CN101446699A - 检测装置与用于此检测装置的检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种检测装置与用于此检测装置的检测方法，该检测装置包括移动平台、扫描模块、复检模块及定位模块，该移动平台适于使基板沿第一方向来回移动。扫描模块与复检模块配置于移动平台上方，复检模块包括可移动的第一图像感测组件。定位模块配置于移动平台侧边，且包括具有至少二光感测组件的光感测组件组。扫描模块用以检测基板上缺陷的位置，定位模块根据缺陷的位置使光感测组件组移动至适当位置。移动平台在其中一光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在另一光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。复检模块根据缺陷的位置移动第一图像感测组件，以复检基板上的缺陷。

Description

检测装置与用于此检测装置的检测方法

技术领域

本发明是有关于一种检测装置，且特别是有关于一种用于检测基板的缺陷的检测装置以及用于此检测装置的检测方法。

背景技术

随着液晶显示技术的进步加上液晶显示装置具有重量轻且体积小等优点，液晶显示装置已广泛地应用于多种电子产品，如数字相机、个人数字助理(personal digital assistant，PDA)、移动电话、笔记型计算机(notebookcomputer)以及平面薄型化电视等。液晶显示装置包括液晶显示面板与背光模块，其中背光模块用以提供面光源至液晶显示面板，以使液晶显示面板能显示彩色画面。

承上述，液晶显示面板包括二基板以及配置于此二基板之间的液晶层，此二基板其中之一为彩色滤光基板，而彩色滤光基板是使液晶显示面板能显示彩色画面的重要构件。彩色滤光基板的质量与液晶显示面板的显示质量息息相关，因此检测出彩色滤光基板的缺陷就显得重要。

图1是一种现有的检测装置的示意图。请参照图1，现有检测装置100是用以检测玻璃基板50上的缺陷53。此玻璃基板50上形成有多个彩色滤光单元52。每一个彩色滤光单元52及其下方的玻璃基板50构成液晶显示面板中的彩色滤光基板。检测装置100是用以检测每一个彩色滤光单元52是否有缺陷53。

检测装置100包括移动平台110、扫描模块120以及复检模块130。扫描模块120配置于移动平台110上方，且沿着X轴横跨移动平台110。复检模块130配置于移动平台110上方，且位于扫描模块120旁。此外，移动平台110包括沿Y轴排列的多个运输滚筒112。藉由控制运输滚筒112的转动方向，可使放置于运输滚筒112上的玻璃基板50沿着Y轴往左移动或往右移动。扫描模块120包括沿着X轴排列的多个电荷耦合组件122(charge coupled device，CCD)，所以扫描模块120的视场(field of view，FOV)能沿着X方向横跨移动平台110。复检模块130包括沿X方向横跨移动平台110的轨道132以及适于在此轨道132上移动的电荷耦合组件134。习知技术是藉由定位精度较佳的线性马达(liner motor)来驱使电荷耦合组件134移动。此外，电荷耦合组件134包括一个放大倍率为八倍的镜头，所以电荷耦合组件134的视场约为1.8厘米×2.1厘米。

在现有技术中，检测玻璃基板50的方法是先将玻璃基板50放置于移动平台110的运输滚筒112上，以利用运输滚筒112使玻璃基板50沿Y轴向右移动。接着，当玻璃基板50行经扫描模块120下方时，扫描模块120的电荷耦合组件122会检测玻璃基板50上的每一彩色滤光单元52是否有缺陷53并检测缺陷63的位置，且将检测的结果回馈至移动平台110与复检模块130。之后，移动平台110会将缺陷53移动至复检模块130的轨道132下方，而复检模块130的电荷耦合组件134则会沿着轨道132移动至缺陷53上方，以检测此缺陷53，进而判断缺陷53的类型，以找出缺陷53发生的原因。

在现有技术中，电荷耦合组件134的视场约为1.8厘米×2.1厘米，而运输滚筒112的定位精度约介于2厘米至10厘米之间。由于运输滚筒112的定位精度较差，所以常会发生电荷耦合组件134无法自动检测到缺陷53的情形。如此，需另外耗费人力与时间寻找缺陷53，导致检测时间大幅增加。

发明内容

本发明提供一种检测装置与用于此检测装置的检测方法，以提升检测效率。

为达上述优点，本发明提出一种检测装置，其适于检测基板上的缺陷。此检测装置包括移动平台、扫描模块、复检模块以及定位模块。移动平台适于使基板沿第一方向来回移动。扫描模块配置于移动平台上方，且扫描模块的视场沿第二方向横跨移动平台，其中第一方向与第二方向之间存有夹角。复检模块配置于移动平台上方，且位于扫描模块旁。复检模块包括沿第二方向横跨移动平台的第一轨道以及适于在第一轨道上移动的第一图像感测组件。定位模块配置于移动平台侧边，且定位模块包括平行第一方向的第二轨道以及适于在第二轨道上移动的光感测组件组。此光感测组件组包括沿第一方向排列的至少二光感测组件。此外，扫描模块用以检测缺陷的位置，定位模块适于根据缺陷的位置使光感测组件组从预设位置朝接近复检模块的方向移动至适当位置。移动平台在光感测组件其中之一感测到基板的平行第二方向的第一侧边时减速，且移动平台在光感测组件其中另一感测到基板的第一侧边时停止。复检模块适于根据缺陷的位置移动第一图像感测组件以复检基板上的缺陷。

在本发明的一实施例中，上述的第一方向垂直于第二方向。

在本发明的一实施例中，上述的扫描模块包括沿第二方向排列的多个第二图像感测组件。

在本发明的一实施例中，上述的移动平台包括沿第一方向平行排列的多个运输滚筒。

在本发明的一实施例中，上述的光感测组件之间之间距介于200厘米至500厘米之间。

在本发明的一实施例中，上述的光感测组件组位于预设位置时，光感测组件组与复检模块之间的距离约等于基板的平行第一方向的第二侧边的长度。

在本发明的一实施例中，上述的预设位置与适当位置之间的距离等于第二侧边的长度减去缺陷与第一侧边之间的最短距离。

在本发明的一实施例中，上述的光感测组件包括第一光感测组件与第二光感测组件，其中第一光感测组件位于第二光感测组件与复检模块之间。当定位模块位于预设位置或适当位置时，移动平台在第一光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在第二光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。

在本发明的一实施例中，上述的光感测组件包括依序排列的第一光感测组件、第二光感测组件、第三光感测组件以及第四光感测组件，其中第一光感测组件位于第二光感测组件与复检模块之间。当定位模块位于预设位置时，移动平台在第三光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在第四光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。当定位模块位于适当位置时，移动平台在第一光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在第二光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。

为达上述优点，本发明另提出一种用于上述的检测装置的检测方法，其包括下列步骤：首先，藉由移动平台使基板沿第一方向往前移动。接着，藉由扫描模块检测基板的缺陷的位置。之后，藉由位于预设位置的光感测组件组来感测基板，且使移动平台根据光感测组件组的感测结果减速停止。然后，使光感测组件组朝接近复检模块的方向移动至适当位置，并藉由移动平台使基板往后移动，以脱离光感测组件组的感测范围。接着，藉由移动平台使基板沿第一方向往前移动。之后，藉由光感测组件组来感测基板，且使移动平台根据光感测组件组的感测结果减速停止，以使基板上的缺陷位于复检模块检测范围内。然后，根据缺陷的位置移动复检模块的第一图像感测组件以复检基板上的缺陷。

在本发明的一实施例中，当光感测组件组位于预设位置时，光感测组件组与复检模块之间的距离约等于基板的平行第一方向的第二侧边的长度。

在本发明的一实施例中，上述的预设位置与适当位置之间的距离等于第二侧边的长度减去缺陷与第一侧边之间的最短距离。

在本发明的一实施例中，上述的使移动平台根据光感测组件组的感测结果减速停止的方法包括下列步骤：首先，当光感测组件组的光感测组件其中之一感测到基板的第一侧边时，移动平台减速。接着，当光感测组件组的光感测组件其中另一感测到基板的第一侧边时，移动平台停止。

在本发明的一实施例中，上述的光感测组件包括第一光感测组件与第二光感测组件，其中第一光感测组件位于第二光感测组件与复检模块之间。当定位模块位于预设位置或适当位置时，移动平台在第一光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在第二光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。

在本发明的一实施例中，上述的光感测组件包括依序排列的第一光感测组件、第二光感测组件、第三光感测组件以及第四光感测组件，其中第一光感测组件位于第二光感测组件与复检模块之间。当定位模块位于预设位置时，移动平台在第三光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在第四光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。当定位模块位于适当位置时，移动平台在第一光感测组件感测到基板的第一侧边时减速，且移动平台在第二光感测组件感测到基板的第一侧边时停止。

在本发明的检测装置中，由于定位模块的光感测组件组可将感测结果回馈至移动平台，以使移动平台在停止的前先减速，所以能将基板上的缺陷精确地定位在复检模块的检测范围内。因此，本发明的检测装置能有效提升检测效率。此外，本发明的检测方法是先根据缺陷的位置将定位模块移动至适当位置，之后再藉由定位模块将感测结果回馈至移动平台，以使移动平台在停止的前先减速。如此，能将基板上的缺陷精确地定位在复检模块的检测范围内，以提升检测效率。

附图说明

图1是一种现有的检测装置的示意图；

图2是本发明一实施例的一种检测装置的示意图；

图3A至图3G为本发明一实施例的检测方法的流程图。

其中，附图标记：

50：玻璃基板                     52、62：彩色滤光单元

53、63：缺陷                     60：基板

64：第一侧边                     66：第二侧边

100、200：检测装置               110、210：移动平台

112、212：运输滚筒               120、220：扫描模块

122、134：电荷耦合组件           130、230：复检模块

132：轨道                        222：第二图像感测组件

232：第一轨道                    234：第一图像感测组件

240：定位模块                    242：第二轨道

244：光感测组件组                245：第一光感测组件

246：第二光感测组件              247：第三光感测组件

248：第四光感测组件

具体实施方式

图2是本发明一实施例的一种检测装置的示意图。请参照图2，本实施例的检测装置200适于检测基板60上的缺陷63。此基板60例如是玻璃基板，且基板60上例如形成有多个彩色滤光单元62。每一个彩色滤光单元62及其下方的基板60构成液晶显示面板中的彩色滤光基板。检测装置200是用以检测每一个彩色滤光单元62是否有缺陷63，并进一步检测缺陷63的类型。

检测装置200包括移动平台210、扫描模块220、复检模块230以及定位模块240。移动平台210适于使基板60沿第一方向(如Y轴)来回移动。更详细地说，移动平台210例如包括沿第一方向(Y轴)平行排列的多个运输滚筒212，而基板60是放置于运输滚筒212上。藉由控制运输滚筒212的转动方向，可使放置于运输滚筒212上的基板60沿着Y轴向左移动或向右移动。

扫描模块220配置于移动平台210上方，且扫描模块220的视场沿第二方向(如X轴)横跨移动平台210，其中第一方向(Y轴)与第二方向(X轴)之间存有夹角，而此夹角例如是90度。此外，扫描模块220例如包括沿第二方向(X轴)排列的多个第二图像感测组件222，而这些第二图像感测组件222例如是电荷耦合组件。上述的扫描模块220的视场是由这些图像感测组件222的视场所构成。

复检模块230配置于移动平台210上方，且位于扫描模块220旁。复检模块230包括沿第二方向(X轴)横跨移动平台210的第一轨道232以及适于在第一轨道232上移动的第一图像感测组件234。此第一图像感测组件234例如是电荷耦合组件，而本实施例如是藉由定位精度较佳的线性马达来驱使第一图像感测组件234移动。此外，第一图像感测组件234可包括一个镜头，此镜头的放大倍率例如是八倍，所以第一图像感测组件234的视场例如是1.8厘米×2.1厘米。需注意的是，上述的镜头的放大倍率及第一图像感测组件234的视场仅为举例的用，并非用以限制本发明。

定位模块240配置于移动平台210侧边，且定位模块240包括平行第一方向(Y轴)的第二轨道242以及适于在第二轨道242上移动的光感测组件组244。本实施例如是藉由定位精度较佳的线性马达来驱使光感测组件组244移动。此光感测组件组244包括沿第一方向(Y轴)排列的至少二光感测组件，如依序排列的第一光感测组件245、第二光感测组件246、第三光感测组件247以及第四光感测组件248。第一光感测组件245配置于第二光感测组件246与复检模块230之间。此外，相邻两光感测组件之间的间距例如是介于200厘米至500厘米之间。

在本实施例中，当基板60经过扫描模块220下方时，扫描模块220可检测基板60上的彩色滤光单元62是否有缺陷63并检测缺陷63的位置，且将检测的结果回馈至复检模块230与定位模块240。定位模块240适于根据缺陷63的位置使光感测组件组244从预设位置朝接近复检模块230的方向移动(即向左移动)至适当位置。移动平台210在光感测组件245、246、247、248的其中之一感测到基板60的平行第二方向的第一侧边64时减速，且移动平台210在光感测组件245、246、247、248其中另一感测到基板60的第一侧边64时停止。复检模块230适于根据缺陷63的位置移动第一图像感测组件234，以复检基板60上的缺陷63。

此外，当光感测组件组244位于预设位置时(如图2所示)，光感测组件组244与复检模块230之间的距离约等于基板60的平行第一方向(Y轴)的第二侧边66的长度。更详细地说，当光感测组件组244位于预设位置时，光感测组件组244与复检模块230之间的距离例如是复检模块230的第一轨道232至光感测组件组244的其中一光感测组件(如第四光感测组件248)的距离。另外，预设位置与适当位置之间的距离等于第二侧边66的长度减去缺陷63与基板60的第一侧边64之间的最短距离。举例来说，若基板60的第二侧边66的长度为2250厘米，缺陷63与基板60的第一侧边64之间的最短距离为1700厘米，则预设位置与适当位置之间的距离等于550厘米。换言之，使光感测组件组244从预设位置朝接近复检模块230的方向移动550厘米即到达适当位置。

以下将详细介绍用于上述的检测装置200的检测方法。请参照图3A至图3G，其为本发明一实施例的检测方法的流程图。本实施例的用于检测装置200的检测方法包括下列步骤：首先，如图3A所示，藉由移动平台210使基板60沿第一方向(Y轴)往前移动(即向右移动)。接着，在基板60经过扫描模块220下方时，藉由扫描模块220检测基板60的缺陷63的位置，而扫描模块220会将检测的结果回馈至复检模块230与定位模块240。

之后，如图3B与3C所示，藉由位于预设位置的光感测组件组244来感测基板60，且使移动平台210根据光感测组件组244的感测结果减速停止。更详细地说，使移动平台210根据光感测组件组244的感测结果减速停止的方法包括下列步骤：首先，如图3B所示，当光感测组件组244的第三光感测组件247感测到基板60的第一侧边64时，移动平台210减速。接着，如图3C所示，当光感测组件组244的第四光感测组件248感测到基板60的第一侧边64时，移动平台210停止。

然后，如图3D所示，使光感测组件组244朝接近复检模块230的方向移动(即向左移动)至适当位置，并藉由移动平台210使基板60往后移动(即向左移动)，以脱离光感测组件组244的感测范围。有关于如何使光感测组件组244朝接近复检模块230的方向移动至适当位置的方法已于上文说明过，在此将不再重述。

接着，如图3E所示，藉由移动平台210使基板60沿第一方向(Y轴)往前移动(即向右移动)。之后，藉由光感测组件组244来感测基板60，且使移动平台210根据光感测组件组244的感测结果减速停止，以使基板60上的缺陷63位于复检模块230检测范围内。具体而言，当光感测组件组244的第一光感测组件245感测到基板60的第一侧边64时，移动平台210减速。此外，如图3F所示，当光感测组件组245的第二光感测组件246感测到基板60的第一侧边64时，移动平台210停止。

然后，如图3G所示，根据缺陷63的位置移动复检模块240的第一图像感测组件244以复检基板60上的缺陷63。更详细地说，根据缺陷63的位置使第一图像感测组件244沿着第一轨道242移动至缺陷63的上方，以使缺陷63位于第一图像感测组件244的视场内。如此，可藉由第一图像感测组件244对缺陷63做进一步的检测，以判断缺陷63类型，进而找出缺陷63发生的原因。

由于定位模块240的光感测组件组244可将感测结果回馈至移动平台210，以使移动平台210在停止的前先减速，所以能提升移动平台210的定位精度，进而将基板60上的缺陷63精确地定位在复检模块230的检测范围内。具体而言，若相邻两光感测组件之间的间距为0.5厘米，则本实施例可将移动平台210的定位精度提升至1厘米以内。若第一图像感测组件234的视场为1.8厘米×2.1厘米，由于移动平台210的定位精度已提升至1厘米以内，所以可确保复检模块230能自动检测到缺陷63。如此，不需另外耗费人力与时间寻找缺陷63，因此能提升检测效率。

需注意的是，在本发明中，相邻两光感测组件之间的间距可视第一图像感测组件234的视场而调整。此外，虽然上述的实施例中，光感测组件组244的第一光感测组件245、第二光感测组件246、第三光感测组件247以及第四光感测组件248分别有不同的功能，但在其它实施例中，光感测组件组244亦可仅使用两个光感测组件(如第一光感测组件245与第二光感测组件246)，而其余的光感测组件(如第三光感测组件247与第四光感测组件248)可作为备用的光感测组件。换言之，在另一实施例中，光感测组件组244亦可仅包括第一光感测组件245与第二光感测组件246。

承上述，在光感测组件组244仅使用第一光感测组件245与第二光感测组件246的实施例中，当定位模块240位于预设位置或适当位置时，移动平台210在第一光感测组件245感测到基板60的第一侧边64时减速，且移动平台210在第二光感测组件246感测到基板60的第一侧边64时停止。

综上所述，在本发明中，由于定位模块的光感测组件组可将感测结果回馈至移动平台，以使移动平台在停止的前先减速，所以能提高移动平台的定位精准度，以将基板上的缺陷精确地定位在复检模块的检测范围内。如此，不需另外浪费人力与时间寻找缺陷，所以本发明的检测装置及其检测方法能有效提升检测效率。

虽然本发明已以较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，本发明所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与修改，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定者为准。

Claims (15)

1.一种检测装置，适于检测一基板上的一缺陷，其特征在于，该检测装置包括：

一移动平台，适于使该基板沿一第一方向来回移动；

一扫描模块，配置于该移动平台上方，该扫描模块的一视场沿一第二方向横跨该移动平台，而该第一方向与该第二方向之间存有一夹角；

一复检模块，配置于该移动平台上方，且位于该扫描模块旁，该复检模块包括沿该第二方向横跨该移动平台的一第一轨道以及适于在该第一轨道上移动的一第一图像感测组件；以及

一定位模块，配置于该移动平台侧边，该定位模块包括平行该第一方向的一第二轨道以及适于在该第二轨道上移动的一光感测组件组，该光感测组件组包括沿该第一方向排列的至少二光感测组件，

其中，该扫描模块用以检测该缺陷的位置，该定位模块适于根据该缺陷的位置使该光感测组件组从一预设位置朝接近该复检模块的方向移动至一适当位置，该移动平台在该些光感测组件的其中之一感测到该基板的平行该第二方向的一第一侧边时减速，且该移动平台在该些光感测组件其中另一感测到该基板的该第一侧边时停止，该复检模块适于根据该缺陷的位置移动该第一图像感测组件以复检该基板上的该缺陷。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该第一方向垂直于该第二方向。

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该扫描模块包括沿该第二方向排列的多个第二图像感测组件。

4.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该移动平台包括沿该第一方向平行排列的多个运输滚筒。

5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该些光感测组件之间的间距介于200厘米与500厘米之间。

6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该光感测组件组位于该预设位置时，该光感测组件组与该复检模块之间的距离约等于该基板的平行该第一方向的一第二侧边的长度。

7.如权利要求6所述的检测装置，其特征在于，该预设位置与该适当位置之间的距离等于该第二侧边的长度减去该缺陷与该第一侧边之间的最短距离。

8.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该些光感测组件包括一第一光感测组件与一第二光感测组件，该第一光感测组件位于该第二光感测组件与该复检模块之间，当该定位模块位于该预设位置或该适当位置时，该移动平台在该第一光感测组件感测到该基板的该第一侧边时减速，且该移动平台在该第二光感测组件感测到该基板的该第一侧边时停止。

9.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，该些光感测组件包括依序排列的一第一光感测组件、一第二光感测组件、一第三光感测组件以及一第四光感测组件，该第一光感测组件位于该第二光感测组件与该复检模块之间，当该定位模块位于该预设位置时，该移动平台在该第三光感测组件感测到该基板的该第一侧边时减速，且该移动平台在该第四光感测组件感测到该基板的该第一侧边时停止，当该定位模块位于该适当位置时，该移动平台在该第一光感测组件感测到该基板的该第一侧边时减速，且该移动平台在该第二光感测组件感测到该基板的该第一侧边时停止。

10.一种用于权利要求1所述的检测装置的检测方法，其特征在于，包括：

藉由该移动平台使该基板沿该第一方向往前移动；

藉由该扫描模块检测该基板的该缺陷的位置；

藉由位于该预设位置的该光感测组件组来感测该基板，且使该移动平台根据该光感测组件组的感测结果减速停止；

使该光感测组件组朝接近该复检模块的方向移动至该适当位置，并藉由该移动平台使该基板往后移动，以脱离该光感测组件组的感测范围；

藉由该移动平台使该基板沿该第一方向往前移动；

藉由该光感测组件组来感测该基板，且使该移动平台根据该光感测组件组的感测结果减速停止，以使该基板上的该缺陷位于该复检模块检测范围内；以及

根据该缺陷的位置移动该复检模块的该第一图像感测组件以复检该基板上的该缺陷。

11.如权利要求10所述的检测方法，其特征在于，当该光感测组件组位于该预设位置时，该光感测组件组与该复检模块之间的距离约等于该基板的平行该第一方向的一第二侧边的长度。

12.如权利要求11所述的检测方法，其特征在于，该预设位置与该适当位置之间的距离等于该第二侧边的长度减去该缺陷与该第一侧边之间的最短距离。

13.如权利要求10所述的检测方法，其特征在于，使该移动平台根据该光感测组件组的感测结果减速停止的方法包括：

当该光感测组件组的该些光感测组件的其中之一感测到该基板的该第一侧边时，该移动平台减速；以及

当该光感测组件组的该些光感测组件的其中另一感测到该基板的该第一侧边时，该移动平台停止。

14.如权利要求13所述的检测方法，其特征在于，该些光感测组件包括一第一光感测组件与一第二光感测组件，该第一光感测组件位于该第二光感测组件与该复检模块之间，当该定位模块位于该预设位置或该适当位置时，该移动平台在该第一光感测组件感测到该基板的该第一侧边时减速，且该移动平台在该第二光感测组件感测到该基板的该第一侧边时停止。

15.如权利要求13所述的检测方法，其特征在于，该些光感测组件包括依序排列的一第一光感测组件、一第二光感测组件、一第三光感测组件以及一第四光感测组件，该第一光感测组件位于该第二光感测组件与该复检模块之间，当该定位模块位于该预设位置时，该移动平台在该第三光感测组件感测到该基板的该第一侧边时减速，且该移动平台在该第四光感测组件感测到该基板的该第一侧边时停止，当该定位模块位于该适当位置时，该移动平台在该第一光感测组件感测到该基板的该第一侧边时减速，且该移动平台在该第二光感测组件感测到该基板的该第一侧边时停止。

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