CN101436527B

CN101436527B - 部件供给装置

Info

Publication number: CN101436527B
Application number: CN2008101770249A
Authority: CN
Inventors: 岩濑温资
Original assignee: Juki Corp
Current assignee: Juki Corp
Priority date: 2007-11-12
Filing date: 2008-11-12
Publication date: 2012-08-29
Anticipated expiration: 2028-11-12
Also published as: JP2009123756A; JP5174432B2; CN101436527A

Abstract

本发明提供一种部件供给装置，其不会使装置长时间地停止，而变更用于推顶贴合于粘合片上的管芯的推针。将贴合于粘合片上的切割晶圆W定位于规定位置上，使安装于推顶头(40)上的推针(50)从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯D剥离，同时利用吸附头(30)从上方吸附保持该管芯后，向表面安装装置侧供给，在该部件供给装置中，前述推顶头(40)是可以利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针(50)。

Description

部件供给装置

技术领域

本发明涉及一种部件供给装置，其具有用于使贴合于粘合片上的管芯剥离的推针。

背景技术

作为将对形成电路的硅晶圆切割而形成的管芯(电子部件)向表面安装装置供给的部件供给装置，已知下述装置，其利用吸附头，从处于被定位于规定位置上且贴合在粘合片上的状态的切割晶圆，吸附保持管芯并依次供给。

在这种部件供给装置中，例如，如专利文献1所记载，由于管芯贴合于粘合片上，仅通过由吸附头从上方吸附不能进行保持，因此，通过使安装于推顶头上的推针同时从粘合片的下方向上方推顶该管芯，可以使目标管芯剥离，从而可靠地进行吸附保持。并且，在上述专利文献1中，设置下述的推顶头，其为了防备推针的折断等而在多个位置上安装规定数量的推针，通过使位置变化而选择要利用的推针。

另一方面，安装于推顶头上的推针，根据所处理的管芯大小而其数量不同，一般地，准备有安装1根推针的小尺寸用的，及安装4根推针的大尺寸用的等多种。并且，在供给的管芯尺寸改变的情况下，必须从当前使用的推针配置(推针类型)变更为其他的推针配置。

专利文献1：特开平7—74188号公报

发明内容

但是，在现有的部件供给装置中，由于推针机械地安装在推顶头上，因此在变更推针类型的情况下，在将推针从该推顶头卸下，更换为其他的推针后，必须进行推针的高度调整及对正调整，从而在每次更换推针时，都必须使装置长时间地停止，因此存在不可避免地使生产效率下降的问题。

特别地，在准备形成有大小尺寸不同的管芯的多个切割晶圆，例如在同一个基板上交互地混合搭载尺寸不同的管芯的情况下，除了准备安装不同的推针的2台装置的情况之外，必须将运转动作分为2次，在中途更换推针，因此存在生产性显著下降的问题。

并且，这些推针类型的变更，即使在上述专利文献1所记载的结构中，也同样必须进行，此外，在专利文献1所记载的装置中，由于是使推顶头以垂直轴为中心在水平方向上旋转的结构，因此必须设置较大的空间以进行旋转，从而存在很难适用于小型装置的问题。

本发明就是为了解决前述现有的问题点而提出的，其目的在于，不会使装置长时间地停止，而可以变更为不同类型的推针，同时可以适用于小型的装置。

本发明提供一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规定位置处，安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯，之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，前述推顶头是可以利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针。

本发明还提供一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规定位置处，安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯，之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，前述推顶头是可以利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针，该部件供给装置具有控制单元，其根据从控制表面安装装置的生产程序读出的管芯尺寸，按照预先设定的旋转角度数据，利用前述旋转驱动单元使推顶头旋转，从而使对应的推针与推顶方向一致。

在本发明中，前述推顶头，可以利用XY驱动单元在水平方向上移动。

发明的效果

根据本发明，由于在由以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体构成的推顶头的周围，安装不同类型的推针，因此仅利用旋转驱动单元，将该推顶头旋转至目标推针与推顶方向一致的角度，就可以变更为任意推针，从而不会使装置长时间地停止，可以供给尺寸不同的管芯。

附图说明

图1是表示本发明涉及的一个实施方式的部件供给装置与使用该装置的表面安装装置的关系的概要的俯视图。

图2是将本实施方式的部件供给装置的要部放大而表示的斜视图。

图3是表示适用于本实施方式的推顶头和所安装的推针的关系的放大斜视图。

图4是说明安装在适用本实施方式的推顶头上的推针的自动识别的说明图。

图5是示出表示推针类型和与其特征相对应的旋转角度的例子的数据表的说明图。

图6是表示本实施方式的作用的流程图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。

图1是表示本发明涉及的一个实施方式的部件供给装置、和使用该部件供给装置的表面安装装置的关系的概要的俯视图。

本实施方式的部件供给装置10，利用后面详述的动作，将管芯向表面安装装置12供给。

该表面安装装置12具有：搭载头14，其将供给的管芯吸附保持后，搭载至被定位的基板(未图示)上；X轴16，其使该搭载头14在X方向(图中左右方向)上移动；左右的Y轴18，其使该X轴16和搭载头14一体地在Y方向上移动；基板识别装置20，其设置于该搭载头14上，识别基板标记等；部件识别装置22，其高精度地识别利用搭载头14吸附保持的管芯；以及输送部24，其输送基板并进行定位。

本实施方式的部件供给装置10具有：吸附头30，其从上方吸附多个管芯D，该管芯D构成贴合于粘合片上的切割晶圆W，被切割为格子状；第1X轴32，其使该吸附头30在X方向上移动；管芯识别装置34，其用于在吸附之前，通过图像识别对要吸附的管芯进行定位；第2X轴36，其使该管芯识别装置34在X方向上移动；左右Y轴38，其使这两个X轴32、36分别在Y方向上独立地移动；推顶头40，其安装有推针，该推针在利用吸附头30吸附管芯D时，从下侧(粘合片的背侧)推顶该管芯D而使其剥离；以及供给部42，其为了将由吸附头30吸附保持的管芯D送出至表面安装装置12的搭载头部14上而进行置载。

在本实施方式中，如在图2中将要部抽出所示，利用前述第1X轴32和Y轴38，使吸附头30移动至切割晶圆W的上方，从而可以定位于目标管芯D的上方。

另外，在切割晶圆W的下方，前述推顶头40可以利用由相同结构构成的X轴44和Y轴46，定位于目标管芯D的下方。

这样，在将各头部30、40分别定位于同一个管芯D的上方和下方之后，吸附头30使吸附嘴下降而吸附该管芯D，同时推顶头40将经由支架48安装的推针50推出，使该管芯D剥离，对从上方的吸附保持进行辅助。

在本实施方式中，如在图3中将利用X轴44和Y轴46可在XY方向上进行移动的推顶头40抽出而示意地表示所示，该推顶头40作为正方体形状的旋转体而形成，其可以利用与X轴固定连结的电动机(旋转驱动单元)52，以水平方向的旋转轴(未明示)为中心旋转，成为可以在该正方体周围的4个面上，将不同类型的推针50，在与旋转轴正交的方向上经由支架48安装的结构。为了便于说明，在这里示出3根支架48，仅对于其中的2根明示出安装有1根和2根推针50这2种类型，其他省略。

因此，在将推顶头40定位于管芯吸附位置的下方后，通过利用图示的电动机52向箭头方向旋转90°，可以将安装于该推顶头40上的推针50从图3的(A)变更为(B)，通过与管芯尺寸匹配的类型的推针从下方推顶，从而可以对吸附头30的吸附保持进行辅助。

另外，在本实施方式中，可以通过例如螺钉紧固，手动更换支撑安装于推顶头40上的推针50的支架，使所使用的推针的类型具有扩展性。

另外，如在图4(A)中将支架前端部分放大所示，在前端面标注不同形状的识别标记，如该图(B)所示，通过利用前述管芯识别装置34识别标注在支架48上的标记，可以自动地识别哪个类型的推针50安装在推顶头40的哪个旋转位置上。这样，还可以容易地识别例如根数相同而粗细不同的推针类型。

此外，如在图5中表示推针的图示及数据表所示，将与管芯尺寸配合而使用的推针类型的种类，作成与推顶头的旋转角度相对应的数据表，存储在未图示的控制部(单元)中。

这样，与从生产程序中读出而之后进行供给的管芯尺寸配合，即使在运转中，也可以利用控制部使推顶头40自动地从0°分别旋转90°、180°、270°，从而可以将对应类型的推针切换为与推顶方向(上方)一致。

下面，根据图6所示的流程图对本实施方式的作用进行说明。

此外，在该流程图中，“晶圆”是指切割晶圆、“管芯推顶头类型”是指安装于推顶头40上的推针的类型(种类)、“晶圆管芯”是指管芯。

首先，如果使用转换器(未图示)从保管部中将其他的晶圆拉出，或更换为新的晶圆，从而管芯被变更(步骤1)，则根据该流程图，利用控制部60，判断当前的管芯推顶头类型是否与从生产程序输入的作为控制数据而设定的管芯推顶头类型一致(步骤2)，在不一致(否)的情况下，参照前述图5中的表，利用电动机52使推顶头40旋转，自动变更为目标管芯推顶头类型(步骤3)。

然后，利用管芯识别装置34识别用于吸附晶圆中的目标管芯的吸附位置(步骤4)，使推顶头40和吸附头30向识别出的晶圆(管芯)吸附位置移动(步骤5)，利用吸附头30吸附管芯，同时利用推顶头40将该管芯从下方推上去而使其剥离(步骤6)，在利用吸附头30从上方吸附保持后，使该管芯向供给部42移动，并进行置载(步骤7)。重复以上的动作直至目标管芯的供给完成，完成后使晶圆返回而结束(步骤8、9)。

根据以上详述的本实施方式，可以获得以下的效果。

(1)由于仅通过使推顶头40旋转就可以更换推针，因此在推针更换时不必使装置停止。

(2)由于可以使推针自动更换，因此在使装置连续运转的状态下，可以供给较宽的尺寸范围的管芯。

(3)由于将推顶头40本身作为旋转体，因此可以小型轻量化，从而可以利用作为XY驱动单元的X轴44、Y轴46使推顶头40迅速地移动，从而正确地定位。

Claims

1.一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规定位置处，将安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯，之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，

前述推顶头是利用旋转驱动单元以水平方向的旋转轴为中心进行旋转的旋转体，

在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针。

2.一种部件供给装置，其将贴合于粘合片上的切割晶圆定位于规定位置处，将安装于推顶头上的推针从粘合片的下方推顶，从而使构成该切割晶圆的管芯剥离，同时利用吸附头从上方吸附保持该管芯，之后向表面安装装置侧供给，其特征在于，

在该旋转体的周围，以规定的旋转角度间隔，朝向与旋转轴正交的方向安装不同类型的推针，

该部件供给装置具有控制单元，其根据从控制表面安装装置的生产程序读出的管芯尺寸，按照预先设定的旋转角度数据，利用前述旋转驱动单元使推顶头旋转，从而使对应的推针与推顶方向一致。

3.根据权利要求1或2所述的部件供给装置，其特征在于，

前述推顶头，利用XY驱动单元在水平方向上移动。