CN101327929B - 快速制备SiC纳米线的方法 - Google Patents

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Abstract

一种纳米技术领域的快速制备SiC纳米线的方法。本发明步骤为:a、按照质量百分比将SiO粉为33.3%-66.7%、焦炭为33.3%-66.7%进行混合;b、将混合物放入球磨机,球磨,制备反应原料;c、将反应原料放入石墨管制作的坩埚中,置于密闭石英管内,使用真空泵抽真空;d、在石英管内通入氩气或者氮气,调节进气流量,控制管内气压在0.02-0.04MPa;e、采用石英管外缠绕的高频感应电源线圈对石墨坩埚进行加热,在3min内升至1600℃,保温;f、氩气或者氮气保护下随炉冷却至室温,即得到SiC纳米线。本发明解决了现有SiC纳米线制备中工艺复杂、成本高、周期长、条件难控制等问题。

Description

快速制备SiC纳米线的方法
技术领域
本发明涉及的是一种纳米技术领域的方法,具体地说,是一种快速制备SiC纳米线的方法。
背景技术
SiC纳米线具有高强度、高硬度,耐磨损、耐腐蚀的特点,同时还具有高热导率、宽带隙以及良好的化学稳定性。已有研究证明,SiC纳米线的硬度、弹性、韧性等机械性能都高于块体材料。优良的机械性能使得其可以作为增强材料应用于塑料、金属、陶瓷等复合材料中。而突出的半导体特性决定了SiC纳米线可以用来制作高温、高频、抗辐射、大功率和高密度集成的半导体电子器件。同时,利用其宽带隙的特点可以用来制作蓝、绿光和紫外光的发光器件和光探测器。于是制备质量高的SiC纳米材料成为一个研究趋势。
目前制备SiC纳米线的方法主要有碳纳米管模板生长法、碳热还原法、电弧放电法、流动催化剂法等。但使用昂贵的碳纳米管作为原料限制了碳纳米管模板法的应用;流动催化剂法的产物中含有难以去除的催化剂,影响了SiC纳米线的纯度;电弧放电法和激光烧蚀法的实验设备都比较复杂,成本很高;而碳热还原法制备的纳米线具有严重的堆垛层错。同时这些制备方法都有很长的反应周期,且难以生产。
经对现有技术的文献检索发现,近年来发展了一些新的制备技术,中国专利“大量制备β-SiC纳米晶须的方法”(专利公开号:CN 1487127A)使用高频感应加热硅源(SiO)和碳纤维反应生成了纯度较高的β-SiC纳米晶须,但制备不易控制;中国专利“一种SiC纳米线及其制备方法”(专利公开号:CN 101104515A)使用工业硅粉和石墨粉的混合粉末加热生成了β-SiC纳米纤维,但是升温速度慢、制备周期长,制备速度慢。。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足,提供一种快速制备SiC纳米线的方法,解决了现有SiC纳米线的制备方法中工艺复杂、成本高、周期长、条件难控制等问题。
本发明是通过以下技术方案实现的,本发明包括如下步骤:
a、按照质量百分比将SiO粉为33.3%-66.7%、焦炭为33.3%-66.7%进行混合;
所述SiO粉、焦炭,其纯度均为99.9%以上。
b、将混合物放入球磨机,球磨,制备反应原料;
所述球磨,其时间为6-24小时,速度为400转/分钟。
c、将反应原料放入石墨管制作的坩埚中,置于密闭石英管内,使用真空泵抽真空;
所述抽真空,是指抽真空至50Pa-100Pa。
d、在石英管内通入氩气或者氮气,调节进气流量,控制管内气压在0.02-0.04MPa;
e、采用石英管外缠绕的高频感应电源线圈对石墨坩埚进行加热,在3min内升至1600℃,保温;
所述保温,其时间为20min-60min。
f、氩气或者氮气保护下随炉冷却至室温,即得到SiC纳米线。
本发明使用高频感应加热装置达到了快速加热的目的,使加热和反应时间可以从8、9小时缩短到63min以内,最短可达23min(反应原料的制备可以单独进行,不包括在内);并且采用混合粉末作为原料,降低了对工艺条件的要求,有利于控制反应过程,使得大量制备SiC纳米线成为可能。本发明中SiO在高温下蒸发,其蒸气和焦炭粉末在高温时反应生成SiC晶核,在过饱和SiO蒸气存在的情况下,不断反应生成SiC并从晶核中析出,最后长大成为β-SiC纳米线,这些纳米线直径在10-150nm之间,长度可达到5微米。在本发明制备SiC纳米线的方法中,原料易得降低了成本,不使用催化剂减少了残留物污染,反应过程简单缩短了制备周期。
附图说明
图1为实施例二制得的SiC纳米线的SEM照片
图2为实施例二制得的SiC纳米线的TEM照片
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施例作详细说明:本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
实施例一
本实施例中制备SiC纳米线的方法通过以下步骤实现:
a、按照质量百分比将纯度为99.9%的SiO粉为33.3%、焦炭为66.7%进行混合;
b、将混合物放入球磨机,以400转/分钟的速度球磨6小时,制备反应原料;
c、将反应原料放入石墨管制作的坩埚中,置于密闭石英管内,使用真空泵抽真空至50Pa;
d、在石英管内通入氩气或者氮气,调节进气流量,控制管内气压在0.02MPa;
e、采用石英管外缠绕的高频感应电源线圈对石墨坩埚进行加热,在3min内升至1600℃,保温20min;
f、氩气或者氮气保护下随炉冷却至室温,即得到SiC纳米线。
本实施例在20min的反应过程中得到了直径在10-50nm,长度可达2微米的SiC纳米线。所有粉末都得以反应生成了SiC纳米线,这使得在23min的反应时间内快速制备SiC纳米线成为可能。
实施例二
本实施例与实施例一的不同在于步骤a中按照质量百分比SiO为50%、焦炭为50%;步骤b中以400转/分钟的速度球磨球磨12小时;步骤c中真空抽至75Pa;步骤d中控制气压在0.03MPa;步骤e中保温时间为40min。其它步骤与具体实施例一相同。
参见图1、2,本实施例在40min的反应过程中得到了直径在10-100nm,长度可达4微米的SiC纳米线。所有粉末都得以反应生成了SiC纳米线,这使得在43min的反应时间内快速制备得到SiC纳米线。
实施例三
本实施例与实施例一的不同在于步骤a中按照质量百分比SiO为66.7%、焦炭为33.3%;步骤b中以400转/分钟的速度球磨球磨24小时;步骤c中真空抽至100Pa;步骤d中控制气压在0.04MPa;步骤e中保温时间为60min。其它步骤与具体实施例一相同。
本实施例在60min的反应过程中得到了直径在10-150nm,长度可达5微米的SiC纳米线。所有粉末都得以反应生成了SiC纳米线,这使得在63min的反应时间内快速制备SiC纳米线成为可能。

Claims (5)

1.一种快速制备SiC纳米线的方法,其特征在于,包括如下步骤:
a、按照质量百分比将SiO粉为33.3%-66.7%、焦炭为33.3%-66.7%进行混合;
b、将混合物放入球磨机,球磨,制备反应原料;
所述球磨,其时间为6-24小时,速度为400转/分钟;
c、将反应原料放入石墨管制作的坩埚中,置于密闭石英管内,使用真空泵抽真空;
所述抽真空,是指抽真空至50Pa-100Pa;
d、在石英管内通入氩气或者氮气,调节进气流量,控制管内气压在0.02-0.04MPa;
e、采用石英管外缠绕的高频感应电源线圈对石墨坩埚进行加热,在3min内升至1600℃,保温;
所述保温,其时间为20min-60min;
f、氩气或者氮气保护下随炉冷却至室温,即得到SiC纳米线。
2.根据权利要求1所述的快速制备SiC纳米线的方法,其特征是,步骤a中,按质量百分比为SiO粉为33.3%,焦炭为66.7%进行混合。
3.根据权利要求1所述的快速制备SiC纳米线的方法,其特征是,步骤a中,按质量百分比为SiO粉为50%,焦炭为50%进行混合。
4.根据权利要求1所述的快速制备SiC纳米线的方法,其特征是,步骤a中,按质量百分比为SiO粉为66.7%,焦炭为33.3%进行混合。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的快速制备SiC纳米线的方法,其特征是,所述SiO粉、焦炭,其纯度均为99.9%以上。
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EP2470473B1 (en) * 2009-08-26 2017-12-20 LG Innotek Co., Ltd. Method for manufacturing silicon carbide pulverulent body
CN101837976B (zh) * 2010-05-25 2011-12-21 浙江理工大学 一种以四氯化硅为硅源制备超长SiC纳米线的方法
CN102432012A (zh) * 2011-09-28 2012-05-02 上海交通大学 一种无催化剂合成碳化硅纳米针的方法
CN102718217B (zh) * 2012-05-18 2014-01-15 湖北大学 一种高纯线状碳化硅粉及其制备方法
CN102719029B (zh) * 2012-06-08 2013-11-27 扬州大学 碳化硅纳米线基发光薄膜的制备方法
CN102730687B (zh) * 2012-07-05 2014-04-16 浙江理工大学 以可膨胀石墨为碳源SiC纳米线的制备方法
CN105633190B (zh) * 2014-10-31 2017-02-22 中国科学院物理研究所 一种基于石墨烯包覆SiC纳米线的紫外探测器
CN104445201A (zh) * 2014-11-18 2015-03-25 黑龙江科技大学 一种制备SiC纳米线的方法
CN104876551B (zh) * 2015-03-19 2017-08-04 南京理工大学 一种内晶颗粒(ZrB2/Al2O3)及其制备装置与方法
CN113816382B (zh) * 2021-11-17 2023-05-12 哈尔滨工业大学 一种高效低成本制备超长SiC纳米线的方法

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