CN101266392B - 成像装置及光学装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种成像装置，该成像装置包括：具有透光性的透光性部件(18)，其位于光学系统和利用上述光学系统进行影像拍摄的成像部之间；振动部件(20)，其设置于上述透光性部件，用于使上述透光性部件弯曲振动；以及驱动部，其与上述振动部件电连接，通过驱动上述振动部件，使上述透光性部件(18)沿着第一方向以第一频率弯曲振动，并且还使上述透光性部件(18)沿着与上述第一方向交叉的第二方向以与上述第一频率不同的第二频率弯曲振动。

Description

成像装置及光学装置

技术领域

本发明涉及具有良好的除尘效果的成像装置以及光学装置。

背景技术

近年来，在镜头更换式数字照相机等中存在下述问题，即在成像(imaging)元件的滤波器表面附着有灰尘而在摄影后的影象中摄入了灰尘等问题。为了消除此类问题，现开发出了下述系统，即将防尘部件配置在成像元件与光学系统之间，实现成像元件以及滤波器等的防尘，同时通过振动来除去附着在防尘部件上的灰尘等系统(参照日本特开2003-319222号公报)。

然而，在以往的系统中，防尘部件为圆形，为了覆盖成像元件而必须使用大型的防尘部件，这有悖于成像装置的小型化的要求。另外，在以往的系统中，没有考虑防尘部件的振动模式，因此难以有效地除去附着在防尘部件表面上的灰尘等。

发明内容

本发明是鉴于这样的现状而形成的，其目的在于提供一种不仅能够有效地除去附着在透光性防尘部件表面上的灰尘等，而且可以确保防尘部件可有效使用的部分(与成像元件对应的部分)最大的成像装置以及具有该成像装置的光学装置。

为了达成上述目的，本发明所涉及的成像装置，包括：具有透光性的透光性部件，其位于光学系统和利用上述光学系统进行影像拍摄的成像部之间；振动部件，其设置于上述透光性部件，用于使上述透光性部件弯曲振动；驱动部，其与上述振动部件电连接，通过驱动上述振动部件，使上述透光性部件沿着第一方向以第一频率弯曲，并且还使上述透光性部件弯曲沿着与上述第一方向交叉的第二方向以与上述第一频率不同的第二频率。

本发明所涉及的成像装置的制造方法，其特征在于，将具有透光性的透光性部件设置在光学系统和利用上述光学系统进行影像拍摄的成像部之间，把用于使上述透光性部件弯曲振动的振动部件设置于上述透光性部件，将驱动部与上述振动部件电连接，通过该驱动部驱动上述振动部件，使上述透光性部件沿着上述第一方向以第一频率弯曲，并且还使上述透光性部件沿着与上述第一方向交叉的第二方向以与上述第一频率不同的第二频率弯曲。

本发明所涉及的光学装置是具有上述的成像装置的光学装置，但不限定于照相机和摄像机，也包括显微镜、移动电话机等的光学装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式所涉及的成像装置的概略立体图。

图2是沿着图1所示的II-II线的概略剖视图。

图3是照相机的整体框图。

图4A是图1所示的透光性部件的俯视图，图4B以及图4C是沿着图4A所示的B-B线的要部剖视图。

图5A是图1所示的透光性部件的俯视图，图5B以及图5C是沿着图5A所示的B-B线的要部剖视图。

具体实施方式

如图1以及图2所示，本发明的一实施方式所涉及的抖动补正装置2具有成像元件单元4，该成像元件单元4具备成像元件12并且可相对于固定部6在X轴以及Y轴方向进行相对移动。固定部6固定于图3所示的照相机机体40。将成像元件单元4配置为相对于光学透镜组48的光轴Z方向可沿着X轴及Y轴方向自由移动，该光学透镜组48内置在可相对于照相机机体40可装卸自由地安装的透镜镜筒42内。而且，X轴与Y轴垂直。

如图1以及图2所示，成像元件单元4具有相对于固定部6在X轴方向以及Y轴方向可移动的可动板10。在可动板10的中央部的上表面上固定着成像元件12，在其上隔着垫块13配置有光学低通滤波器(OLPF)14。成像元件12是用于将照射在其表面上的光学影像变换为电信号的元件。光学低通滤波器(OLPF)14是为了除去所谓的波纹而设置的。

在光学低通滤波器14的上方，隔着密封部件16而配置有透明的玻璃板18。利用密封部件16，将成像元件12与光学低通滤波器14之间、光学低通滤波器14与玻璃板18之间密封。即玻璃板18为透光性的防尘部件，用于防止尘埃等附着在光学低通滤波器14以及成像元件12上。在图示的实施方式中，玻璃板18例如含有IR(Infra RED：红外线)吸收玻璃，但也可以是IR吸收玻璃以外的玻璃。在图示的实施方式中，光学低通滤波器14例如具有两张的水晶双折射板和一张λ/4板(波长板)。玻璃板18例如其沿着X轴方向的长度与沿着Y轴方向的长度之比，和成像元件12的成像面沿着X轴方向的长度与沿着Y轴方向的长度之比大致相同。由此，玻璃板18与成像元件12的成像面对应而被最小型化。

在本实施方式中，将玻璃板18形成为在X轴方向比光学低通滤波器14更宽，各侧端部自密封部件16突出，作为振动部件的压电元件20，通过例如粘接剂等粘贴在各侧端部的下表面或上表面。压电元件20例如由PZT构成。

在粘接有压电元件20的玻璃板18的下方配置有引导部22，各个引导部22隔着防振片24而相对于可动板10进行固定。防振片24是密封的部件，用于使尘埃等无法进入成像元件12与密封部件16之间。另外，为了降低由压电元件20的振动对柔性的连接器的连接部和成像元件12与基板的粘接以及位置检测传感器的磁体等造成的影响，防振片24也具有难以传递该振动的功能。防振片24由橡胶制垫片等弹性部件构成，也可以是具有弹性的粘接剂等。

在一对的引导部22中的一个中，形成有用于插通导棒8的第一轴8a的滑孔，引导部22可沿着第一轴8a在Y轴方向可相对移动。导棒8被加工成大致L字形状，具有相对于第一轴8a而被垂直折弯的第二轴8b。第二轴8b穿过形成于两个引导部23、23中的通孔，可通过这些引导部23、23沿着X轴方向自由地相对移动。这些引导部23、23隔着防振片25相对于固定部6进行固定。即成像元件单元4相对于固定部6，通过导棒8被引导进行X轴方向以及Y轴方向的相对移动，而且防止其在绕光轴方向(θ方向)的旋转。

固定部6配置成围绕成像元件单元4的周围四方，在固定部6中的X轴方向的一边的位置，相对于固定部6，固定有轭铁30x，该轭铁30x保持用于使成像元件单元4在X轴方向移动的永久磁铁26x。永久磁铁26x，与固定在成像元件单元4的可动板10上的线圈28x相对，通过控制流入线圈28x的电流，由可动板10使成像元件单元4在X轴方向移动。即线圈28x与永久磁铁26x构成作为X轴方向移动机构的音圈电机(VCM)。而且，作为X轴方向移动机构，并不限定于VCM也可以使用其他的致动器。

另外，在固定部6中的Y轴方向的一边的位置，相对于固定部6固定有轭铁30y，该轭铁30保持用于使成像元件单元4在Y轴方向移动的永久磁铁26y。永久磁铁26y，与固定在成像元件单元4的可动板10上的线圈28y相对，通过控制流入线圈28y的电流，由可动板10使成像元件单元4在Y轴方向移动。即线圈28y与永久磁铁26y构成作为Y轴方向移动机构的音圈电机(VCM)。而且，作为Y轴方向移动机构，并不限定于VCM也可以使用其他的致动器。

为了检测成像元件单元4相对于固定部6的相对移动位置，在固定部6上安装有位置传感器33。位置传感器33具有霍尔元件32，在与该霍尔元件32对置的位置，永久磁铁34安装在可动板10的表面。通过永久磁铁34与可动板10一起在X轴以及Y轴方向移动，位置传感器33检测到其在X轴以及Y轴方向的移动量。而且，作为检测部的位置传感器33，并不限定于磁性式传感器，也可以是PSD、光学式的传感器。

接着，基于图3对照相机整体进行说明。图1～图3所示的具有成像元件单元4的抖动补正装置2，在照相机机体40的内部，按照成像元件单元4的玻璃板18相对于光轴Z垂直的方式进行配置。玻璃板18与如图2所示的光学低通滤波器14以及成像元件12平行。

如图3所示，透镜镜筒42可装卸自由地被安装在照相机机体40上。而且，在微型照相机等中，具有透镜镜筒42与照相机机体40一体的照相机，在本发明中对照相机的种类不作特别限定。另外，不限于照相机，还可以适用于摄像机、显微镜、移动电话机等的光学机器。在以下的说明中，为了方便说明对透镜镜筒42与照相机机体40可装卸自由的单镜头反光照相机进行说明。

在照相机机体40的内部，成像元件单元4的Z轴方向的前方，配置有快门部件44。在快门部件44的Z轴方向的前方配置有反光镜46，在其Z轴方向的前方配置有内置于透镜镜筒42内的光圈部47以及光学透镜组48。

照相机机体40内置有机体CPU50，经由镜头接点54与镜头CPU58连接。镜头接点54通过连接照相机机体40与透镜镜筒42，由此将机体CPU50与镜头CPU58电连接。机体CPU50与电源52连接。电源52被内置在照相机机体40内。

机体CPU50，连接有快门开关51、闪光灯53、显示部55、陀螺仪传感器70、EEPROM(存储器)60、防振开关62、防尘滤波器驱动电路56、影像处理控制器59、AF传感器72、和防振跟踪控制IC74等。影像处理控制器59经由接口电路57与成像元件单元4的成像元件12(参照图2)连接，能够控制由成像元件12所拍摄的影像的影像处理。

机体CPU50具有与透镜镜筒42通信的通信功能、和照相机机体40的控制功能。另外，机体CPU50，根据从EEPROM60所输入的信息、接受来自陀螺仪传感器70的输出而计算出的抖动角度、焦点距离信息、距离信息而算出防振驱动部目标位置，并将该防振驱动部目标位置输出到防振跟踪控制IC74。另外，机体CPU50经由未图示的放大器将陀螺仪传感器70的传感输出输入到机体CPU50，通过对陀螺仪传感器70的角速度进行积分，求出抖动角度。

另外，机体CPU进行与镜头CPU58进行通信，判断透镜镜筒42是否完全安装，根据从镜头CPU58输入的焦点距离、距离信息和从陀螺仪传感器输入的抖动角度来计算目标位置。在快门开关51半按下时，根据AE、AF、状况而将防振驱动等的摄影准备动作的指示输出到镜头CPU58和防振跟踪控制IC74。在全按下时，输出反光镜驱动、快门驱动、光圈驱动等指示。

显示部55主要由液晶显示装置等构成，显示输出结果或菜单等。快门开关51是操作快门驱动的时刻的开关，将开关的状态输出到机体CPU50，在半按下时，根据AF、AE、状况进行防振驱动，在全按下时进行反光镜上移(mirror up)、快门驱动等。

反射镜46在取景决定时用于将影像入射到取景器，在曝光中从光路避开。由机体CPU50输入快门开关51的信息，在全按下时进行反光镜上移，在曝光结束后进行反光镜下移。由未图示的反射镜驱动部(例如DC电机)驱动。反射镜46与辅助反射镜46a连接。

辅助反射镜46a是用于将光送至AF传感器的反射镜，将通过了反射镜的光束反射而导入AF传感器。该辅助反射镜46a在曝光中从光路避开。

快门部件44是控制曝光时间的机构。由机体CPU50输入快门开关51的信息，在全按下时进行快门驱动。由未图示的快门驱动部(例如DC电机)驱动。

AF传感器72是用于进行自动聚焦的传感器。作为该AF传感器72可以使用通常的CCD。防振开关62将防振的ON、OFF状态输出到机体CPU50。陀螺仪传感器70检测机体发生抖动的角速度，并输出到机体CPU50。EEPROM60保存有陀螺仪传感器的增益值、角度调整值等信息，输出到机体CPU50。

防尘滤波器驱动电路56，与如图1以及图2所示的压电元件20连接，在满足规定条件的情况下，驱动压电元件20，如图4B以及图4C所示，或者如图5B以及5C所示，使玻璃板18振动，进行使附着在玻璃板18表面的尘埃等飞起并除去的动作。

例如压电元件20被施加周期的方波或者正弦波等电压。通过这样控制防尘滤波器驱动电路56来对压电元件20施加周期的电压，使玻璃板18振动，当灰尘自玻璃面受到的惯性力大于灰尘的附着力时灰尘从玻璃面分离。

对于压电元件20的周期驱动而言，为了以低电压而尽可能获得较大的振幅，优选地以使玻璃板18的表面共振的振动频率来驱动压电元件20。共振的频率由形状、材质、支撑方法、振动模式所决定。优选将支撑玻璃的部分，支撑在振幅为0的波节位置。

在本实施方式中，防尘滤波器驱动电路56与振动模式选择电路80连接。振动模式选择电路80通过机体CPU50控制防尘滤波器驱动电路56。关于由振动模式选择电路80所进行的控制的详细在后面描述。

防振跟踪控制IC74是用于进行防振控制的IC。根据自机体CPU50输入的防振驱动部目标位置和自位置检测部所输入的防振驱动部位置信息，计算出防振驱动部的移动量，并输出到防振驱动执行器76。即将来位置传感器33的成像元件单元4的位置信号、以及来自机体CPU50的输出信号输入到防振跟踪控制IC74。在机体CPU50中，根据接受陀螺仪传感器70的输出而计算出的抖动角度、由焦点距离编码器66所检测到的焦点距离信息、由距离编码器64所检测到的距离信息等，计算出防振驱动部目标位置，然后将该防振驱动部目标位置输出到防振跟踪控制IC74。

防振驱动执行器76是用于控制防振驱动部的执行器，其从防振跟踪控制IC74接受驱动量的输入，来控制防振驱动部的驱动方向、驱动量。即防振驱动执行器76基于来自防振跟踪控制IC74的输入信息而使驱动电流流入线圈28x、28y，使成像元件单元4相对于固定部6在X轴方向以及Y轴方向移动，进行影像抖动的补正控制。

如图3所示的透镜镜筒42具备：焦点距离编码器66、距离编码器64、光圈部47、用于控制光圈部47的驱动电机68、镜头CPU58、与机体部连接的镜头接点54及多个透镜组48。镜头接点54包括用于从照相机机体40向透镜驱动系统供给电源的接点、用于驱动镜头CPU58的CPU电源的接点和数字通信用的接点。

驱动系统电源以及CPU电源由照相机机体40的电源52供给，供给镜头CPU58或驱动系统的电源。通过数字通信用接点进行下述的通信，即将由镜头CPU58输出了的焦点距离、待拍摄体距离、聚焦位置信息等数字信息输入到机体CPU50的通信；和将由机体CPU50输出的聚焦位置或光圈量等数字信息输入到镜头CPU58的通信。接受来自机体CPU50的自动聚焦位置信息或光圈量信息，而由镜头CPU进行AF、光圈控制。

聚焦距离编码器66将变焦透镜组的位置信息换算成焦点距离。即焦点距离编码器66对焦点距离进行编码，并输出到镜头CPU58。

距离编码器64将聚焦透镜组的位置信息换算成待拍摄体距离。即距离编码器64对待拍摄体距离进行编码，并输出到镜头CPU58。

镜头CPU58具有与照相机机体40通信的功能和控制透镜组48的功能。将焦点距离、待拍摄体距离等输入到镜头CPU58，然后经由镜头接点54输出到机体CPU50。从机体CPU50经由镜头接点54而输入快门信息、AF信息。

接着，主要基于图3～图5对由压电元件20进行的玻璃板18的振动模式进行说明。

在本实施方式中，将信号从图3所示的振动模式选择电路80输送至防尘滤波器驱动电路56，如图4B所示，例如使玻璃板18沿着X轴方向以一次振动模式进行振动。若玻璃板18的尺寸形成为横20mm、纵28mm、厚度0.4mm，并且压电元件20的尺寸形成为横4mm、纵12mm、厚度0.5mm的话，如图4B所示的一次振动模式的振动频率，则例如约为1260Hz。图4B表示玻璃板18向上方突出的状态，但是实际上，是以交替反复地进行向下突出的状态和向上突出的状态而进行振动。

玻璃板18沿着X轴方向(长边方向)的二次振动模式(省略图示)的振动频率，例如约为3790Hz，如图4C所示的三次振动模式的振动频率例如约为7689Hz。另外，如图5B所示，沿着Y轴方向(短边方向)的一次振动模式的振动频率例如约为3700Hz，如图5C所示的三次振动模式的振动频率例如约为16500Hz。

这些振动模式，是通过以规定的频率驱动在玻璃板18的X轴方向的两端中央位置配置的一对压电元件20来实现的，根据情况也可以在玻璃板18的四角位置分别配置压电元件20。

但是，如本实施方式那样，通过将压电元件20仅配置在玻璃板18的X轴方向的两端中央位置，可以确保玻璃板18能够有效使用的部分(配置成像元件的部分)最大，但不会使玻璃板18大型化。另外，在本发明中，也可以将压电元件20仅配置在玻璃板18的四个角位置中任意一个位置，可以实现多种振动模式。

在本实施方式中，基于如图3所示的振动模式选择电路80，控制防尘滤波器驱动电路56，在如图4以及图5所示的玻璃板18所发生的振动模式，优选考虑产生的加速度(除去灰尘的力)和波节的位置而切换为多种振动模式。而且，在玻璃板18中的振动波节的位置，往往由于不振动而不能充分地除去灰尘，因而通过改变压电元件20的驱动频率来改变振动模式，由此可以改变玻璃板18的振动的波节的位置，在玻璃板18的整个区域内除去灰尘。

例如，如图4B所述，仅用沿着X轴方向的一次弯曲振动模式，而未能获得充分地除去灰尘的效果的情况下，进行以下的控制。即从图3所示的振动模式选择电路80将控制信号发送至防尘滤波器驱动电路56，如图4C所述将压电元件20的驱动频率设定得较高，使玻璃板18以三次弯曲振动模式振动。此时，可以获得更好的除尘效果。

再者，从如图3所示的振动模式选择电路80将控制信号送至防尘滤波器驱动电路56，如图5B以及图5C所示，也可以使玻璃板18沿着Y轴方向以一次到三次的弯曲振动模式进行振动。进而，可以在X轴和Y轴方向的双向上并用高次弯曲振动模式。另外，也可以交替反复地进行不同的弯曲振动模式，除尘效果更好。另外，例如也可以通过适当变化X轴方向以及Y轴方向的振动模式，由此将玻璃面的灰尘从玻璃面的中央部移向端部。

另一方面，由于驱动电路等成本限制，在如上所述无法使用宽范围的驱动频率(1260～16500Hz)的情况下，也可以使用沿着X轴方向的两次弯曲振动模式(3790Hz)、和沿着Y轴的一次弯曲振动模式(约3700Hz)。此时，由于通过较小频率的变化，可以改变振动模式，所以可以缩小所需频率范围，构成简单且便宜的驱动电路等。

另外，在本实施方式中，通过调整施加在压电元件20上的驱动频率，从而可以达到适合长方形的玻璃板18的纵横比的最佳励振。另外，也可以通过适当调整沿着X轴方向和沿着Y轴方向的弯曲振动之间的时刻，可以达到适合长方形的玻璃板18的纵横比的最佳励振。

再者，在本实施方式中，通过使沿着X轴方向的弯曲振动和沿着Y轴方向的弯曲振动之间的“时刻”和/或“频率”不同，而使X轴方向的振动与Y轴方向的振动难以干扰。

再者，在本实施方式中，在X轴方向以及Y轴方向中的至少一方，以多种振动模式使透光性部件弯曲振动，由此替换振动的波节的位置与振动的波腹的位置，减少始终未振动的位置(始终振动的波节)。因此，落下灰尘的区域较少。而且，在上述实施例中使用了使成像元件移动来进行抖动补正的成像装置进行说明，但是不限于此。例如，也可以使用使透镜移动来进行抖动补正的成像装置，也可以是没有抖动补正功能的成像装置。

另外，本发明不限于上述的实施方式，在本发明的范围内可以进行各种变化。

例如，具有防尘性的透光性部件，不限于玻璃板，也可以使用透镜、滤光器以及其他的透光性部件。另外，振动部件，除了压电元件以外也可以使用其他的振动部件。

Claims (17)

1.一种成像装置，其特征在于，包括：

具有透光性的透光性部件，其位于光学系统和利用上述光学系统进行影像拍摄的成像部之间，且具有第一边和与第一边垂直的第二边；

振动部件，其设置于上述透光性部件，用于使上述透光性部件弯曲振动，以使得在上述透光性部件中产生振动的波节和波腹；以及

驱动部，其与上述振动部件电连接，通过驱动上述振动部件，使上述透光性部件以第一频率弯曲，以使得在上述透光性部件中产生具有沿第一方向振动的波节和波腹的弯曲振动，该第一方向相对上述透光性部件的第一边平行，并且还使上述透光性部件以与上述第一频率不同的第二频率弯曲，以使得在上述透光性部件中产生具有沿第二方向振动的波节和波腹的弯曲振动，该第二方向相对与上述第一方向交叉的上述透光性部件的第二边平行，

上述透光性部件为第一边是长边、第二边是短边的矩形。

2.根据权利要求1所述的成像装置，其特征在于，

上述驱动部，独立地控制上述第一频率的弯曲振动和上述第二频率的弯曲振动。

3.根据权利要求1所述的成像装置，其特征在于，

上述驱动部，在不同的时刻进行上述第一频率的弯曲振动和上述第二频率的弯曲振动。

4.根据权利要求1所述的成像装置，其特征在于，

上述驱动部，针对上述第一方向以及上述第二方向中的至少一方，以多种振动模式使上述透光性部件弯曲振动。

5.根据权利要求4所述的成像装置，其特征在于，

上述第一方向以及上述第二方向中的至少一方的多种振动模式下的共振频率，包括上述第一方向以及上述第二方向中的另一方的振动模式下的共振频率。

6.根据权利要求1所述的成像装置，其特征在于，

上述振动部件位于沿着上述第一方向的两端部分。

7.根据权利要求1所述的成像装置，其特征在于，

上述振动部件位于沿着上述第二方向的中央部分。

8.根据权利要求1所述的成像装置，其特征在于，

沿着上述第一方向的弯曲振动以及沿着上述第二方向的弯曲振动为奇数次的振动模式。

9.一种成像装置，其特征在于，包括：

具有透光性的透光性部件，其位于光学系统和利用上述光学系统进行影像拍摄的成像部之间，且具有第一边和与第一边垂直的第二边；

振动部件，其用于使上述透光性部件弯曲振动，以使得在上述透光性部件中产生振动的波节和波腹；以及

驱动部，其驱动上述振动部件，

上述透光性部件为第一边是长边、第二边是短边的矩形，

上述驱动部，使上述透光性部件弯曲振动，以使得在上述透光性部件中产生具有沿第一方向振动的波节和波腹的弯曲振动，该第一方向相对上述透光性部件的第一边平行，并且还使上述透光性部件弯曲振动，以使得在上述透光性部件中在与沿着上述第一方向的弯曲振动时刻不同的时刻产生具有沿第二方向振动的波节和波腹的弯曲振动，该第二方向相对与上述第一方向交叉的上述透光性部件的第二边平行。

10.根据权利要求9所述的成像装置，其特征在于，

上述驱动部，使上述透光性部件沿着上述第一方向以第一频率弯曲振动，并且还使上述透光性部件沿着上述第二方向以与上述第一频率不同的第二频率弯曲振动。

11.一种成像装置，其特征在于，包括：

具有透光性的透光性部件，其位于光学系统和利用上述光学系统进行影像拍摄的成像部之间，且具有第一边和与第一边垂直的第二边；

振动部件，其用于使上述透光性部件弯曲振动，以使得在上述透光性部件中产生振动的波节和波腹；以及

驱动部，其驱动上述振动部件，使上述透光性部件弯曲振动，以使得在上述透光性部件中产生具有沿第一方向振动的波节和波腹的弯曲振动，该第一方向相对上述透光性部件的第一边平行，并且还使上述透光性部件弯曲振动，以使得在上述透光性部件中产生具有沿第二方向振动的波节和波腹的弯曲振动，该第二方向相对与上述第一方向交叉的上述透光性部件的第二边平行，

上述透光性部件为第一边是长边、第二边是短边的矩形。

12.根据权利要求11所述的成像装置，其特征在于，

上述驱动部，使上述透光性部件沿着上述第一方向以第一频率弯曲振动，并且还使上述透光性部件沿着上述第二方向以与上述第一频率不同的第二频率弯曲振动。

13.根据权利要求11所述的成像装置，其特征在于，

在与上述透光性部件沿着上述第一方向弯曲振动的时刻不同的时刻，上述驱动部使上述透光性部件沿着上述第二方向弯曲振动。

14.一种光学装置，具备权利要求1所记载的成像装置。

15.根据权利要求1所述的成像装置，其特征在于，

沿着上述第一方向振动的波节数目与沿着上述第二方向振动的波节数目不同。

16.根据权利要求9所述的成像装置，其特征在于，

沿着上述第一方向振动的波节数目与沿着上述第二方向振动的波节数目不同。

17.根据权利要求11所述的成像装置，其特征在于，

沿着上述第一方向振动的波节数目与沿着上述第二方向振动的波节数目不同。

Images