CN101603640B - 紫外线照射装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种紫外线照射装置，它密闭电气设备部，并冷却该密闭的电气设备部的内部。第1发明的紫外线照射装置包括：准分子灯，包括放电容器和隔着该放电容器的放电空间而相对配置的电极；变压器，分别被电连接在多个该准分子灯上；机壳，保持该多个准分子灯和该多个变压器，并具备设在该多个准分子灯和该多个变压器之间的隔壁；以及电气设备部，在该机壳内通过该隔壁而包围该多个变压器；该紫外线照射装置的特征在于，在该电气设备部中，设有冷却机构；在该各变压器的外边，设有风洞体，该风洞体分别包围该各变压器，并且具备隔着该变压器而对置的一对开口部；在该电气设备部的内部，设有从该风洞体的一个开口部向另一个开口部送风的送风机构。

Description

紫外线照射装置

技术领域

本发明涉及一种紫外线照射装置，该紫外线照射装置具备进行准分子发光的准分子灯，特别涉及具备多个准分子灯的紫外线照射装置。 

背景技术

以往，在半导体衬底或液晶衬底的制造工序中，为了清洗这些衬底，使用紫外线照射装置，该紫外线照射装置具备照射真空紫外线的准分子灯。在这种包括准分子灯的紫外线照射装置中，有专利文献1记载的装置。 

使用图6来说明现有的紫外线照射装置1。 

图6是现有的紫外线照射装置1的说明图，是与紫外线照射装置1具备的准分子灯2的管轴方向正交的方向上的剖面图。 

现有的紫外线照射装置1包括：灯单元11，具备照射真空紫外线的准分子灯2；和传送单元12，传送被照射物W。 

灯单元11包括；准分子灯2；变压器6，升高提供给准分子灯2的电压；以及机壳3，保持准分子灯2和变压器6。以下将描述该灯单元11的详细结构。 

在机壳3中，在其内部配置有准分子灯2和变压器6，在准分子灯2和变压器6之间设有隔壁32，并在该机壳3中设有配置有准分子灯2的光源部35和配置有变压器6的电气设备部34。 

机壳3的电气设备部34包括：隔壁32，载置变压器6；电气设备部侧的侧壁341(图6中的变压器6的纸面左右方向的电气设备部侧的侧壁341、位于纸面前后的未图示的电气设备部侧的侧壁)，被连接在隔壁32上，并且包围变压器6的四方；以及顶板31，被设成覆盖电气设备部侧的侧壁341。 

机壳3的光源部35包括：灯保持体36，保持准分子灯2；隔壁32，设有灯保持体36；光源部端侧壁351(图6中的准分子灯2的纸面左右方向的光源部端侧壁351、位于纸面前后的未图示的光源部端侧壁)，被连接在隔壁32上，并且包围准分子灯2的四方。 

此外，在光源部35中设有透光窗4，使其覆盖光源部端侧壁351。 

为了电连接变压器6和准分子灯2，在隔壁32上设有贯通孔331，该贯通孔331连通电气设备部34和光源部35，在该贯通孔331中，穿过供电线5，该供电线5电连接了变压器6和准分子灯2。 

在隔壁32的贯通孔331中，为了在空间上隔离光源部35的内部和电气设备部34的内部，在穿过了供电线5的状态下设有密封体332。 

上述灯单元11被设成载置在传送单元12上。 

传送单元12包括：多个辊121，传送被照射物W；和驱动体122，旋转驱动各辊121。 

多个辊121被排列成与灯单元11的透光窗4的平面平行。 

上述准分子灯2包括：放电容器，由密封了例如氙气那样的发光气体的例如石英玻璃构成；外侧电极，被设在放电容器的外周面上；以及内侧电极，被设在放电容器的内周面上。 

在准分子灯2的内侧电极上，经供电线5电连接有上述变压器6。而在准分子灯2的外侧电极上设有灯保持体36，该灯保持体36例如由不锈钢那样的具有导电性的金属构件构成。 

在准分子灯2的内侧电极及外侧电极上，经变压器6连接有未图示的高频电源，外侧电极经抵接的灯保持体36而接地。因此，在点亮灯时，从未图示的高频电源向准分子灯2的内侧电极供电，在位于被供电的内侧电极和接地的外侧电极之间的放电容器21的内部开始准分子发光，从而向放电容器21的外边照射峰值波长在例如200nm以下的真空紫外线。 

从准分子灯2照射的真空紫外线透过透光窗4，被照射到被照射物W上，该被照射物W是与透光窗4相对置地被传送。 

传送单元12的内部是大气状态，透过了透光窗4的真空紫外线在传送单元12的内部被大气中的氧所吸收，产生臭氧气体。因此，被照射物W由真空紫外线和臭氧处理。 

作为准分子灯2上所设的变压器6，例如有专利文献2记载的变压器，有的在构成变压器6的构件中包含例如硅酮树脂那样的树脂构件。树脂构件有被直接照射了真空紫外线后会完全分解而劣化的问题，还有被臭氧分解而劣化的问题。 

因此，在变压器6和准分子灯2之间，设有隔壁32，该隔壁32由不能 透过真空紫外线的例如铝那样的金属构件构成。此外，配置有变压器6的电气设备部34为了防止臭氧的流入，构成为密闭结构。 

另外，在上述内容中说明了具有透光窗4的紫外线照射装置1，但是在现有的紫外线照射装置中，也有的如专利文献3记载的那样的不具有透光窗。此外，专利文献3所记载的准分子灯将一对电极设在放电容器的外表面上。 

此外，在上述内容中，说明了具备一个准分子灯2的紫外线照射装置1，但是在现有的紫外线照射装置中，也有的像专利文献4记载的那样设有多个准分子灯，在各准分子灯中设有独立的变压器。 

【专利文献1】(日本)特开2001-243923号公报 

【专利文献2】(日本)特开2005-260007号公报 

【专利文献3】(日本)特开2004-097986号公报 

【专利文献4】(日本)特开2003-303694号公报 

近来，人们希望随着被照射物W的大型化而加长准分子灯2，此外为了缩短处理时间而提高来自准分子灯2的真空紫外线的照度。因此，为了提高向准分子灯2输入的功率，需要提高向变压器6输入的功率。在向变压器6输入的功率为例如500W那样的高输入时，电气设备部34那样的密闭空间中配置的变压器6会被加热，在构成变压器6的构件中包含树脂时，有由于加热而使该树脂劣化的问题。 

特别是在具备多个准分子灯2、在各准分子灯2中设有独立的变压器6的情况下，由于在点亮灯时各变压器6分别被加热，所以各变压器6会被相邻的变压器6加热，有树脂的劣化会加快的问题。 

因此，为了冷却配置了变压器6的电气设备部34的内部，可以例如通过在电气设备部34的电气设备部侧的侧壁341上设通风口、并且在该通风口上设导管，而从导管向电气设备部34的内部吹送冷却风，冷却变压器6。 

然而，在构成变压器6的构件中包含树脂时，如前所述，为了使得使变压器6劣化的例如臭氧气体那样的腐蚀性气体不混入到冷却风中，而设有去除腐蚀性气体的过滤器等等，就有装置复杂化的问题。此外，如果设有导管，则也有装置大型化这一问题。 

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种紫外线照射装置，它一边密闭电气设备部，一边冷却该被密闭的电气设备部的内部。 

第1发明的紫外线照射装置包括：准分子灯，包括放电容器和隔着该放电容器的放电空间而相对配置的电极；多个变压器，分别被电连接在多个该准分子灯上，并且配置成交错状；机壳，保持该多个准分子灯和该多个变压器，并且具备隔壁，该隔壁设在该准分子灯和该变压器之间；以及电气设备部，在该机壳内通过该隔壁而包围该多个变压器，该紫外线照射装置的特征在于，在该电气设备部中设有冷却机构，该冷却机构具备冷却液的流路；在该各变压器的外边设有风洞体，该风洞体分别包围该各变压器，并且该风洞体具备隔着该变压器而相对的一对开口部，该风洞体被设成沿上述准分子灯的管轴方向延伸，并且该风洞体分别被设置成交错状；在该电气设备部的内部设有送风机构，该送风机构从该风洞体的一个开口部向另一个开口部送风。 

第2发明的紫外线照射装置的特征在于，在第1发明的紫外线照射装置中，该隔壁由冷却机构构成，该冷却机构在其内部具备冷却液的流路。 

第1发明的紫外线照射装置通过上述特征，能够冷却变压器。 

第2发明的紫外线照射装置通过上述特征，能够通过由冷却机构构成 

的隔壁来冷却来自准分子灯的照射热，抑制变压器被照射热加热。 

附图说明

图1是本发明第1实施例的紫外线照射装置的说明图。 

图2是本发明第1实施例的紫外线照射装置的说明图。 

图3a、3b是本发明第1实施例的紫外线照射装置具备的准分子灯的说 

明图。 

图4a、4b是将比较例的紫外线照射装置和本发明第1实施例的紫外线照射装置进行比较的说明图。 

图5是本发明第2实施例的紫外线照射装置的说明图。 

图6是现有的紫外线照射装置的说明图。 

附图标记 

1紫外线照射装置 

11灯单元 

12传送单元 

121    辊 

122    驱动体 

2      准分子灯 

21     放电容器 

211    外侧管 

212    内侧管 

213    端壁部 

214    放电空间 

221    外侧电极 

222    内侧电极 

3      机壳 

31     顶板 

32     隔壁 

331    贯通孔 

332    密封体 

34     电气设备部 

341    电气设备部侧的侧壁 

342    贯通孔 

343    密封体 

35     光源部 

351    光源部端侧壁 

36     灯保持体 

4      透光窗 

5      供电线 

6      变压器 

71     送风机构 

72     风洞体 

721    一个开口部 

722    另一个开口部 

73     冷却机构 

731    流路 

A  冷却风流 

L  冷却液流 

W  被照射物 

具体实施方式

本发明的紫外线照射装置，在包围变压器的电气设备部中设有冷却机构，该冷却机构具备冷却液的流路；在变压器的外边设有具有一对开口部的风洞体，设有从风洞体的一个开口部向另一个开口部送风的送风机构。 

首先，本发明第1实施例的紫外线照射装置说明将冷却机构设在电气设备部侧的侧壁上的结构。 

图1是第1实施例的紫外线照射装置1的说明图，是与紫外线照射装置1具备的准分子灯2的管轴方向正交的方向上的剖面图。图2是沿图1的紫外线照射装置1的准分子灯2的管轴方向的剖面图(图1中紫外线照射装置1的A-A剖面图)。 

在图1及图2中，对与图6所示的部件相同的部件附以同一标记。 

第1实施例的紫外线照射装置1包括：灯单元11，具备照射真空紫外线的准分子灯2；和传送单元12，传送被照射物W。 

灯单元11包括：准分子灯2；变压器6，升高向准分子灯2提供的电压；以及机壳3，保持准分子灯2和变压器6，以下将描述其详细结构。 

在机壳3中，在其内部配置有准分子灯2和变压器6，在准分子灯2和变压器6之间设有隔壁32，并在机壳3中设有光源部35和电气设备部34，准分子灯2位于该光源部35，变压器6位于该电气设备部34。 

机壳3的电气设备部34为六面结构，在其内部具有密闭空间，该电气设备部34包括：板状的隔壁32，具有载置变压器6的长方形平面；电气设备部侧的侧壁341(图1中的向与隔壁32的长方形平面垂直的方向的纸面上方延伸的电气设备部侧的侧壁341、图2中的向与隔壁32的长方形平面垂直的方向的纸面上方延伸的电气设备部侧的侧壁341)，被连接在隔壁32的长方形平面的周缘上，并且包围变压器6的四方；以及顶板31，被设成覆盖电气设备部侧的侧壁341。 

由于在电气设备部34的密闭空间中配置有多个变压器6，所以多个变压器6处于被电气设备部34包围着的状态。 

作为构成电气设备部34的构件，例如有由实施了氧化铝膜处理的铝或不锈钢构成的具有耐臭氧性的金属构件。 

机壳3的光源部35由下述部分构成的五面结构构成：灯保持体36，保持准分子灯2的两端；板状的隔壁32，设有灯保持体36，并且具有长方形平面；光源部端侧壁351(图1中的向与隔壁32的长方形平面垂直的方向的纸面下方延伸的光源部端侧壁351、和图2中的向与隔壁32的长方形平面垂直的方向的纸面下方延伸的光源部端侧壁351)，被连接在隔壁32的长方形平面的周缘上，并且包围准分子灯2的四方。 

在光源部35上设有板状的透光窗4，该板状的透光窗4例如由石英玻璃那样的透过真空紫外线的构件构成，使其覆盖光源部端侧壁351，并且与隔壁32相对。 

由于在设有透光窗4的光源部35的内部配置有多个准分子灯2，所以多个准分子灯2处于被光源部35和透光窗4包围的状态。 

作为构成光源部35的构件，例如有由实施了氧化铝膜处理的铝或不锈钢构成的具有耐紫外线性及耐臭氧性的金属构件。 

在多个准分子灯2中，分别设有独立的变压器6。例如在图1中，记载有3个准分子灯2，在各准分子灯2的后述内侧电极(在图1及图2中未图示，后述图3a、3b中的标记222)上分别通过供电线5电连接着独立的变压器6。 

为了穿过供电线5，该供电线5电连接各准分子灯2和各变压器6，在隔壁32上设有连通电气设备部34和光源部35的贯通孔331。隔壁32上所设的贯通孔331是以削除位于准分子灯2和变压器6之间的隔壁32的一部分的方式而设的，例如在如图1所示设有3个准分子灯2的情况下，设有与各准分子灯2对应的3处贯通孔331。 

在隔壁32上所设的贯通孔331中穿过了供电线5的状态下，该供电线电连接准分子灯2和变压器6，为了在空间上隔离光源部35的内部和电气设备部34的内部，使其不连通，而设有例如由聚丙烯构成的具有耐臭氧性的密封体332。 

在电气设备部34的内部，将多个变压器6载置在隔壁32上，并且以包围该变压器的外边的方式设有风洞体72。 

风洞体72被设成沿准分子灯2的管轴方向延伸，使得图1所示的剖面コ字形构件如图2所示包围变压器6的外边。在风洞体72中，设有隔着变 压器6相对的一对开口部721、722。设有多个风洞体72，使其分别包围多个变压器6，该多个变压器6配置在电气设备部34的内部。例如，在如图1所示设有3个变压器6的情况下，为每个变压器6也设有风洞体72，合计设有3个风洞体72。作为构成风洞体72的构件，例如有由环氧玻璃构成的具有电绝缘性的树脂构件。 

在风洞体72的一个开口部721的外边，设有从一个开口部721向另一个开口部722送风的例如冷却风扇那样的送风机构71。送风机构71是为了冷却变压器6而设的，所以为每个风洞体72设有1个送风机构71，该每个风洞体72与各变压器6对应。 

在电气设备部34的内部，设有例如散热器等热交换器那样的冷却机构73。 

冷却机构73被配置成在电气设备部34的内部、隔着送风机构71与一个开口部721相对配置。此外，如第1实施例所示，在具备多个变压器6的情况下，为了高效地冷却多个变压器6，配置了多个冷却机构73，使其与各变压器上所设的各风洞体的各一个开口部72对置。(参考后述图4b)。 

在冷却机构73上，设有流路731，以便向其内部供给、排出冷却液L。 

冷却机构73的流路731如图2所示，从电气设备部侧的侧壁341上所设的贯通孔342导出，以便从电气设备部34的内部延伸到外部。 

在电气设备部侧的侧壁341的贯通孔342和冷却机构73的流路731之间，设有例如由铝构成的密封体343，将电气设备部34内部做成密闭空间。 

从电气设备部34导出的流路731通过在电气设备部34的外部设有未图示的循环机构，而使流路731的内部的冷却液L循环。 

上述灯单元11被设成载置在传送单元12上。 

传送单元12包括：多个圆筒状的辊121，传送被照射物W；驱动体122，绕各辊121的中心轴来旋转驱动。 

多个圆筒状的辊121被排列成与灯单元11上所设的透光窗4的平面平行。 

用图3a、3b来说明上述灯单元11具备的准分子灯2的结构的一例。 

图3a、3b是图1记载的准分子灯2的说明图。图3a是沿构成准分子灯2的放电容器21的管轴方向的剖面图，图3b是与构成准分子灯2的放电容器21的管轴方向正交的方向上的放大剖面图(图3a的B-B剖面的放大图)。 

在图3a、3b中，对与图1及图2所示的部件相同的部件附以同一标记。 

准分子灯2包括：放电容器21，具有封入发光气体的放电空间214；电极221、222，隔着放电空间214被对置配置。 

放电容器21由下述部分构成的套管结构构成：圆筒状的外侧管211；圆筒状的内侧管212，位于外侧管211的内部，并且具有比外侧管211的直径小的直径；以及圆环状的端壁部213，保持圆筒状的外侧管211的管轴和圆筒状的内侧管212的管轴一致，并且设在外侧管211和内侧管212的管轴方向的两端。 

在放电容器21中构成有由外侧管211、内侧管212以及一对端壁部213包围的放电空间214，在该放电空间214中密封了例如氙气那样的稀有气体作为发光气体。 

作为构成放电容器21的构件，例如有石英玻璃那样能够具有绝缘性、并且对具有200nm以下的峰值波长的真空紫外线具有透光性的构件。 

在构成放电容器21的内侧管212的内周面上，沿着其整个长度方向上紧贴着设有圆筒状的内侧电极222。 

此外，在构成放电容器21的外侧管211的外周面上，沿着其整个长度方向上紧贴着设有网状的外侧电极221。 

外侧电极221和内侧电极222由于通过被这样设置，从而隔着由绝缘体构成的放电容器21的外侧管211、内侧管212以及放电空间214而对置。 

作为构成内侧电极222及外侧电极221的构件，例如有铜镍合金那样的具有导电性的金属构件。 

在图3a、3b所示的内侧电极222及外侧电极221上，电连接有图1所示的变压器6的未图示的次级端，变压器6的未图示的初级端被电连接在未图示的高频电源上。 

此外，在外侧电极221的外周上，由于设有例如由实施了氧化铝膜处理的铝或不锈钢那样的金属构件构成的灯保持体36，而使外侧电极221通过灯保持体36接地。 

上述第1实施例的紫外线照射装置1在点亮灯时，从未图示的高频电源提供的电压由变压器6升压，向准分子灯2供电。 

被供电的准分子灯2由于一对电极221、222间的电位差，通过放电容器21的内部密封的发光气体开始准分子发光，在发光气体例如为氙气时产 生峰值波长在172nm以下的真空紫外线。放电空间214中产生的真空紫外线透过放电容器21，照射到准分子灯2的外边。 

机壳3的光源部35由于填充了例如氮气那样的惰性气体，所以来自准分子灯2的真空紫外线不会被惰性气体吸收，而是透过透光窗4而照射到传送单元12一侧。 

传送单元12的驱动体122被连接在未图示的电源上，旋转驱动各辊121。辊121上载置的被照射物W通过辊121的旋转驱动而被传送，与透光窗4相对。例如，在图1中，被照射物W被从纸面右侧传送到纸面左侧，移动到与透光窗4相对的下方侧。 

传送单元12的内部是大气，所以透过了透光窗4的真空紫外线被大气中的氧吸收了一部分，但是由于传送的被照射物W和透光窗4被相邻配置，所以在被氧全部吸收之前被照射到被照射物W上。 

在被照射物W如图2所示在纸面左右方向很大的情况下，通过将准分子灯2配置为交错状(在图2中，在纸面前面一侧将一方的准分子灯2配置在纸面右侧，在纸面后面一侧将另一方的准分子灯2配置在纸面左侧)，来自准分子灯2的真空紫外线被全部照射到被照射物W上，从而处理被照射物W。此外，在传送单元12的内部，由于真空紫外线被氧吸收而产生臭氧，该臭氧也处理被照射物W。 

第1实施例的紫外线照射装置1如上所述，由于机壳3的电气设备部34的内部为密闭空间，所以能够防止传送单元12产生的臭氧流入电气设备部34，防止电气设备部34的内部配置的变压器6暴露在臭氧中。 

第1实施例的紫外线照射装置1在点亮灯时，由于用变压器6来升高向准分子灯2提供的电压，所以变压器6被加热。通过示出风洞体72，与其进行比较，来说明第1实施例的紫外线照射装置1中的冷却变压器6的结构及其作用、效果。 

图4a是比较例的紫外线照射装置1的说明图，是沿电气设备部侧的侧壁341的长度方向的剖面图。图4b是第1实施例的紫外线照射装置1的说明图，是沿电气设备部侧的侧壁341的长度方向的剖面图(图1中的C-C剖面图)。 

另外，在图4a、4b中，对与图1及图2所示的部件相同的部件附以同一标记。 

比较例的紫外线照射装置1在未设风洞体72这一点上与第1实施例不同。 

比较例及第1实施例的紫外线照射装置1通过将准分子灯2配置成交错状，从而将变压器6也按照准分子灯2的排列而配置成交错状。由此，电连接准分子灯2和变压器6的供电线5不会变成不期望的长度，而是能够简便地布线。 

比较例及第1实施例的紫外线照射装置1在点亮灯时，用未图示的电源来驱动送风机构71及冷却机构73。 

比较例及第1实施例的紫外线照射装置1用具备的送风机构71向变压器6吹送冷却风A。 

在如比较例的紫外线照射装置1那样为具备的多个准分子灯2设独立的变压器6的情况下，送风机构71吹送的冷却风A在碰撞变压器6后会扩散。具体地说，如图4a所示，在冷却风A碰撞变压器6后，纸面上侧及下侧的变压器6使冷却风A扩散到没有电气设备部侧的侧壁341的一侧，至于纸面正中侧的变压器6，则使冷却风A向纸面上下方向扩散。这样，在比较例的紫外线照射装置1的情况下，变压器6的和与冷却机构73对置的一侧相反的一侧的冷却不充分。 

而在第1实施例的紫外线照射装置1的情况下，通过与比较例同样为具备的多个准分子灯2设独立的变压器6，并且具备风洞体72，能够防止送风机构71吹送的冷却风A在碰撞变压器6后扩散。具体地说，如图4b所示，在机壳3的电气设备部34中，设有分别包围各变压器6、并且具备隔着变压器6对置的一对开口部721、722的风洞体72，而且送风机构71被设在风洞体72的一个开口部721上，并且用送风机构71从风洞体72的一个开口部721向另一个开口部722吹送冷却风A。通过该结构，来自送风机构71的冷却风A通过风洞体72的里边时不会扩散，就能够最佳地吹到风洞体72的里边配置的变压器6上，最佳地冷却被加热了的变压器6。 

第1实施例的紫外线照射装置1通过将机壳3的电气设备部34做成密闭空间，而从风洞体72的另一个开口部722导出由被加热了的变压器6产生的高温的排热风，在机壳3的内部循环。第1实施例的紫外线照射装置1通过在电气设备部34的密闭空间中设冷却机构73，该冷却机构73具备冷却液L的流路731的，而使来自被加热了的变压器6的排热风由冷却机构 73热交换，能够冷却密闭的电气设备部34。该冷却机构73由于隔着送风机构721与各变压器6分别对置配置，所以能够将冷却机构73热交换过的冷却风A最佳地吹到各变压器6上。 

如上所述，第1实施例的紫外线照射装置1的特征在于，将电气设备部34做成密闭空间，而且在该电气设备部34中，设有冷却机构73，该冷却机构73具备冷却液L的流路731，在该各变压器6的外边，设有风洞体72，该风洞体72分别包围该各变压器6、并且该风洞体72具备隔着该变压器6对置的开口部721、722，在该电气设备部34的内部，设有从该风洞体72的一个开口部721向另一个开口部722送风的送风机构71。由此，第1实施例的紫外线照射装置1能够防止腐蚀性气体从外部进入电气设备部34的内部，而且防止由于冷却机构73热交换而使电气设备部34的内部变为高温，能够在防止变为高温的电气设备部34的内部用送风机构71来冷却风洞体72的里边配置的变压器6。 

第1实施例的紫外线照射装置1说明了设有透光窗4的结构，但是本发明的紫外线照射装置1只要能够防止电气设备部34中配置的变压器6暴露在腐蚀性气体中即可，只要是电气设备部34的内部和光源部35的内部在大气上不连通的结构，则也可以不设透光窗。 

此外，本发明的紫外线照射装置1具备的准分子灯2只要隔着放电空间214和绝缘体21对置配置一对电极221、222，照射真空紫外线即可，例如也可以像上述专利文献3那样，是将一对电极221、222设在放电容器21的外表面上的准分子灯2。 

在上述第1实施例的紫外线照射装置1中，在电气设备部34的内部设有冷却机构73，下面对用冷却机构73来构成隔壁32的紫外线照射装置1作为第2实施例进行说明。 

图5是第2实施例的紫外线照射装置1的说明图，是与紫外线照射装置1具备的准分子灯2的管轴方向正交的方向上的剖面图。 

在图5中，对与图1所示的部件相同的部件附以同一标记。 

图5所示的紫外线照射装置1在用冷却机构73来构成隔壁32这一点上与图1所示的紫外线照射装置1不同。 

作为图5所示的紫外线照射装置1的说明，省略与图1所示的紫外线照射装置1的说明共通的部分，描述与图1的不同点。 

载置变压器6的隔壁32由例如实施了氧化铝膜处理的铝构成的具有导热性的金属构件构成，通过在其内部设有流通冷却液L的流路731，而构成冷却机构73。 

这样，第2实施例的紫外线照射装置1通过用冷却机构73来构成隔壁32，并且用能够进行电气设备部34的密闭空间的热交换的、具有导热性的构件来构成隔壁32，在点亮灯时，夺去变压器6的热的排热风由构成隔壁32的冷却机构73来进行热交换，能够冷却密闭的电气设备部34。 

此外，在从准分子灯2照射的光中，除了真空紫外线以外，还包含不同波段的光，在该光中，也包含加热隔壁32的光。此外，由于被供电而被加热，所以从准分子灯2放射其辐射热。 

第2实施例的紫外线照射装置1通过用冷却机构73来构成位于准分子灯2和变压器6之间的隔壁32，来自准分子灯2的照射热和辐射热由隔壁32进行热交换，能够防止变压器6被加热。 

Claims (2)

1.一种紫外线照射装置，包括：

准分子灯，包括放电容器和隔着该放电容器的放电空间而相对配置的电极；

多个变压器，分别被电连接在多个该准分子灯上，并且配置成交错状；

机壳，保持该多个准分子灯和该多个变压器，并且具备隔壁，该隔壁设在该准分子灯和该变压器之间；及

电气设备部，在该机壳内通过该隔壁而包围该多个变压器，

该紫外线照射装置的特征在于，

在该电气设备部中设有冷却机构，该冷却机构具备冷却液的流路；

在该各变压器的外边设有风洞体，该风洞体对该各变压器进行独立包围，并且该风洞体具备隔着该变压器而相对的一对开口部，该风洞体被设成沿上述准分子灯的管轴方向延伸，并且该风洞体分别被设置成交错状；

在该电气设备部的内部设有送风机构，该送风机构从该风洞体的一个开口部向另一个开口部送风。

2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，

该隔壁由冷却机构构成，该冷却机构在其内部具备冷却液的流路。

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