JP2003303694A - エキシマ光照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、大面積の照射を可能にする長尺の
エキシマ光源を備えたエキシマ光照射装置を提供するこ
とを目的とする。また、複数本のエキシマランプを同一
ランプ管軸上に並べても接合部の照度低下を極力減ら
し、発光効率の良いエキシマランプを提供することによ
り、大面積の均一照射を可能にするエキシマ光照射装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明エキシマ光照射装置は、希ガス放
電によって生成したエキシマ分子からのエキシマ発光を
利用するエキシマランプを配置しており、該エキシマラ
ンプの駆動回路として、発信器と、インバータと、トラ
ンスと、を備えたエキシマ光照射装置において、複数本
の該エキシマランプを同一ランプ管軸上に近接配置し、
各々の該エキシマランプ点灯時の周波数と位相とを同期
させる手段を設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エキシマ光照射装
置に関し、更に詳しくは希ガスによってエキシマ分子を
形成し該エキシマ分子から放射される光を利用するいわ
ゆるエキシマランプを具備したエキシマ光照射装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来エキシマ光は種々の分野で利用され
ている。例えば、液晶ディスプレイの製造工程でガラス
基板の洗浄時に該基板を一括照射する等の処理を行なう
ことがされている。近年、該液晶基板等の製造コスト削
減や処理時間の短縮化が望まれている。また、市場から
の要求としては液晶テレビに代表されるように液晶パネ
ル自身の大型化が進み、更なる大型画面の製造が望まれ
ている。これに伴って、エキシマ光照射装置も大きなガ
ラス基板等を処理できるように大型化する必要が出てき
た。具体的には大面積を一括露光する為に該エキシマラ
ンプ自身を長尺化したり、該エキシマランプを該ガラス
基板全体が照射できるように多数本並列配置する等の必
要が出てきた。また、大面積をスキャン方式で連続的に
露光する場合もあるが、ガラス基板の幅の増加に対応す
るため、該エキシマランプの長尺化が必要となってき
た。

【０００３】例えば従来のエキシマランプとしては日本
国公開特許公報平２ー７３５３号等があり、放電容器に
エキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し、該放電用
ガスを放電させることによりエキシマ分子を形成せし
め、該エキシマ分子から放射される光を取り出す放射器
について記載されている。

【０００４】ここで、従来のエキシマランプと該従来の
エキシマランプを配置したエキシマ光照射装置とを示
す。図８に示したのは従来のエキシマランプである。該
エキシマランプ５１は例えば略円筒状であって、石英ガ
ラス等からなる管状の内側管５２と略同一の中心軸を持
つ管状の外側管５３とで覆われた放電容器５４を持って
いる。該放電容器５４の内部にはエキシマ分子を生成す
るためにキセノンなどのガス５５が封入されている。該
放電容器５４の少なくとも一部は該エキシマ分子から放
射される光に対して光透過性であり、該光透過性材料の
少なくとも一部に導電性網状電極５６が設けられてい
る。例えば該放電容器５４の外側管外表面に網状電極５
６が形成され、内側には他方の電極としての内電極５７
を形成している。該電極間には高周波高電圧が印加され
ることにより内部に封入された放電用ガスが放電し、エ
キシマ光を放射する。

【０００５】次にエキシマ光照射装置について示す。該
エキシマランプのランプ管軸方向に対して直角方向に光
を取り出すエキシマランプ装置については、米国特許第
２９４３２２５号等に記載されている。

【０００６】図９にはエキシマランプ５１を配置したエ
キシマ光照射装置の概念図を示す。該エキシマ光照射装
置７１の内部には複数本のエキシマランプ５１が配置さ
れている。また、該装置のランプハウス部７２にはエキ
シマ光透過性の窓部７３が設けられており、該窓部７３
を通して被処理物７５に光照射される。該ランプハウス
部７２にはエキシマランプ５１に印加する高電圧等の発
生回路等が収納された回路ボックス７４が隣接して設け
られている。尚、図９には複数本のエキシマランプを配
置した場合を示したが、スキャン方式等に用いられるも
のには該エキシマランプを１本のみ配置した場合のもの
もある。

【０００７】図１０に従来のエキシマ光照射装置におけ
る点灯回路の一例を示す。５１はエキシマランプ、８２
は昇圧トランスであり、二重円筒管からなる略円筒状の
エキシマランプ５１には外側管の外部に配置された網状
電極５６と内側管側に配置された内電極５７との間に高
周波高電圧を供給する該昇圧トランス８２が接続されて
いる。昇圧トランス８２の一次側巻線には、スイッチ素
子Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４から構成されるインバータ回
路８３が接続されており、スイッチ素子Ｑ１，Ｑ４とＱ
２，Ｑ３を交互にオンにすることにより昇圧トランス８
２の一次側に交流電圧が印加され、ランプ５１が点灯す
る。また、該インバータ回路８３には直流電源８４が接
続されており、インバータ回路８３の一次側に電力供給
を行なっている。

【０００８】該インバータ回路８３の前記スイッチ素子
Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４を駆動させるためにゲート信号
生成回路８５が接続されている。また、該ゲート信号生
成回路８５には鋸歯状波発振器８６が接続され基本駆動
信号を供給している。

【０００９】該鋸歯状波発振器８６が出力する鋸歯状波
は、該ゲート信号生成回路８５内の比較器Ｃｍｐに入力
される。該比較器Ｃｍｐは該鋸歯状波発振器８６が出力
する鋸歯状波と一定レベルの電圧Ｖｓとを比較し、該鋸
歯状波が一定レベルの信号Ｖｓより大きくなると出力を
発生する。このため、該鋸歯状波が入力されているとき
該比較器Ｃｍｐからは、所定の周期のパルス信号が出力
される。このパルス信号は、ゲート信号生成回路８５内
のフリップフロップＦＦのクロック端子ＣＬＫに入力さ
れ、該フリップフロップＦＦはこのパルス信号により、
出力Ｑおよびその反転出力Ｑ'（図中ではＱの上に横線
を付して示している、以下同じ）が出力される。それぞ
れの信号は、ゲート回路Ｇ１，Ｇ２の一方の入力端子に
入力され、また、前記比較器Ｃｍｐが出力するパルス信
号は該ゲート回路Ｇ１，Ｇ２の他方の入力端子に入力さ
れる。したがって、ゲート回路Ｇ１，Ｇ２からは２相の
パルス信号が出力され、スイッチ素子Ｑ５，Ｑ６はこの
２相のパルス信号により交互にオンとなる。そして、該
スイッチ素子Ｑ５，Ｑ６の出力はインバータ回路用ゲー
ト信号として、抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を介して前
記スイッチ素子Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３，Ｑ４のゲート端子に
印加される。これにより、スイッチ素子Ｑ１，Ｑ４とＱ
２，Ｑ３とは交互にオンとなり、昇圧トランス８２を介
して該エキシマランプ５１に電圧が印加され点灯する。

【００１０】該エキシマランプ５１に供給される高周波
高電圧は例えば印加電圧５kＶ、周波数はおよそ６０kＨ
zである。通常、該エキシマランプ５１の外側に位置す
る網状電極はアースと接続され、該内電極側に高周波高
電圧を印加する。

【００１１】このようなエキシマ光照射装置は前記した
液晶板等の大型化に伴って、該エキシマ光照射装置内部
に配置されるエキシマランプの本数を増やしたり、該エ
キシマランプ自身を長尺にすることが進められてきた。

【００１２】しかし、該エキシマランプ自身を単純に長
尺化すると該エキシマランプからの発光効率自身が低下
するといった問題があった。

【００１３】また、長尺化した該エキシマランプは、製
造時に取り扱いが非常に困難となるばかりか、該エキシ
マランプを装置に組み込んで輸送する際に機械的強度の
点から信頼性が乏しくなるといった問題があった。

【００１４】更には、該エキシマランプの長尺化に併せ
て点灯するエネルギーも大きくなるため該エキシマラン
プに高い電圧を供給するトランスが非常に大型化してし
まうといった問題があった。

【００１５】一方、短いエキシマランプを複数本連結さ
せて長尺のランプを実現しようといった事も原稿照明用
の外部電極型蛍光ランプ等の小入力のランプでは試みら
れている。例えば特開平１１−３１７２０１号公報によ
れば、複数本の短いエキシマランプを該エキシマランプ
軸上に並列に並べ長尺のランプを実現しようといった技
術が開示されている。しかし、この発明においては原稿
照明用の外部電極型蛍光ランプであって、入力電力が小
さなランプに関するものであり、個々のランプ間に絶縁
板を配置することで複数本のランプを同一ランプ管軸上
に並列に並べることを実現している。しかし、液晶基板
を照射するエキシマ光照射装置では非常に高い電圧で該
エキシマランプを駆動させている。このため同一ランプ
管軸上に複数本配置した該エキシマランプ間に絶縁板を
設けようとすると該絶縁板の厚みが非常に大きくなり、
該絶縁板が配置されている部分ではエキシマ光の照度が
低下し均一な面照射が出来ないといった問題が生じる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】大面積の照射を可能に
する長尺のエキシマ光源を備えたエキシマ光照射装置を
提供することを目的とする。また、複数本のエキシマラ
ンプを同一ランプ管軸上に並べても接合部の照度低下を
極力減らし、発光効率の良いエキシマランプを提供する
ことにより、大面積の均一照射を可能にするエキシマ光
照射装置を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明のエキシマ光照射
装置は、希ガス放電によって生成したエキシマ分子から
のエキシマ発光を利用するエキシマランプを配置してお
り、該エキシマランプの駆動回路として、発振器と、イ
ンバータと、トランスと、を備えたエキシマ光照射装置
において、複数本の該エキシマランプを同一ランプ管軸
上に近接配置し、各々の該エキシマランプ点灯時の周波
数と位相とを同期させる手段を設けたことを特徴とす
る。

【００１８】これにより、同一ランプ管軸上に近接配置
された複数本の該エキシマランプ間で電位差が発生する
ことによる該エキシマランプ間での異常放電の発生が無
く、該ランプ管軸上に配置した複数本の該エキシマラン
プでの放電が安定し、均一なエキシマ光の照射を提供で
きる。

【００１９】また、前記の同期させる手段として、同一
ランプ管軸上に近接配置した各エキシマランプの内の一
本を駆動させる一つの発振器からの信号を基準信号と
し、他の発振器を該基準信号に追従するように周波数を
可変駆動させたことを特徴とする。

【００２０】これにより、各エキシマランプに印加され
る高周波高電圧が一つの発振器から発生する駆動信号を
基準として発生するので、各エキシマランプ間で異常放
電が発生することがない。

【００２１】また、前記の同期させる手段として、各エ
キシマランプに接続されたインバータを単一の発振器に
よって駆動させることを特徴とする。

【００２２】これにより、前記した該エキシマランプ間
での異常放電を容易に抑制でき、均一なエキシマ光の照
射を実現できる。また、インバータを駆動する発振器を
単一にすることにより装置の軽量化が図れるといった利
点がある。

【００２３】更には、前記の同期させる手段として、同
一ランプ管軸上に近接配置した各エキシマランプの各々
に対応した独立のトランスを接続させ、該複数のトラン
スを単一のインバータで駆動したことを特徴とする。

【００２４】これにより、エキシマランプを同一ランプ
管軸上に複数本配置させて長尺化したエキシマランプに
使用するトランスを小型化でき、装置全体の軽量化が図
れる。更には、該構成により該エキシマランプ自身の長
さが単一のエキシマランプからなる長尺ランプに比べて
短くできるため、同一ランプ管軸上に複数本配置させた
該エキシマランプの方が点灯時にランプ自身の発光効率
が改善されるといった利点がある。

【００２５】複数の該エキシマランプを該ランプ管軸上
に並列配置して構成する場合において、該同一軸上に並
列配置される個々の該エキシマランプの長さを短くする
と発光効率が改善される理由を以下に示す。

【００２６】これは、該エキシマランプの発光効率が該
エキシマランプを含めた点灯回路のインダクタンスＬと
全静電容量Ｃとに依存しており、回路全体の静電容量Ｃ
は概ね該エキシマランプの静電容量に依存しているため
である。このインダクタンスＬと静電容量Ｃとの関係は
本発明者らの提案による特開平１１−３１７２０３号公
報にも記載されているが、ＬＣ≦２．８×１０^−８ＦＨ
（Ｃの単位Ｆはファラッド、Ｌの単位Ｈはヘンリー）の
範囲であれば発光効率が改善される。本発明の構成によ
れば個々の該エキシマランプが短くなるため、電極の表
面積自身が小型化され結果として静電容量を小さくし、
発光効率を高くする方向で働く。

【００２７】またトランスが小型化されることによって
も、Ｌが小さくなり、更に発光効率が高くなる。そのた
め、大面積を照射するエキシマ光照射装置においては、
単一のエキシマランプからなる長尺ランプを配置した場
合より同一ランプ管軸上に複数本配置させることにより
長尺化したエキシマランプを配置した方が該装置全体と
しても発光効率を改善できる。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明のエキシマ光照射装置の１
実施例を図１に示す。略二重円筒状の該エキシマランプ
１、２は同一ランプ管軸上に並列配置されている。該エ
キシマランプ１，２の各々には昇圧トランス３、４が個
別に接続されている。該昇圧トランス３、４にはインバ
ータ回路５、６が接続されゲート駆動回路７、８によっ
て該インバータ回路５、６のスイッチ素子のゲートをon
-offする。また、該ゲート駆動回路７、８を動作させる
ために発振器９、１０が接続されている。昇圧トランス
３、４、インバータ回路５、６ゲート駆動回路７、８の
それぞれは従来例として示した図１０で述べたものと同
等の回路構成である。本発明の第１の実施例では、該エ
キシマランプ１、２に印加する電圧の周波数と位相差を
揃える為に、同期回路１１を設け発振回路９からの信号
を基準信号として該同期回路１１をへて発振回路１０の
信号を該基準信号に追従させている。該発振器１０には
周波数可変発振器を使用している。

【００２９】図２に該発振器と同期回路について示す。
図１で示した発振器１０は周波数可変発振器であり、例
えばモトローラ社製のＩＣであるＭＣ４０２４を使用す
ることができる。該周波数可変発振器１０から出力する
発振信号は、ケ゛ート信号生成回路８と同時に同期回路１１
の位相比較器１３に入力される。該位相比較器１３は、
外部からの基準信号である発振器９からの信号を同期信
号Ｓｙｃとして取り込む。該位相比較器１３は該同期信
号Ｓｙｃの位相を比較し、比較結果を誤差積分器として
動作するローパスフィルタ１４に出力する。該ローパス
フィルタ１４は該位相比較器１３の出力を積算し位相差
に応じた出力を発生する。該位相比較器１３と該ローパ
スフィルタ１４としては、これらをワンチップに内蔵さ
せたモトローラ社製のＩＣであるＭＣ４０４４を使用す
ることができる。

【００３０】該ローパスフィルタ１４の出力は該周波数
可変発振器１０の周波数制御入力端子に入力される。該
周波数可変発振器１０は該ローパスフィルタ１４の出力
に応じた周波数で発振し、その結果、該周波数可変発振
器１０の発振信号は、外部同期信号Ｓｙｃの位相にロッ
クされる。この構成により、周波数可変発振器１０は外
部同期信号Ｓｙｃと同じ周波数で、かつ外部同期信号Ｓ
ｙｃに同期して発振する。外部同期信号Ｓｙｃには前記
した発振器９の信号を入力する。

【００３１】このような構成により各エキシマランプへ
印加する電圧の周波数と位相が揃い該エキシマランプど
うしの間に絶縁板が必要なくなり、例えば該エキシマラ
ンプ間の内電極の距離を１ｍｍ以下にしても各々の内電
極間で放電することがないといった利点がある。

【００３２】次に、本発明の第２の実施例を図３に示
す。同一ランプ軸上に並列配置された略二重円筒状の該
エキシマランプ１、２への高周波高電圧を印加する回路
の基本構成は第１の実施例の場合と同等であり、各々の
該エキシマランプに昇圧トランス３、４、インバータ回
路５、６、直流電源８４、ゲート駆動回路７、８が順に
接続されている。この第２の実施例では該インバータ回
路５、６に接続されている発振器９が共通化されてい
る。該発振器９が共通化されることによって、該エキシ
マランプ１、２に印加される高周波高電圧の周波数を一
致させ、且つ該印加電圧の位相も同期させることができ
る。該構成によれば回路部分の部品点数を削減できると
いった利点がある。

【００３３】更に、本発明の第３の実施例を図４に示
す。第３の実施例も第１の実施例の場合と基本的な回路
構成は同じである。この第３の実施例では、発振器９、
ゲート駆動回路７、直流電源８４、インバータ回路６ま
でが共通化されている。しかし、該エキシマランプ１、
２各々には独立した昇圧トランス３、４が接続されてい
る。該構成により、更なる回路部品の削減が可能とな
る。また、昇圧トランス３、４を各エキシマランプ１、
２で独立させたことにより、昇圧トランス３、４自身は
小型化が可能となるといった利点がある。

【００３４】次に、３本の該エキシマランプを同一ラン
プ軸上に並列配置した場合を図５に示す。該エキシマラ
ンプ２０、２１、２２が同一ランプ軸上に並列配置され
ている。該エキシマランプ２０、２１、２２へ高周波高
電圧を供給する基本的な回路構成は実施例３の場合と同
等である。本実施例では該エキシマランプ２０と２２と
に挟まれた真中の該エキシマランプ２１への給電線の取
り回しを前記の実施例１乃至３の場合とは変える必要が
ある。具体的には、図５−１に示すように該エキシマラ
ンプ２０、又は２２の端部側から二重円筒状の内管内部
に被覆付きリード線２３を挿入して該エキシマランプ２
１に給電する。本実施例においても前記した回路構成を
取るため各エキシマランプの内電極に印加する電圧の周
波数や位相の差がないため、該被覆付きリード線２３の
被覆の耐電圧を高くする必要がなく該エキシマランプ２
０、又は２２の内管内側を用いて該被覆付きリード線２
３の取り回しができる。ただし、被覆の材質はランプか
ら漏れて来る紫外線に耐えられるもの、または、樹脂製
の被覆を耐紫外線材で覆うことが望ましい。例えば、ガ
ラス繊維で偏組したガラススリーブで覆ったり、セラミ
ック管で覆うことで紫外線から守ることができる。

【００３５】また、図５−２に示すように同一ランプ軸
上に並列配置した該エキシマランプ２０、２１、２２の
ランプ間の隙間を介して内電極に給電しても良い。この
場合、該リード線を通す程度の隙間を該エキシマランプ
２０、２１、２２との間に設ければ良い。また、図６に
示すように該エキシマランプ２０、２１、２２の端部に
リード線取り込み様の切り欠き部２４を設けても良い。

【００３６】図７には、前記エキシマランプを配置した
エキシマ光照射装置における該エキシマランプの配置例
を示す。図７−（１）は、同じ長さのエキシマランプ
１、２を同じ位置で連結させた場合である。実施例１乃
至３で示した構成により該エキシマランプ間の隙間を小
さくできるので、該連結部での放射光の低下が抑制され
るため同一位置で連結させても大面積の均一照射が可能
になる。

【００３７】図７−（２）には同じ長さの該エキシマラ
ンプを組み合わせた図である。該エキシマランプの連結
位置が分散されているため大面積を照射した場合、図７
―（１）に比べて更に高い均一性を得ることができる。

【００３８】図７−（３）は、図７―（２）の場合と同
様の配置を長さが異なる該エキシマランプを組み合わせ
ることによって実現している。これにより、照射領域以
外に該エキシマランプが配置されることがなく放射され
る光を有効利用できる。

【００３９】図７−（４）は長さの異なる該エキシマラ
ンプを用いて連結部の配置される位置を千鳥状に配置さ
せたものである。これにより均一な面照射が可能とな
る。

【００４０】尚、本実施例ではインバータ回路としてフ
ルブリッジ方式のものを示したが、該インバータ回路の
構成としては必要に応じてハーフブリッジ方式、プッシ
ュプル方式、フライバック方式などでもよい。また、印
加電圧の周波数は数十Ｈｚ〜数MＨz、更には数ＧＨｚで
も良く、電圧波形の形状も正弦波、矩形波、パルス状の
波形などでも良い。更に、エキシマランプの形状として
は二重円筒状のものを示したがその他の形状、例えば内
部に放電電極の片側を持つ一重円筒状や外部に２つの電
極を持つ棒状ものものであってもよい。

【００４１】

【発明の効果】本発明のエキシマ光照射装置によれば、
複数本のエキシマランプをランプ間軸上に配置し点灯時
の周波数と位相を同期させることにより、複数本の該エ
キシマランプ間で電位差が発生することによる該エキシ
マランプ間での異常放電が発生すること無く、該ランプ
管軸上に配置した複数本の該エキシマランプでの放電が
安定し、均一なエキシマ光の照射を提供できる。

【００４２】また、本発明のエキシマ光照射装置に配置
された該エキシマランプの点灯時の周波数と位相を同期
させるために、単一の発振器を利用したので、前記した
該エキシマランプ間での異常放電を容易に抑制でき、均
一なエキシマ光の照射を実現できる。また、インバータ
を駆動する発振器を単一にすることにより装置の軽量化
が図れるといった利点がある。

【００４３】更には、同一ランプ管軸上に配置した複数
本の該エキシマランプに高電圧を負荷するトランスを個
々のランプに設けたことにより、該トランス自身を小型
化でき、結果として該エキシマ光照射装置自身を軽量化
することができる。また、該エキシマランプ自身が短尺
化されるので単一の長尺ランプに比べて点灯時の電圧波
形の立ち上がりが早くなり、結果として大面積を照射す
るエキシマ光照射装置においても発光効率の低下を抑制
できるといった効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明におけるエキシマ光照射装置の第１の実
施例。

【図２】本発明におけるエキシマ光照射装置に配置され
た同期回路を示すブロック図。

【図３】本発明におけるエキシマ光照射装置の第２の実
施例。

【図４】本発明におけるエキシマ光照射装置の第３の実
施例。

【図５】本発明におけるエキシマ光照射装置の第４の実
施例。

【図６】本発明におけるエキシマ光照射装置の連結部分
の拡大図。

【図７】本願発明におけるエキシマ光照射装置でのエキ
シマランプの配置を示した図。

【図８】従来におけるエキシマランプの概要を示す。

【図９】従来におけるエキシマランプを配置したエキシ
マ光照射装置の概略図。

【図１０】従来におけるエキシマランプ点灯用の回路構
成図。

【符号の説明】

１ エキシマランプ ２ エキシマランプ ３ 昇圧トランス ４ 昇圧トランス ５ インバータ回路 ６ インバータ回路 ７ ゲート駆動回路 ８ ゲート駆動回路 ９ 発振器 １０ 周波数可変発振器 １１ 同期回路 １３ 位相比較器 １４ ローパスフィルタ ２０ エキシマランプ ２１ エキシマランプ ２２ エキシマランプ ２３ 被覆付きリード線 ２４ 切り欠き部 ５１ エキシマランプ ５２ 内側管 ５３ 外側管 ５４ 放電容器 ５５ 希ガス ５６ 網状電極 ５７ 他方の電極 ７１ エキシマ光照射装置 ７２ ランプハウス部 ７３ 窓部 ７４ 回路ボックス ７５ 被処理物 ８２ 昇圧トランス ８３ インバータ回路 ８４ 直流電源 ８５ ゲート信号生成回路 ８６ 鋸歯状波発振器 ９０ 昇圧トランス Ｑ１ スイッチ素子 Ｑ２ スイッチ素子 Ｑ３ スイッチ素子 Ｑ４ スイッチ素子 Ｑ５ スイッチ素子 Ｑ６ スイッチ素子 Ｃｍｐ 比較器 ＦＦ フリップフロップ ＣＬＫ クロック端子 Ｇ１ ゲート回路 Ｇ２ ゲート回路 Ｒ１ 抵抗 Ｒ２ 抵抗 Ｒ３ 抵抗 Ｒ４ 抵抗 Ｓｙｃ 同期信号

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 希ガス放電によって生成したエキシマ分
   子からのエキシマ発光を利用するエキシマランプを配置
   しており、該エキシマランプの駆動回路として、発振器
   と、インバータと、トランスと、を備えたエキシマ光照
   射装置において、 複数本の該エキシマランプを同一ランプ管軸上に近接配
   置し、各々の該エキシマランプ点灯時の周波数と位相と
   を同期させる手段を設けたことを特徴とするエキシマ光
   照射装置。
2. 【請求項２】 同期させる手段として、同一ランプ管軸
   上に近接配置した各エキシマランプの内の一本を駆動さ
   せる一つの発振器からの信号を基準信号とし、他の発振
   器を該基準信号に追従するように周波数を可変駆動させ
   たことを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光照射装
   置。
3. 【請求項３】 同期させる手段として、各エキシマラン
   プに接続されたインバータを単一の発振器によって駆動
   させることを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光照
   射装置。
4. 【請求項４】 同期させる手段として、同一ランプ管軸
   上に近接配置した各エキシマランプの各々に対応した独
   立のトランスを接続させ、該複数のトランスを単一のイ
   ンバータで駆動したことを特徴とする請求項１に記載の
   エキシマ光照射装置。