CN101470042A - 一种恒压式正压漏孔校准装置变容室 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种恒压式正压漏孔校准装置变容室,包括螺母,管道,变容室主体,变容室内孔,活塞卡套接头,内孔通道,挡板组成;用抽气机组通过四通接头对变容室内孔、内孔通道和管道抽真空,然后再用气瓶通过四通接头对之充入一个大气压的氮气。正压漏孔漏出的气体通过三通接头流入到变容室内孔、内孔通道和管道中,引起压力上升,上升值用差压式电容薄膜规测量。根据差压式电容薄膜规的测量数据,控制活塞运动,通过测量活塞的移动速度、移动距离、横截面积以及变容室内孔内部的气体压力,计算出正压漏孔的漏率。本发明增大了变容室的外部体积,减小了变容室的内部容积,提高了活塞与变容室的动密封连接性能。

Description

一种恒压式正压漏孔校准装置变容室
技术领域
本发明涉及一种恒压式正压漏孔校准装置变容室,属于真空计量领域。
背景技术
文献“恒压式正压漏孔校准装置的设计,《真空科学与技术学报》第27卷、2007年第5期、第442页~445页”,介绍了恒压式正压漏孔校准装置变容室的一种设计方法。该方法采用一段管道作为变容室,管道长度为50mm,管道直径为6mm。变容室和定容室之间连接了一个阀门,在利用变容室测量流量时,这个阀门实际上是打开的,此时定容室和变容室联为一体共同作为变容室。定容室用直径4mm的不锈钢管加工,长度小于500mm。变容室与活塞的密封材料是聚四氟乙烯密封圈,没有说明密封的机械结构。
这种方法的不足之处就是变容室管道直径较大,不利于减小变容室容积,导致测量下限较差;使用变容室测量流量时,变容室与定容室是连通的,由于连接阀门的存在,增大了变容室的容积;定容室管道的总长度要求小于500mm,不便于正压漏率、活塞及电机、电容薄膜规等设备的安装;没有说明活塞与变容室的机械密封结构。
发明内容
本发明的目的是提供一种恒压式正压漏孔校准装置变容室,变容室管道直径变小,活塞与变容室管道具有更好的动密封连接效果,采用这种变容室,可以扩展测量下限,提高测量精度。
本发明的技术解决方案是:一种恒压式正压漏孔校准装置变容室,由螺母1、10,管道2、9,变容室主体3,变容室内孔4,活塞卡套接头5,内孔通道6、8,档板7组成。活塞卡套接头5由聚四氟乙烯套筒11,卡套底座12,卡套13,螺母14,活塞15,卡套管道16组成。
一种恒压式正压漏孔校准装置变容室的连接关系为:
螺母1与管道2连接,管道2的截面直径小于4mm,长度小于20mm,管道2焊接在变容室主体3的侧面,与变容室内孔4相连通,变容室主体3的外型为立方体,用不锈钢加工,变容室内孔4在变容室主体3内,沿长度方向,截面直径小于2mm,档板7焊接在变容室主体右侧,与变容室内孔4密封;活塞卡套接头5通过卡套管道16焊接在变容室主体3的上面,卡套管道16与内孔通道6相连通,内孔通道6截面直径小于2mm,内孔通道6与变容室内孔4相连通,管道9焊接在变容室主体3的一侧,管道9截面直径小于4mm,长度小于20mm,管道9与内孔通道8相连通,内孔通道8截面直径小于2mm,与变容室内孔4相连通,螺母10与管道9连接。
活塞卡套接头5的连接关系是:螺母14与卡套管道16的螺纹连接,卡套底座12,卡套13套在聚四氟乙烯套筒11的外侧,活塞15插入聚四氟乙烯套筒11内孔,卡套底座12,卡套13、聚四氟乙烯套筒11、活塞15连为一体,安装在卡套管道16的连接处,通过拧紧螺母14,实现活塞15与卡套管道16的动密封连接。
在螺母1上安装上一个三通接头,分别连接正压漏孔和差压式电容薄膜规。在螺母10上可以安装一个四通接头,分别连接绝压式电容薄膜规、气瓶和抽气机组。
一种恒压式正压漏孔校准装置变容室的工作方式:
(1)用抽气机组通过四通接头对变容室内孔4、内孔通道6、8和管道2、9抽真空,然后再用气瓶通过四通接头对之充入一个大气压的氮气。
(2)正压漏孔漏出的气体通过三通接头流入到变容室内孔4、内孔通道6、8和管道2、9中,引起压力上升,上升值用差压式电容薄膜规测量。
(3)根据差压式电容薄膜规的测量数据,采用PID控制方法,控制活塞15运动,保持在测量过程中变容室内孔4内的压力始终为一个大气压。
(4)通过测量活塞的移动速度、移动距离、横截面积以及变容室内孔4内部的气体压力,计算出正压漏孔的漏率。
本发明与现有技术相比的有益效果是:
(1)增大了变容室的外部体积,有利于压力测量设备、活塞及控制电机和真空阀门等设备的安装;
(2)减小了变容室的内部容积,可以使流量测量下限达到5×10-6Pa·m3/s及以下。
(3)提高了活塞与变容室的动密封连接性能,减小了漏、放气,有利于测量精度的提高。
附图说明
图1是本发明恒压式正压漏孔校准装置变容室的结构示意图。
图2是本发明活塞与变容室连接卡套接头结构示意图。

Claims (2)

1.一种恒压式正压漏孔校准装置变容室,包括螺母,管道,变容室主体,变容室内孔,活塞卡套接头,内孔通道,档板组成;活塞卡套接头包括聚四氟乙烯套筒,卡套底座,卡套,螺母,活塞,卡套管道;其特征在于连接关系为:
螺母1与管道2连接,管道2焊接在变容室主体3的侧面,与变容室内孔4相连通,变容室主体3的外型为立方体,用不锈钢加工,变容室内孔4在变容室主体3内,档板7焊接在变容室主体右侧,与变容室内孔4密封;活塞卡套接头5通过卡套管道16焊接在变容室主体3的上面,卡套管道16与内孔通道6相连通,内孔通道6与变容室内孔4相连通,管道9焊接在变容室主体3的一侧,管道9与内孔通道8相连通,与变容室内孔4相连通,螺母10与管道9连接;在螺母1上安装上一个三通接头,分别连接正压漏孔和差压式电容薄膜规。在螺母10上可以安装一个四通接头,分别连接绝压式电容薄膜规、气瓶和抽气机组;
此外,活塞卡套接头5的连接关系是:螺母14与卡套管道16的螺纹连接,卡套底座12,卡套13套在聚四氟乙烯套筒11的外侧,活塞15插入聚四氟乙烯套筒11内孔,卡套底座12,卡套13、聚四氟乙烯套筒11、活塞15连为一体,安装在卡套管道16的连接处,通过拧紧螺母14,实现活塞15与卡套管道16的动密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种恒压式正压漏孔校准装置变容室,其特征在于:管道2、9的截面直径小于4mm,长度小于20mm;变容室内孔4沿长度方向,截面直径小于2mm,内孔通道6、8截面直径小于2mm。
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