解微量组分进行红外检测的具体步骤如下：

(1)实验准备

1)装入长光程气体池

在傅里叶变换红外光谱仪中的样品槽内，先安放好与长光程气体池匹配的三脚架，再将本发明装置的长光程气体池安置在三脚架上，并用螺钉固定。

2)接入真空泵

第(1)-1)步完成后，接入真空泵及其电源，将真空泵的出气管道置于室外，用转接头将本发明装置的出气不锈钢阀门与真空泵的进气接口连接。

3)抽真空

第(1)-2)步完成后，关闭本发明装置的进气不锈钢阀门，用第(1)-1)步接入的真空泵对长光程气体池的样品池抽真空后，关闭出气不锈钢阀门，防止真空泵油倒流入样品池内；静置11-13小时再观察真空表示数是否变化，检验其密封性能，并记录真空气压，以便反推分解组分的浓度。

4)通入待测气体

第(1)-3)步完成并通过密封性能检验后，打开进气不锈钢阀门，利用采气袋或钢瓶将从GIS模拟元件采集的SF₆气体局部放电分解组分通入样品池内，至预设气压为止。

5)确定最佳检测气压

第(1)-4)步完成后，样品池内的气压从5kPa依次增加至100kPa，每次增加1kPa，分别在各个气压条件下进行红外吸收光谱检测实验，利用各气压下检测得的红外吸收光谱图的信噪比，分辨率，基线漂移等参数来确定最佳检测气压。

6)选择最佳仪器分辨率

第(1)-5)步完成后，由于红外吸收光谱仪自身的分辨率对红外吸收光谱图的质量有重大的影响，检测气体组分时红外吸收光谱仪自身的分辨率不同于检测固体和液体组分，所以在检测气压及其他条件一定时，调节仪器分辨率，根据光谱图的信噪比，分辨率，基线漂移等参数来确定最佳仪器分辨率。

(2)组分分析

第(1)步完成后，利用傅里叶变换红外光谱仪对样品池内的气体样品进行红外吸收光谱检测，得到红外吸收光谱图，利用检测得到的红外吸收光谱图能分析SF₆气体的放电分解情况，并将所得光谱图存入相应的谱图库。

(3)排气

第(2)步完成后，由于SF₆的分解组分有腐蚀性和剧毒，所以检测后气体不能长时间的存放在样品池内，也不能直接排放在室内外，因此检测结束后利用真空泵通过出气不锈钢阀门将检测后的气体抽于室外处理，以保证设备和人员安全。

(4)存放气体池

第(3)步完成后，由于本发明装置中的窗片为KBr或CaF材料做成，该材料具有强吸水性，易受潮，为此，实验完毕后将长光程气体池从傅里叶变换红外光谱仪中取出，置于真空袋中存放、备用。

本发明采用上述技术方案后，主要有以下检测特点：

1.检测组分种类多，能检测的组分有SF₆、SO₂F₂、SOF₂、SO₂、SOF₄、SF₄、HF、S₂F₁₀等。

2.与现有短光程气体池检测效果相比，本发明可以有效检测出零点几μL/L级的SO₂F₂、SOF₂、SO₂等各种SF₆放电分解气体产物，能够十分准确的进行组分定性分析。

3.图7、8为设计的长光程气体池检测到的100μL/L SO₂标准气体、22μL/L SO₂F₂标准气体的标准谱图，图9、10为SOF₂单一气体和SO₂F₂、SOF₂混合气体的标准图谱，四图与现有短光程气体池检测光谱图图2比较不难发现，长光程气体池检测精度高，红外吸收光谱图分辨率高，对称性好，信噪比高，精度高，完全可以实现SF₆放电分解微量组分的定量研究。

本发明可广泛用于GIS设备在线运行的局部放电检测，为科研、教学、研究院，设备制造厂家及电力系统中对GIS设备PD在线状态检测的理论分析和应用研究提供可靠数据。

附图说明

图1为现有短光程气体池的结构图；

图2为现有短光程气体池检测标气获取的红外吸收光谱图，其中a为SO₂标准气体的标准红外吸收吸收光谱图，b为SO₂F₂标准气体的标准红外吸收吸收光谱图；

图3为本发明装置的原理图；

图4本发明装置的外形图；

图5本发明装置的放大结构图；

图6为本发明装置的光线传播示意图，图中CA，CA′为两物镜的曲率中心，O为场镜的曲率中心，M1、M2为物镜，M3为场镜；

图7为研制的长光程气体池测得SO₂标准气体标准图；

图8为研制的长光程气体池测得SO₂F₂标准气体标准图；

图9为研制的长光程气体池测得SOF₂标准气体标准图；

图10为研制的长光程气体池测得SO₂F₂和SOF₂混合气体的标准气体标准图；

图11为研制的气体池测得的SF₆放电分解组分红外吸收光谱区间图。

图中：1，样品池；2，硼硅玻璃外壳；3，窗片；4，进气玻璃阀；5，出气玻璃阀；6，感应调压器；7，无晕实验变压器；8，无局部放电保护电阻；9，标准电容分压器；10，GIS模拟元件；11，无感电阻；12，傅里叶变换红外光谱仪；13，宽频高速超大容量数字存储示波器；14，通光孔；15，金属外壳基底；16，球面场镜；17，螺母；18，密封圈；19，气体池顶部金属外壳；20，进气不锈钢阀门；21，出气不锈钢阀门；22，真空表；23，不锈钢管；24，球面物镜；25，反射镜微调按钮；26，反射镜。

具体实施方式

下面结合具体实施方式，进一步说明本发明。

实施例

如图3～6所示，一种六氟化硫气体放电微量组分的红外检测装置，主要由感应调压器6、无晕实验变压器7、无局部放电保护电阻8、标准电容分压器9、GIS模拟元件10、无感电阻11、傅里叶变换红外光谱仪12、宽频高速超大容量数字存储示波器13构成。GIS模拟元件为申请号为200710078493.0“六氟化硫放电分解气体组分分析系统及其使用方法”专利，公开的六氟化硫放电分解装置。特征是：傅里叶变换红外光谱仪中的气体池为能有效检测微量组分的长光程气体池。长光程气体池主要包括样品池1、硼硅玻璃外壳2、球面物镜24、不锈钢管23、窗片3、球面场镜16、金属外壳基底15、反射镜26、反射镜微调按钮25、真空表22、出气不锈钢阀门21、进气不锈钢阀门20、气体池顶部金属外壳19。在金属外壳基底15下端面内侧的左、右，分别固接有反射镜微调按扭25和反射镜26，反射镜微调按扭25用以调节反射镜26的角度。在金属外壳基底15左、右两侧面上并分别对应于两反射镜26镜面中心处，分别设置有通光孔14，以便红外光谱仪发射出的红外线，通过一个通光孔14直射在金属外壳基底15内侧的一个反射镜26上，该反射镜26将直射来的红外光线通过窗片射入样品池1内，红外光线在样品池1内发生多次的反射，最终反射光线入射到金属外壳基底15内侧的另一反射镜26，通过另一通光孔14出射。在金属外壳基底15的上端面外侧的左、右，并分别对应于两个反射镜26的正上方，分别装设有窗片3，两个窗片3的材料为溴化钾(kBr)或氟化钙(CaF)等，在中红外波段不吸收红外光线，使红外线可以无损耗的进出样品池1并对样品池1起密封作用。硼硅玻璃外壳2为圆柱型，内直径为104mm，厚度为4mm，硼硅玻璃外壳2的下端通过密封圈18和螺母17与金属外壳基底15固接，硼硅玻璃外壳2的上端通过密封圈18和螺母17与气体池顶部金属外壳19固接，因此金属外壳基底15的上端面，窗片3，硼硅玻璃外壳2，气体池顶部金属外壳19就构成了一个封闭的样品池1，从而保证气体样品在样品池内不受外界的干扰，且通过硼硅玻璃外壳2可以方便的观察样品池1内红外光线的光路。在金属外壳基底15上端面外侧的左、右窗片3之间的中间位置，固接有球面场镜16，球面场镜16的中心距金属外壳基底15上端面中心位置4.16mm，球面场镜16的长为89mm，宽为52mm，且长边与两个窗片3中心的连线方向平行。在气体池顶部金属外壳19内侧的左、右并分别与两个窗片3对应处，分别固接有球面物镜24，球面物镜24长为60mm，宽为25mm，球面物镜24靠近硼硅玻璃外壳2的一侧为弧形，其弧垂为13mm，两物镜的长直边距气体池顶部金属外壳19中心4.16mm，且与球面场镜16的长边相垂直。两球面物镜24的曲率中心均位于对侧球面场镜16的反射面上，球面场镜16的曲率中心位于两球面物镜24之间。样品池1上端的两个球面物镜24的曲率中心和样品池1下端球面物镜的曲率中心在一个平面上，且三个球面反射镜的曲率半径相等，为500mm，且三反射镜镜面都用反射率为98％的黄金镀膜，减少反射损耗，长光程气体池的反射次数为40次，红外线的光程为20m。在气体池顶部金属外壳19的外侧左、右，分别固接有两不锈钢管23，两不锈钢管的一端均与样品池1相通，另一端分别固接有进气不锈钢阀门20、出气不锈钢阀门21及真空表22，两不锈钢管23分别用于通过阀门引入和引出样气，进气不锈钢阀门20控制进气，出气不锈钢阀门21控制出气，真空表22用于实时观察样品池内的气压。

一种六氟化硫气体放电微量组分红外检测方法，利用本发明装置，对GIS中的SF₆气体放电分解微量组分进行红外检测的具体步骤如下：

(1)实验准备

1)装入长光程气体池

在傅里叶变换红外光谱仪12中的样品槽内，先安放好与长光程气体池匹配的三脚架，再将本发明装置的长光程气体池安置在三脚架上，并用螺钉固定。

2)接入真空泵

第(1)-1)步完成后，接入真空泵及其电源，将真空泵的出气管道置于室外，用转接头将本发明装置的出气不锈钢阀门21与真空泵的进气接口连接。

3)抽真空

第(1)-2)步完成后，关闭本发明装置的进气不锈钢阀门20，用第(1)-1)步接入的真空泵对长光程气体池的样品池1抽真空后，关闭出气不锈钢阀门21，防止真空泵油倒流入样品池1内；静置11-13小时，再观察真空表示数是否变化，检验其密封性能，并记录真空气压，以便反推分解组分的浓度。

4)通入待测气体

第(1)-3)步完成并通过密封性能检验后，打开进气不锈钢阀门，利用采气袋或钢瓶将从GIS模拟元件10采集的SF₆气体局部放电分解组分通入样品池1内，至预设气压为止。

5)确定最佳检测气体

第(1)-4)步完成后，样品池内的气压从5kPa依次增加至100kPa，每次增加1kPa，分别在每个气压条件下进行红外吸收光谱检测实验，利用各气压下检测获得的各红外吸收光谱图的信噪比，分辨率，基线漂移等参数来确定最佳检测气压，本发明的最佳检测气压为100kPa。

6)选择最佳仪器分辨率

第(1)-5)步完成后，傅里叶变换红外吸收光谱仪12自身的分辨率对红外吸收光谱的质量有重大的影响，检测气体组分时傅里叶变换红外吸收光谱仪12自身的分辨率不同于检测固体和液体组分，所以在检测气压及其他条件一定时，调节仪器分辨率，根据光谱图的信噪比，分辨率，基线漂移等参数来确定最佳仪器分辨率，本发明的最佳分辨率为0.5cm^-1。

(2)组分分析

第(1)步完成后，利用傅里叶变换红外光谱仪12对样品池1内的气体样品进行红外吸收光谱法检测，得到红外吸收光谱图，利用检测得到的红外吸收光谱图能分析SF₆气体的放电分解情况，并将所得光谱图存入相应的谱图库。

(3)排气

第(2)步完成后，由于SF₆的分解组分有腐蚀性和剧毒，所以检测后气体不能长时间的存放在样品池1内，也不能直接排放在室内外，因此检测结束后利用真空泵通过出气不锈钢阀门21将检测后的气体抽于室外处理，以保证设备和人员安全。

(4)存放气体池

第(3)步完成后，由于本发明装置中的窗片为KBr或CaF材料做成，该材料具有强吸水性，易受潮，为此，实验完毕后将长光程气体池从傅里叶变换红外光谱仪12中取出，置于真空袋中存放、备用。

实验结果

用实施例的方法，对单一标准气体SO2、SO₂F₂、SOF₂及SOF₂和SO₂F₂的混合标准气体进行红外吸收光谱法检测得到的红外吸收光谱图如附图7、8、9、10所示，对SF₆气体的局部放电分解实验所得的混合气样进行红外吸收光谱法检测得到的红外吸收光谱区间图如附图11所示，图中SOF₂吸收频率为：530cm^-1，SO₂F₂吸收频率为：539cm^-1、544cm^-1、552cm^-1。

由上述实验可知，SF₆气体局部放电分解各组分的标准气体及实验所得混合气体经本发明提供的装置及方法检测得到的光谱图的各吸收峰分辨率好，信噪比高，对称性好，精度高，本发明所得光谱图能实现SF₆气体各放电分解组分的定量检测，为GIS设备在线运行状态分析提供可靠数据。

Claims (2)

1.一种六氟化硫气体放电微量组分的红外检测装置，主要由感应调压器(6)、无电晕实验变压器(7)、无局部放电保护电阻(8)、标准电容分压器(9)、GIS模拟元件(10)、无感电阻(11)、傅里叶变换红外光谱仪(12)、宽频高速超大容量数字存储示波器(13)构成，其特征在于傅里叶变换红外光谱仪(12)中的气体池为能有效检测微量组分的长光程气体池，长光程气体池主要包括样品池(1)、硼硅玻璃外壳(2)、球面物镜(24)、不锈钢管(23)、窗片(3)、球面场镜(16)、金属外壳基底(15)、反射镜(26)、反射镜微调按钮(25)、真空表(22)、出气不锈钢阀门(21)、进气不锈钢阀门(20)、气体池顶部金属外壳(19)，在金属外壳基底(15)下端面内侧的左、右，分别固接有反射镜微调按扭(25)和反射镜(26)，在金属外壳基底(15)左、右两侧面上并分别对应于两反射镜(26)镜面中心处，分别设置有通光孔(14)，在金属外壳基底(15)的上端面外侧的左、右并分别对应于两个反射镜(26)的正上方，分别装设有窗片(3)，两窗片(3)的材料为溴化钾或氟化钙，硼硅玻璃外壳(2)的下端通过密封圈(18)和螺母(17)与金属外壳基底(15)固接，硼硅玻璃外壳(2)的上端通过密封圈(18)和螺母(17)与气体池顶部金属外壳(19)固接，在金属外壳基底(15)上端面外侧的左、右窗片(3)之间的中间位置，固接有球面场镜(16)，在气体池顶部金属外壳(19)内侧的左、右并分别与两窗片(3)对应处，分别固接有球面物镜(24)，两个球面物镜(24)的曲率中心位于球面场镜(16)的反射面上，球面场镜(16)的曲率中心位于两球面物镜(24)之间，样品池(1)上端的两个球面物镜(24)和下端的球面场镜(16)的曲率中心在一个平面上，且三个球面反射镜的曲率半径相等，在气体池顶部金属外壳(19)的外侧的左、右，分别固接有不锈钢管(23)，两不锈钢管(23)的一端均与样品池(1)相通，另一端分别固接有进气不锈钢阀门(20)和出气不锈钢阀门(21)及真空表(22)。

2.一种六氟化硫气体放电微量组分红外检测方法，其特征在于具体步骤如下：

(1)实验准备

1)装入长光程气体池

在傅里叶变换红外光谱仪(12)中的样品槽内，先安放好与长光程气体池匹配的三脚架，再将本发明装置的长光程气体池安置在三脚架上，并用螺钉固定；

2)接入真空泵

第(1)-1)步完成后，接入真空泵及其电源，将真空泵的出气管道置于室外，用转接头将本发明装置的出气不锈钢阀门(21)与真空泵的进气接口连接；

3)抽真空

第(1)-2)步完成后，关闭本发明装置的进气不锈钢阀门(20)，用第(1)-1)步接入的真空泵对长光程气体池的样品池(1)抽真空后，关闭出气不锈钢阀门(21)，静置11-13小时，再观察真空表(22)示数是否变化并记录真空气压；

4)通入待测气体

第(1)-3)步完成并通过密封性能检验后，打开进气不锈钢阀门(20)，利用采气袋或钢瓶将从GIS模拟元件(10)采集的SF6气体局部放电分解组分通入样品池(1)内，至预设气压为止；

5)确定最佳检测气压

第(1)-4)步完成后，样品池内的气压从5kPa依次增加至100kPa，每次增加1kPa，分别在各个气压条件下进行红外吸收光谱检测实验，利用各气压下检测得的红外吸收光谱的信噪比、分辨率、基线漂移参数确定最佳检测气压；

6)选择最佳仪器分辨率

第(1)-5)步完成后，调节傅里叶变换红外光谱仪(12)分辨率并进行红外吸收光谱法检测实验，根据光谱图的信噪比，分辨率，基线漂移参数来确定最佳仪器分辨率；

(2)组分分析

第(1)步完成后，利用傅里叶变换红外光谱仪(12)对样品池内的气体样品进行红外吸收光谱检测，得到红外吸收光谱图，并存入谱图库；

(3)排气

第(2)步完成后，利用真空泵通过出气不锈钢阀门(21)将检测后的气体抽于室外处理；

(4)存放气体池

第(3)步完成后，将长光程气体池从傅里叶变换红外光谱仪(12)中取出，置于真空袋中存放、备用。

Images