CN101168116A

CN101168116A - 一种四氟乙烯生产尾气的回收方法

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Publication number: CN101168116A
Application number: CNA2006101500861A
Authority: CN
Inventors: 单杰; 王新平; 谢建平; 胡经宇; 吕军旗
Original assignee: Tri-Gain Technologies (beijing) Co Ltd
Current assignee: Tri-Gain Technologies (beijing) Co Ltd
Priority date: 2006-10-26
Filing date: 2006-10-26
Publication date: 2008-04-30

Abstract

本发明涉及一种四氟乙烯生产尾气的回收方法，采用两级或多级膜分离过程，含有TFE的气体混合物以气态通过一级气体分离膜组件，渗余气进一步回收TFE，渗透气用二氧化碳等易分离物质调整浓度并脱氧后进入第二级膜分离组件，二级膜分离组件渗余气进一步回收TFE，或者将渗余气直接返回到一级膜分离器入口循环回收TFE和分离CO，二级膜渗透气高空排放或进一步处理；或者一级渗透气直接进入第二级膜分离组件，二级膜分离组件渗余气进一步回收TFE，二级膜渗透气高空排放。与现有技术相比，本发明方法具有流程简单、TFE回收率高、不使用溶剂、成本低等特点。

Description

一种四氟乙烯生产尾气的回收方法

技术领域

本发明涉及一种四氟乙烯(TFE，分子式C₂F₄)生产尾气的回收方法，即从含有TFE、一氧化碳等组分生产尾气中回收TFE的方法。

背景技术

氟是VII主族第一个元素，电负性最大，原子半径小，范德华半径为0.135nm，只比氢原子范德华半径0.12nm稍大。有机化合物中的氢原子大多可以被体积相差不大的氟原子取代，形成数量众多的有机氟化合物。由于氟具有大的电负性、小的原子半径、氟碳键低的极化率及弱的分子间作用力，有机化合物中引入氟后常伴有显著的物理化学性质改变，具有各种特殊性质，因此，有机氟化合物现已被广泛用于国民经济各个领域。目前大规模生产的有机氟产品有致冷剂、气雾剂、发泡剂、灭火剂等小分子含氟化合物和氟塑料、氟弹性体等高分子含氟化合物以及含氟农药与医药中间体等。

含氟聚合物是有机氟工业中生产工艺最复杂、技术含量最高的产品，市场上已有数百个品种，全球年生产规模超过十万吨，其用途遍及各行各业。含氟单体作为含氟聚合物的原料发展至今，已合成了上百种化合物，其中最重要的有四氟乙烯(TFE)、六氟丙烯(HFP)、三氟氯乙烯、偏氟乙烯、氟乙烯等十来种含氟单烯烃。

四氟乙烯是目前生产量最大、最重要的含氟单体，它是聚四氟乙烯的原料，是诸多含氟共聚物的共聚单体，也是多种含氟化合物的中间体。四氟乙烯生产水平代表了一个国家有机氟工业发展的水平。

四氟乙烯最早见于1933年Ruff等将四氟化碳在碳弧中进行热分解时的产物之中。但真正实现工业生产是在发现聚四氟乙烯之后，由J.D.Park等于1945年提出的二氟一氯甲烷通过热解制备。四氟乙烯大规模生产始于1946年，美国西弗吉尼亚州的帕克斯堡第一个工业化装置于1950年投产。由于该路线制备四氟乙烯路线原料易得、方法简单、技术日趋成熟、便于工业生产，因此该法被广泛采用。目前世界上仍在工业化使用的二氟一氯甲烷制造四氟乙烯的技术主要有两种：空管热解和过热水蒸汽稀释热解。

二氟一氯甲烷空管热解是美国杜邦公司最早开发并进行工业化的生产方法。二氟一氯甲烷在管式炉中于800℃～900℃，在常压和没有稀释剂的情况下进行热解。除杜邦公司以外，早期的英国ICI公司、日本的三井氟化学公司和法国的阿托菲纳都是采用二氟一氯甲烷空管热解技术。前苏联和我国早期中试装置也是采用空管热解法生产四氟乙烯。

水蒸汽稀释热解是20世纪50年代末至60年代初发展起来的新工艺。过热水蒸汽稀释热解方法是以高于热解温度的过热水蒸汽作为热载体，与预热到接近反应温度的二氟一氯甲烷原料预先进行混合并热解。过热水蒸汽一方面提供热解所需之热量，另一方面降低了二氟一氯甲烷分压，获得了较好的效果。由于该法转化率高，副产物少，产率高，它已成为工业上制取四氟乙烯的重要方法之一。目前世界上除杜邦公司以外，大部分公司均采用水蒸汽稀释热解技术生产四氟乙烯，最大单套装置能力达到20000吨/年。

二氟一氯甲烷热解反应的化学过程很复杂，热解产物有30多个组分。主产物是四氟乙烯，副产物除氯化氢外，还有六氟丙烯、八氟环丁烷、四氟氯乙烷、三氟氯乙烯、二氟二氯甲烷及含氢氟烯烃，此外还有一氧化碳、氟化氢等。

用二氟一氯甲烷热解生产四氟乙烯，无论是空管热解还是过热水蒸汽稀释热解，以上提到的这些副产物都是存在的。

一种特定反应条件下的过热水蒸汽稀释热解气主要组成(除氯化氢后)如下：

组分名称	摩尔/％
组分名称	摩尔/％	二氟一氯甲烷	51.37
四氟乙烯	46.24	二氟一氯甲烷	51.37
四氟乙烯	46.24	三氟甲烷	0.032
三氟乙烯	0.035	三氟甲烷	0.032
三氟乙烯	0.035	二氟甲烷	0.013

组分名称	摩尔/％
组分名称	摩尔/％	六氟丙烯	0.345
二氟二氯甲烷	0.105	六氟丙烯	0.345
二氟二氯甲烷	0.105	H(CF₂CF₂)₂Cl	0.077
H(CF₂CF₂)₃Cl	0.106	H(CF₂CF₂)₂Cl	0.077
H(CF₂CF₂)₃Cl	0.106	一氧化碳	1.68

热解气的分离是四氟乙烯生产中的一个重要组成部分。其主要任务是：(1)四氟乙烯单体提纯；(2)二氟一氯甲烷的回收；(3)排放气中有用氟烃(如四氟乙烯、六氟丙烯)的分离和回收；(4)残液废酸的处理。

TFE生产中，进入精馏系统脱轻塔或粗分塔的物料气中含有一部分CO、O₂等不凝性气体在塔顶富集，所以在目前的四氟乙烯生产工艺流程中，CO、O₂和少量的不凝性气体都是通过脱轻塔塔顶进行排放的，塔顶排放尾气中CO占了10～25％，其余为C₂F₄与CHF₃、CH₂F₂、C₂H₂F₂等杂质和不凝性气体。

目前排放尾气中四氟乙烯的分离和回收分离普遍采用的方法是溶剂吸收法：即在较高压力下，排放气中加入一种溶剂(吸收剂)，利用吸收剂对C₂F₄、CO，O₂等气体的溶解度差别，大量的C₂F₄溶解在溶剂中，而CO、O₂和少量C₂F₄高空排放。溶有C₂F₄和少量CO的溶剂在低压下加热解吸，溶剂循环利用，解吸气中的回收C₂F₄返回C₂F₄精馏系统。

溶剂吸收选用的吸收剂通常有三氟三氯乙烷(R113)、二氟一氯甲烷、氯仿、混合溶剂等。

典型溶剂吸收流程一般包括(1)尾气吸收：在尾气吸收塔中加入冷却的吸收剂，从吸收塔塔顶得到不易吸收的组分高空排放。(2)TFE解析：吸收TFE等组分的吸收剂从尾气吸收塔塔釜进入解析塔，从解析塔塔顶得到高含量TFE的解析气，吸收剂从解析塔塔釜进入溶剂循环槽，通过溶剂循环泵经溶剂冷却器返回尾气吸收塔。尾气吸收塔和解析塔塔顶都带有冷凝器。

现广泛采用的溶剂吸收流程回收TFE存在以下缺点：

1、常用的吸收剂R113、氯仿等为国际逐步淘汰或禁用的物质。

2、回收产品纯度差，多数溶剂法中TFE回收率低于85％。

3、运行过程中溶剂有损耗，其一增加运行成本；其二增加环境污染。

4、溶剂吸收过程和溶剂解析过程均需要用冷冻盐水和蒸汽，能耗高。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供一种流程简单、TFE回收率高、不使用溶剂、成本低的四氟乙烯生产尾气回收方法。

本发明四氟乙烯生产尾气的回收方法包括以下内容：

1、含有TFE的气体混合物以气态通过一级气体分离膜组件，由气体分离膜组件得到一股主要为一氧化碳的渗透气和一股主要为四氟乙烯的渗余气，渗余气进一步回收TFE；一级膜渗透气进入二级膜分离组件进一步处理。含TFE气体混合物通过一级气体分离膜组件时的温度为-10～60℃，压力为0.5～1.4MPa(a)，膜组件两侧压力差为0.3～1.1MPa，气体停留时间为1.5～2S。

2、一级膜渗透气进入二级气体分离膜组件，由二级气体分离膜组件得到一股主要为一氧化碳的渗透气和一股主要为四氟乙烯的渗余气，渗余气进一步回收TFE，或者将渗余气直接返回到一级膜分离器入口循环回收TFE和分离CO；二级膜渗透气高空排放或进一步处理。

一级气体膜分离过程得到的渗透气，可以直接进入二级气体分离膜组件进行分离，也可以与二氧化碳或六氟丙烯混合后进入二级气体分离膜组件，也可以经过进一步处理后进入二级气体分离膜组件。一种具体处理过程如下：将一级膜渗透气外加一种易分离的气体(二氧化碳或六氟丙烯等)在混配罐混合，降低TFE含量到40％～55％，混配气经除氧器除氧后，压缩到0.4～1.4MPa(a，即绝对压力，下同)，温度降低到40℃以下，一般为0～40℃，进入二级气体分离膜组件。二级膜分离组件两侧压力差为0.1～1.3MPa，气体停留时间为1～2秒。

本发明所述的TFE生产中用多级膜回收TFE的方法，也可以采用两级或两级以上的多级膜分离。例如，可以采用三级膜分离，即将第二级膜分离过程得到的渗透气直接进入第三级膜分离组件，或压缩后进入第三级膜分离组件，也可以用适量CO₂等易分离物质进行TFE浓度调整后进入第三级膜分离组件，第三级膜分离的渗透气高空排放，渗余气进入TFE进一步回收系统或循环回第一级或第二级膜分离入口，第三级膜分离操作条件可以参考第一级和第二级膜分离操作条件。采用三级膜分离工艺的一种具体流程参见实例说明和附图中三级膜流程。

含四氟乙烯的生产尾气一般含有四氟乙烯、一氧化碳、六氟丙烯、微量氧气等。生产尾气包括在四氟乙烯正常生产中，中间冷凝器或事故冷凝器排出的含TFE、CO不凝气，或者脱轻塔和粗分塔排放出的含TFE、CO不凝气。其组成因操作温度和压力的不同有细微差别，组成范围为CO10％～25％，TFE 75％～90％，其它组分微量。

空管热解工艺的生产尾气中有少量的CO，也可以用膜分离的方法分离，但是由于含量较少，单级膜分离装置就可以了。

本发明所指的气体分离膜组件为气体膜分离行业所熟知的由气体分离膜和其它必需零部件组合的可进行气体分离的工业设备；分离膜组件包括过滤器、多根并联和/或串联膜等部件。

本发明所指的含氟气体分离膜为高分子材料制作的溶解-解析膜。溶解-解析膜为能通过溶解-解析过程速度差异分离C₂F₄、CO、CO₂、O₂等混合物的橡胶态高分子膜或玻璃态高分子膜中的任意一种。含氟气体分离膜两级或多级膜分离装置中，使用的是相同类型的分离膜。气体分离膜的具体选择可以由本领域技术人员根据气体膜分离领域普通知识，按照分离过程的具体要求，通过简单的实验具体确定。

本发明的优点在于该工艺流程简单，操作方便；分离回收过程中不需引入溶剂，分离回收过程不消耗溶剂，因而不产生新的环境污染，并能降低运行成本低；外加的CO₂价格低廉且容易获得，外加的六氟丙烯为本系统副产物，不需外购。此外，由于系统中生产中本身有副产的六氟丙烯，所以也可以将六氟丙烯作为添加物。但是将六氟丙烯作为添加物时系统有所调整，大量的六氟丙烯将返回系统到下游装置处理，不在此处进行排放。参见实例四。

附图说明

图1为本发明的TFE生产中用二级膜回收TFE的方法一个实例流程图。

图2为本发明的TFE生产中用二级膜回收TFE的方法另一个实例流程图。

图3为本发明的TFE生产中用三级膜回收TFE的方法另一个实例流程图。

图4为本发明的TFE生产中用二级膜回收TFE的方法另一个实例流程图(不用压缩)。

具体实施方式

本发明涉及一种含有四氟乙烯(C₂F₄)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO₂)、六氟丙烯(HFP)、微量氧气(O₂)等混合气体新颖的分离及回收方法。更具体的讲是：TFE生产中含有四氟乙烯的尾气通过一级气体分离膜分离为富含四氟乙烯的渗余气和富含一氧化碳的渗透气。然后在渗透气中加入二氧化碳、或者六氟丙烯等气体，加压后再用二级气体分离膜分离，渗透气放空，渗余气回收。也可以根据需要设置多级膜分离。

下述通过实施例进一步说明本发明的方案和效果，将更加有助于对本发明的理解，但并不构成对本发明内容的限制，本发明中所述的各组分的含量为摩尔含量。

本发明所述的渗透气是膜分离低压侧出口的气体，渗余气是膜分离高压侧出口的气体。

在稳定生产中，单级膜分离TFE的回收率达到80％，两级膜分离TFE回收率可以达到90％以上。由于一级膜分离的渗透气中TFE和O₂高，压缩时较危险，外加CO₂使TFE含量降低到45％左右，经过萜烯脱氧器O₂含量降低到30ppm以下。

TFE尾气组成在一种典型生产情况下为CO 17％、TFE 83％、O₂ 40ppm。

膜分离过程是在压力差作为驱动力情况下，TFE、CO、CO₂、O₂等通过溶解-解析过程从膜的高压侧渗透到低压侧，由于渗透速度不同，渗透速度快的气体容易通过而渗透速度慢的气体被截留下来，从而达到分离目的。通过溶解-解析过程速度差异分离不同种类混合气体的过程模式是气体膜分离行业众所周知并广泛应用的模式。

本发明所述的脱氧器为氟化工中常用的萜烯鼓泡或喷淋式脱氧器。

本发明所述的吸附器为氟化工中常用的硅胶或者分子筛吸附器。

本发明所述的压缩机为氟化工中常用的膜式往复或无油离心式压缩机。

本发明所述的缓冲罐等容器为氟化工中常用的压力容器。

特种高效气体分离膜组件是南京新动力科工贸有限公司提供的FM-401，FM-402等型号专用产品，各级膜分离过程可以采用任一型号的产品。

实施例1：参见图1

一级分离：TFE尾气1温度为-10℃、压力为1.1MPa(a)，尾气物质的摩尔量组成为TFE 83％，CO 17％，O₂ 40ppm，通过管道以气态进入一级膜进口吸附器缓冲罐2，稳压提温后(2℃左右)通过一级膜分离器3，膜组件两侧压力差为0.8MPa，气体停留时间为1.5s，分离为CO高含量的渗透气5(物质的摩尔量组成为CO 34％，TFE 66％，O₂ 120ppm)，通过管道引入到混配罐7与CO₂气6混合；另一股为CO低含量的渗余气4(物质的摩尔量组成为TFE 89％，CO 11％，O₂ 10ppm)。渗余气4经减压后返回到TFE压缩回收系统。

二级分离：在混配罐7中加入CO₂气体6，混配气(物质的摩尔量组成为TFE 45％，CO 23.5％，CO₂ 31.5％，O₂ 100ppm)经脱氧器8后进入吸附器缓冲罐9，脱氧后氧含量低于30ppm。脱氧后混配气(温度10℃，压力0.2MPa(绝对压力))进入压缩机10，压缩到0.6MPa(绝对压力)，温度30℃(压缩机出口有冷却器)经缓冲罐11进入二级膜分离器12，膜组件两侧压力差为0.4MPa，气体停留时间为1.5s，渗透气14(物质的摩尔量组成为CO 23％，TFE 18％，CO₂ 59％)高空排放；渗余气13(物质的摩尔量组成为CO 23.5％，TFE 73.5％，CO₂ 3.0％)，经减压后与一级膜分离器渗余气4共同返回到TFE压缩回收系统。

实施例2：参见图2

一级分离：TFE尾气1温度为-10℃、压力为1.1MPa(绝对压力)，TFE尾气1(物质的摩尔量组成为TFE 83％，CO 17％，O₂ 40ppm)通过管道以气态进入一级膜进口吸附器缓冲罐2，二级膜分离器12的渗余气13也进入一级膜进口吸附器缓冲罐2，稳压后通过一级膜分离器3，膜组件两侧压力差为0.9MPa，气体停留时间为1.5s，分离为CO高含量的渗透气5(物质的摩尔量组成为CO 36.5％，CO₂ 2％，TFE 61.5％，O₂ 110ppm)，通过管道引入到混配罐7与CO₂混合；另一股为CO低含量的渗余气4(物质的摩尔量组成为TFE 88％，CO 12％，O₂ 10ppm)。渗余气4经减压后返回到TFE回收系统。

二级分离：在混配罐7中加入CO₂气体6，混配气(物质的摩尔量组成为TFE 45％，CO 26.5％，CO₂ 28.5％，O₂ 100ppm)经过脱氧器8进入吸附缓冲罐9，脱氧后氧含量低于30ppm。脱氧后混配气(温度10℃，压力0.2MPa(绝对压力))进入压缩机10，压缩到1.3MPa(绝对压力)，温度30℃(压缩机出口有冷却器)经过缓冲罐11进入二级膜分离器12，膜组件两侧压力差为1.1MPa，气体停留时间为1.5s，渗透气14(物质的摩尔量组成为CO 27.0％，TFE 18％，CO₂ 55％)高空排放；渗余气13(物质的摩尔量组成为CO 26％，TFE 71％，CO₂ 3.0％)，返回到一级膜进口缓冲罐2循环回收TFE。

实施例3：参见图3

一级分离：TFE尾气1温度为-10℃、压力为1.1MPa(a)，尾气物质的摩尔量组成为TFE 83％，CO 17％，O₂ 40ppm，通过管道以气态进入一级膜进口吸附器缓冲罐2，稳压提温后(2℃左右)通过一级膜分离器3，膜组件两侧压力差为0.9MPa，气体停留时间为1.5s，分离为CO高含量的渗透气5(物质的摩尔量组成为CO 34％，TFE 66％，O₂ 120ppm)，通过管道引入到混配罐7与CO₂气6混合；另一股为CO低含量的渗余气4(物质的摩尔量组成为TFE 89％，CO 11％，O₂ 10ppm)。渗余气4经减压后返回到TFE压缩回收系统。

二级分离：在混配罐7中加入CO₂气体6，混配气(物质的摩尔量组成为TFE 45％，CO 23.5％，CO₂ 31.5％，O₂ 100ppm)经脱氧器8后进入吸附缓冲罐9，脱氧后氧含量低于30ppm。脱氧后混配气(温度10℃，压力0.2MPa(绝对压力))进入压缩机10，压缩到0.6MPa(绝对压力)，温度30℃(压缩机出口有冷却器)经缓冲罐11进入二级膜分离器12，膜组件两侧压力差为0.5MPa，气体停留时间为1.5s，渗透气14(物质的摩尔量组成为CO 23％，TFE 18％，CO₂ 59％)进入缓冲罐15；渗余气13(物质的摩尔量组成为CO 23.5％，TFE 73.5％，CO₂ 3.0％)，经减压后返回到TFE压缩回收系统。

三级分离：二级膜渗透气14(温度30℃，压力0.25MPa(绝对压力))经缓冲罐15进入压缩机16，压缩到0.6MPa(绝对压力)，温度30℃(压缩机出口有冷却器)经缓冲罐17进入三级膜分离器18，膜组件两侧压力差为0.4MPa，气体停留时间为1.5s，渗透气20(物质的摩尔量组成为CO 20％，TFE 3％，CO₂ 77％)高空排放；渗余气19(物质的摩尔量组成为CO 32.4％，TFE 57.2％，CO₂ 10.4％)，经减压后返回到TFE压缩回收系统。

实施例4：参见图1

二级分离：在混配罐7中加入HFP气体6，混配气(物质的摩尔量组成为TFE 50％，CO 25.7％，HFP24.3％，O₂ 100ppm)经脱氧器8后进入吸附缓冲罐9，脱氧后氧含量低于30ppm。脱氧后混配气(温度10℃，压力0.2MPa(绝对压力))进入压缩机10，压缩到0.6～0.7MPa(绝对压力)，温度30℃(压缩机出口有冷却器)经缓冲罐11进入二级膜分离器12，膜组件两侧压力差为0.5MPa，气体停留时间为1.5s，渗透气14(物质的摩尔量组成为CO 46.5％，TFE 36％，HFP 17.5％)高空排放；渗余气13(物质的摩尔量组成为CO 17.8％，TFE 55.2％，HFP 26.8％)，经减压后与一级膜分离器渗余气4共同返回到TFE压缩回收系统。

实施例5：参见图4

一级分离：TFE尾气1温度为-10℃、压力为1.1MPa(a)，尾气物质的摩尔量组成为TFE 83％，CO 17％，O₂ 40ppm，通过管道以气态进入一级膜进口吸附器缓冲罐2，稳压提温后(2℃左右)通过一级膜分离器3，膜组件两侧压力差为0.8MPa，气体停留时间为1.5s，分离为CO高含量的渗透气5(物质的摩尔量组成为CO 34％，TFE 66％，O₂ 120ppm)，进入二级膜分离器；另一股为CO低含量的渗余气4(物质的摩尔量组成为TFE89％，CO 11％，O₂ 10ppm)。渗余气4经减压后返回到TFE压缩回收系统。

二级分离：一级膜渗透气5(压力0.3MPa(a)，温度8℃左右)，进入二级膜分离器6，膜组件两侧压力差为0.2MPa，气体停留时间为为1.5s，渗透气7(物质的摩尔量组成为CO 52％，TFE 48％，O₂ 220ppm)高空排放；渗余气8(物质的摩尔量组成为CO 16％，TFE 84％，O₂ 24ppm)，经减压后与一级膜分离器渗余气4共同返回到TFE压缩回收系统。

Claims

1.一种四氟乙烯生产尾气的回收方法，包括以下内容：

(1)含有TFE的气体混合物以气态通过一级气体分离膜组件，由气体分离膜组件得到一股主要为一氧化碳的渗透气和一股主要为四氟乙烯的渗余气，渗余气进一步回收TFE；一级膜渗透气进入二级膜分离组件进一步处理；

(2)一级膜渗透气进入二级气体分离膜组件，由二级气体分离膜组件得到一股主要为一氧化碳的渗透气和一股主要为四氟乙烯的渗余气，渗余气进一步回收TFE，或者将渗余气直接返回到一级膜分离器入口循环回收TFE和分离CO；二级膜渗透气高空排放或进一步处理。

2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的一级气体膜分离过程得到的渗透气，直接进入二级气体分离膜组件进行分离，或者经过适当处理后进入二级气体分离膜组件。

3.按照权利要求1或2所述的方法，其特征在于：一级气体膜分离过程得到的渗透气在进入二级气体分离膜组件前进行如下处理：将一级膜渗透气外加二氧化碳或六氟丙烯在混配罐中混合，降低TFE含量到40％～55％，混配气经除氧器除氧后，进入二级气体分离膜组件。

4.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的含TFE气体混合物通过一级气体分离膜组件时的温度为-10～60℃，压力为0.5～1.4MPa，膜组件两侧压力差为0.3～1.1MPa，气体停留时间为1.5～2S。

5.按照权利要求1或2所述的方法，其特征在于：进入二级气体分离膜组件的混合气压缩到0.4～1.4MPa，温度降低到40℃以下，膜组件两侧压力差为0.3～1.3MPa，气体停留时间为1～2秒。

6.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：第二级膜分离过程得到的渗透气压缩后进入第三级膜分离组件。

7.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：一级气体膜分离过程得到的渗透气与二氧化碳或六氟丙烯混合，降低TFE含量到40％～55％，然后直接进入二级气体膜分离组件。

8.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：第二级膜分离过程得到的渗透气直接进入第三级膜分离组件，或与二氧化碳或六氟丙烯在混合后进入第三级膜分离组件。

9.按照权利要求6或8所述的方法，其特征在于：第三级膜分离的渗透气高空排放，渗余气进入TFE进一步回收系统或循环回第一级或第二级膜分离入口。

10.按照权利要求1所述的方法，其特征在于：所述的四氟乙烯生产尾气组成范围为CO 10％～25％，TFE 75％～90％。