CN101254696B - 液体喷射头组件的制造方法以及液体喷射头组件 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种提高液体喷射头与保持部件之间的粘结强度，提高可靠性的液体喷射头组件的制造方法以及液体喷射头组件。该液体喷射头组件具有：液体喷射头(2)，其具有液体喷射面(A)，用于喷射液体的喷嘴开口(21)开口于该液体喷射面(A)；和保持部件(250)，其由粘结剂(400)粘接在该液体喷射头(2)的液体喷射面(A)。该方法包括：在液体喷射面(A)形成叠层膜(22)的工序；在形成了层叠膜(22)的液体喷射面(A)的与保持部件粘接的区域上，形成无叠层膜(22)的非疏液区域(25)的工序；在非疏液区域(25)涂敷底胶液的底胶处理工序；和使用粘结剂(400)，在液体喷射面(A)的非疏液区域(25)粘接保持部件的工序。
Description
技术领域
本发明涉及具有从喷嘴开口喷射液体的液体喷射头、和与液体喷射头的液体喷射面接合的保持部件的液体喷射头组件的制造方法以及液体喷射头组件。
背景技术
作为具有作为液体而喷出墨水的喷墨式记录头的喷墨式记录头组件(以下也称为头组件)，例如有这样一种头组件，该头组件具有喷墨式记录头和固定板等的保持部件，其中该喷墨式记录头具有形成了喷出墨水的喷嘴开口的液体喷射面，该固定板等通过粘结剂被粘接在喷墨式记录头的液体喷射面上(例如参照专利文献1)。
在这样的头组件中，由于如果在液体喷射面上设置有疏液膜，则会使液体喷射面与保持部件之间的粘结强度下降，所以在液体喷射面的与保持部件之间的接合区域，形成有除去了疏液膜的非疏液区域。
[专利文献1]特开2005-096419号公报(第7～12页、图1～图3)
但是，液体喷射头的液体喷射面上形成非疏液区域，使用粘结剂仅把液体喷射头的非疏液区域与保持部件粘结，不能以足够的粘结强度将液体喷射头与保持部件接合，因而存在着发生液体喷射头与保持部件之间剥离的问题。
发明内容
本发明鉴于上述的问题，其目的在于提供一种增强液体喷射头与保持部件之间的粘结强度，提高可靠性的液体喷射头组件的制造方法以及液体喷射头组件。
为了解决上述问题，本发明技术方案一的液体喷射头组件的制造方法，该液体喷射头组件具有：液体喷射头，其具有液体喷射面，用于喷射液体的喷嘴开口开口于该液体喷射面；和保持部件，其由粘结剂粘接在该液体喷射头的上述液体喷射面，其特征在于，该液体喷射头组件的制造方法包括以下工序：在上述液体喷射面形成疏液膜的工序；在形成了上述疏液膜的上述液体喷射面的与上述保持部件粘接的区域，形成无上述疏液膜的非疏液区域的工序；在上述非疏液区域涂敷底胶液的底胶处理工序；和将上述保持部件用粘结剂粘接在上述液体喷射面的上述非疏液区域的工序，在形成上述疏液膜的工序中，在上述液体喷射面的整面形成基底膜、在该基底膜上形成由烃氧基金属构成的分子膜的疏液膜，在形成上述非疏液区域的工序中，除去设在上述液体喷射面的上述基底膜上的上述分子膜。
上述的实施方式，通过在液体喷射头的液体喷射面形成非疏液区域，并且在对非疏液区域实施底胶处理后利用粘结剂粘结保持部件，可提高粘结强度，防止发生剥离等。另外，通过在液体喷射面的整面上形成疏液膜，然后除去疏液膜来形成非疏液区域，可容易且高精度地在所希望的区域形成疏液膜。
这里，优选在形成上述疏液膜的工序中，在形成上述疏液膜的工序中，在上述液体喷射面的整面形成基底膜、在该基底膜上形成由烃氧基金属构成的分子膜的疏液膜。由此，相比以往的疏液膜，可在液体喷射面上形成薄的密着性、耐磨性和疏液性优良的疏液膜，从而可提高液体喷射特性。
而且，优选在形成上述非疏液区域的工序中，只除去设在上述液体喷射面的上述基底膜上的上述分子膜。由此，不需要除去基底膜，也不需要只在规定的区域选择性地形成基底膜，从而可简化制造工序，降低制造成本。
而且，优选在上述液体喷射头中，具有：设有上述喷嘴开口的喷嘴板、和具有液体流路的流路形成基板，该流路形成基板由粘结剂粘结在该喷嘴板的与上述液体喷射面相反侧的面，在形成上述疏液膜的工序中，把该疏液膜形成在上述喷嘴板的上述液体喷射面和与该液体喷射面相反侧的面，并且在形成上述非疏液区域的工序中，该非疏液区域形成在上述液体喷射面的与上述保持部件粘接的区域、和与上述液体喷射面相反侧的面。由此，通过在喷嘴板的与流路形成基板的粘结区域也形成非疏液区域，可提高流路形成基板与喷嘴板的粘结强度。
而且，优选形成上述疏液膜的工序包括：只在上述液体喷射面上形成基底膜的工序、和在上述喷嘴板的整面形成由烃氧基金属构成的分子膜的疏液膜的工序，在形成上述非疏液区域的工序中，除去在上述喷嘴板的上述液体喷射面的上述基底膜上设置的上述分子膜的上述疏液膜、和在上述喷嘴板的与上述液体喷射面相反侧的面设置的上述分子膜的上述疏液膜。由此，不需要在喷嘴板与流路形成基板之间的接合区域形成基底膜，可简化制造工序。另外，不需要除去基底膜、也不需要只在规定的区域选择性地形成基底膜，从而可简化制造工序，降低制造成本。
而且，优选在上述底胶处理工序中，在上述喷嘴板的上述液体喷射面的上述非疏液区域、和上述喷嘴板的与上述液体喷射面相反侧的面的上述非疏液区域涂敷上述底胶液。由此，可提高喷嘴板与保持部件以及流路形成基板之间的粘结强度，提高可靠性。
而且，优选形成上述非疏液区域的工序包括：在与上述液体喷射面相对的区域形成使上述非疏液区域开放的保护膜的工序、和隔着上述保护膜对上述疏液膜实施等离子处理，由此除去该疏液膜，形成上述非疏液区域的工序。由此，利用保护膜可除去所希望的区域的疏液膜，并且能够只对规定的区域实施底胶处理。另外，通过在底胶处理中使用除去疏液膜的保护膜，在底胶处理时不需要新的保护膜，可简化制造工序，并且不需要新的保护膜的定位，从而可高精度进行底胶处理。
而且，优选在形成上述保护膜的工序中，在上述液体喷射面上粘贴由胶带构成的该保护膜。由此，可容易且高精度形成非疏液区域。
并且，本发明的其他方式是一种液体喷射头组件，具有：液体喷射头，其具有液体喷射面，用于喷射液体的喷嘴开口开口于该液体喷射面；和保持部件，其由粘结剂粘接在上述液体喷射头的液体喷射面，其特征在于，在上述液体喷射面的整面形成有基底膜，在该基底膜上形成有由烃氧基金属构成的分子膜的疏液膜，通过除去设在上述液体喷射面的上述基底膜上的上述分子膜，在粘接有上述保持部件的区域形成未形成上述疏液膜的非疏液区域，在上述非疏液区域与上述粘结剂之间的界面，在该非疏液区域设有底胶残留层。
上述的方式可提高液体喷射面与保持部件的粘结强度，防止剥离等的发生，可提高可靠性。
附图说明
图1是实施方式1所涉及的头组件的分解立体图。
图2是实施方式1所涉及的头组件的组装立体图。
图3是实施方式1所涉及的记录头的分解立体图。
图4是实施方式1所涉及的记录头的剖面图。
图5是表示实施方式1所涉及的头组件的制造方法的剖面图。
图6是表示实施方式1所涉及的头组件的制造方法的剖面图。
图中文字说明：A-液体喷射面；1-喷墨式记录头组件(液体喷射头组件)；2-喷墨式记录头(液体喷射头)；3-滑架；10-流路形成基板；12-压力发生室；100-蓄墨槽；210-墨盒架；220-头本体；230-头底座；240-头罩；250-固定板(保持部件)；300-压电元件；400、401-粘结剂；410～413-底胶残留层；420-保护膜；421-工作台；430-底胶液。
具体实施方式
下面，根据实施方式对本发明进行详细说明。
(实施方式1)
图1是表示本发明实施方式1所涉及的液体喷射头的一例的喷墨式记录头组件的分解立体图，图2是喷墨式记录头组件的组装立体图。
如图所示，构成本发明液体喷射头组件的一例的喷墨式记录头组件1(以下称为头组件)的墨盒架210具有墨盒安装部211，该墨盒安装部211用于分别安装有未图示的墨水供给装置即墨盒。例如，在本实施方式中，墨盒由分别填充有黑色以及另3种颜色的彩色墨水的分体墨盒构成，在墨盒架210中，分别安装有各色的墨盒。另外，在墨盒架210的底面，虽然未图示，但形成有多个墨水连通路径，该墨水连通路径的一端，开口在各个墨盒安装部211，其另一端开口在后述的头底座侧。另外，在墨盒安装部211的墨水连通路径的开口部分，为了除去墨水内的气泡和异物在墨水连通路径中形成过滤器(未图示)，隔着该过滤器固定有被插入墨盒的墨水供给口的墨水供给针213。
另外，在这样的墨盒架210的底面侧，固定有多个喷墨式记录头2。
喷墨式记录头2有多个，分别与墨盒2A、2B的每个墨水颜色对应而设置。在本实施方式中，在1个喷墨式记录头组件1中设有4个喷墨式记录头2。
这里，对作为本实施方式的液体喷射头的一例的喷墨式记录头2进行详细说明。图3是喷墨式记录头的分解立体图，图4是喷墨式记录头的剖面图。如图3和图4所示，喷墨式记录头2具有头本体220、和在头本体220的液体喷射面A的相反侧设置的头底座230。
在本实施方式中，构成头本体220的流路形成基板10由单晶硅基板构成，在其一侧面形成有由二氧化硅构成的弹性膜50。对该流路形成基板10，通过从其另一侧面进行各向异性蚀刻，形成在宽度方向排列的2列由多个隔壁分隔的压力发生室12。另外，在各列压力发生室12的长度方向外侧，形成有连通部13，该连通部13与后述的蓄墨槽形成基板30中所设置的蓄墨部31连通而构成蓄墨槽100，该蓄墨槽100为各个压力发生室12共用的墨水室。另外，连通部13通过墨水供给路径14分别与各个压力发生室12的长度方向的一端部连通。即，在本实施方式中，形成于流路形成基板10的液体流路，有压力发生室12、连通部13、和墨水供给路径14。
另外，与各个压力发生室12的墨水供给路径14相反侧，在流路形成基板10的开口面，利用粘结剂或热溶粘结胶片等，固定粘结有喷嘴板20，在该喷嘴板20中穿通设有与流路形成基板10的开口连通的喷嘴开口21。即，在本实施方式中，在1个头本体220中设有2列喷嘴列21A，该喷嘴列21A排列设置有喷嘴开口21。在本实施方式中，该喷嘴板20的喷嘴开口21的开口面为液体喷射面A。
作为这样的喷嘴板20，例如可列举出硅基板和不锈钢(SUS)等金属基板等。
另外，在喷嘴板20的喷嘴开口21开口的液体喷射面A，设有具有疏液膜的叠层膜22。本实施方式的叠层膜22，由基底膜23和疏液膜24构成，该基底膜23由在液体喷射面A的整面形成的等离子聚合膜构成，该疏液膜24由在基底膜23上的中央部所设置的金属烃氧基分子膜构成。
基底膜23，例如可通过氩等离子气体使氧化硅聚合而形成。而且，该基底膜23具有提高后述的分子膜即疏液膜24与喷嘴板20之间的粘结性的作用。另外，疏液膜24由具有疏液性的金属烃氧基分子膜构成，例如，可通过把烃氧基等硅烷耦合剂与稀释剂等溶剂混合，形成金属烃氧基溶液，通过把喷嘴板20浸渍在该金属烃氧基溶液中，使金属烃氧基聚合，形成疏液膜24。由该分子膜构成的疏液膜24具有以下优点：相比以往的疏液膜如通过共析镀形成的疏液膜，可形成得更薄，并且提高“耐磨性”及疏液性，在清洗头面时，即使擦拭液体喷射面A，疏液性也不会劣化。另外，这样形成的叠层膜22的疏液膜24，具体地讲，是采用后述的制造方法，只形成在液体喷射面A的中央部。即，在喷嘴板20的液体喷射面A，沿着四边形的外周，形成有无疏液膜24的非疏液区域25。在本实施方式中，作为非疏液区域25，不设置疏液膜24，只设置基底膜23。
将固定板250利用粘结剂400粘结在这样的喷嘴板20的液体喷射面A的非疏液区域25，该固定板250为保持喷墨式记录头2的保持部件。具体地说，如图1和图4所示，固定板250由平板构成，并具有露出喷嘴开口21的露出开口部251、和接合部252，该接合部252划分出露出开口部251，并且与头本体220的液体喷射面A的喷嘴列21A的两端部侧接合。
在本实施方式中，接合部252由固定用框部253和固定用梁部254构成，该固定用框部253覆盖多个喷墨式记录头，沿着液体喷射面A的外周设置，固定用梁部254，其延伸设置在相邻的喷墨式记录头2之间，分隔露出开口部251。由固定用框部253和固定用梁部254构成的接合部252同时与多个喷墨式记录头2的液体喷射面A接合。
另外，将在后面进行详细说明，在喷嘴板20的非疏液区域25与粘结剂400的界面存在着底胶残留层410，该底胶残留层410是在对喷嘴板20的非疏液区域25实施底胶处理而涂敷底胶液之后，经由粘结剂400与固定板250粘接，底胶液与粘结剂400反应而残留下的。
另外，在本实施方式中，也对固定板250的粘接有粘结剂400的区域预先实施底胶处理，在该固定板250与粘结剂400的界面也存在底胶残留层411。
另外，在本实施方式中，喷嘴板20与流路形成基板10通过粘结剂401粘结。因此，喷嘴板20的与流路形成基板10之间的粘结区域同样也成为非疏液区域26。在本实施方式中，把喷嘴板20的与液体喷射面A相反侧的面的整面做成非疏液区域26。而且，在喷嘴板20的非疏液区域26与粘结剂401之间的界面中也存在底胶残留层412。当然，在流路形成基板10与粘结剂401之间的界面中也存在底胶残留层413。
这样，通过对喷嘴板20的非疏液区域25、26、和与喷嘴板20粘接的流路形成基板10以及固定板250的粘接区域实施底胶处理，形成底胶残留层410～413，可提高喷嘴板20与流路形成基板10和固定板250之间的粘结强度，防止发生剥离。特别是，如本实施方式那样，通过不仅对喷嘴板20的非疏液区域25、26，而且还对流路形成基板10以及固定板250的粘接区域进行底胶处理，可防止粘结剂400、401与各个部件之间的界面的粘结强度产生不均匀，从而可切实防止粘结强度比其他区域低的区域更容易发生剥离的情况。
另一方面，如图4所示，在与流路形成基板10的开口面的相反侧，在弹性膜50上形成有压电元件300，该压电元件300通过顺序叠层由金属构成的下电极膜、由锆钛酸铅(PZT)等构成的压电体层、和由金属构成的上电极膜而形成。在形成了这样的压电元件300的流路形成基板10上，接合有蓄墨槽形成基板30。该蓄墨槽形成基板30具有构成蓄墨槽100的至少一部分的蓄墨槽部31。在本实施方式中，该蓄墨槽部31，通过在整个压力发生室12的宽度方向，把蓄墨槽形成基板30在其厚度方向贯通而形成，通过使其如上述那样与流路形成基板10的连通部13连通，构成蓄墨槽100，该蓄墨槽100为各个压力发生室12的共用墨水室。
另外，在蓄墨槽形成基板30的与压电元件300对置的区域，设有压电元件保持部32，该压电元件保持部32的空间为不妨碍压电元件300运动的大小。
并且，在蓄墨槽形成基板30上，设有用于驱动各个压电元件300的驱动IC110。该驱动IC110的各个端子，通过未图示的焊接导线等，与从各个压电元件300的各个电极引出的引出布线连接。而且，驱动IC110的各个端子通过柔性印刷基板(FPC)等外部布线111与外部连接，通过外部配线111，从外部接收印刷信号等各种信号。
另外，在这样的蓄墨槽形成基板30上接合有柔性基板40。在柔性基板40的与蓄墨槽100相对的区域，通过在厚度方向贯通而形成用于向蓄墨槽100供给墨水的墨水导入口44。另外，柔性基板40的与蓄墨槽100对置的区域的、除墨水导入口44以外的区域，成为在厚度方向薄的可弯曲部43，蓄墨槽100由可弯曲部43密封。该可弯曲部43对蓄墨槽100内赋予柔性。
另外，在各个头本体220的与液体喷射面A相反侧的面，即柔性基板40上，固定有头底座230。
头底座230设有墨水供给连通路径231，该墨水供给连通路径231与墨水导入口44连通，并且与墨盒架210的墨水连通路连通，用于把来自墨盒架210的墨水供给到墨水导入口44。在该头底座230的、与柔性基板40的可弯曲部43对置的区域形成有凹部232，以确保适宜进行可弯曲部43的弯曲变形。另外，在头底座230的、与设在蓄墨槽形成基板30上的驱动IC110对置的区域，设有在厚度方向上贯通的驱动IC保持部233，外部配线111插过驱动IC保持部233，与驱动IC110的连接。
这样的本实施方式的喷墨式记录头2，把来自墨盒的墨水，通过墨水连通路径和墨水供给连通路径231，从墨水导入口44导入，从蓄墨槽100到喷嘴开口21，将内部用墨水充满之后，根据来自驱动IC110的记录信号，对与压力发生室12对应的各个压电元件300施加电压，使弹性膜50以及压电元件300产生翘曲变形，增加各个压力发生室12内的压力，从喷嘴开口21喷出墨滴。
另外，上述的头本体220是通过在1片硅晶片上同时形成多个芯片，粘结喷嘴板20和柔性基板40而构成一体化，然后分割成每个如图3所示那样的1个芯片尺寸的流路形成基板10，而成为头本体220。
在墨盒架210的底面固定有4个这样的喷墨式记录头2。在本实施方式中，4个喷墨式记录头2被配置成在喷嘴列21A的排列方向上相距规定的间隔。即，在本实施方式的1个喷墨式记录头2中，设有8列喷嘴列21A。通过这样使用多个喷墨式记录头2来实现由排列设置的喷嘴开口21构成的喷嘴列21A的多列化，这与在1个喷墨式记录头2中形成多列喷嘴列21A的情况相比，可防止成品率的下降。另外，为了实现喷嘴列21A的多列化，通过使用多个喷墨式记录头2，可增加由1个硅晶片可形成的头本体220(喷墨式记录头2)的获得数量，从而可减少硅晶片的浪费区域，降低制造成本。
另外，对这样的4个喷墨式记录头2，如上所述，作为保持部件的固定板250，使用粘结剂400粘结在多个喷墨式记录头2的液体喷射面A(非疏液区域25)上，喷墨式记录头2由作为保持部件的固定板250进行定位保持。
并且，如图2和图3所示，在固定板250的喷墨式记录头2的相反侧，喷墨式记录头组件1设有具有箱形状的头罩240，该头罩240覆盖多个喷墨式记录头2，该头罩240具有固定部242和侧壁部245，固定部242对应固定板250的露出开口部251设置了开口部241，侧壁部245设在头本体220的墨滴喷出面的侧面，在整个固定板250的外周被弯曲。
在本实施方式中，固定部242由框部243和梁部244构成，框部243对应固定板250的固定用框部253而设置；梁部244对应固定板250的固定用梁部254而设置，并分割开口部241。另外，由这样的框部243和梁部244构成的固定部242与固定板250的接合部252接合。
另外，如图2所示，在头罩240的固定部242设有支撑部246，该支撑部246设有用于把头罩240定位固定在墨盒架210上的固定孔247。该支撑部246被弯曲设置成从侧壁部245向与液滴喷出面的面方向相同方向突出。另外，在本实施方式中，头罩240被固定在墨盒架210上。即，在墨盒架210上设有突起部215，该突起部215向液体喷射面A侧突出，并插入头罩240的固定孔247内，通过把该突起部215插入头罩240的固定孔247内，并且加热突起部215的前端部，把头罩240固定在墨盒架210上。
由于这样，利用固定板250将喷墨式记录头2的液体喷射面A与头罩240之间无间隙地接合，可防止记录介质进入该间隙，防止头罩240的变形以及卡纸。另外，通过使头罩240的侧壁部245覆盖多个喷墨式记录头2的外周缘部，可切实地防止墨水回流到喷墨式记录头2的侧面。
另外，上述的例子是把头罩240接合在固定板250的头本体220的相反侧的面上，但不限于此，例如，也可以不把头罩240与固定板250接合，而设置成具有规定的间隔，或相互抵接。
这里，对本实施方式的喷墨式记录头组件1的制造方法进行说明。另外，图5和图6是表示本发明的实施方式1所涉及的喷墨式记录头组件1的制造方法的剖面图。
首先，如图5(a)所示，在设有喷嘴开口21的喷嘴板20的液体喷射面A，形成由等离子聚合膜构成的基底膜23。基底膜23例如可通过使用氩等离子气体使氧化硅发生聚合而形成。
然后，如图5(b)所示，在喷嘴板20的基底膜23上和未形成基底膜23的区域的整面，形成由金属烃氧基的分子膜构成的疏液膜24。即，在喷嘴板20的液体喷射面A、和液体喷射面A的相反侧的面形成疏液膜24。由此，在喷嘴板20的液体喷射面A上形成由基底膜23和疏液膜24构成的叠层膜22。另外，关于由分子膜构成的疏液膜24的形成方法，没有特殊的限定，例如，可以把烃氧基硅烷等硅烷耦合剂与稀释剂等溶液混合，形成金属烃氧基溶液，通过把喷嘴板20浸渍在该金属烃氧基溶液中，使金属烃氧基聚合，来形成疏液膜。
然后，如图5(c)所示，在喷嘴板20的液体喷射面A形成非疏液区域25。具体地说，首先，在喷嘴板20的液体喷射面A的叠层膜22上的规定区域形成保护膜420。保护膜420形成在喷嘴板20的除了与固定板250接合的非疏液区域25以外的区域。作为这样的保护膜420，只要对后述的等离子处理和底胶液具有耐性且具有良好的剥离性即可，没有特殊的限定，例如也可以是胶带或抗蚀剂等。另外，在使用胶带作为保护膜420的情况下，只要把由胶带构成的保护膜420贴在液体喷射面A上即可。另外，在使用抗蚀剂作为保护膜420的情况下，只要在液体喷射面A的整面上形成抗蚀剂膜，然后图案化为规定的形状即可。在本实施方式中，考虑到作业效率，采用用胶带构成的保护膜420贴在液体喷射面A。另外，作为这样的由胶带构成的保护膜420，例如，从操作性和剥离性的方面考虑，可列举出紫外线照射剥离膜(例如リンテツク公司制E-6142S等)和热剥离膜(例如リンテツク公司制リバα等)。
这样通过使用胶带或抗蚀剂膜作为保护膜420，可以不用保护膜420覆盖喷嘴板20的液体喷射面A的非疏液区域25，即覆盖喷嘴板20的疏液区域A的四边的周围，只选择性地保护希望保留疏液膜24的区域。由此，可容易形成非疏液区域25。即，作为保护膜，虽然也可以考虑使用金属掩模，但由金属掩模构成的保护膜有可能覆盖喷嘴板20的液体喷射面A侧的四边，在之后的工序中，不容易形成非疏液区域。
然后，把设置了保护膜420的喷嘴板20的与液体喷射面A相反侧的面，载置在工作台421上，对喷嘴板20的液体喷射面A侧实施等离子处理。由此，把喷嘴板20的液体喷射面A的未被保护膜420覆盖区域的疏液膜除去，形成非疏液区域25。即，喷嘴板20的液体喷射面A的非疏液区域25只由基底膜23构成。
这样，通过在喷嘴板20的非疏液区域25保留基底膜23，与选择性地除去非疏液区域25的基底膜23的情况相比，可简化制造工序。另外，与把基底膜23选择性地形成用于构成叠层膜22的区域(非疏液区域25以外的区域)的情况相比，可简化制造工序。
然后，如图6(a)所示，除去喷嘴板20的与液体喷射面A相反侧的面上的疏液膜24。此时，由于基底膜23未形成在与液体喷射面A相反侧的面上，所以只要除去疏液膜24便露出了喷嘴板20的表面。由于基底膜23是为了提高液体喷射面A上的由分子膜构成的疏液膜24与喷嘴板20的紧密粘结性而存在，所以，在喷嘴板20的与液体喷射面A相反侧的面上，根本不需要设置基底膜23，因此在与液体喷射面A相反侧的面上不存在基底膜23。但在形成基底膜23时，如果在喷嘴板20的与液体喷射面A相反侧的面上也形成基底膜23可以提高效率，则也可以在与液体喷射面A相反侧的面上设置基底膜。在这种情况下，在除去疏液膜24时，不需要除去喷嘴板20的与液体喷射面A相反侧的基底膜23。在本实施方式中，是把喷嘴板20的保护膜420侧的面载置在工作台421上，通过对与液体喷射面A相反侧的面进行等离子处理来除去了疏液膜24。由此，在喷嘴板20的与液体喷射面A相反侧的面上形成了非疏液区域26。
然后，如图6(b)所示，在喷嘴板20的非疏液区域25、26上涂敷底胶液430(底胶处理工序)。具体是，在喷嘴板20的液体喷射面A侧的非疏液区域25和与液体喷射面A相反侧的面的非疏液区域26上涂敷底胶液430。关于底胶液430在非疏液区域25、26上的涂敷方法，没有特殊的限定，例如，可以在非疏液区域25、26上通过将底胶液430喷射或流出进行涂敷，另外，也可以通过把喷嘴板20浸渍在充填了底胶液430的槽中，来涂敷底胶液430。作为这样的底胶液430，只要是能够提高喷嘴板20与粘结剂400、401的粘结性的底胶液，则没有特殊的限定，例如，可以使用东丽道康宁(东レ·ダウンコ一ニング)公司制SH6020(主成分：y-(2-氨基乙烷)氨基丙基)等。
即，在本实施方式中，在除去疏液膜24时保护疏液膜24的保护膜420，在仅对非疏液区域25、26涂敷底胶液430时，具有保护疏液膜24的作用。因此，在进行底胶处理时，不需要再次用保护膜等来保护疏液膜24，从而可简化制造工序，降低成本。当然，也可以与除去疏液膜24的保护膜420不同，而形成保护膜，在进行底胶处理时保护疏液膜24。当然，在进行底胶处理时形成了新的保护膜的情况下，在进行了底胶处理后要除去该保护膜。
然后，在如上述那样，用粘结剂401把喷嘴板20的非疏液区域26与流路形成基板10粘结，形成了头本体220后，在头本体220的与喷嘴板20相反侧的面上粘结头底座230，形成喷墨式记录头2。然后，通过用粘结剂400将固定板250粘接在该喷墨式记录头2的在喷嘴板20的液体喷射面A中所设置的非疏液区域25，构成图1所示的喷墨式记录头组件1。另外，在本实施方式中，对于与喷嘴板20粘接的流路形成基板10以及固定板25的粘接区域，也是在实施了与上述相同的底胶液430的底胶处理后，在这些上面粘接喷嘴板20。
如以上说明的那样，本发明由于在喷嘴板20的液体喷射面A的整面上形成了具有疏液膜24的叠层膜22后，通过选择性除去该疏液膜24，形成非疏液区域25，所以，与选择性形成疏液膜24(叠层膜22)的情况相比，可容易且高精度形成非疏液区域25。另外，通过对喷嘴板20的与固定板250粘接的非疏液区域25实施底胶处理，可提高喷嘴板20与固定板250的粘结强度，防止发生剥离，从而可提高可靠性。
(其他实施方式)
以上，说明了本发明的实施方式1，但本发明的基本结构不限于上述的实施方式。例如，在上述的实施方式1中，作为叠层膜22而使用了由等离子聚合膜构成的基底膜23、和设在基底膜23上的金属烃氧基金属的分子膜构成的疏液膜24，但不限于此，作为疏液膜，例如也可以使用直接形成在喷嘴板20上的包含氟类高分子的金属膜。由这样的金属膜构成的疏液膜，例如通过共析镀可高精度地在喷嘴板20上形成规定的厚度。另外，对于由金属膜构成的疏液膜，在喷嘴板20的整面上形成疏液膜，并且对希望保留的疏液膜区域用保护膜实施保护后，通过干式蚀刻或湿式蚀刻等除去疏液膜的多余部分的区域，由此形成非疏液区域。
另外，在上述的实施方式1中，作为头本体220，举例说明了设有喷嘴开口21的喷嘴板20，但不限于此，例如，作为头本体，也可以是在流路形成基板上形成了喷嘴开口的结构，即，把流路形成基板与喷嘴板形成一体的结构。在这样的情况下，只要在流路形成基板的、喷嘴开口所开口的液体喷射面A，形成具有疏液膜24的叠层膜22即可，在粘接固定板250的液体喷射面A形成非疏液区域25，对该非疏液区域25实施底胶处理即可。
并且，在上述的实施方式1中，是使用粘结剂400把多个喷墨式记录头2粘接在固定板250上，但也可以不设置固定板250，而把多个喷墨式记录头2粘接在头罩240上。即，也可以把头罩240作为保持喷墨式记录头2的液体喷射面A的保持部件。当然，也可以在固定板250或头罩240等保持部件上粘接1个喷墨式记录头2。
另外，在上述实施方式1中，举例说明了具有弯曲振动型压电元件300的喷墨式记录头2，但不限于此，本发明当然也可以应用在具有例如，把压电材料和电极形成材料交替叠层，在轴方向上伸缩的纵振动型喷墨式记录头或基于发热元件等的发热产生的气泡而喷出液滴的喷墨式记录头等，各种构造的喷墨式记录头的头组件中。
另外，作为液体喷射头而说明了一个具有喷出墨水的喷墨式记录头的头组件，但本发明是广泛地把具有液体喷射头的液体喷射头组件的制造方法作为对象。作为液体喷射头，例如可列举出在打印机等图像记录装置中使用的记录头、在液晶显示器等的彩色滤镜的制造中使用的彩色材料喷射头、在有机EL显示器、FED(电致发光显示器)等的电极形成中使用的电极材料喷射头、在生物芯片的制造中使用的生物体有机物喷射头等。
Claims (9)
1.一种液体喷射头组件的制造方法，该液体喷射头组件具有：液体喷射头，其具有液体喷射面，用于喷射液体的喷嘴开口开口于该液体喷射面；和保持部件，其由粘结剂粘接在该液体喷射头的上述液体喷射面，该液体喷射头组件的制造方法特征在于，包括以下工序：
在上述液体喷射面形成疏液膜的工序；在形成了上述疏液膜的上述液体喷射面的与上述保持部件粘接的区域，形成无上述疏液膜的非疏液区域的工序；在上述非疏液区域涂敷底胶液的底胶处理工序；和将上述保持部件用粘结剂粘接在上述液体喷射面的上述非疏液区域的工序，
在形成上述疏液膜的工序中，在上述液体喷射面的整面形成基底膜、在该基底膜上形成由烃氧基金属构成的分子膜的疏液膜，
在形成上述非疏液区域的工序中，除去设在上述液体喷射面的上述基底膜上的上述分子膜。
2.根据权利要求1所述的液体喷射头组件的制造方法，其特征在于，
在上述液体喷射头中，具有：设有上述喷嘴开口的喷嘴板、和具有液体流路的流路形成基板，该流路形成基板由粘结剂粘结在该喷嘴板的与上述液体喷射面相反侧的面，
在形成上述疏液膜的工序中，该疏液膜还形成在与该液体喷射面相反侧的面上，
在形成上述非疏液区域的工序中，在上述液体喷射面的与上述保持部件粘接的区域形成上述非疏液区域，还在与上述液体喷射面相反侧的面上形成上述疏液膜后的区域中形成上述非疏液区域。
3.根据权利要求2所述的液体喷射头组件的制造方法，其特征在于，
形成上述疏液膜的工序包括：只在上述液体喷射面形成基底膜的工序、和在上述喷嘴板的整面及与该液体喷射面相反侧的面形成由烃氧基金属构成的分子膜的疏液膜的工序，在形成上述非疏液区域的工序中，除去在上述喷嘴板的上述液体喷射面的上述基底膜上设置的上述分子膜的上述疏液膜，还除去在上述喷嘴板的与上述液体喷射面相反侧的面设置的上述分子膜的上述疏液膜。
4.根据权利要求2或3所述的液体喷射头组件的制造方法，其特征在于，
在上述底胶处理工序中，在上述喷嘴板的上述液体喷射面的上述非疏液区域、和上述喷嘴板的与上述液体喷射面相反侧的面的上述非疏液区域涂敷上述底胶液。
5.根据权利要求1至3中任意一项所述的液体喷射头组件的制造方法，其特征在于，
形成上述非疏液区域的工序包括：在与上述液体喷射面相对的区域形成使上述非疏液区域开放的保护膜的工序、和隔着上述保护膜对上述疏液膜实施等离子处理，由此除去该疏液膜，形成上述非疏液区域的工序。
6.根据权利要求4所述的液体喷射头组件的制造方法，其特征在于，
形成上述非疏液区域的工序包括：在与上述液体喷射面相对的区域形成使上述非疏液区域开放的保护膜的工序、和隔着上述保护膜对上述疏液膜实施等离子处理，由此除去该疏液膜，形成上述非疏液区域的工序。
7.根据权利要求5所述的液体喷射头组件的制造方法，其特征在于，
在形成上述保护膜的工序中，在上述液体喷射面粘贴由胶带构成的该保护膜。
8.根据权利要求6所述的液体喷射头组件的制造方法，其特征在于，
在形成上述保护膜的工序中，在上述液体喷射面粘贴由胶带构成的该保护膜。
9.一种液体喷射头组件，具有：液体喷射头，其具有液体喷射面，用于喷射液体的喷嘴开口开口于该液体喷射面；和保持部件，其由粘结剂粘接在上述液体喷射头的液体喷射面，其特征在于，
在上述液体喷射面的整面形成有基底膜、在该基底膜上形成有由烃氧基金属构成的分子膜的疏液膜，
通过除去设在上述液体喷射面的上述基底膜上的上述分子膜，在粘接有上述保持部件的区域形成未形成上述疏液膜的非疏液区域，在上述非疏液区域与上述粘结剂之间的界面，在该非疏液区域设有底胶残留层。
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