CN101458058A - 量测装置 - Google Patents
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Abstract
一种量测装置,包括一滑轨、一可滑动地装设于所述滑轨的滑动装置及一固定于所述滑动装置的量规装置,所述滑动装置以悬浮方式滑动于所述滑轨,所述量规装置包括至少一千分表。利用本发明量测装置测量时,无需拆卸和搬运被测物,而且测量精度高、成本低廉,适应工业生产的需求。
Description
技术领域
本发明涉及一种量测装置,特别涉及一种用于测量平行度的量测装置。
背景技术
在一些大中型加工机台或者是测量用机台中,经常需要对一些零部件的平行度进行调整,以保证被加工工件良率或者量测精度。比如在一台高精度量床中,要求其Y轴本体上的精密丝杆与精密滑轨相对于基准的平行度要达到0.005mm,而为了保证该精度,需要不时地对精密丝杆与精密滑轨进行调整。
业界通常都采用接触式三次元机台对Y轴本体上的精密丝杆与精密滑轨进行测量,然后根据测量结果进行调整。但是这需要将Y轴本体从量床上拆卸下来置于接触式三次元机台上。由于Y轴本体体积大、质量大,造成拆卸和搬运的麻烦,导致测量效率低下,兼且接触式三次元机台成本较高,因而在大中型机台日益普遍的工业生产中,急需一种能够降低成本提高效率的量测装置来进行替代。
发明内容
鉴于以上内容,有必要提供一种成本低廉、使用方便的用于测量平行度的高精度量测装置。
一种量测装置,包括一滑轨、一可滑动地装设于所述滑轨的滑动装置及一固定于所述滑动装置的量规装置,所述滑动装置以悬浮方式滑动于所述滑轨,所述量规装置包括至少一千分表。
本发明量测装置采用精度在0.003mm的滑轨做基准、采用悬浮的高精度配合方式并使用千分表进行高精度测量,因而测量精度高。本发明量测装置相对体积和质量较小、成本低廉,利用其测量时,只需将其安装于被测物,而无需拆卸和搬运被测物,从而提高效率,适应工业生产的需求。
附图说明
下面参考附图结合具体实施方式对本发明作进一步的说明。
图1为本发明较佳实施方式的量测装置与被测物的立体分解图。
图2为图1的组装图。
具体实施方式
请参考图1及图2,被测物1上设有一可调整的丝杆3及两可调整的滑轨5。丝杆3与滑轨5的平行度须保证精度达到0.005mm。本发明量测装置10的较佳实施方式包括一滑轨20、一可滑动地装设于滑轨20的滑动装置30及一固定于滑动装置30的量规装置40。
由于量测精度要求很高,因此对于滑轨20本身的直线度要求很高,其工作面加工精度在0.003mm以内。滑轨20由硬度高且化学性质不活泼的材料制成,硬度高可保证使用时不会产生任何形变,化学性质不活泼使得滑轨20在长期使用过程中不会因为化学反应尤其是氧化反应而造成其表面精度降低。滑轨20的材料可选用大理石、花岗石等。
滑动装置30应滑动平稳以保证量测装置10的量测精度,在本实施方式中滑动装置30采用气浮轴承。在其他实施方式中,滑动装置30与滑轨20之间可采取其他悬浮配合方式,例如静电悬浮和磁悬浮,而相应的,须在滑轨20内嵌入金属材料以产生静电荷或感应电磁。但从经济角度讲选用气浮方式为佳。
量规装置40包括一固定架41,固定架41被若干锁固件固定于滑动装置30上。固定架41的两端分别装设一千分表43,固定架41的中部装设一千分表组45。
使用时,事先在被测物1上设置两基准块7(作为量测基准),将量测装置10的滑轨20一侧壁顶靠两基准块7,然后将滑轨20固定。此时,滑轨20成为量测基准,被测的丝杆3及两滑轨5相对于滑轨20的平行度必须精确到0.005mm。千分表43用于测量滑轨5;千分表组45包括若干千分表,用于从不同角度测量丝杆3。令滑动装置30沿滑轨20滑动,则千分表的测头分别沿着滑轨5及丝杆3滑动,使千分表纪录测量数据。然后根据所述测量数据即可对丝杆3及两滑轨5进行调整,使其达到平行度要求。
另外,本量测装置10除了能测量平行度外,显然还可用于测量直线度或表面粗糙度等。
Claims (7)
- 【权利要求1】一种量测装置,包括一滑轨、一可滑动地装设于所述滑轨的滑动装置及一固定于所述滑动装置的量规装置,所述滑动装置以悬浮方式滑动于所述滑轨,所述量规装置包括至少一千分表。
- 【权利要求2】如权利要求1所述的量测装置,其特征在于:所述滑轨由高硬度材料制成且其工作面加工精度在0.003mm以内。
- 【权利要求3】如权利要求2所述的量测装置,其特征在于:所述滑轨的材料为一种化学性质不活泼的材料。
- 【权利要求4】如权利要求2或3所述的量测装置,其特征在于:所述滑轨的材料为一种抗氧化的材料。
- 【权利要求5】如权利要求2所述的量测装置,其特征在于:所述滑轨的材料为大理石或花岗石。
- 【权利要求6】如权利要求1或5所述的量测装置,其特征在于:所述滑动装置为气浮轴承。
- 【权利要求7】如权利要求1所述的量测装置,其特征在于:所述量规装置包括一固定架,所述固定架固定于所述滑动装置,所述千分表装设于所述固定架。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007102030209A CN101458058B (zh) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 量测装置 |
US12/036,274 US7726035B2 (en) | 2007-12-12 | 2008-02-24 | Measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2007102030209A CN101458058B (zh) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 量测装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101458058A true CN101458058A (zh) | 2009-06-17 |
CN101458058B CN101458058B (zh) | 2010-09-29 |
Family
ID=40751359
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2007102030209A Expired - Fee Related CN101458058B (zh) | 2007-12-12 | 2007-12-12 | 量测装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
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US (1) | US7726035B2 (zh) |
CN (1) | CN101458058B (zh) |
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GR01 | Patent grant | ||
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