CN101949005B

CN101949005B - 一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法

Info

Publication number: CN101949005B
Application number: CN2010102963176A
Authority: CN
Inventors: 刘革
Original assignee: SHENYANG DONGCHUAGN PRECIOUS METAL MATERIAL CO Ltd
Current assignee: SHENYANG DONGCHUAGN PRECIOUS METAL MATERIAL CO Ltd
Priority date: 2010-09-29
Filing date: 2010-09-29
Publication date: 2012-02-22
Anticipated expiration: 2030-09-29
Also published as: CN101949005A

Abstract

一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法，金靶材成份按质量百分比为： Y 0.1%～1.3%, Fe 1.2%～3%, Cr 0.5%～2.5%, In 0.5%～2%, Al 0.2%～1%，其余为Au。采用高频感应炉熔炼，先将铁和铬放入坩埚底部，再将金料加入坩埚内，开始熔炼，待合金熔化后搅拌均匀，然后依次加入铟、铝及钇，将炉温控制为1150～1250℃，精炼3～5分钟，将合金浇入预热的铸铁模中，冷凝后取出，自然冷却至室温，通过铣面、冷轧、矫直和剪切操作，获得香槟色金靶材。本发明的金靶材各项技术指标均满足国际标准，用于真空磁控溅射工艺，可以避免水电镀工艺带来的环境污染并保证膜层的色度稳定。

Description

一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法

技术领域

本发明属于冶金技术领域，涉及贵金属合金的加工技术，具体涉及香槟色金靶材及其制备方法。

背景技术

香槟金的色度相当于标准色度ISO 8654:1987的0.5N。其色彩清淡高雅，深受欧美市场的欢迎。由于颜色独特，以往生产工艺都是采用水电镀的工艺来调色，既污染环境，成本高又不耐磨。采用真空炉内磁控溅射香槟色金镀膜，在金中添加稀土元素及其它贱金属，使其色泽光亮淡雅、色度均衡，抗氧化性能好且显著提高其硬度及耐磨性。

发明内容

针对现有香槟色金靶材生产工艺存在的不足之处，本发明提供一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材及其制备方法。

本发明的用于真空磁控溅射的香槟色金靶材成份按质量百分比为：钇（Y）0.1%～1.3%, 铁(Fe)1.2%～3%, 铬（Cr）0.5%～2.5%, 铟（In）0.5%～2%, 铝（Al）0.2%～1%，其余为金（Au）。

本发明的用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的制备方法如下。

原料配比按质量百分比为：钇（Y）0.1%～1.3%, 铁(Fe)1.2%～3%, 铬（Cr）0.5%～2.5%, 铟（In）0.5%～2%, 铝（Al）0.2%～1%，其余为金（Au）。采用高频感应炉熔炼，先将铁和铬金属放入粘土坩埚底部，再将金料加入坩埚内，开始熔炼，待合金熔化后搅拌均匀。然后再依次加入低熔点金属铟、铝及稀土钇，将炉温控制为1150～1250℃，在该温度条件下精炼3～5分钟。精炼完成后将全部熔化的合金浇入预热为300～400℃的铸铁模中。冷凝后取出金合金锭，在空气气氛中自然冷却至室温。通过常规的铣面、冷轧、矫直和剪切操作，最终获得香槟色金靶材。圆柱形靶材需要将金合金拉伸成无缝管后镶嵌入铜靶基中。

本发明的香槟色金靶材主要应用于真空炉内镀膜手表、手机壳、首饰及装饰产品领域。采用本发明的香槟色金靶材应用于真空磁控溅射镀膜技术中，可以获得色泽鲜艳的香槟色金合金镀膜。膜层色泽光亮柔和，清淡高雅，膜层表面硬度高、耐磨性好且具有及佳的抗氧化性能，可以避免水电镀工艺带来的环境污染并保证膜层的色度稳定。本发明的香槟色金靶材产品的各项技术指标均满足国际标准，市场应用的效果极佳。

具体实施方式

实施例1

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的成份按质量百分比为：钇（Y）0.7%, 铁(Fe)2.1%, 铬（Cr）1.5%, 铟（In）1.3%, 铝（Al）0.6%，其余为金（Au）。

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的制备方法如下。

原料配比按质量百分比为：钇（Y）0.7%, 铁(Fe)2.1%, 铬（Cr）1.5%, 铟（In）1.3%, 铝（Al）0.6%，其余为金（Au）。采用高频感应炉熔炼，先将铁和铬金属放入粘土坩埚底部，再将金料加入坩埚内，开始熔炼，待合金熔化后搅拌均匀。然后再依次加入低熔点金属铟、铝及稀土钇，将炉温控制为1200℃，在该温度条件下精炼4分钟。精炼完成后将全部熔化的合金浇入预热为350℃的铸铁模中。冷凝后取出金合金锭，在空气气氛中自然冷却至室温。通过常规的铣面、冷轧、矫直和剪切等操作，最终获得香槟色金靶材。

实施例2

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的成份按质量百分比为：钇（Y）1.3%, 铁(Fe) 3%, 铬（Cr）0.5%, 铟（In）0.5%, 铝（Al）0.2%，其余为金（Au）。

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的制备方法如下。

原料配比按质量百分比为：钇（Y）1.3%, 铁(Fe) 3%, 铬（Cr）0.5%, 铟（In）0.5%, 铝（Al）0.2%，其余为金（Au）。采用高频感应炉熔炼，先将铁和铬金属放入粘土坩埚底部，再将金料加入坩埚内，开始熔炼，待合金熔化后搅拌均匀。然后再依次加入低熔点金属铟、铝及稀土钇，将炉温控制为1250℃，在该温度条件下精炼3分钟。精炼完成后将全部熔化的合金浇入预热为400℃的铸铁模中。冷凝后取出金合金锭，在空气气氛中自然冷却至室温。通过常规的铣面、冷轧、矫直和剪切等操作，最终获得香槟色金靶材。

实施例3

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的成份按质量百分比为：钇（Y）0.1%, 铁(Fe)1.2%, 铬（Cr）2.5%, 铟（In）2%, 铝（Al）1%，其余为金（Au）。

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的制备方法如下。

原料配比按质量百分比为：钇（Y）0.1%, 铁(Fe)1.2%, 铬（Cr）2.5%, 铟（In）2%, 铝（Al）1%，其余为金（Au）。采用高频感应炉熔炼，先将铁和铬金属放入粘土坩埚底部，再将金料加入坩埚内，开始熔炼，待合金熔化后搅拌均匀。然后再依次加入低熔点金属铟、铝及稀土钇，将炉温控制为1150℃，在该温度条件下精炼5分钟。精炼完成后将全部熔化的合金浇入预热为300℃的铸铁模中。冷凝后取出金合金锭，在空气气氛中自然冷却至室温。通过常规的铣面、冷轧、矫直和剪切等操作，最终获得香槟色金靶材。

实施例4

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的成份按质量百分比为：钇（Y）1.0%, 铁(Fe)1.5%, 铬（Cr）1.0%, 铟（In）0.8%, 铝（Al）0.4%，其余为金（Au）。

用于真空磁控溅射的香槟色金靶材的制备方法如下。

原料配比按质量百分比为：钇（Y）1.0%, 铁(Fe)1.5%, 铬（Cr）1.0%, 铟（In）0.8%, 铝（Al）0.4%，其余为金（Au）。采用高频感应炉熔炼，先将铁和铬金属放入粘土坩埚底部，再将金料加入坩埚内，开始熔炼，待合金熔化后搅拌均匀。然后再依次加入低熔点金属铟、铝及稀土钇，将炉温控制为1150～1250℃，在该温度条件下精炼3～5分钟。精炼完成后将全部熔化的合金浇入预热为300～400℃的铸铁模中。冷凝后取出金合金锭，在空气气氛中自然冷却至室温。通过常规的铣面、冷轧、矫直和剪切等操作，最终获得香槟色金靶材。

Claims

1.一种用于真空磁控溅射的香槟色金靶材，其成份按质量百分比为： Y 0.1%～1.3%, Fe 1.2%～3%, Cr 0.5%～2.5%, In 0.5%～2%, Al 0.2%～1%，其余为Au。

2.权利要求1所述的用于真空磁控溅射的香槟色金靶材制备方法，其特征在于：原料配比按质量百分比为：Y 0.1%～1.3%, Fe 1.2%～3%, Cr 0.5%～2.5%, In 0.5%～2%, Al 0.2%～1%，其余为Au；采用高频感应炉熔炼，先将铁和铬金属放入粘土坩埚底部，再将金料加入坩埚内，开始熔炼，待合金熔化后搅拌均匀，然后再依次加入低熔点金属铟、铝及稀土钇，将炉温控制为1150～1250℃，在该温度条件下精炼3～5分钟，精炼完成后将全部熔化的合金浇入预热为300～400℃的铸铁模中，冷凝后取出金合金锭，在空气气氛中自然冷却至室温，通过铣面、冷轧、矫直和剪切操作，获得香槟色金靶材。