CN204102912U - 一种石墨烯硅太阳电池 - Google Patents
一种石墨烯硅太阳电池 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204102912U CN204102912U CN201420395094.2U CN201420395094U CN204102912U CN 204102912 U CN204102912 U CN 204102912U CN 201420395094 U CN201420395094 U CN 201420395094U CN 204102912 U CN204102912 U CN 204102912U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- graphene
- solar cell
- silicon
- silicon solar
- metal electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 56
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 56
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 56
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 46
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 46
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000002002 slurry Substances 0.000 abstract description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 5
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 235000008216 herbs Nutrition 0.000 description 4
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 230000009647 facial growth Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- -1 phosphonium ion Chemical class 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种石墨烯硅太阳电池。该石墨烯硅太阳电池,由上而下依次包括以下结构:正面金属电极、氮化硅薄膜、石墨烯薄膜、N型硅薄层、P型硅基体和背面金属电极构成。该太阳电池可以大幅降低太阳电池的串联电阻,提高电池收集电流的能力,从而提高电池的转换效率。另外,因为石墨烯的导电能力很强,可以降低银浆的使用量,达到降低成本的作用。
Description
技术领域
本实用新型属于硅太阳电池技术领域,具体为一种石墨烯硅太阳电池。
背景技术
随着传统燃煤发电对环境的污染,以及核电的安全问题等原因,近年来太阳能光伏行业作为一种新型绿色能源越来越受到人们的重视,尤其是晶体硅电池,因为其较高的光电转换效率以及稳定的性能,其市场份额占到90%左右。然而与常规发电相比,太阳能电池成本比较高,导致其不能大规模应用。影响太阳能发电的因素一个是制作成本高,另一个因素是转换效率较低。
石墨烯的问世受到越来越多的关注,很多独特的性能正在被逐步发现并应用到很多领域。其高透光性和优异的导电性能,使石墨烯成为太阳能电池的材料提供了很好的基础。
当前常规晶硅太阳能电池片的制造工艺一般有如下几个步骤:化学清洗及表面织构化处理、扩散制结、边缘刻蚀和去磷硅玻璃、沉积减反射膜、印刷电极、烧结。太阳能电池片在将光能转换成电能的过程中,其内部产生的光生载流子需要通过外部印刷的电极收集并引出,然后与外部电路连接,从而将电流输送出来。
由于目前为了降低串联电阻,提高电流收集能力,因此现有技术的栅线遮光率达到了6%以上,降低了太阳能电池片的利用效率。除此之外,印刷电极时需要贵重金属作为导电浆料,主栅线和副栅线覆盖在硅片上的面积较大也必然使得导电浆料的使用增加。
发明内容
本实用新型的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种石墨烯硅太阳电池。该太阳电池可以大幅降低太阳电池的串联电阻,提高电池收集电流的能力,从而提高电池的转换效率。另外,因为石墨烯的导电能力很强,可以降低银浆的使用量,达到降低成本的作用。
本实用新型的一种石墨烯硅太阳电池技术方案为,一种石墨烯硅太阳电池,由上而下依次包括以下结构:正面金属电极、氮化硅薄膜、石墨烯薄膜、N型硅薄层、P型硅基体和背面金属电极构成。
正面金属电极穿透氮化硅薄膜和石墨烯薄膜与N型硅薄层接触。
正面金属电极为Ag电极。
氮化硅薄膜厚度为80-90nm。
石墨烯薄膜厚度为1-10nm。
N型硅薄层扩散方阻为80-90欧姆,结深0.2-0.5μm。
一种石墨烯硅太阳电池的制作方法,包括以下步骤:
(1)将P型基体单晶或多晶硅片放在化学溶液中将表面腐蚀成绒面结构;
(2)通过将磷原子高温扩散或者磷离子注入法完成正面磷掺杂,形成N型硅薄层;
(3)通过化学溶液或等离子法对硅片进行刻蚀去边并清洗;
(4)在N型硅薄层上制备生成石墨烯薄层;
(5)通过PECVD法镀上氮化硅薄层;
(6)印刷正面与背面电极。
步骤(4)所述的石墨烯薄层通过化学气相沉积法、碳化硅表面外延法、氧化减薄法、粘胶带法或硅表面生长法来实现。
步骤(4)所述的石墨烯薄层为一层以上石墨烯。
本实用新型的有益效果为:
1. 石墨烯层上覆盖氮化硅薄膜层可以实现减反射和钝化效果,并保护石墨烯层不受污染与物理破坏;
2. 石墨烯可以作为导电材料提高电池电流,从而提高转换效率;
3. 减少贵金属银电极的遮盖面积,降低电池成本。
附图说明:
图1所示为本实用新型的基本结构示意图。
图中,1.正面金属电极、2.氮化硅薄膜、3.石墨烯薄膜、4.N型硅薄层、5.P型硅基体、6.背面金属电极。
具体实施方式:
为了更好地理解本实用新型,下面用具体实例来详细说明本实用新型的技术方案,但是本实用新型并不局限于此。
实施例1
如说明书附图图1所示,本实用新型一种石墨烯硅太阳电池由上而下依次包括以下结构:正面金属电极1、氮化硅薄膜2、石墨烯薄膜3、N型硅薄层4、P型硅基体5和背面金属电极6构成。
所述的一种石墨烯硅太阳电池的制作方法如下:
1)将p型多晶硅片浸入HF:HNO3=2:1的混合液中进行制绒处理,在P型硅基体5表面形成绒面;
2)把制绒后的硅片放入扩散炉进行磷扩散形成N型硅薄层4,扩散温度890℃,扩散方阻在80-90欧姆,结深约0.2-0.5μm;
3)采用HF+HNO3一定比例混合液对扩散后硅片进行刻边处理,然后使用HF酸进行清洗及去除氧化层;
4)使用化学气相沉积法在N型硅薄层4上制作5nm石墨烯薄层3,然后再使用PECVD法镀上氮化硅薄膜2,厚度大约80-90nm。
5)将镀膜后的硅片背面印刷Ag电极及Al背场浆料并烘干,在n型掺杂的正面印刷Ag浆料,然后通过带式烧结炉烧结,烧结温度为930-960℃,完成石墨烯电池的制作。
按照上述实验的结果:采用多晶硅片制作的电池效率提升0.1%,同时银浆的消耗量降低8%。
实施例2
如说明书附图图1所示,本实用新型一种石墨烯硅太阳电池由上而下依次包括以下结构:正面金属电极1、氮化硅薄膜2、石墨烯薄膜3、N型硅薄层4、P型硅基体5和背面金属电极6构成。
所述的一种石墨烯硅太阳电池的制作方法如下:
1)将p型多晶硅片浸入HF:HNO3=2:1的混合液中进行制绒处理,在P型硅基体5表面形成绒面;
2)把制绒后的硅片放入扩散炉进行磷扩散形成N型硅薄层4,扩散温度890℃,扩散方阻在80-90欧姆,结深约0.2-0.5μm;
3)采用HF+HNO3一定比例混合液对扩散后硅片进行刻边处理,然后使用HF酸进行清洗及去除氧化层;
4)使用化学气相沉积法在N型硅薄层4上制作8nm石墨烯薄层3,然后再使用PECVD法镀上氮化硅薄膜2,厚度大约80-90nm。
5)将镀膜后的硅片背面印刷Ag电极及Al背场浆料并烘干,在n型掺杂的正面印刷Ag浆料,然后通过带式烧结炉烧结,烧结温度为930-960℃,完成石墨烯电池的制作。
按照上述实验的结果:采用多晶硅片制作的电池效率提升0.08%,同时银浆的消耗量降低10%。
Claims (7)
1.一种石墨烯硅太阳电池,其特征在于,由上而下依次包括以下结构:正面金属电极、氮化硅薄膜、石墨烯薄膜、N型硅薄层、P型硅基体和背面金属电极构成。
2. 根据权利要求1所述的一种石墨烯硅太阳电池,其特征在于,正面金属电极穿透氮化硅薄膜和石墨烯薄膜与N型硅薄层接触。
3. 根据权利要求2所述的一种石墨烯硅太阳电池,其特征在于,正面金属电极为Ag电极。
4. 根据权利要求2所述的一种石墨烯硅太阳电池,其特征在于,氮化硅薄膜厚度为80-90nm。
5. 根据权利要求4所述的一种石墨烯硅太阳电池,其特征在于,石墨烯薄膜为一层以上。
6. 根据权利要求5所述的一种石墨烯硅太阳电池,其特征在于,石墨烯薄膜厚度为1-10nm。
7. 根据权利要求6所述的一种石墨烯硅太阳电池,其特征在于,N型硅薄层扩散方阻为80-100欧姆,结深0.2-0.5μm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420395094.2U CN204102912U (zh) | 2014-07-17 | 2014-07-17 | 一种石墨烯硅太阳电池 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420395094.2U CN204102912U (zh) | 2014-07-17 | 2014-07-17 | 一种石墨烯硅太阳电池 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN204102912U true CN204102912U (zh) | 2015-01-14 |
Family
ID=52271318
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201420395094.2U Expired - Fee Related CN204102912U (zh) | 2014-07-17 | 2014-07-17 | 一种石墨烯硅太阳电池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN204102912U (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106170080A (zh) * | 2016-08-22 | 2016-11-30 | 成都丝迈尔科技有限公司 | 一种可播放数字电视的太阳能投影仪 |
CN106449790A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-02-22 | 中国科学院微电子研究所 | 一种石墨烯/砷化镓太阳电池 |
CN106784068A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 中国科学院微电子研究所 | 一种石墨烯/砷化镓太阳电池 |
-
2014
- 2014-07-17 CN CN201420395094.2U patent/CN204102912U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106170080A (zh) * | 2016-08-22 | 2016-11-30 | 成都丝迈尔科技有限公司 | 一种可播放数字电视的太阳能投影仪 |
CN106449790A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-02-22 | 中国科学院微电子研究所 | 一种石墨烯/砷化镓太阳电池 |
CN106784068A (zh) * | 2016-12-09 | 2017-05-31 | 中国科学院微电子研究所 | 一种石墨烯/砷化镓太阳电池 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103346211A (zh) | 一种背接触太阳能电池及其制作方法 | |
CN102969399B (zh) | Mwt太阳能电池及其制作方法 | |
CN104269457B (zh) | 一种基于离子注入工艺的n型ibc硅太阳能电池制作方法 | |
CN109285897A (zh) | 一种高效钝化接触晶体硅太阳电池及其制备方法 | |
CN104934500A (zh) | 一种选择性发射极的背钝化晶体硅太阳能电池的制备方法 | |
CN109473492A (zh) | 适合规模化量产的mwt异质结硅太阳电池及其制备方法 | |
CN205657066U (zh) | 一种背面钝化接触电池电极结构 | |
CN102820343A (zh) | 具有无发射极区的太阳能电池及其制备方法 | |
CN108172658A (zh) | 一种n型异质结双面太阳能电池的制备方法 | |
CN110660883A (zh) | 一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池 | |
WO2020211207A1 (zh) | 一种双面太阳能电池及其制备方法 | |
CN204102912U (zh) | 一种石墨烯硅太阳电池 | |
CN104134706A (zh) | 一种石墨烯硅太阳电池及其制作方法 | |
CN205564764U (zh) | 一种背面钝化接触电池结构 | |
CN206040655U (zh) | 一种多主栅太阳能电池和组件及系统 | |
CN205564766U (zh) | 一种具有二维电极结构的 p 型晶体硅太阳能电池 | |
CN109755330B (zh) | 用于钝化接触结构的预扩散片及其制备方法和应用 | |
CN112071947A (zh) | 一种p型叉指背接触太阳电池制备方法 | |
CN203312314U (zh) | 一种全覆盖铝背发射结的n型晶硅太阳电池 | |
CN202076297U (zh) | 基于p型硅片的背接触式hit太阳能电池结构 | |
CN209056506U (zh) | 适合规模化量产的mwt异质结硅太阳电池 | |
CN209199966U (zh) | 一种低成本p型全背电极晶硅太阳电池 | |
CN107275418A (zh) | 单面polo电池及其制备方法 | |
CN103943693B (zh) | 一种p型硅衬底背面接触式太阳电池结构的制备方法 | |
CN103035771B (zh) | N型mwt太阳能电池结构及其制造工艺 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150114 Termination date: 20210717 |