CN101517623B - 显示装置、显示装置的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及显示装置、显示装置的制造方法。本发明的液晶装置(1)的特征在于:其包括第一导电层(20)和与所述第一导电层(20)隔着绝缘层形成的第二导电层(21),并且包括所述第一导电层(20)和所述第二导电层(21)交叉的交叉部(40),在所述交叉部(40),包括形成在所述第一导电层(20)和所述第二导电层(21)的至少一个上的狭缝部(210a)和与该狭缝部(210a)隔着规定间隔形成的切口部(210b)。
Description
技术领域
本发明涉及显示装置和显示装置的制造方法。
背景技术
以往,已知像素电极以矩阵状配置在透明基板上,通过对每个该像素电极施加电压而形成图像的液晶显示装置、EL显示装置、等离子体显示装置等显示装置。作为这些显示装置的驱动方式,公知有源矩阵驱动方式,在有源矩阵驱动方式的显示装置中,在透明基板上以栅格状设置有栅极总线(扫描配线)和源极总线(信号配线),在栅极总线和源极总线的交叉部附近设置有TFT等开关元件。
例如在TFT上设置有从栅极总线分支的栅极电极、从源极总线分支的源极电极、与像素电极连接的漏极电极。另外,在相对于包括有像素电极的透明基板的位置,设有包括相对电极的透明基板。并且,各个像素当从栅极总线接收到选择信号时,通过从源极总线接收的信号对像素电极和相对电极之间施加电压而驱动。
在这样的显示装置中,例如源极总线和栅极总线等那样相互交叉的配线彼此间产生泄漏的情况下,由于例如在该源极总线中比产生短路的部分更前的部分,信号不被准确传递,所以产生不被正确显示的线状的区域(线缺陷)。因此,作为在这样的配线彼此的交叉部位修正不良状态产生的方法,已知例如专利文献1和2所记载的技术。
专利文献1:日本专利特开昭63-221325号公报
专利文献2:日本专利特开2004-347891号公报
发明内容
在专利文献1中公开有在配线的重叠部分加入一条狭缝,从该狭缝的两端通过激光照射而切断,使短路部分孤立的技术。另外,在专利文献2中公开有在配线的重叠部分并列设置多条狭缝,在该狭缝形成部切断配线的技术。
这样,在当产生泄漏的情况下通过激光照射仅切离狭缝部分的方法中,例如在泄漏产生部位存在狭缝宽度以上大小的残膜或异物的情况下,利用狭缝不能切离泄漏产生部位。这种情况下,需要超过狭缝形成部位用激光在导电膜上进行切断,但是激光切断的切断方向仅能够方向转换90°,或者方向转换90°对于操作的简便性来说优选。因此,由于切断的对象是导电膜,所以通过切断也并不是能够完全修正泄漏,另外特别是角落部(激光的扫描方向转换位置)会产生修正不良。因此,作为这样的问题的对策,考虑加长狭缝长度,但若过长,则配线电阻变高,导致显示性能下降。
本发明是鉴于上述问题而研发的,其目的在于提供一种不会伴随电阻上升,而能够合适地修正导电层(配线)的泄漏产生部位等的显示装置,进而另一目的还在于提供一种这样的显示装置的制造方法。
为了解决这样的问题,本发明的显示装置,其包括第一导电层和相对于上述第一导电层隔着绝缘层形成的第二导电层,其特征在于:包括上述第一导电层和上述第二导电层重叠的重叠部,在上述重叠部,包括形成在上述第一导电层和上述第二导电层的至少一个上的狭缝部和与该狭缝部隔着规定间隔形成的切口部。
根据这样的显示装置,即使在第一导电层和第二导电层的重叠部产生泄漏等不良状态的情况下,只要切除连接狭缝部和切口部的导电层,使狭缝部和与该狭缝部隔着规定间隔形成的切口部贯通,就能够切离该不良部位,能够具备可靠性高的导电性能,以至于提供显示品质高的显示装置。另外,与狭缝部隔着规定间隔设置切口部,构成能够切断不良部位的结构,所以能够修正遍及比较大的面积的不良部位,并且与单纯地使狭缝部的长度延长而实现能够修正的面积扩大的情况相比,是能够抑制导电层的电阻值增大,显示性能难以随之下降的结构。另外,在本发明中重叠部也包括各导电层重叠的周边,具体地包括因异物混入而在重叠的导电层能够产生泄漏的范围。另外,作为重叠部的具体例子,特别是能够例示各导电层交叉的交叉部。
本发明中,能够使上述狭缝部并列多个而形成,相对于各狭缝部形成有上述切口部。根据这样的结构,例如即使不良部位比较大的情况下也能够进行修正,例如遍及多个狭缝产生不良状态的情况下,只要切除连接该多个狭缝的各导电层即可,另外,由于相对于各狭缝部隔着规定间隔形成有上述切口部,所以能够对于遍及这样大的面积的不良状态进行应对。另外,通过狭缝部的并列结构、以及切口部相对于并列的各狭缝部的设置,能够在狭缝部的长度方向和与该长度方向相交的方向(狭缝部的并列方向)的任一个上确定切断方向,使该切断操作变得简便。
另外,例如若切口部配置在狭缝部的延长线上,则利用激光照射进行切断时,可以在90°相交的纵横的任一个方向上进行扫描激光,所以该激光的扫描变得简便,乃至能够提高照射精度。具体地,能够相对于狭缝部的长度方向切断连接该狭缝部和切口部的导电层,相对于狭缝部的并列方向,能够切断连接并列的狭缝部彼此的导电层、或连接并列的切口部彼此的导电层。
在本发明中,能够使上述切口部沿着上述狭缝部的长度方向形成有多个。根据这样的结构,能够抑制导电层的电阻增大,并且能够进一步实现能够修复的面积的扩大。
另外,能够使上述切口部以棋盘格状散布形成。根据这样的结构,切断连接切口部彼此的导电层时,能够在90°方向转换的纵横任一方向上确定切断方向,如上述那样,使切断操作变得简便。特别是,利用激光照射进行切断时,可以在棋盘格状的切口部的任一个上将该激光的扫描方向转换90°方向(即、能够在不存在导电层的部位进行转换),所以在转换部分(扫描方向转换位置)产生修正不良的问题也能够得以解决。
另外,能够使上述切口部形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形。根据这样的切口部,能够提高利用激光照射的切断精度。即,由于激光的光辐为数μm,所以通过使切口部形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形,能够实现排除浪费的切断。切口部的一边若不到6.0μm的情况下,在导电层的存在部分存在需要使激光的扫描方向进行方向转换的情况,若超过10.0μm,则导电层的电阻值高过必要以上。
接着,为了解决上述问题,本发明的显示装置的制造方法,制造包括第一导电层和与上述第一导电层隔着绝缘层形成的第二导电层的显示装置,该制造方法的特征在于,包括:形成上述第一导电层的第一导电层形成工序;在上述第一导电层上形成绝缘层的工序;在上述绝缘层上以包括与上述第一导电层重叠的重叠部的形式形成第二导电层的第二导电层形成工序;和在上述各导电层重叠的位置存在不良状态的情况下,修正该不良状态的修正工序,其中,上述第一导电层形成工序和上述第二导电层形成工序的至少一个工序包括:在该第一导电层和该第二导电层的至少一个上,在各导电层重叠的部位形成狭缝部的狭缝部形成工序;和形成与该狭缝部隔着规定间隔配设的切口部的切口部形成工序,上述修正工序包括对连接上述狭缝部和上述切口部的导电层照射激光,切除上述不良部位的工序。
根据这样的制造方法,由于能够合适地修正不良部位,所以能够获得可靠性高的导电功能,乃至能够提供显示品质高的显示装置。特别是,由于设置切口部来切断不良部位,所以能够修正遍及比较大的面积的不良部位,并且与单纯地使狭缝部的长度延长而实现能够修正的面积扩大的情况相比,是能够抑制导电层的电阻值增大,显示性能难以随之下降的结构。
另外,能够在上述狭缝部形成工序中,并列形成多个该狭缝部,并且,在上述切口部形成工序中,相对于上述多个狭缝部分别形成切口部。这种情况下,例如即使不良部位比较大的情况下也能够进行修正,例如遍及多个狭缝产生不良状态的情况下,只要切除连接该多个狭缝的各导电层即可,另外由于相对于各狭缝部隔着规定间隔形成有切口部,所以能够对遍及这样大的面积的不良状态进行应对。另外,通过狭缝部的并列结构、以及切口部相对于并列的各狭缝部的设置,能够在狭缝部的长度方向和与该长度方向相交的方向(狭缝部的并列方向)的任一个上确定切断方向,使该切断操作变得简便。即,利用激光照射进行切断时,可以在90°相交的纵横的任一个方向上进行扫描激光,所以激光的扫描变得简便,乃至能够提高照射精度。具体地,能够相对于狭缝部的长度方向切断连接该狭缝部和切口部的导电层,相对于狭缝部的并列方向,能够切断连接并列的狭缝部彼此的导电层、或连接并列的切口部彼此的导电层。
在上述切口部形成工序中,能够沿着上述狭缝部的长度方向形成多个切口部。这种情况下,能够抑制导电层的电阻增大,并且能够进一步实现能够修复的面积的扩大。
另外,在上述切口部形成工序中,能够使该切口部以棋盘格状散布形成。这种情况下,切断连接切口部彼此的导电层时,能够在90°方向转换的纵横任一方向上确定切断方向,如上述那样,使切断操作变得简便。具体地,由于可以在棋盘格状的切口部的任一个上将激光的扫描方向转换90°方向(即、能够在不存在导电层的部位进行转换),所以在转换部分(扫描方向转换位置)产生修正不良的问题也能够得以解决。
另外,在上述切口部形成工序中,能够使该切口部形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形。这种情况下,能够提高切断精度。即,由于激光的光辐为数μm,所以通过使切口部形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形,能够实现排除浪费的切断。切口部的一边若不到6.0μm的情况下,在导电层的存在部分存在需要使激光的扫描方向转换的情况,若超过10.0μm,则导电层的电阻值高为必要以上。
根据本发明,能够提供一种不会伴随配线电阻上升,而能够合适地修正导电层(配线)的泄漏产生部位等的显示装置。
另外,本发明能够提供一种包括同样不会伴随电阻上升,而能够合适地修正导电层(配线)的泄漏产生部位等的工序的显示装置的制造方法。
附图说明
图1是示意性地表示本实施方式的液晶显示装置的驱动电路和配线结构的平面图。
图2是图1的局部放大平面示意图。
图3是图2的局部放大平面示意图。
图4是图3的A-A线剖面示意图。
图5是图3的B-B线剖面示意图。
图6是表示本实施方式的液晶显示装置起到的作用效果的说明图。
图7是表示像素的结构的平面示意图。
图8是示意性地表示本实施方式的液晶显示装置的剖面结构的图。
图9是示意性地表示切口部的一个变形例的图。
图10是示意性地表示切口部的不同变形例的图。
图11是示意性地表示切口部的不同变形例的图。
图12是示意性地表示切口部的不同变形例的图。
图13是示意性地表示切口部的不同变形例的图。
附图标记说明
1 液晶显示装置(液晶装置)
2 基板(元件基板)
3 基板(相对基板)
20 存储电容线(第一导电层)
21 外围配线(第二导电层)
24 栅极绝缘膜(绝缘层)
40 交叉部(重叠部)
210a 狭缝部
210b 切口部
具体实施方式
以下,参照附图说明本发明的具体化显示装置的实施方式。在此,作为显示装置的一个实施方式,对液晶显示装置进行说明。
图1是关于本实施方式的液晶显示装置,示意性地表示驱动电路和配线结构的平面图,图8是示意性地表示该液晶显示装置的剖面结构的图。另外,图7是表示像素的结构的平面示意图。
本实施方式的液晶显示装置1在一对基板2、3间夹持液晶层4而构成,在形成矩形的密封剂7的内侧区域填充液晶层4。
基板2为元件基板,作为开关元件包括TFT16(参照图7),以矩阵状设置有与该TFT16连接的像素电极17。
另一方面,基板3为相对基板,设置有在基板面整个面上配设的共用电极6。
另外,在元件基板2上形成有从源极驱动器8对各像素供给图像信号的多个数据线18、从栅极驱动器9对各像素的TFT16供给扫描信号的多个扫描线19、从源极驱动器8对各像素供给用于形成电容的电信号的存储电容线20。另外,存储电容线20经由连接在源极驱动器8上的外围配线21和接触孔(后述)连接。
另外,如图7所示,像素部具有液晶层4(液晶元件)和存储电容并联连接的结构。若TFT16为ON,则图像信号(驱动电压)向像素部写入,另一方面由于在该像素部上配设有存储电容线20,所以在TFT16变为OFF后也由存储电容保持该电压。另外,存储电容由配设在上述存储电容线20和像素电极17之间的栅极绝缘膜(后述)形成。
接着,图2为放大图1的虚线部分的平面示意图。图3为图2的局部放大平面图。图4为图3的A-A线剖面图。图5为图3的B-B线剖面图。
能够将来自源极驱动器8(参照图1)的电信号供给存储电容线(第一导电层)20的外围配线(第二导电层)21相对于存储电容线20经由接触孔22连接。外围配线21在与数据线18相同工序形成的配线层(导电层)上由与数据线18同一层且同一材料构成,存储电容线20在与扫描线19同一工序形成的配线层上由与扫描线19同一层且同一材料构成,这些外围配线21和存储电容线20隔着栅极绝缘膜24叠层而成。
在此,这些外围配线21和存储电容线20如图2~图5所示以相互交叉的关系配置,在其交叉部(重叠部)40上配设有产生短路等不良状态的情况下用于修正该不良状态的不良状态修正用狭缝部210a、211a、212a......(以下也总称为狭缝部210a等)。该狭缝部210a等形成在外围配线21上。另外,同样地,在交叉部40上,在狭缝部210a、211a、212a......的长度方向上,形成有与该狭缝部210a、211a、212a......隔着规定间隔配设的切口部210b、210c、210d、210e、211b、211c、211d、211e、212b、212c、212d、212e......(以下也总称为切口部210b等)。并且,该切口部210b等也作为用于修正不良状态的不良状态修正用切口部构成,形成在外围配线21上。
狭缝部210a等构成多个狭缝等间隔并列的结构,其长度为35.0μm~50.0μm(例如40.0μm),其宽度为6.0μm~10.0μm(例如6.0μm),而相邻的狭缝间隔(狭缝间距离、即间距)为30.0μm~50.0μm(例如45.0μm)。
切口部210b等相对于并列配置的各个狭缝部210a、211a、212a......在此左右对称形成,沿着各狭缝部210a、211a、212a......的长度方向形成有多个(本实施方式中为左右两个共计四个)。结果,切口部210b等以棋盘格状散布,在此一边为6.0μm~10.0μm(例如8.0μm)的矩形,更具体地为正方形。另外,隔着狭缝部210a的第一个切口部210b和切口部210d的距离为60.0μm~100.0μm(例如90.0μm),这些切口部间的距离被设定为上述狭缝间距离的整数倍。另外,相邻的切口部彼此距离(例如切口部210e和切口部210d之间的距离)为15.0μm~25.0μm(例如22.5μm)。
另外,作为构成扫描线19和存储电容线20的导电材料,能够采用例如由Ti/Al/Ti构成的材质,作为构成数据线18和外围配线21的导电材料,能够采用例如由Ti/Al构成的材质。另外作为介设于存储电容线20和外围配线21之间的栅极绝缘膜24,除了氧化硅外,还能够采用由氧化硅与半导体材料的叠层膜、氧化硅与半导体材料与SOG(SpinOn Glass:旋涂玻璃)的叠层膜、或由氧化硅与SOG(Spin On Glass:旋涂玻璃)的叠层膜等构成的材质。另外,如图4和图5所示,在外围配线21上形成有由氧化硅等构成的钝化膜25。
根据这样结构的液晶显示装置,例如在存储电容线20和外围配线21的交叉部40,如图6所示即使在混入异物30而在两配线间产生泄漏等不良状态的情况下,也能够合适地进行不良状态修正。
具体地,如图6所示为了使狭缝部210a和切口部210b贯通,而通过基于激光照射的激光切断(激光照射部由附图标记32表示)切断连接该狭缝部210a和切口部210b的导电层21a(外围配线21),如果同样地由激光切断(激光照射部32)切断连接切口部210b和切口部210c的导电层21b(外围配线21),由激光切断(激光照射部33)切断连接切口部210c和切口部211c的导电层21e(外围配线21),由激光切断(激光照射部34)切断连接切口部211c和切口部211b的导电层21c(外围配线21),由激光切断(激光照射部34)切断连接切口部211b和狭缝部211a的导电层21d(外围配线21),则能够使该不良部分即异物30电孤立,能够修正泄漏等引起的问题。
这种情况下,在狭缝部210a等的延长线上设置切口部210b等,形成能够切断不良部位的结构,所以能够修正遍及大面积的不良部位,即使比较大的异物混入也能够应对。特别是,与单纯地延长狭缝部210a等的长度而进行实现能够修正的面积的情况相比,是能够抑制外围配线21的电阻值增大,显示性能难以随之下降的结构。
另外,在本实施方式中,狭缝部210a等分别并列多个而形成,对各狭缝部210a等形成有切口部210b等,该切口部210b等形成棋盘格状。通过这样的狭缝部210a等的并列结构、以及切口部210b等相对于并列的各狭缝部210a等的设置,能够在狭缝部210a等的长度方向和与该长度方向相交的方向(狭缝部210a等的并列方向)的任一个方向上确定上述切断方向,该切断操作变得简便。具体地,如上所述进行激光切断时,在90°相交的纵横的任一个方向上扫描激光即可,所以该激光的扫描变得简单,乃至能够提高照射精度。具体地,能够相对于狭缝部210a等的长度方向,切断连接该狭缝部210a等和切口部210b等的外围配线21,能够相对于狭缝部210a等的并列方向,切断连接并列的狭缝部210a等彼此的外围配线21或连接并列的切口部210b等彼此的外围配线21。
另外,切口部210b等形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形,这种情况下,能够提高激光切断的精度。即,由于激光的光辐为数μm,所以通过将切口部210b等形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形,能够实现没有浪费的切断。当切口部210b等的一边不到6.0μm的情况下,在存在外围配线21的部分需要转换激光的扫描方向,若超过10.0μm,则外围配线21的电阻值高过必要以上。
接着,说明液晶显示装置的制造方法。
在此,主要说明包括修正工序的制造工序。
首先,准备由透射性的玻璃基板构成的一对基板2、3。
之后,相对于基板2形成扫描线19和存储电容线20,并且在这些配线上形成栅极绝缘膜24,进而在该栅极绝缘膜24上形成数据线18以及外围配线21。另外,在此存储电容线20和外围配线21如图3~图5所示在显示区域的外部相互交叉形成。
另外,在形成外围配线21的工序中,通过使用光刻法的掩模蚀刻形成图3~图5所示图案的狭缝部210a等和切口部210b等。另外,在基板2上进而形成TFT16,并且形成像素电极17,在像素电极17上形成取向膜(省略图示)。
另一方面,在基板3上根据必要形成彩色滤光片(省略图示),并且形成共用电极6。另外,在共用电极6上形成取向膜(省略图示)。
然后,对这些形成电极等的各基板2、3中的至少一个形成密封剂7,将液晶滴落在该密封剂7的内侧,并且将各基板2、3隔着密封剂7粘合,另外形成偏光板等,制造图1和图8所示的结构的液晶显示装置1。
在此,在本实施方式的制造方法中,在上述存储电容线20和外围配线21的交叉部40(参照图3~图5)中,在混入图6所示的异物30的情况下,为了修正在存储电容线20和外围配线21之间可能产生的泄漏而进行修正工序。修正工序通过将连接上述狭缝部210a等以及切口部210b等的外围配线21激光切断而进行。
具体地,如图6所示,为了使狭缝部210a和切口部210b贯通,而通过基于激光照射的激光切断(激光照射部32)切断连接该狭缝部210a和切口部210b的导电层21a(外围配线21)。另外,同样地由激光切断(激光照射部32)切断连接切口部210b和切口部210c的导电层21b(外围配线21),由激光切断(激光照射部33)切断连接切口部210c和切口部211c的导电层21e(外围配线21),由激光切断(激光照射部34)切断连接切口部211c和切口部211b的导电层21c(外围配线21),由激光切断(激光照射部34)切断连接切口部211b和狭缝部211a的导电层21d(外围配线21)。由此能够使该不良部位即异物30的混入位置电孤立,能够修正泄漏等引起的问题。
根据包括以上那样的修正工序的本实施方式的制造方法,能够提供可靠性高的液晶显示装置。即,在两个配线20、21的交叉部,形成有狭缝部210a等和切口部210b等,所以即使混入比较大的异物等的情况下在该混入部位也能够实施修正,能够遍及大范围修正不良状态产生。另外,通过不是单纯地延长狭缝部210a等而扩大修正范围,而使在狭缝部210a等的延长方向上形成切口部210b等,实现修正范围的扩大,所以也难以产生该外围配线21的配线电阻上升。
另外,特别是如本实施方式的制造方法所示,在通过激光切断使异物部位孤立的方式中,通过将矩形(在此为正方形)的切口部210b等以棋盘格状排列,从而能够以90°方向转换进行激光照射的扫描方向(光源的扫描方向)的转换。即,如图6所示,在切断连接棋盘格状的各切口部210b等的外围配线21的情况下,如激光切断部32、33、34所示能够将激光照射的扫描方向确定在垂直相交的纵横任一个方向上。因此,该激光照射的扫描方向转换能够通过90°方向转换实现,而且能够使该转换位置为切口部210b等的配设位置,能够防止该转换位置的切断不良的发生。即,由于能够在不存在外围配线21的位置上进行方向转换,所以能够实现不伴随配线切除的方向转换,能够回避在该方向转换位置容易产生的切断不良。另外,在本实施方式中,在修正工序之前具有检查异物30等的存在的检查工序。
以上,表示的是本发明的实施方式,但是本发明不限于由上述记述和相应附图所说明的实施方式,例如以下的实施方式也包括在本发明的技术范围中。
(1)在上述实施方式中,在外围配线21上形成狭缝部210a等和切口部210b等,但是也可以形成在存储电容线20上。
(2)在上述实施方式中,在外围配线21和存储电容线20交叉的区域,配设有狭缝部210a等和切口部210b等,但是在其他各种导电层交叉的区域也可以配设这些狭缝部和切口部。
(3)在上述实施方式中例示表示液晶显示装置,但是例如关于EL显示装置、等离子体显示装置等,也能够采用本发明的结构。
(4)在上述实施方式中全部以等间距形成切口部,但是例如也可以第二列以后的间距拉开距离。具体地,如图9所示能够形成对第一狭缝部210a形成第一列的切口部210b、210d以及第二列切口部210c、210e,而对第二狭缝211a形成第一列切口部211b、211d,省略第二列的切口部的结构。
(5)在上述实施方式中,对于狭缝部210a等形成左右两列切口部210b等,但是只要在配线电阻的容许范围内,形成多少列都可以。例如能够如图10所示形成左右四列。
(6)在上述实施方式中切口部210b等形成四方形,但是只要形成具有比激光的光辐大的开口径的切口即可,则例如图11所示也能够形成圆形的切口部310b等。
(7)另外,在上述实施方式中,在狭缝210a的两端形成切口部210b、210d等,但是例如图12所示,也可以在狭缝210a的单侧形成切口部210b。
(8)另外,在狭缝210a的单侧形成切口部210b的情况下,例如图13所示,能够在数据线18和扫描线19交叉的部分(交叉部40),形成该狭缝210a和切口部210b。这种情况下,在数据线18和扫描线19之间因异物混入产生短路的情况下,能够通过沿着图13的虚线所示的部位照射激光,使该短路部位孤立(绝缘)。另外,在图13中,附图标记18a为源极电极,附图标记41为漏极电极,从扫描线19对栅极电极(省略图示)供给扫描信号,则源极电极18a和漏极电极41导通,从源极电极18a对漏极电极41供给数据信号,经由触点43对像素电极(省略图示)输送数据信号。
Claims (6)
1.一种显示装置,其包括第一导电层和与所述第一导电层隔着绝缘层形成的第二导电层,其特征在于:
包括所述第一导电层和所述第二导电层重叠的重叠部,
在所述重叠部,包括形成在所述第一导电层和所述第二导电层的至少一个上的狭缝部和与该狭缝部隔着规定间隔形成的切口部,
所述狭缝部并列多个而形成,所述切口部相对于各狭缝部左右对称地配置,
所述切口部在所述狭缝部的延长线上沿着所述狭缝部的长度方向形成有多个,并且所述切口部以棋盘格状散布形成,
连接所述切口部的导电层形成为,以90°方向转换激光照射的扫描方向而被切断,该激光照射的扫描方向的转换位置为所述切口部的配设位置。
2.如权利要求1所述的显示装置,其特征在于:
所述狭缝部被形成为,该狭缝部的长度为35.0μm~50.0μm,该狭缝部的宽度为6.0μm~10.0μm,相邻的所述狭缝部的间隔为30.0μm~50.0μm。
3.如权利要求1或2所述的显示装置,其特征在于:
所述切口部被形成为,夹着所述狭缝部的所述切口部之间的距离为相邻的所述狭缝部的间隔的整数倍。
4.如权利要求1所述的显示装置,其特征在于:
所述切口部形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形。
5.一种显示装置的制造方法,该显示装置具有第一导电层和与所述第一导电层隔着绝缘层形成的第二导电层,该制造方法的特征在于,包括:
形成所述第一导电层的第一导电层形成工序;
在所述第一导电层上形成绝缘层的工序;
在所述绝缘层上以包括与所述第一导电层重叠的重叠部的形式形成第二导电层的第二导电层形成工序;和
在所述各导电层重叠的位置存在不良状态的情况下,修正该不良状态的修正工序,
其中,所述第一导电层形成工序和所述第二导电层形成工序的至少一个工序包括:在该第一导电层和该第二导电层的至少一个上,在各导电层重叠的部位形成狭缝部的狭缝部形成工序;和形成与该狭缝部隔着规定间隔配设的切口部的切口部形成工序,
所述修正工序包括对连接所述狭缝部和所述切口部的导电层照射激光,切除所述不良状态的部位,以90°方向转换所述激光照射的扫描方向,切断连接所述切口部的导电层的工序,
在所述狭缝部形成工序中,并列形成多个该狭缝部,并且
在所述切口部形成工序中,在所述激光照射的扫描方向的转换位置配设所述切口部,相对于所述多个狭缝部分别左右对称地形成切口部,并且沿着所述狭缝部的长度方向形成多个该切口部,以棋盘格状散布形成该切口部。
6.如权利要求5所述的显示装置的制造方法,其特征在于:
在所述切口部形成工序中,将该切口部形成为一边为6.0μm~10.0μm的矩形。
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