CN101431113A - 背部钝化的高效太阳电池结构及其生产工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及晶体硅太阳能电池的生产技术领域,特别是一种背部钝化的高效太阳电池生产结构及其生产工艺。用于制作太阳电池的硅片经过制绒清洗、扩散工艺、刻蚀工艺,去PSG,制作减反色膜,丝网印刷、然后烧结的工艺后成为太阳电池,在制作减反色膜后,在硅片的背部制作背部钝化层,在完成背部钝化层以后在进行丝网印刷,然后在烧结,成为太阳电池。通过增加的背部钝化层,可以显著提高太阳电池的光电转换效率。
Description
技术领域
本发明涉及太阳电池的生产技术领域,特别是一种背部钝化的高效太阳电池结构及其生产工艺。
背景技术
晶体硅太阳电池占据了光伏市场的90%以上的份额,如何进一步提高效率,降低成本是国内外晶体硅太阳电池研究领域的基本目标。
发明内容
本发明的目的是要提高晶体硅太阳电池的效率,适用于产业化生产。
本发明采用的技术方案是:一种背部钝化的高效太阳电池结构,包括太阳电池片、太阳电池片背部的钝化层,在钝化层的表面制作背电极。
一种背部钝化的高效太阳电池生产工艺,工艺步骤为,首先用于制作太阳电池的硅片经过制绒清洗、扩散工艺、刻蚀工艺,去PSG,制作减反色膜,丝网印刷、然后烧结的工艺后成为太阳电池,在制作减反色膜后,在硅片的背部制作背部钝化层,在完成背部钝化层以后在进行丝网印刷,然后在烧结,成为太阳电池。
背部钝化层为二氧化硅氧化层或者是氮化硅钝化层。
本发明的有益效果是:通过增加的背部钝化层,可以显著提高太阳电池的光电转换效率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构示意图。
图中:1.太阳电池片,2.钝化层,3.背电极。
具体实施方式
在图1中的是背部钝化的高效太阳电池结构,包括太阳电池片1、太阳电池片1背部的钝化层2,在钝化层2的表面制作背电极3。二氧化硅氧化层或者是氮化硅钝化层。
一种背部钝化的高效太阳电池生产工艺,工艺步骤为,首先用于制作太阳电池的硅片经过制绒清洗、扩散工艺、刻蚀工艺,去PSG,制作减反色膜,丝网印刷、然后烧结的工艺后成为太阳电池,在制作减反色膜后,在硅片的背部制作背部钝化层1,在完成背部钝化层1以后在进行丝网印刷,然后在烧结,成为太阳电池。背部钝化层1为二氧化硅氧化层或者是氮化硅钝化层。
Claims (4)
1、一种背部钝化的高效太阳电池结构,其特征是:包括太阳电池片(1)、太阳电池片(1)背部的钝化层(2),在钝化层(2)的表面制作背电极(3)。
2、根据权利要求1所述的背部钝化的高效太阳电池结构,其特征是:背部钝化层(1)为二氧化硅氧化层或者是氮化硅钝化层。
3、一种背部钝化的高效太阳电池生产工艺,用于制作太阳电池的硅片经过制绒清洗、扩散工艺、刻蚀工艺,去PSG,制作减反色膜,丝网印刷、然后烧结的工艺后成为太阳电池,其特征是:在所述的制作减反色膜后,在硅片的背部制作背部钝化层(1),在完成背部钝化层(1)以后在进行丝网印刷,然后在烧结,成为太阳电池。
4、根据权利要求3所述的背部钝化的高效太阳电池生产工艺,其特征是:所述背部钝化层(1)为二氧化硅氧化层或者是氮化硅钝化层。
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