CN101633158A - 用于切割硅晶圆的金刚石砂轮及其制备方法 - Google Patents
用于切割硅晶圆的金刚石砂轮及其制备方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
砂轮厚度(μm) | 15-20 | 30-40 | 50-60 | 70-80 | 90-100 | 110-120 | 130-140 |
电铸时间(min) | 90-100 | 200-210 | 300-310 | 400-410 | 500-510 | 600-610 | 700-710 |
砂轮金刚石浓度 | 铸液金刚石密度 | 超声波工作频率 | 超声波功率 |
低(50-70%) | 质量百分数10% | 30KHZ | 80% |
中(70-90%) | 质量百分数15% | 25KHZ | 50% |
高(90-110%) | 质量百分数18% | 20KHZ | 30% |
温度 | PH值 |
50-53℃ | 4.0-4.5 |
砂轮厚度(μm) | 15-20 | 30-40 | 50-60 | 70-80 | 90-100 | 110-120 | 130-140 |
电铸时间(min) | 90-100 | 200-210 | 300-310 | 400-410 | 500-510 | 600-610 | 700-710 |
砂轮金刚石浓度 | 铸液金刚石密度 | 超声波工作频率 | 超声波功率 |
低(50-70%) | 10%(重量%) | 30KHZ | 80% |
中(70-90%) | 15%(重量%) | 25KHZ | 50% |
高(90-110) | 18%(重量%) | 20KHZ | 30% |
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