CN101208171B - 确定激光束的焦点位置的方法 - Google Patents
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/EP2005/006805 WO2006136192A1 (de) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | Verfahren zur bestimmung der fokuslage eines laserstrahls |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101208171A CN101208171A (zh) | 2008-06-25 |
| CN101208171B true CN101208171B (zh) | 2011-01-12 |
Family
ID=35717534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN200580050205XA Expired - Fee Related CN101208171B (zh) | 2005-06-23 | 2005-06-23 | 确定激光束的焦点位置的方法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8304691B2 (enExample) |
| EP (1) | EP1750891B1 (enExample) |
| JP (1) | JP5393150B2 (enExample) |
| CN (1) | CN101208171B (enExample) |
| AT (1) | ATE376473T1 (enExample) |
| DE (1) | DE502005001790D1 (enExample) |
| WO (1) | WO2006136192A1 (enExample) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE102007047298B3 (de) * | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur Fokuslagenbestimmung und Laserbearbeitungsdüse |
| DE102007063627B4 (de) | 2007-10-02 | 2010-08-12 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Verfahren zur Bestimmung der Lage eines Laserstrahls relativ zu einer Öffnung, sowie Laserbearbeitungsmaschine |
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-
2005
- 2005-06-23 DE DE502005001790T patent/DE502005001790D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2005-06-23 AT AT05762339T patent/ATE376473T1/de active
- 2005-06-23 JP JP2008517330A patent/JP5393150B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-06-23 EP EP05762339A patent/EP1750891B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2005-06-23 WO PCT/EP2005/006805 patent/WO2006136192A1/de not_active Ceased
- 2005-06-23 CN CN200580050205XA patent/CN101208171B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-12-21 US US11/963,570 patent/US8304691B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101208171A (zh) | 2008-06-25 |
| WO2006136192A1 (de) | 2006-12-28 |
| US20080180657A1 (en) | 2008-07-31 |
| JP5393150B2 (ja) | 2014-01-22 |
| ATE376473T1 (de) | 2007-11-15 |
| EP1750891A1 (de) | 2007-02-14 |
| US8304691B2 (en) | 2012-11-06 |
| DE502005001790D1 (de) | 2007-12-06 |
| EP1750891B1 (de) | 2007-10-24 |
| JP2008543572A (ja) | 2008-12-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110112 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |