CN101358331B - 一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 - Google Patents
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101358331B CN101358331B CN2008100134369A CN200810013436A CN101358331B CN 101358331 B CN101358331 B CN 101358331B CN 2008100134369 A CN2008100134369 A CN 2008100134369A CN 200810013436 A CN200810013436 A CN 200810013436A CN 101358331 B CN101358331 B CN 101358331B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- weight percent
- cobalt
- copper
- yttrium
- indium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010939 rose gold Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 229910001112 rose gold Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 30
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000013077 target material Substances 0.000 title claims description 22
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 45
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims abstract description 34
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims abstract description 33
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 24
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000010008 shearing Methods 0.000 claims abstract description 15
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 238000007670 refining Methods 0.000 claims description 28
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 23
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 14
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 14
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 abstract 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 abstract 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 2
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000006040 Prunus persica var persica Nutrition 0.000 description 1
- 240000006413 Prunus persica var. persica Species 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Abstract
一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法，其特征在于：玫瑰金靶材的成分按重量百分比为：含金65～78wt％，铜16～33wt％，钇0.01～4wt％，锌1～7wt％，钴0.001～1.2wt％，锑0.001～0.2wt％，铟0.02～5wt％。制备方法为将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中，在1400～1450℃的条件下精炼3min，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料；将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，在1200～1300℃的条件下精炼5min；获得玫瑰金靶材采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定，可达到极佳的装饰效果。
Description
技术领域
本发明属于冶金技术领域，特别涉及一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法。
背景技术
玫瑰金的色泽是粉红色的，其艳丽的色彩和迷人柔和的色调一直深受人们的青睐。然而传统的玫瑰金工艺都是以水电镀的工艺来实现的，这种工艺容易实现色彩，但是非常容易氧化且表面耐磨性很差，且容易造成环境污染。随着现代真空磁控溅射技术的发展，如何能够在真空炉内溅射出玫瑰金色度，并达到抗氧化、抗硫化、硬度高、耐磨性好的目的。是人们长期期望实现的愿望。
发明内容
针对现有技术问题，本发明提供一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法。
本发明的磁控溅射玫瑰金靶材的成分为：含金(Au)65～78wt％，铜(Cu)16～33wt％，钇(Y)0.01～4wt％，锌(Zn)1～7wt％，钴(Co)0.001～1.2wt％，锑(Sb)0.001～0.2wt％，铟(In)0.02～5wt％。
本发明的磁控溅射玫瑰金靶材的的制备方法为：
1、中间合金材料的制备：
将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1400～1450℃的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其中各金属加入量为铜46.7～94.5wt％，钇0.03～12.5wt％，锌2.764～22wt％，钴0.003～4.5wt％，锑0.003～0.91wt％，铟2.7～20wt％。
2、玫瑰金靶材的制备：
将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中占65～78wt％，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200～1300℃的条件下精炼5min；精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得玫瑰金靶材。其中圆柱形靶材需拉伸后镶嵌入铜靶基。
本发明磁控溅射玫瑰金靶材主要应用于真空磁控溅射镀膜手表、手机、首饰及装饰产品领域。采用本发明的玫瑰金靶材应用于磁控溅射镀膜技术中，可以获得色泽鲜艳的玫瑰金镀膜，镀膜色泽均匀、表面硬度高、耐磨性好、抗氧化性能好，采用本发明的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定，可达到极佳的装饰效果。
具体实施方式
本发明采用的金、铜、钇、锌、钴、锑和铟纯度均大于99.9％。
实施例1
将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1400～1450℃的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其中各金属加入量为铜94.5wt％，钇0.03wt％，锌2.764wt％，钴0.003wt％，锑0.003wt％，铟2.7wt％。
将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中占65wt％，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200～1300℃的条件下精炼5min；精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金65wt％，铜33wt％，钇0.01wt％，锌1wt％，钴0.001wt％，锑0.001wt％，铟0.988wt％。
玫瑰金色度指标通过了辽宁省计量科学研究院检测，测量条件为：D65光源、10°视角场、0/t。测量结果为：反射率(％)：Y＝61.79；色度坐标直：x＝0.3608，y＝0.3527。
实施例2
将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1400～1450℃的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其中各金属加入量为铜72.8wt％，钇4.5wt％，锌9.1wt％，钴4.5wt％，锑0.91wt％，铟8.19wt％。
将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中占78wt％，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200～1300℃的条件下精炼5min；精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金78wt％，铜16wt％，钇1wt％，锌2wt％，钴1wt％，锑0.2wt％，铟1.8wt％。
实施例3
将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1400～1450℃的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其中各金属加入量为铜46.7wt％，钇12.5wt％，锌22wt％，钴3.8wt％，锑0.3wt％，铟14.7wt％。
将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中占68wt％，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200～1300℃的条件下精炼5min；精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金68wt％，铜15wt％，钇4wt％，锌7wt％，钴1.2wt％，锑0.1wt％，铟4.7wt％。
实施例4
将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1400～1450℃的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其中各金属加入量为铜69wt％，钇10.3wt％，锌17.25wt％，钴2.69wt％，锑0.69wt％，铟0.07wt％。
将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中占71wt％，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200～1300℃的条件下精炼5min；精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金71wt％，铜20wt％，钇3wt％，锌5wt％，钴0.78wt％，锑0.2wt％，铟0.02wt％。
实施例5
将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1400～1450℃的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其中各金属加入量为铜56wt％，钇8wt％，锌12wt％，钴3.8wt％，锑0.2wt％，铟20wt％。
将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中占75wt％，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200～1300℃的条件下精炼5min；精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金75wt％，铜14wt％，钇2wt％，锌3wt％，钴0.95wt％，锑0.05wt％，铟5wt％。
Claims (3)
1.一种磁控溅射玫瑰金靶材，其特征在于：磁控溅射玫瑰金靶材的按成分重量百分比为：含金65～78wt％，铜16～33wt％，钇0.01～4wt％，锌1～7wt％，钴0.001～1.2wt％，锑0.001～0.2wt％，铟0.02～5wt％。
2.权利要求1所述的磁控溅射玫瑰金靶材的制备方法：其特征在于按如下步骤进行：(1)将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1400～1450℃的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料；其中各金属加入量为铜46.7～94.5wt％，钇0.03～12.5wt％，锌2.764～22wt％，钴0.003～4.5wt％，锑0.003～0.91wt％，铟2.7～20wt％；(2)将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中占65～78wt％，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200～1300℃的条件下精炼5min；精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得玫瑰金靶材。
3.根据权利要求2所述的磁控溅射玫瑰金靶材的制备方法，其特征在于所采用的金、铜、钇、锌、钴、锑和铟纯度均大于99.9％。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2008100134369A CN101358331B (zh) | 2008-09-27 | 2008-09-27 | 一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2008100134369A CN101358331B (zh) | 2008-09-27 | 2008-09-27 | 一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101358331A CN101358331A (zh) | 2009-02-04 |
| CN101358331B true CN101358331B (zh) | 2010-06-16 |
Family
ID=40330928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2008100134369A Active CN101358331B (zh) | 2008-09-27 | 2008-09-27 | 一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101358331B (zh) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5327018B2 (ja) * | 2009-11-25 | 2013-10-30 | セイコーエプソン株式会社 | 装飾品の製造方法、装飾品および時計 |
| CN101949005B (zh) * | 2010-09-29 | 2012-02-22 | 沈阳东创贵金属材料有限公司 | 一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法 |
| CN102703751B (zh) * | 2012-04-20 | 2013-08-21 | 沈阳东创贵金属材料有限公司 | 用于真空磁控溅射的低含金量玫瑰金靶材及其制备方法 |
| CN103938174B (zh) * | 2014-05-14 | 2016-04-13 | 沈阳东创贵金属材料有限公司 | 一种用于真空磁控溅射粉红色金靶材及其制备方法 |
| CN104032273A (zh) * | 2014-06-09 | 2014-09-10 | 励福实业（江门）贵金属有限公司 | 抗变色玫瑰金靶材及其制备方法 |
| CN105313398A (zh) * | 2014-07-30 | 2016-02-10 | 深圳市森泰金属技术有限公司 | 一种玫瑰金镀层及其制备方法 |
| CN111188010B (zh) * | 2020-01-22 | 2021-10-29 | 沈阳东创贵金属材料有限公司 | 一种用于真空磁控溅射的金铜合金靶材及其制备方法 |
| CN111394703A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-07-10 | 森泰纳米科技(深圳)有限公司 | 真空镀超级纳米功能梯度玫瑰金装饰复合层及制备方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2108152A (en) * | 1981-10-27 | 1983-05-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Gold alloy for sputtering targets |
| US5340529A (en) * | 1993-07-01 | 1994-08-23 | Dewitt Troy C | Gold jewelry alloy |
| CN1267742A (zh) * | 2000-04-21 | 2000-09-27 | 李旭 | 不变色银合金及其制备方法 |
| US20060251539A1 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-09 | Agarwal Dwarika P | Rose-colored gold alloy compositions with reversible hardness characteristics |
-
2008
- 2008-09-27 CN CN2008100134369A patent/CN101358331B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2108152A (en) * | 1981-10-27 | 1983-05-11 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Gold alloy for sputtering targets |
| US5340529A (en) * | 1993-07-01 | 1994-08-23 | Dewitt Troy C | Gold jewelry alloy |
| CN1267742A (zh) * | 2000-04-21 | 2000-09-27 | 李旭 | 不变色银合金及其制备方法 |
| US20060251539A1 (en) * | 2005-05-09 | 2006-11-09 | Agarwal Dwarika P | Rose-colored gold alloy compositions with reversible hardness characteristics |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 陈建军,杨庆山,贺丰收.溅射靶材的种类应用制备及发展趋势.湖南有色金属第22卷 第6期.2006,第22卷(第6期),第40页. |
| 陈建军,杨庆山,贺丰收.溅射靶材的种类应用制备及发展趋势.湖南有色金属第22卷 第6期.2006,第22卷(第6期),第40页. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101358331A (zh) | 2009-02-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101358331B (zh) | 一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法 | |
| CN102242292B (zh) | 高抗变色环保易切削白色铜合金及制备方法 | |
| CN103243232B (zh) | 一种高抗变色金色耐蚀铜合金及其板材制备方法 | |
| CN109881032B (zh) | 一种高抗变色金色铜合金及制备方法 | |
| CN106916991B (zh) | 一种紫色金靶材及其制备方法 | |
| CN107385266A (zh) | 高强度足金材料及其制备方法 | |
| CN110029247B (zh) | 一种高抗变色金色黄铜合金及制备方法 | |
| CN101949005B (zh) | 一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法 | |
| CN108754211A (zh) | 一种用于真空磁控溅射类纯金色金合金靶材及其制备方法 | |
| CN107164651B (zh) | 一种首饰用粉色银合金及其制备方法 | |
| CN107794397B (zh) | 一种柠檬黄色金靶材及其制备方法 | |
| CN104357703A (zh) | 一种玫瑰红18k金及其制备方法 | |
| CN108624777A (zh) | 一种具有饱和玫瑰色且耐腐蚀的廉价玫瑰铜合金 | |
| CN102899526B (zh) | 一种造币用金黄色铜合金材料及其制备方法 | |
| CN108796270A (zh) | 一种具有优异弹性性能的18k黄金用金合金 | |
| CN108796293A (zh) | 耐脆断耐磨损低成本具有玫瑰色的玫瑰铜合金 | |
| CN102703751B (zh) | 用于真空磁控溅射的低含金量玫瑰金靶材及其制备方法 | |
| CN110699586B (zh) | 一种硬质足银补口材料及其制备方法 | |
| CN111188010B (zh) | 一种用于真空磁控溅射的金铜合金靶材及其制备方法 | |
| CN113564412B (zh) | 一种易加工仿金铜合金及其制备方法 | |
| CN117248138A (zh) | 一种靶材用红色金合金及其应用 | |
| CN108796292A (zh) | 具有优异弹性模量的低成本耐腐蚀玫瑰铜合金 | |
| CN108796280A (zh) | 一种耐硫化氢腐蚀的首饰用蓝色18k金及其工艺 | |
| CN108866395A (zh) | 一种耐硫化氢腐蚀的首饰用蓝色10k金及其工艺 | |
| CN108842086A (zh) | 耐硫化氢腐蚀变色的首饰用黄色银合金及其加工工艺 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: SHENYANG DONGCHUANG PRECIOUS METALS MATERIAL CO., Free format text: FORMER NAME: NORTHEASTERN UNIVERSITY INSTITUTE OF GOLD TECHNOLOGY PRECIOUS METAL MATERIALS FACTORY |
|
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 110015 No. 89, Wenhua East Road, Shenhe District, Liaoning, Shenyang Patentee after: Shenyang Dongchuagn Precious Metal Material Co., Ltd. Address before: 110015, No. 89, Wenhua East Road, Dongling District, Liaoning, Shenyang Patentee before: Northeastern University Institute of Gold Technology Precious Metal Materials Factory |