CN101484843A - 间隔物的配置方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种间隔物的配置方法，该方法包括：使含有间隔物(230)的多个液滴(200)附着在滤色片(基板)(100)的表面的附着工序；通过隔着具有使光透过的开口部(400a)及不使光透过的遮光部(400b)的遮光板(400)来对基板(100)照射光线，从而使与开口部(400a)对置的液滴(200)中的间隔物(230)固定粘接在滤色片(100)的固定粘接工序；以及在固定粘接工序之后，从基板(100)的表面去除未固定粘接的间隔物(230)的未干燥液滴去除工序。

Description

间隔物的配置方法

技术领域

本发明涉及一种间隔物的配置方法。

背景技术

一直以来，在液晶面板等的制造中，实施着在基板上配置多个间隔物的做法。作为这样的间隔物配置方法，已知有如下方法，即，将间隔物含有液的液滴从喷头容器的开口吐出而附着于基板上的期望的位置，例如黑矩阵(black matrix)等，然后，通过使该液滴干燥，将间隔物固定粘接(固着)于基板上的期望的位置。

在液晶面板等的制造中，必须将间隔物分别配置于基板上的极其多的位置。因此，可以考虑如下方法：使用以预定的间距配置了多个开口的喷头容器，从该喷头容器的各开口以一行的量吐出多个液滴并使其附着于基板，并且，使该喷头容器和基板在与开口的排列方向交叉的方向上相对地移动，以使液滴以矩阵状地附着在基板上(例如，参照专利文献1、2)。

专利文献1 日本特开2005-10412号公报

专利文献2 日本特开2005-4094号公报

发明内容

(要解决的技术问题)

近年来，人们期望能够更高精度地进行滤色片上的间隔物的配置。然而，即使使喷头容器相对于滤色片高精度地移动，出于各种原因，也可能发生从喷头容器的开口吐出的液滴飞散到基板上的不期望的位置的情况，也就是说，可能远远偏离液滴的目标射中位置、或是会从喷头容器的开口吐出除了期望的液滴以外的不期望的随从液滴。并且，当这样的液滴含有间隔物时，就会妨碍间隔物的高精度配置。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种可以简易且低成本地将间隔物配置到基板上的期望的位置的间隔物的配置方法。

(用于解决问题的技术方案)

本发明的间隔物的配置方法包括附着工序、固定粘接工序、以及未固定粘接间隔物去除工序。在附着工序中，使含有多个间隔物的液膜附着于基板上，或是，使含有间隔物的多个液滴附着于基板上。在固定粘接工序中，通过隔着具有使光透过的开口部和不使光透过的遮光部的遮光板对基板照射光，使与遮光板的开口部对置的间隔物固定粘接到基板上。在未固定粘接间隔物去除工序，从基板的表面去除未固定粘接的间隔物。

根据本发明，附着于基板的液膜中的多个间隔物或是附着于基板的多个液滴中的间隔物之中，存在于与遮光板的开口部相对的位置上的间隔物选择性地固定粘接于基板。然后，通过从基板去除未固定粘接的间隔物，不管附着工序中的在基板上的间隔物的配置如何，可以与遮光板的开口部的配置对应地将间隔物配置于基板上的希望的位置。换言之，根据本发明，由于可以容易地防止附着到希望的位置以外的间隔物与基板固定粘接，所以可以实现极高精度的间隔物配置方法。

在此，具体地说，优选在固定粘接工序中照射红外线，以使与遮光板的开口部对置的间隔物周围的液体干燥。

通过这样使存在于所希望的位置的间隔物周围的液膜或液滴的液体干燥，无论间隔物的种类、材质等如何，都可以使液滴或液膜中的该间隔物大致在其所在位置良好地固定粘接于基板的表面。

特别是，当间隔物的表面是利用聚合物等树脂形成的或者在间隔物的表面结合有能够与基板结合的官能团时，可以通过使间隔物周围的液体干燥而使间隔物极为良好地固定粘接于基板。

在此，也可以是，在附着工序中，间隔物的表面是利用通过可见光或紫外线的照射而硬化的树脂形成的，在固定粘接工序中，使间隔物周围的液体干燥后，隔着遮光板对基板更进一步地照射可见光或紫外线。

在这种情况下，由于间隔物的表面硬化，故可以进一步提高间隔物与基板的固定粘接力。

另一方面，还优选，在附着工序中，间隔物的表面是利用通过光线的照射而硬化的树脂形成的，且在固定粘接工序中，当照射该光线时，间隔物是与基板的表面接触的。

这样，由于在液体中与基板接触的间隔物的表面利用光线而硬化，所以不用使液滴干燥就可以把位于期望的位置的间隔物固定粘接于基板。

作为利用光线照射而硬化的树脂，例如，可以举出紫外线硬化树脂、可见光硬化树脂、红外线硬化树脂等。

特别是，在间隔物的表面是利用通过紫外线的照射而硬化的树脂形成的情形中，可以通过照射紫外线来使间隔物与基板适当地固定粘接。

此外，还优选，在固定粘接工序中，在不使液体干燥而利用光来使间隔物固定粘接之后，隔着遮光板对基板更进一步地照射红外线，来使与遮光板的开口部对置的间隔物周围的液体干燥。这样实施时，能够通过液体的干燥更强地固定粘接。由于间隔物已经通过利用光的硬化而固定粘接，所以在这之后到进行利用红外线的液滴/液体干燥为止的期间，即使进行基板搬运等的操作，已附着的液滴或是液滴/液膜中的间隔物也不会从期望的位置偏离，所以是优选的。

此外，优选通过将液体供给至基板的表面来进行未固定粘接间隔物去除工序。

由此，可以容易地进行未固定粘接间隔物的去除。特别是，优选使用可以与在附着工序中使用的构成液膜或液滴的液体相溶的液体。

此外，在本发明中，在附着工序中，通过分别将含有间隔物的液滴从以预定的间距配置的多个开口吐出，可以使多个液滴呈矩阵状地附着于基板。此时，可以与开口部的配置对应，不受制于喷头的多个开口的配置，而自如且高精度地进行间隔物的配置。

例如，通过以使光线不会照射到从特定的开口吐出的液滴列的方式配置遮光部，可以防止特定列的液滴中的间隔物固定粘接于基板，可以以比开口的间距更宽的宽度来配置间隔物。

此外，在本发明中，优选地，在附着工序中，通过将含有多个间隔物的液体进行喷雾，使上述的液膜附着于基板上，或是，使多个液滴附着于基板上。通过喷雾可以极为容易且迅速地进行大量的液滴的附着或液膜的形成。

此外，在本发明中，优选地，在附着工序中，通过将含有多个间隔物的液体涂敷于基板上，使液膜附着于基板上。可以通过涂敷极为简易地将含有大量间隔物的液膜配置于基板上。

此外，优选地，在遮光板配置工序中，使上述遮光板与基板对置配置，以隔着遮光板来对基板照射光。虽然也可以使用在预先设计配置于基板中的配线等部件中能够遮光的部件作为遮光板，但使用与基板不同的遮光板，尤其对于具有黑矩阵的滤色片的间隔物的配置而言，是优选的。

(发明效果)

根据本发明，可以简易且低成本地将间隔物配置到基板上的期望的位置。

附图说明

图1是说明各实施方式所用的滤色片的概略断面图。

图2是示出在第1及第2实施方式中使含有间隔物的液滴附着于滤色片上的方法的概略立体图。

图3是示出在滤色片上附着了液滴的状态的平面图。

图4是图3的断面图。

图5是遮光板的平面图。

图6是将遮光板相对于滤色片对向配置、以将光线隔着遮光板照射到滤色片的状态的概略断面图。

图7是示出在第1实施方式中将液滴200A干燥后的状态的、接续于图6的概略断面图。

图8是示出从滤色片的表面将液滴200B及间隔物230B去除的样子的、接续于图7的概略断面图。

图9是示出在滤色片的除了位置B等的部分配置有间隔物230的状态的、接续于图8的概略断面图。

图10是示出第3实施方式中的含有间隔物的液滴散布方法的概念图。

图11是示出在第3实施方式中在滤色片上附着了液滴的状态的平面图。

图12是遮光板的平面图。

图13是示出仅在黑矩阵上固定粘接了间隔物的样子的滤色片的平面图。

图14是示出第4实施方式中的含有间隔物的液膜的形成方法的概念断面图。

图15是图14的平面图。

(符号说明)

1           间隔物配置装置

120         黑矩阵

120p        开口

130R，130G，130B   着色部

140         透明电极膜

150         定向膜

160         上膜

160a        凹陷部

100         滤色片

200，200A，200B，200C，200D，200E        液滴

230，230A，230B，230C，230D，230E         间隔物

400，402           遮光板

400a               开口部

400b               遮光部

具体实施方式

下面参照附图对本发明的间隔物的配置方法的优选实施方式进行说明。需说明的是，在附图的说明中，对于相同的构件标以相同的符号，并省略重复的说明。此外，附图中的尺寸比例与所说明的情况未必一致。

(第一实施方式)

首先，如图1所示，准备好滤色片(基板)100。此滤色片100包括：透明基板110、黑矩阵120、红色着色部130R、绿色着色部130G、蓝色着色部130B、及上膜160。

透明基板110是由玻璃等形成的透明的平板。

黑矩阵120是由对可见光进行遮光的材料所形成的膜。作为黑矩阵120的材料，例如可举出有铬、铬/氧化铬等金属系材料、或树脂材料等。该黑矩阵120为格子形状或条纹形状，并形成多个开口120p。在本实施方式的附图中采用的是条纹形状的黑矩阵。黑矩阵的宽度120W，例如可以设为5～30μm左右。此外，黑矩阵的高度120H，例如可以设为0.1～2μm左右。

红色着色部130R、绿色着色部130G和蓝色着色部130B分别按此顺序配置在黑矩阵120的各开口120p内。红色着色部130R、绿色着色部130G和蓝色着色部130B分别由能够选择性地透过各色的可见光的透明着色材料形成，例如可以使用透明着色树脂。各着色部130R、130G、130B的宽度130W例如可以设为5～100μm。各着色部130R、130G、130B的高度130H例如可以设为1～2μm。

在此，各着色部130R、130G、130B的高度130H被设定为充分地高于黑矩阵120的高度120H。

而且，以横跨这些各着色部130R、130G、130B及黑矩阵120上的方式形成有上膜160。该上膜160是具有从透明基板110侧根据需要依次设置的透明平坦化膜(未图示)、透明电极膜140、及定向膜150等的积层体。

透明电极膜140是应该与液晶显示器的驱动基板的像素电极(未图示)对向配置的共同电极，由ITO等透明的导电材料形成。透明电极膜140的厚度例如为0.1μm左右。

定向膜150是使液晶朝向所期望的方向定向的膜，例如可以由聚酰亚胺等树脂材料形成。定向膜150的厚度例如为0.1μm左右。

而且，对应黑矩阵120的上表面与各着色部130R、130G、130B的上表面的高度差，在滤色片100的表面，也就是在上膜160的表面，在黑矩阵120上形成凹陷部160a。黑矩阵120为格子形状或条纹形状，该凹陷部160a也沿着黑矩阵120成为沟状。此外，各着色部130R、130G、130B的黑矩阵120侧的端部分别隆起。

这样的滤色片100可以通过如下方法较为容易地取得，例如，在透明基板110上通过光刻法等形成黑矩阵120之后，在黑矩阵120的开口120p处，通过光刻法等使各着色部130R、130G、130B依次以分别高于黑矩阵120的方式来形成，然后，在黑矩阵120及各着色部130R、130G、130B上，利用溅镀或蒸镀法等形成预定厚度的透明电极膜140，在透明电极膜140上再涂敷预定厚度的聚酰亚胺树脂等的定向膜材料并使其固化，摩擦(rubbing)其表面使其成为定向膜150。

接着，在这样的滤色片100的上膜160上，使用如图2所示的间隔物配置装置1，使含有间隔物的液滴附着上去。该间隔物配置装置1从喷头装置41对上方的滤色片100分别喷射间隔物含有液，使间隔物含有液的液滴附着在滤色片100的下表面。

间隔物配置装置1主要包括：搅拌间隔物含有液12的搅拌槽20；将由搅拌槽20所供给的间隔物含有液12以液滴200的形式向上方的滤色片100喷射的喷头装置41；使滤色片100在喷头装置41的上方移动的基板移动单元80；以及控制喷头装置41或基板移动单元80等的控制器90。

喷头装置41具有喷头容器42。喷头容器42为在滤色片100的宽方向上延伸的箱状。在喷头容器42的上表面形成有以预定间距37P排列成一列的多个开口37。开口37的排列方向与滤色片100的宽方向平行，而与滤色片的移动方向垂直。

在此，开口37的直径例如可以设定为10～50μm左右。此外，开口37的间距37P例如设定为100μm左右。该间距37P根据从开口37吐出而附着于滤色片100表面的液滴的直径(例如80μm)设定成使得在开口37的排列方向上相邻的液滴彼此不会合在一起即可。

在喷头容器42内，由上往下依次设有锤52及压电元件54。压电元件54的底部被固定在喷头容器42的底部上。此外，压电元件54连接到控制器90，并响应来自于控制器90的信号而上下伸缩。

锤52被固定在压电元件54上。锤52的上表面相对于各开口37从下方对置，并相对于各开口37都保持预定间隔距离。

然后，当压电元件54根据来自于控制器90的信号向上方延伸时，锤52向上方运动。由此，靠近开口37的间隔物含有液12在受到锤52的上端面52d的作用而从开口37被压出，间隔物含有液12的液滴向上方被喷射出。

搅拌槽20具有通过电动机17a来进行转动的搅拌翼17，搅拌间隔物含有液12从而使间隔物230分散于间隔物载体液11中。作为间隔物230，例如，可以使用粒径为1～7μm左右的二氧化硅等的硅氧化物粒子、或是有机硅改性聚合物等的塑料粒子等。此外，作为用以使间隔物230分散的间隔物载体液11，例如可以利用水与IPA的混合液等。

此外，间隔物的表面通过聚合物等树脂形成，或者，因为在间隔物的表面上结合能够与滤色片的表面结合的官能团，例如环氧基、缩水甘油基、氧杂环丁烷基、酸酐基、内酯基、酰胺基、羧基等时，固定粘接性较强，故优选。

例如，当间隔物的表面由树脂形成时，通过后述的干燥时的热等，可以更加提高间隔物与滤色片的固定粘接性。作为树脂，例如，可举出热塑性树脂、热硬化性树脂、以及通过光照射而硬化的树脂，例如可见光硬化树脂、紫外线硬化树脂、红外线硬化树脂等。在此，可以是间隔物整体由树脂形成，也可以是仅表层是由树脂形成。此外，即使在间隔物的表面结合有上述的官能团，通过官能团与滤色片的化学性结合等，也可以提高间隔物与滤色片的固定粘接性。

喷头容器42的一端通过管线L1与搅拌槽20相连接。此外，喷头容器42的另一端通过具有循环泵70的管线L2与搅拌槽20相连接。循环泵70抽吸喷头容器42中的间隔物含有液并将其排出到搅拌槽20中。与此相对应，搅拌槽20中的间隔物含有液经由管线L1被供给到喷头容器42中。

基板移动单元80具有基板吸引部82和基板移动部84。基板吸引部82在喷头装置41的上方以利用静电或减压等吸引滤色片的方式支撑滤色片100。在此，基板吸引部82支撑滤色片100，以使上膜160的凹陷部160a朝下且与开口37的排列方向平行。

此外，基板移动部84使吸附了滤色片100的基板吸引部82以滤色片移动方向，即以与滤色片的宽方向成正交的方向水平地移动。此外，基板移动部84也可以使滤色片100沿滤色片的宽方向以预定距离移动，而且能够进行滤色片100的对准(alignment)。作为基板移动部84，优选能够将滤色片100高精度地移动的线性电动机方式。

控制器90是根据预先设定的程序进行处理的计算机装置，与基板移动单元80、压电元件54、循环泵70以及电动机17a相连接，并控制它们的驱动。

之后，在本实施方式中，在通过使滤色片100向滤色片移动方向进行移动的同时，从喷头容器42的各开口37反复吐出液滴，使由多个液滴形成的行(线)反复地附着于基板表面，如图3及图4所示，使多个液滴200呈矩阵状地附着于滤色片100的表面。液滴200包含有间隔物230。

在此，通过控制基板移动单元80及压电元件54来控制滤色片100的移动，以使液滴200附着在上膜160的表面之中的凹陷部160a上。在各凹陷部160a上的液滴200的间距37P与喷头容器42的开口37的间距37P相对应。位于滤色片100上的液滴200的直径例如可以设定为50～100μm左右。

在此，在图3及图4中，液滴200A是在通过间隔物配置装置1按照期望在凹陷部160a上被配置成矩阵状的多个液滴当中，存在于期望固定粘接间隔物230的场所的液滴200。此外，液滴200B是在通过间隔物配置装置1按照期望在凹陷部160a上被配置成矩阵状的液滴当中，存在于不期望固定粘接间隔物230的场所B的液滴。此处将液滴200A中的间隔物称为间隔物230A，将液滴200B中的间隔物称为间隔物230B。

进而，如图3所示，液滴200C是由于某种原因(例如外界干扰等)从喷头容器42的开口37向非期望的方向射出，附着在从预定的位置朝向图面右方偏离的位置的液滴。此外，液滴200D是从喷头容器42的开口37非期望地以附带性方式被形成及被吐出的，与其它液滴相比直径较小，被称为随从(液滴)的液滴，该液滴也附着在非期望的场所。液滴200C包含间隔物230C，液滴200D包含间隔物230D。还有，虽然液滴200E中的液滴本身附着于期望的场所，但其中的间隔物230(230E)并不存在于黑矩阵120上，而存在于透明着色树脂130R上。

在此整理一下，仅液滴200A中的间隔物230A是期望固定粘接于滤色片100的间隔物，除此之外的液滴200B～200E中的间隔物230B～230E都是不期望固定粘接于滤色片的间隔物。

此外，在本实施方式中，在照射光线阶段，如图4所示，滤色片100的朝向经过了调整，以使液滴200中的间隔物230接触到滤色片100的表面。具体而言，作为使液滴200中的间隔物230接触到滤色片100的方法，例如，当间隔物230的比重比液体的比重大时，如图4所示以使液滴200存在于滤色片100的上面侧的方式来配置滤色片100即可，当间隔物230的比重比液体的比重小时，以使液滴存在于滤色片100的下面侧的方式来配置滤色片即可。此外，所谓滤色片100，如前所述，是指包含透明基板110、黑矩阵120、红色着色部130R、绿色着色部130G、蓝色着色部130B、及上膜160的整体。

接下来，如图5及图6所示，准备好能够遮挡光的遮光板400，将其与滤色片100的表面对置配置。此外，使遮光板400与滤色片100的液滴附着面或是液滴非附着面的任何一方对置均可，但优选与液滴附着面对置。

在该遮光板400上形成有配置成矩阵状的多个开口部400a。开口部400a的宽度400W与黑矩阵120的宽度120W大致对应。此外，开口部400a的长度400L例如设定在与液滴200的直径大致相同尺寸至其2倍尺寸左右的范围内。

该遮光板400的开口部400a，以与滤色片100的黑矩阵120上当中尤其是期望固定粘接间隔物230的部分相对置的方式来配置，遮光部400b以对置于滤色片100上的不期望固定粘接间隔物的部分的方式来配置。

即，如图6所示，开口部400a与液滴200A中的间隔物230A对置，另一方面，遮光部400b与液滴200B中的间隔物230B对置，进而，图示中省略，遮光部400b分别与液滴200C中的各间隔物230C、液滴200D中的各间隔物230D、液滴200E中的间隔物230E对置。

该遮光板400可以通过用周知的图案形成法对金属或树脂等材料进行图案形成而容易地制得。此外，遮光板400也可以由不仅具备红外线遮蔽性而且还具有隔热效果的材料，例如陶瓷等来制成。在这种情形时，由于遮光板400本身不易被加热，遮光板400的热量难以到达液滴200，因而被优选。此外，如后所述，在还通过紫外线的照射来提高固定粘接强度的情况下，遮光板400优选能够遮蔽紫外线的材料。

接下来进行固定粘接工序。具体而言，如图6所示，从位于夹着该遮光板400与滤色片100呈相反侧的红外线灯450I，隔着遮光板400的开口部400a对滤色片100照射红外线(热辐射)。

在此，红外线的适合的波长范围为0.76μm～1000μm左右，尤其是远红外线，即4μm～1000μm为适合。

这样一来，红外线通过遮光板400的开口部400a，选择性地照射到液滴200A中的间隔物230A及其周围，由于间隔物230A及其周围的液体的温度上升，使得间隔物230A周围的间隔物载体液被蒸发。因此，如图7所示，液滴200A中所含有的间隔物230A固定粘接于滤色片100的黑矩阵120上。

另一方面，被遮光板400的遮光部400b所遮蔽的液滴200B～200E中的间隔物230B～230E不会被红外线照射。因此，这些间隔物230B～230E不会与滤色片100固定粘接。

在此，当间隔物230的表面由利用可见光硬化的树脂或是由利用紫外线硬化的树脂形成时，通过干燥来固定粘接后，隔着遮光板400再照射可见光或紫外线，通过已经固定粘接的间隔物230A表面的硬化，可以实现间隔物230A与滤色片100的更为强固的固定粘接。

接下来，从滤色片100上去除残留的、未固定粘接的间隔物230B～间隔物230E。

在此，如图8所示，通过将滤色片100倾斜配置，从喷嘴480对其表面供给液体490来将未固定粘接的间隔物230B～230E与未干燥的液体一起冲洗，可以将这些未固定粘接的间隔物230B～230E从滤色片100的表面去除。这时，利用已述的固定粘接工序与滤色片100固定粘接的间隔物230A几乎不会被液体490冲洗掉。

在此，对于液体490并无特别的限定，使用与残存液滴200相溶的液体，例如间隔物载体液等，就可容易地去除未固定粘接间隔物230B～230E。

之后，只需使滤色片100上的液体干燥即可。这样一来，如图9所示，间隔物230不会被配置在不期望配置间隔物的场所B。此外，随从液滴200D中的间隔物230D、及没有被配置在期望场所的液滴200C中的间隔物230C也不会固定粘接于滤色片100。而且，虽然液滴本身附着于所期望的场所，但在该液滴200E中没有被配置在黑矩阵上的间隔物230E也不固定粘接于滤色片100上。这样就完成了间隔物配置工序。

然后，夹着该间隔物230A，叠上未图示出的电极基板，通过将液晶封入于滤色片100与电极基板之间，从而制成液晶显示器。此外，当间隔物一旦被固定粘接到滤色片上，在重叠电极基板时间隔物就几乎不会移动，而且，在重叠电极基板前等对滤色片进行搬运等时的对滤色片的处理也极为容易。

根据本实施方式，对应遮光板400的开口部400a以及遮光部400b的配置，在已附着于滤色片100的多数的液滴200中的间隔物230当中，可以仅使得被配置在所期望的位置的间隔物230A通过干燥而固定粘接于滤色片。并且，然后通过将未固定粘接的间隔物230B～230E从滤色片100上去除，因此，不论在附着工序中的液滴200的配置等如何，都可将间隔物230配置在所期望的位置。

由此，特别是使用以预定的固定间距配置了开口的喷头容器，不需要按各个开口来控制液滴吐出的有无，同时可以以比该间距更宽的间距来散布液滴(即，间隔物)。此外，当受到各种的外界干扰，使得液滴被配置于滤色片上的非期望的位置时，或是液滴本身被配置到所期望的场所而液滴中的间隔物被配置到非期望的位置时，可以防止这类间隔物固定粘接于滤色片上的非期望位置上。

此外，对含有未固定粘接的间隔物的液滴200B～200E的去除，由于是通过对滤色片100的表面供给液体来进行，所以可以容易地进行这些的去除。

此外，在上述实施方式中，液滴200中的间隔物230虽是以与滤色片100相接触的状态来进行红外线的照射的，但在固定粘接工序开始时，即红外线照射之际，位于液滴200中的间隔物230的位置并无特别限定，例如可以不与滤色片接触而浮游于液滴200内，此外，也可以浮起在液滴200内。本实施方式由于是利用使期望固定粘接部分上的液体干燥来使间隔物230固定粘接，所以无论液滴200中的间隔物230处于何种状态，只要通过遮光板使期望附着间隔物的部分上的液体干燥时，间隔物230成为以下的任一种状态：被固定粘接在干燥后的位置或者残留在没有被干燥的残留液体内。

(第二实施方式)

接下来对本发明的第二实施方式进行说明。本实施方式与第一实施方式的不同点在于，在固定粘接工序中，不使间隔物周围的液体干燥而将间隔物230固定粘接于滤色片100的表面。

具体而言，作为被包含在液滴200中的间隔物230，使用表面由通过光的照射而硬化的树脂形成的间隔物。

此处的间隔物230可以是整体由通过光的照射而硬化的树脂形成，也可以是仅其表面由通过光的照射而硬化的树脂形成。作为通过光的照射而硬化的树脂，例如可举出紫外线硬化树脂、可见光硬化树脂、红外线硬化树脂等。作为通过光而硬化的树脂，例如可举出混合可感应于所期望的波长的光的光聚合引发剂以及单体或寡聚物的树脂。

然后，在照射光之前，预先如图6的状态那样，预先调整滤色片100的朝向以使液滴200中的间隔物230与滤色片100的表面相接触。

具体而言，作为使液滴200中的间隔物230接触于滤色片100的方法，例如当间隔物230的比重比液体的比重大时，如图6所示，以使液滴200存在于滤色片100的上面侧的方式来配置滤色片100即可；当间隔物230的比重比液体的比重小时，以使液滴200存在于滤色片100的下面侧的方式来配置滤色片即可。

然后，在这样地使间隔物230与滤色片100接触了的状态下，通过遮光板400的开口部400a从灯450U照射出用以使间隔物的表面硬化的光，例如紫外线(波长4～400nm)、可见光(波长400～760nm)、红外线等。

当光线从遮光板400的开口部400a照射到液滴200A中的间隔物230A时，间隔物230A的表面就会硬化，从而使得间隔物230A固定粘接在滤色片100，例如黑矩阵120上。

另一方面，对置于遮光板400的遮光部400b的液滴200B～200E中的间隔物230B～230E没有被照射到光线，各间隔物230B～230E不会固定粘接到滤色片上。此外，使用紫外线或可见光时，液滴200不会干燥，即使在照射红外线时也与第一实施方式不同，不必使间隔物230周围的液体干燥。

此外，根据需要，在间隔物固定粘接后，如果经由遮光板400的开口部400a照射红外线而使间隔物230周围的液体干燥，在多数情况下可以进一步增加间隔物230A的固定粘接力。

然后，与在第一实施方式中的图8同样，通过从滤色片100上去除未固定粘接的间隔物230B～230E，并根据需要进行干燥等，可以将间隔物230A配置到所期望的位置。

根据本实施方式，由于也可以不使应该固定粘接的间隔物周围的液体干燥，所以能够实现短时间且高效的固定粘接处理。

(第三实施方式)

接下来说明本发明的第三实施方式。在第三实施方式中，如图10所示，使用的不是第一实施方式或第二实施方式那样的间隔物配置装置1，而使用具有液滴喷雾喷嘴202的喷雾装置2来使液滴200附着在滤色片100上。

作为液滴喷雾喷嘴202，可以使用一般的双流体喷嘴等。在该液滴喷雾喷嘴202上，经由管线L20连接有送风机204，并且经由管线L22连接有泵206以及与第一实施方式同样的搅拌槽20。然后，在利用泵206使间隔物含有液12被供给至液滴喷雾喷嘴202的同时，利用送风机204将空气供给至液滴喷雾喷嘴202，从而从液滴喷雾喷嘴202形成多个间隔物含有液的液滴200。这些多个液滴200，附着在与液滴喷雾喷嘴202相对置配置的滤色片100的表面上。此外，将液滴喷雾喷嘴202的孔径、间隔物含有液或是空气压力等喷雾条件设定为可使液滴的直径成为期望的大小。此外，各液滴200分别含有间隔物230。

利用这样的喷雾法，难以像第一实施方式那样控制位于滤色片100上的液滴200的附着位置，而如图11所示，含有间隔物230的液滴200在滤色片100上大致为随机配置。并且，液滴200中的间隔物230可区分为配置在黑矩阵120上的间隔物230G和配置在黑矩阵120以外的部分上的间隔物230H。

接着，如图12所示，准备条纹形状的遮光板402，其中，将其对应于滤色片100的黑矩阵120部分的部分设为开口部402a，将其它部分设为遮光部402b。

然后，以使开口部402a与黑矩阵120对置的方式配置该遮光板402，并经由该开口部402a将光照射到滤色片100的黑矩阵120上。

例如，如第一实施方式那样当经由遮光板402来照射红外线时，在液滴200上的黑矩阵120上的部分就会干燥，即，位于黑矩阵120上的间隔物230G周围的液体会干燥，因而使得间隔物230G固定粘接在黑矩阵120上。另一方面，由于在黑矩阵120以外的部分不会被红外线照射，所以位于黑矩阵120以外的部分上的间隔物230H不会固定粘接到滤色片100上。

然后，当间隔物230的表面是由利用紫外线硬化的树脂、或是由利用可见光硬化的树脂形成时，进而在干燥后隔着遮光板402来照射红外线或紫外线，则可以使间隔物230A更加强固地固定粘接于滤色片100上。

另一方面，如第二实施方式那样，也可以在不使液滴干燥的情况下使其固定粘接。例如，当间隔物230的表面由通过光的照射而硬化的树脂形成时，在液滴200中的间隔物230与滤色片100相接触的状态下，隔着遮光板402对滤色片100照射用于使树脂硬化的光，例如紫外线、红外线、可见光等。这样一来，液滴200中的间隔物230G的表面就会硬化，从而使间隔物230固定粘接在黑矩阵120上。另一方面，由于液滴200中的间隔物230H没有被光照射到，所以该间隔物230H不会固定粘接在黑矩阵120上。此外，也可以在通过硬化来固定粘接的同时，或是在通过硬化来固定粘接之后，隔着遮光板402对滤色片100照射红外线，使间隔物230G周围的液体干燥，从而增加间隔物230G与滤色片100的固定粘接力。

之后，按此方式使黑矩阵120上的间隔物230G固定粘接在滤色片上之后，与第一实施方式及第二实施方式同样地，只要将未固定粘接的间隔物230B从滤色片表面去除，就可以如图13所示那样在黑矩阵120上选择性配置将间隔物230(230G)。

(第四实施方式)

在本实施方式中，如图14及图15所示，不是使液滴200而是使间隔物含有液12的液膜203附着在滤色片100上。具体而言，可以使用周知的各种涂敷装置在滤色片100上形成间隔物含有液12的液膜203。例如可以使用图14所示的模具涂敷机(die coater)3来形成液膜203。此外，通过利用如第三实施方式中的喷雾喷嘴进行充分长时间的液滴喷雾也能够形成液膜。

当形成这样的液膜203后，如图14及图15所示，在液膜203中间隔物230会被大致随机地配置在滤色片100上。在此，将被配置在黑矩阵120上的间隔物设为230G，将被配置在黑矩阵120以外的部分上的间隔物设为230H。

然后，与第三实施方式同样地，隔着遮光板402照射光线即可。与第三实施方式同样地，可以通过利用红外线使黑矩阵120上的间隔物230G周围的液体干燥，从而使间隔物230G固定粘接在滤色片100上；此外，也可以利用光线使间隔物230G的表面硬化，从而使间隔物230G与滤色片100固定粘接。然后，在固定粘接之后，通过洗净等将未固定粘接的间隔物230H去除即可。由此，如图13所示，在黑矩阵120上选择性地配置使间隔物230。

本发明并不限定于上述实施方式，而可以有各种各样的变形方式。例如，在上述第一实施方式等中，将要去除未干燥的液滴200B及间隔物230B的滤色片倾斜以使液体490在其表面上流下，由此将液体供给至滤色片的表面，但例如通过使滤色片浸渍到贮存有液体的槽内也能够去除。此外，即使不将液体供给至滤色片100的表面也能够实施，例如也可以向滤色片100的表面强吹气体等来把液滴200B以及间隔物203吹走。

此外，虽然在上述第一实施方式中是使配置成矩阵状的液滴200内的一个液滴200B成为未干燥的然后再将其去除，但成为未干燥的然后进行去除的液滴200B的位置或个数可为任意的，可以通过选择遮光板400的开口部400a以及遮光部400b的位置而以任意方式实施。例如，通过设定遮光板400的遮光部以不对由特定的开口37形成的、在滤色片100的移动方向上排列的1列的液滴组照射光，就可以使由特定的开口37形成的液滴中的间隔物不会固定粘接在滤色片上，从而可以得到与扩大了开口37的间距37P相同的效果。

此外，虽然在上述第一及第二实施方式中间隔物配置装置1是从下向上吐出液滴200，并使液滴附着在将上膜160朝下配置的滤色片100的下表面，但也可以通过间隔物配置装置1从上向下吐出液滴200，而使液滴200附着在将上膜160朝下配置的滤色片100的上表面。

此外，当然，对于开口37的排列或间距，甚至开口37的排列方向与滤色片移动方向的关系并无特别的限定。

此外，将遮光板的开口部的宽度与期望配置间隔物的场所(例如黑矩阵)的宽度的关系设为大致相等的关系即可，并可以根据光线的种类(紫外线/可见光/红外线：其直线性根据种类不同而不同)、遮光板与滤色片的距离、滤色片的凹凸程度、光如何从光源到达滤色片(平行光还是收敛光)等的性质，任意适宜地设定开口部的宽度与期望配置间隔物的场所的宽度的关系。一般而言，设为(开口部的宽度)≦(期望配置间隔物的场所的宽度)即可。

再者，虽然在第一及第二实施方式中使用的是开口部形成为矩阵状的遮光板400，在第三及第四实施方式中使用的是开口部形成为条纹形状的遮光板402，但也可以在第一及第二实施方式中使用开口部形成为条纹形状的遮光板402，在第三及第四实施方式中使用开口部形成为矩阵状的遮光板400，除此之外，遮光板的开口部可以根据期望固定粘接间隔物的场所的形状来任意适宜地设定。

具体而言，例如在上述各实施方式中，是通过将开口部的形状及位置与滤色片100的黑矩阵120相对应，从而使间隔物固定粘接在黑矩阵上，但是当希望在黑矩阵以外的部分配置间隔物时，只要在对应该场所的位置设置开口部即可。例如，要在透明着色树脂上配置间隔物时，只要设置与透明着色树脂对应的开口部即可。

此外，在上述各实施方式中，对于滤色片上的液膜/液体，是将不同于滤色片的掩模(遮光板)与滤色片对置配置来照射光，也就是说，其结构为/光源/遮光板/液滴/包含黑矩阵的基板/，但作为遮光板，也可以使用黑矩阵本身，也就是说，也可以以如/液滴/包含黑矩阵的基板/光源/的方式进行背面曝光。例如，在图14的状态下，当从基板100中的附着了液滴/液体的面的相反侧的面(图的下方)照射光时，由于光不能透过黑矩阵120，所以使透明着色树脂130R、130G、130B具有作为开口部的功能，黑矩阵120具有作为遮光部的功能。因此，不仅可以使间隔物230H固定粘接在透明着色树脂130R、130G、130B上，而且还可以防止间隔物230G固定粘接在黑矩阵120上。特别是在滤色片以外的基板上，可以考虑使用这样的散布方法。此外，在图14中，在参照符号120是可透过紫外线及/或红外线的膜，且透明着色树脂130R、130G、130B为不透过红外线及/或紫外线的膜的情形时，透明着色树脂130R、130G、130B具有作为遮光部的功能，膜120具有作为开口部的功能，因此可以使间隔物不会固定粘接在透明着色树脂130R、130G、130B上，而固定粘接于膜120上。总之，在本发明的遮光板上，开口部和遮光部在固定粘接工序中所使用的光的透射率只要彼此充分不同即可。

此外，在制造滤色片以外的部件时，例如在制造TFT基板、或是需要利用球状间隔物形成的液晶单元间隙(cell gap)的液晶显示元件、甚至必须进行间隙控制的多模光波导或连接器等的光学装置等的时侯，当然也可以使用上述各实施方式的方法来对基板等配置间隔物。

Claims (13)

1.一种间隔物的配置方法，其中包括：

使含有多个间隔物的液膜附着在基板上或者使含有间隔物的多个液滴附着在基板上的附着工序；

通过隔着具有使光透过的开口部及不使上述光透过的遮光部的遮光板对上述基板照射光而使与上述遮光板的开口部对置的间隔物固定粘接在上述基板上的固定粘接工序；以及

从上述基板的表面去除未固定粘接的间隔物的未固定粘接间隔物去除工序。

2.根据权利要求1所述的间隔物的配置方法，其中，在上述固定粘接工序中照射红外线，使与上述遮光板的开口部对置的间隔物周围的液体干燥。

3.根据权利要求2所述的间隔物的配置方法，其中，上述间隔物的表面是利用树脂形成的，或者在上述间隔物的表面结合有能够与上述基板结合的官能团。

4.根据权利要求2所述的间隔物的配置方法，其中，

在上述附着工序中，上述间隔物的表面由通过可见光或紫外线的照射而硬化的树脂形成，

在上述固定粘接工序中，在使上述间隔物周围的液体干燥后，隔着上述遮光板对上述基板进一步照射可见光或紫外线。

5.根据权利要求1所述的间隔物的配置方法，其中，

在上述附着工序中，上述间隔物的表面由通过上述光的照射而硬化的树脂形成，

在上述固定粘接工序中，当照射上述光时，上述间隔物与上述基板的表面相接触。

6.根据权利要求5所述的间隔物的配置方法，其中，上述树脂为通过紫外线的照射而硬化的树脂，并在上述固定粘接工序中照射紫外线。

7.根据权利要求5或6所述的间隔物的配置方法，其中，在上述固定粘接工序中，隔着上述遮光板对上述基板进一步照射红外线，使与上述遮光板的开口部对置的间隔物周围的液体干燥。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的间隔物的配置方法，其中，通过将液体供给至上述基板的表面的方式，来进行上述未固定粘接间隔物去除工序。

9.根据权利要求8所述的间隔物的配置方法，其中，上述供给的液体是可以与构成在上述附着工序中所使用的液膜或液滴的液体相溶的液体。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的间隔物的配置方法，其中，在上述附着工序中，通过从以预定的间距配置的多个开口分别将含有上述间隔物的液滴吐出，使上述多个液滴附着于上述基板。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的间隔物的配置方法，其中，在上述附着工序中，通过将含有多个间隔物的液体进行喷雾，使上述液膜附着于基板上，或者使上述多个液滴附着于基板上。

12.根据权利要求1至9中任一项所述的间隔物的配置方法，其中，在上述附着工序中，通过将含有多个间隔物的液体涂敷在上述基板上，使上述液膜附着于基板上。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的间隔物的配置方法，其中，在上述遮光板配置工序中，使上述遮光板与上述基板对置配置，隔着上述遮光板对上述基板照射光。

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