CN101474777A - 一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺 - Google Patents
一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101474777A CN101474777A CNA2009100284430A CN200910028443A CN101474777A CN 101474777 A CN101474777 A CN 101474777A CN A2009100284430 A CNA2009100284430 A CN A2009100284430A CN 200910028443 A CN200910028443 A CN 200910028443A CN 101474777 A CN101474777 A CN 101474777A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- diamond
- technique
- cutting
- slice
- cutting slice
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
本发明涉及对硬脆材料的加工领域，尤其是一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺。方法是先选用高基本粒的金刚石经表面金属化处理；将金属粉末经过水冷却精研球磨；再将处理过的金刚石和金属粉末混合；接着冷压；热压烧结制成高致密度的薄片；最后将薄片夹紧进行磨削加工，制成符合规格尺寸的切割片。该工艺中金刚石表面经金属化处理，具有稳定的切割性和结合性能；金属粉末经水冷精研球磨获得机械预合金化，性能稳定；经热压烧结可获得高强度、高密的切割片；工艺简单，易于控制，切割片切割性能稳定，使用寿命长。
Description
所属技术领域
本发明涉及对硬脆材料的加工领域，尤其是一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺。
背景技术
薄型金刚石切割片用于对各种锗、硅、硼、砷化镓、磷化钴、碳化硅等半导体材料，C-MOS青板玻璃、磷酸滤镜玻璃、石英玻璃、光学玻璃、微细玻璃管等玻璃类，Al2O3、ZrO2、Si3N4、CatiO3、铁氧体等陶瓷材料以及电子封装材料的切割。现有的金属结合剂金刚石切割片，没有形成机械预合金化，性能不稳定。金刚石切片厚度都显得太厚，如厚度为1mm以上的切割片，只能用于于对石材、混凝土等建筑材料进行切割。而厚度太薄又存在强度不够的问题，如0.5mm以下厚度的切割片容易破裂，特别是在切割电子材料时会产生崩边等破坏材料的后果。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了克服上述技术问题，本发明提供了一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺，工艺简单，切割稳定。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺，其特征是具有如下步骤：(1)选用金刚石经表面金属化处理；(2)选用金属粉末经过水冷却精研球磨；(3)将处理过的金刚石和金属粉末混合；(4)冷压；(5)热压烧结制成高致密度的薄片；(6)将薄片夹紧进行磨削加工，制成符合规格尺寸的切割片。
金属粉末包括钴粉和稀土合金粉以及铜锡合金粉，金刚石与金属粉末的配比为2-3％的金刚石，70-75％的钴粉，5-7％的稀土合金粉，18-22％的铜锡合金粉。
所述的冷压压强为3Tf/cm2，热压的温度为750-800℃，热压的压强为200kgf/cm2。
本发明的有益效果是：该工艺中金刚石表面经金属化处理，具有稳定的切割性和结合性能；金属粉末经水冷精研球磨获得机械预合金化，性能稳定，颗粒细小；经热压烧结可获得高强度、高密的的切割片；工艺简单，易于控制，切割片切割性能稳定，可制成0.15-0.5mm厚度的切割片，应用范围广，使用寿命长。
具体实施方式
一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺，其特征是具有如下步骤：(1)选用金刚石经表面金属化处理；(2)选用金属粉末经过水冷却精研球磨；(3)将处理过的金刚石和金属粉末混合；(4)冷压；(5)热压烧结制成高致密度的薄片；(6)将薄片夹紧进行磨削加工，制成符合规格尺寸的切割片。
金属粉末包括钴粉和稀土合金粉以及铜锡合金粉，金刚石与金属粉末的配比为2-3％的金刚石，70-75％的钴粉，5-7％的稀土合金粉，18-22％的铜锡合金粉。冷压压强为3Tf/cm2，热压的温度为750-800℃，热压的压强为200kgf/cm2。
在步骤一中，金刚石表面经金属化处理，是采用真空微蒸发钛镀附技术，它是真空物力气相沉积的一种方法。是在真空条件下加热，使钛产生微蒸发成气态原子或分子沉积到金刚石晶体表面。具体的工作原理的要点如下：真空条件，真空蒸渡是以真空技术为基础的一种表面处理方法，必须在一定的真空条件下进行；材料对象是金刚石；蒸发手段，将成膜材料加热蒸发，使之汽化，汽化粒子可以是分子、原子或原子团；成膜目的，微蒸发汽化的粒子在金刚石表面沉积，形成10-1～10-2um的薄膜。在真空高温的情况下，Ti膜与金刚石的界面形成TiC层，表面的金属钛也易与金属结合剂烧结，从而在切割过程中不易脱落。
在步骤二中，金属粉末经水冷却精研球磨，精研球磨的过程为：a、金属粉末混合；b、随着球磨碾压和高动能撞击，延展性颗粒变形，脆性颗料产生微破裂，粒度细化；c、延展性颗粒包住脆性细粒，并粘合；e、精炼后的层状结构颗粒；f、层状结构介离，脆性相均匀地植入增强矩阵；g、完成合金化的颗粒。从这一过程可知，精研球磨过程中由于碾压作用和不断地撞击产生的动能，使延展性粉末产生形变，并增加位错密度，脆性粉末逐渐破裂细化，这会出现一些全新的表面，可命名这些单一颗粒熔合。继续碾压和撞击命名熔合的颗粒细化，形成理想的合金化微粒。
在步骤四中，对混合的金刚石和金属粉末冷压，即通过挤压起到定形作用。在步骤五中，热压烧结即在高温下进一步加压对其烧结，使这些微小颗粒连接构成高强度、高密度的烧结体。
Claims (3)
1.一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺，其特征是具有如下步骤：(1)选用金刚石经表面金属化处理；(2)选用金属粉末经过水冷却精研球磨；(3)将处理过的金刚石和金属粉末混合；(4)冷压；(5)热压烧结制成高致密度的薄片；(6)将薄片夹紧进行磨削加工，制成符合规格尺寸的切割片。
2.根据权利要求1所述的一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺，其特征是：金属粉末包括钴粉和稀土合金粉以及铜锡合金粉，金刚石与金属粉末的配比为2-3％的金刚石，70-75％的钴粉，5-7％的稀土合金粉，18-22％的铜锡合金粉。
3.根据权利要求1所述的一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺，其特征是：所述的冷压压强为3Tf/cm2，热压的温度为750-800℃，热压的压强为200kgf/cm2。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2009100284430A CN101474777A (zh) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2009100284430A CN101474777A (zh) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101474777A true CN101474777A (zh) | 2009-07-08 |
Family
ID=40835596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2009100284430A Pending CN101474777A (zh) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101474777A (zh) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102554807A (zh) * | 2011-12-28 | 2012-07-11 | 福建万龙金刚石工具有限公司 | 金刚石整平轮及生产工艺 |
| CN102896311A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-30 | 河南省亚龙金刚石制品有限公司 | 一种金刚石复合片用粉末状粘接剂及其制备方法 |
| CN103433837A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-12-11 | 上海鸿宁珩磨机械有限公司 | 一种珩磨油石 |
| CN103465177A (zh) * | 2013-09-26 | 2013-12-25 | 秦皇岛星晟科技有限公司 | 一种金属基金刚石磨轮的配方和加工方法 |
| CN103522205A (zh) * | 2013-09-29 | 2014-01-22 | 河南华茂新材料科技开发有限公司 | 一种含金属的高强度陶瓷超薄切割片及其制备方法 |
| CN104440620A (zh) * | 2014-11-24 | 2015-03-25 | 华侨大学 | 一种金刚石超薄切割砂轮的制备方法 |
| CN107116490A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-09-01 | 江苏锋泰工具有限公司 | 节块式金刚石刀头的shs制备方法 |
| CN107160297A (zh) * | 2016-03-07 | 2017-09-15 | 河源市树熊超硬磨具有限公司 | 一种触摸屏玻璃磨削用金刚石磨头及其制备方法 |
| CN108747873A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 芜湖昌菱金刚石工具有限公司 | 一种金属结合剂金刚石工具及其制备方法 |
| CN108788162A (zh) * | 2017-05-05 | 2018-11-13 | 江苏锋泰工具有限公司 | 钢筋混凝土锯片刀头的制备方法 |
| CN109551387A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-02 | 柳州凯通新材料科技有限公司 | 一种超硬金刚石砂轮的制备方法 |
| CN110900473A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-24 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种可导电的树脂结合剂砂轮及其制备工艺 |
| CN113021204A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-06-25 | 华侨大学 | 一种芯片划切用多孔质超薄砂轮及其制备方法 |
| CN113474123A (zh) * | 2019-02-27 | 2021-10-01 | 株式会社则武 | 含玻璃填料的金属结合剂磨石 |
| CN114472889A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-13 | 苏州赛尔科技有限公司 | 一种金属结合剂超薄超精切割刀及制备方法 |
| CN114472895A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-05-13 | 苏州赛尔科技有限公司 | 一种qfn用金属烧结金刚石超薄切割片及制备方法 |
-
2009
- 2009-01-20 CN CNA2009100284430A patent/CN101474777A/zh active Pending
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102554807A (zh) * | 2011-12-28 | 2012-07-11 | 福建万龙金刚石工具有限公司 | 金刚石整平轮及生产工艺 |
| CN102896311A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-30 | 河南省亚龙金刚石制品有限公司 | 一种金刚石复合片用粉末状粘接剂及其制备方法 |
| CN102896311B (zh) * | 2012-09-19 | 2014-09-24 | 河南省亚龙金刚石制品有限公司 | 一种金刚石复合片用粉末状粘接剂及其制备方法 |
| CN103433837A (zh) * | 2013-08-21 | 2013-12-11 | 上海鸿宁珩磨机械有限公司 | 一种珩磨油石 |
| CN103465177A (zh) * | 2013-09-26 | 2013-12-25 | 秦皇岛星晟科技有限公司 | 一种金属基金刚石磨轮的配方和加工方法 |
| CN103522205A (zh) * | 2013-09-29 | 2014-01-22 | 河南华茂新材料科技开发有限公司 | 一种含金属的高强度陶瓷超薄切割片及其制备方法 |
| CN104440620A (zh) * | 2014-11-24 | 2015-03-25 | 华侨大学 | 一种金刚石超薄切割砂轮的制备方法 |
| CN107160297B (zh) * | 2016-03-07 | 2019-03-12 | 河源市树熊超硬磨具有限公司 | 一种触摸屏玻璃磨削用金刚石磨头及其制备方法 |
| CN107160297A (zh) * | 2016-03-07 | 2017-09-15 | 河源市树熊超硬磨具有限公司 | 一种触摸屏玻璃磨削用金刚石磨头及其制备方法 |
| CN108788162A (zh) * | 2017-05-05 | 2018-11-13 | 江苏锋泰工具有限公司 | 钢筋混凝土锯片刀头的制备方法 |
| CN107116490A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-09-01 | 江苏锋泰工具有限公司 | 节块式金刚石刀头的shs制备方法 |
| CN107116490B (zh) * | 2017-05-05 | 2020-02-21 | 江苏锋泰工具有限公司 | 节块式金刚石刀头的shs制备方法 |
| CN108747873A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-11-06 | 芜湖昌菱金刚石工具有限公司 | 一种金属结合剂金刚石工具及其制备方法 |
| CN109551387A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-02 | 柳州凯通新材料科技有限公司 | 一种超硬金刚石砂轮的制备方法 |
| CN113474123A (zh) * | 2019-02-27 | 2021-10-01 | 株式会社则武 | 含玻璃填料的金属结合剂磨石 |
| CN113474123B (zh) * | 2019-02-27 | 2023-11-14 | 株式会社则武 | 含玻璃填料的金属结合剂磨石 |
| CN110900473A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-24 | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 | 一种可导电的树脂结合剂砂轮及其制备工艺 |
| CN113021204A (zh) * | 2021-04-08 | 2021-06-25 | 华侨大学 | 一种芯片划切用多孔质超薄砂轮及其制备方法 |
| CN113021204B (zh) * | 2021-04-08 | 2022-08-16 | 华侨大学 | 一种芯片划切用多孔质超薄砂轮及其制备方法 |
| CN114472889A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-05-13 | 苏州赛尔科技有限公司 | 一种金属结合剂超薄超精切割刀及制备方法 |
| CN114472889B (zh) * | 2021-12-28 | 2024-02-20 | 苏州赛尔科技有限公司 | 一种金属结合剂超薄超精切割刀及制备方法 |
| CN114472895A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-05-13 | 苏州赛尔科技有限公司 | 一种qfn用金属烧结金刚石超薄切割片及制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101474777A (zh) | 一种金属结合剂的超薄金刚石切割片制作工艺 | |
| CN111992708B (zh) | 一种制备高性能金刚石/铜复合材料的方法 | |
| TWI307296B (en) | Superhard mold face for forming elements and associated methods | |
| CN108179302A (zh) | 一种高导热金刚石/铜复合材料的制备方法 | |
| CN101544851B (zh) | 一种金属结合剂空心球形超硬复合材料及其制造方法 | |
| WO1991018125A1 (en) | Sputtering target and production thereof | |
| WO1997011803A1 (fr) | Materiau composite granuleux extremement abrasif | |
| CN101470223B (zh) | 表面改性技术加工RB-SiC超光滑表面反射镜方法 | |
| CN106583735B (zh) | 一种制备具有高体积分数金刚石/铜复合材料零件的方法 | |
| CN101560624A (zh) | 一种聚晶立方氮化硼的制备方法 | |
| WO2006067937A1 (ja) | Ｓｂ－Ｔｅ系合金焼結体ターゲット及びその製造方法 | |
| JPH11314974A (ja) | 接合体の製造方法 | |
| CN114574789A (zh) | 碳化硅纤维及中高熵陶瓷增强金属基复合材料及制备方法 | |
| CN112941431B (zh) | 一种细颗粒金刚石铜基复合散热材料的粉末冶金制备方法 | |
| CN106553136A (zh) | 熔浸法制备金属结合剂金刚石砂轮 | |
| JPH0564691B2 (zh) | ||
| JP5988140B2 (ja) | ＭｏＴｉターゲット材の製造方法およびＭｏＴｉターゲット材 | |
| JP2012096934A (ja) | 立方晶窒化硼素焼結体工具 | |
| CN104926307B (zh) | 一种Ti2AlC复合陶瓷材料的反应喷射合成制备方法 | |
| CN107186633A (zh) | 一种高性能金属结合剂金刚石滚刀及其制备方法 | |
| CN101224499A (zh) | 镍铝合金基金刚石超薄锯片及其制作方法 | |
| CN111411282A (zh) | 一种聚晶复合材料 | |
| CN104928615A (zh) | 一种钛合金表面La2O3调控碳化钛涂层制备的方法 | |
| JP2017500438A (ja) | 銅−ガリウムスパッタリングターゲット | |
| CN103128675B (zh) | 一种金刚石砂轮工作层材料及其制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Open date: 20090708 |