CN101215100A - 平板玻璃基板减薄蚀刻槽 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种平板玻璃基板减薄蚀刻槽，包括一槽体，所述槽体为长方体形罐体，槽体侧壁的上部开设有进液口，槽体侧壁的下部开设有抽液口，槽体底壁的中心处开设有排液口，槽体底壁上方设置有鼓泡板，所述鼓泡板上开设有均匀分布的圆形鼓泡孔。因此，本发明通过槽体侧壁上开设的进液口与抽液口形成了底部抽液、顶部进液的主动循环模式，能够将蚀刻液从槽体的底部抽出从槽体的顶部回到槽体中，达到了蚀刻液均匀的目的，从而可以蚀刻出厚度均匀的玻璃基板；另外还通过槽体底壁上方设置的开设有均匀分布的圆形鼓泡孔的鼓泡板，能够促使蚀刻液更加均匀，而且还能够及时去除附着在玻璃表面的反应生成物，从而可以蚀刻出表面效果良好的玻璃基板。
Description
技术领域
本发明涉及终端显示产品制造领域，尤其是一种平板玻璃基板减薄蚀刻槽。
背景技术
随着电子信息产业的高速发展，显示产品进入一个崭新的阶段。人们对显示的追求也更加时尚化，超薄终端显示产品成为市场发展的一个主流。显示面板作为显示终端的核心部件，其薄型化是终端产品能否实现薄型化的关键。
目前，受限于前段制程，玻璃基板厂商所能提供的玻璃基板厚度最薄只能到0.5mm，而终端显示产品要求玻璃基板厚度已经达到了0.3mm甚至更薄。因此产生了平板玻璃基板减薄工艺，即将已成盒后的双面玻璃基板通过物理或化学方法去除一层而实现减薄。物理方法即机械研磨，其产能底、良品率低；化学方法即化学蚀刻，该方法蚀刻出来的玻璃基板需要达到厚度均匀、表面效果良好的要求。但是，上述技术方案中所使用的蚀刻槽的具体结构却未见公开。
发明内容
本发明的目的是提供一种平板玻璃基板减薄蚀刻槽，能够蚀刻出厚度均匀、表面效果良好的玻璃基板，从而达到平板玻璃基板减薄的技术要求。
为实现上述目的，本发明提供了一种平板玻璃基板减薄蚀刻槽，包括一槽体，所述槽体为长方体形罐体，槽体侧壁的上部开设有进液口，槽体侧壁的下部开设有抽液口，槽体底壁的中心处开设有排液口，槽体底壁上方设置有鼓泡板，所述鼓泡板上开设有均匀分布的圆形鼓泡孔。
因此，本发明通过槽体侧壁上开设的进液口与抽液口形成了底部抽液、顶部进液的主动循环模式，能够将蚀刻液从槽体的底部抽出从槽体的顶部回到槽体中，达到了蚀刻液均匀的目的，从而可以蚀刻出厚度均匀的玻璃基板；另外还通过槽体底壁上方设置的开设有均匀分布的圆形鼓泡孔的鼓泡板，能够促使蚀刻液更加均匀，而且还能够及时去除附着在玻璃表面的反应生成物，从而可以蚀刻出表面效果良好的玻璃基板。
附图说明
图1为本发明平板玻璃基板减薄蚀刻槽的实施例的立体结构示意图；
图2为图1的主视图；
图3为图1的俯视图。
附图标记说明：
10-槽体； 20-侧壁； 30-进液口；
40-抽液口； 50-底壁； 60-排液口；
70-鼓泡板； 71-鼓泡孔； 80-夹具；
21-前侧壁； 22-后侧壁； 23-左侧壁；
24-右侧壁。
具体实施方式
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
本发明平板玻璃基板减薄蚀刻槽的实施例包括一长方体形罐体的槽体；槽体侧壁的上部开设有进液口，槽体侧壁的下部开设有抽液口，以供形成底部抽液、顶部进液的主动循环模式；槽体底壁的中心处开设有排液口，以供蚀刻完成后排放废弃的蚀刻液；槽体底壁上方设置有鼓泡板，鼓泡板上开设有均匀分布的圆形鼓泡孔，可以使得蚀刻液更加均匀，而且还能够及时去除附着在玻璃表面的反应生成物。
如图1、图2和图3所示，图1为本发明平板玻璃基板减薄蚀刻槽的实施例的立体结构示意图，图2为图1的主视图，图3为图1的俯视图。本实施例包括一槽体10，槽体10为长方体形罐体，槽体侧壁20的上部开设有进液口30，槽体侧壁20的下部开设有抽液口40，槽体底壁50向中心倾斜，该倾斜的中心处开设有排液口60，槽体底壁50上方设置有鼓泡板70，鼓泡板70上开设有均匀分布的圆形鼓泡孔71。进一步地，槽体10中还可以设置有用于固定玻璃基板的夹具80，该夹具80放入槽体10中具有固定位置，以满足平板玻璃基板减薄蚀刻槽的蚀刻流程。
本实施例中，通过槽体侧壁上开设的进液口与抽液口形成了底部抽液、顶部进液的主动循环模式，能够将蚀刻液从槽体的底部抽出从槽体的顶部回到槽体中，达到了蚀刻液均匀的目的，从而可以蚀刻出厚度均匀的玻璃基板；另外还通过槽体底壁向中心倾斜，使蚀刻产生的不溶物最大限度进行沉淀，减少了循环可能抽起的沉淀物重新附着玻璃基板表面而影响其表面效果现象的发生，从而可以蚀刻出表面效果良好的玻璃基板；另外又通过槽体底壁上方设置的开设有均匀分布的圆形鼓泡孔的鼓泡板，能够促使蚀刻液更加均匀，而且还能够及时去除附着在玻璃表面的反应生成物，从而可以蚀刻出表面效果良好的玻璃基板。
进一步地，槽体侧壁均匀缠绕有制冷盘管，用于吸收蚀刻过程中放热产生的热量，使温度稳定。
本实施例中，还可以采用过滤器替代上述倾斜的槽体底壁结构，而该过滤器能够循环过滤去除反应中生成的沉淀物质。
此外，本实施例中，还可以通过其他液体搅拌方式使蚀刻液更加均匀。
本实施例中，进液口30可以分别开设在槽体四个侧壁20即前侧壁21、后侧壁22、左侧壁23和右侧壁24的上部，进液口30的位置与实际蚀刻液的液位基本保持水平，并距离产品即玻璃基板上沿有一定的垂直距离，大约可以为30～100mm；抽液口40可以分别开设在槽体左侧壁23和右侧壁24的下部分，抽液口40的位置与鼓泡板70基本保持水平，鼓泡板70距离夹具80下沿有一定的垂直距离，大约可以为30～100mm；槽体底部做成两边向中间倾斜呈钝角，该钝角大约可以为100～160°；排液口60的直径大约可以为5～20mm；鼓泡孔71的圆心距大约可以为10～50mm。其中进液口30与抽液口40之间蚀刻液的循环流量大约可以为0～150L/min，循环流量由槽体大小决定，槽体越大，循环量越大，最佳循环量＝槽体容积/10；鼓泡板的压力大约可以为0～0.5MPa。
较佳地，下面更为具体地列举具体数据说明本发明平板玻璃基板减薄蚀刻槽的上述实施例。LCD基板的最大尺寸可以为370×470mm，厚度单面0.5mm；槽体尺寸500L×500W×600Hmm(根据产能和基板尺寸需求改变大小)；槽体底壁倾斜钝角为150度；排液口位于槽体底壁倾斜的中心处；抽液口分别位于槽体左侧壁和右侧壁的下部，与鼓泡板基本保持水平；进液口分别位于槽体前侧壁、后侧壁、左侧壁和右侧壁的上部，与实际液位基本持平，距离鼓泡板的垂直距离约为460mm，距离产品即LCD基板上沿的垂直距离约为60mm；鼓泡板距离夹具下沿的垂直距离约为50mm；鼓泡孔的直径约为10mm，圆心距离约为30mm。
经过本发明平板玻璃基板减薄蚀刻槽的实施例，采用上述数据验证之后，得出如下结论：同时放置9片单面厚度0.5mm的产品即LCD面板，蚀刻减薄后单面基板可以为0.4mm、0.35mm、0.3mm和0.25mm，均匀度均小于2％，远远好于厚度均匀度技术指标5％；蚀刻后产品没有严重凸起水纹、斑状雾化、深划痕等瑕疵，有轻微雾化瑕疵产品经短时间抛光后全部去除；经过后续工序如：切割、IC绑定(IC Bounding)等，均与蚀刻前产品的表面效果相同，显示效果也与蚀刻前产品没有区别。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (18)
1.一种平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于包括一槽体，所述槽体为长方体形罐体，槽体侧壁的上部开设有进液口，槽体侧壁的下部开设有抽液口，槽体底壁的中心处开设有排液口，槽体底壁上方设置有鼓泡板，所述鼓泡板上开设有均匀分布的圆形鼓泡孔。
2.根据权利要求1所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于槽体四个侧壁的上部分别开设有进液口，槽体左侧壁和右侧壁的下部分别开设有抽液口。
3.根据权利要求1或2所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述槽体中还设置有固定玻璃基板的夹具。
4.根据权利要求3所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述进液口与所述夹具中玻璃基板上沿的垂直距离为30～100mm。
5.根据权利要求4所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述进液口与所述夹具中玻璃基板上沿的垂直距离为60mm。
6.根据权利要求3所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述鼓泡板与夹具下沿的垂直距离为30～100mm。
7.根据权利要求6所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述鼓泡板与夹具下沿的垂直距离为50mm。
8.根据权利要求1所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述槽体底壁向中心倾斜。
9.根据权利要求8所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述槽体底壁向中心倾斜呈钝角。
10.根据权利要求1所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述均匀分布的圆形鼓泡孔的直径为5～20mm。
11.根据权利要求10所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述均匀分布的圆形鼓泡孔的直径为10mm。
12.根据权利要求1所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述均匀分布的圆形鼓泡孔的圆心距为10～50mm。
13.根据权利要求12所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述均匀分布的圆形鼓泡孔的圆心距为30mm。
14.根据权利要求1所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述进液口与所述抽液口之间蚀刻液的循环流量为0～150L/min。
15.根据权利要求14所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述循环流量等于槽体容积/10。
16.根据权利要求1所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述鼓泡板的压力为0～0.5MPa。
17.根据权利要求16所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述鼓泡板的压力为0.3MPa。
18.根据权利要求1所述的平板玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于所述槽体侧壁均匀缠绕有制冷盘管，用于吸收蚀刻所产生的热量。
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