CN101124511B

CN101124511B - 间隔物的设置方法

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Publication number: CN101124511B
Application number: CN2005800481496A
Authority: CN
Inventors: 林隆介; 关口宽之; 山门祥彦
Original assignee: NAGASE INDUSTRIAL Co Ltd
Current assignee: NAGASE INDUSTRIAL Co Ltd; Nagase and Co Ltd
Priority date: 2005-02-16
Filing date: 2005-02-16
Publication date: 2010-09-08
Anticipated expiration: 2025-02-16
Also published as: JPWO2006087776A1; KR100876850B1; CN101124511A; WO2006087776A1; JP4814215B2; KR20070111527A

Abstract

一种在彩色滤光片表面设置间隔物方法，该彩色滤光片具有：多个透明着色部，其设置为矩阵状；及遮光部，其设置在透明着色部的间隙，并具备：A步骤，在遮光部上设置多个液滴，该液滴是通过从开口吐出含有间隔物的液体而形成的；B步骤，使A步骤中设置的液滴干燥；C步骤，在B步骤后，在遮光部上设置多个液滴，该液滴是通过从开口吐出含有间隔物的液体而形成的；D步骤，使C步骤中设置的液滴干燥。

Description

间隔物的设置方法

技术领域

本发明是关于间隔物的设置方法。

背景技术

液晶显示器中，彩色滤光片和驱动基板相对设置，这些彩色滤光片与驱动基板之间封入液晶。

该彩色滤光片为，例如在透明基板上，将多个R、G及B各色的透明着色部以3色为一组，排列为矩阵状，同时在各透明着色部之间设置遮光的遮光部。

然后，在驱动基板与彩色滤光片之间，将多个用于维持规定间隔的球状间隔物设置为矩阵状。

在制造这样的液晶显示器时，在彩色滤光片表面设置间隔物之后，在该间隔物上重叠驱动基板。这时，若在彩色滤光片表面的透明着色部上设置间隔物，则作为液晶显示器使用时，有时会影响该透明着色部所对应的像素的显示质量。因此，有必要在彩色滤光片表面的遮光部上设置间隔物。

在遮光部上设置间隔物的方法，具体来说，使从开口吐出含有间隔物的液体而形成的直径大致相同的液滴矩阵状地附着在遮光部上，然后通过干燥液滴，将间隔物固着在遮光部上。更具体而言，从多个开口形成为一列的头装置，对于向与开口排列方向垂直的方向移动的彩色滤光片，以规定定时间歇性地吐出液滴列，由此，在彩色滤光片的遮光部上，将液滴设置为矩阵状。在彩色滤光片上，以液滴彼此不会合而为一的距离分开设置。

专利文献：特开平10-48417号公报

发明内容

但是，含有间隔物的液体中的间隔物浓度，多数情况下都设定为，从头装置的开口吐出的液滴中通常含有1个间隔物。由此可知，概率上不可避免地吐出不含间隔物的液滴。这样将不含间隔物的液滴设置在彩色滤光片后，彩色滤光片上会产生未料到的间隔物未散布部。然后，在该未散布部附近，驱动基板与彩色滤光片的距离变得比周围小，所以做为液晶显示器时会发生波纹等显示不均。

发明者们研究时，为了降低不含间隔物的液滴的发生概率而将含有间隔物的液体中的间隔物含有浓度较通常提高时，间隔物导致头装置的开口发生堵塞，或相反地产生含有大量间隔物的液滴、并在彩色滤光片上发生间隔物伸到透明着色部的情况，因此不佳。

本发明是鉴于上述问题发明的，目的在于提供可降低面板显示不均的彩色滤光片的间隔物散布方法。

本发明的第1间隔物散布方法，是将间隔物设置在彩色滤光片表面的方法，该彩色滤光片具有：多个透明着色部，其设置为矩阵状；和遮光部，其设置在上述透明着色部的间隙。并且具备：A步骤，在遮光部上互相分开地设置多个液滴，该液滴是通过从开口吐出含有间隔物的液体而形成的；B步骤，使A步骤中设置的液滴干燥；C步骤，在B步骤后，在遮光部上互相分开地设置多个液滴，该液滴是通过从开口吐出含有间隔物的液体而形成的；D步骤，使C步骤中设置的液滴干燥。

根据本发明，B步骤中通过干燥液滴而将间隔物固着在彩色滤光片的遮光部上之后，在C步骤中再次将液滴设置在遮光部上，然后干燥。因此，不用担心与A步骤中设置的液滴合而为一所引发的间隔物的移动等，在C步骤中能够再次将液滴设置在遮光部的任意位置上。因此，彩色滤光片上的间隔物密度能够比以往还高，即使有产生不含间隔物的液滴的情况，也能够比以往更能抑制面板形成时的空隙变动。

这里，在C步骤，将液滴设置在与A步骤设置液滴的位置相同的位置上。

由此，在彩色滤光片遮光部的大致同样的位置，分别设置来自多个液滴的间隔物。因此，即使有形成不含间隔物的液滴的情况，供给液滴的位置上1个间隔物都没有的可能性也极小。

这时，彩色滤光片中，行方向上排列了多个红色透明着色部的R行、行方向上排列了多个绿色透明着色部的G行、行方向上排列了多个蓝色透明着色部的B行按照此顺序重复设置在列方向上，且在R行与G行之间、G行与B行之间以及B行与R行之间分别形成作为遮光部的遮光线部，具体制造过程如下。

即，在A步骤，在各遮光线部、或从各遮光线部内每隔1行或数行选择的特定遮光线部上，分别在行方向上互相分开地设置多个液滴，在C步骤，在A步骤中设置了液滴的遮光线部的至少一部分上，在A步骤中设置了液滴的位置上再次设置液滴。

特别是只在B行与R行之间的遮光部上设置液滴时，间隔物与G行的距离变远，即使有任何干扰等情况，间隔物误设置在G行上的可能性也明显降低，所以较佳。

另外，在C步骤，也可以在与A步骤设置液滴的位置仅重叠一部分的位置上设置液滴。

由此，通过A步骤和B步骤，液滴已经干燥且间隔物已经固着，所以C步骤中即使在与A步骤设置位置仅重叠一部分的位置上重新设置液滴，已固着的间隔物也不会移动。由此，能够在已固着的间隔物之间，与这些间隔物分开，重新设置间隔物。因此，能够提高间隔物的密度，即使形成不含间隔物的液滴、产生间隔物的未散布部，与以往相比，也能够抑制面板形成后的空隙变动。

这里，彩色滤光片中，行方向上排列了多个红色透明着色部的R行、行方向上排列了多个绿色透明着色部的G行、行方向上排列了多个蓝色透明着色部的B行按照此顺序重复设置在列方向上，且在R行与G行之间、G行与B行之间以及B行与R行之间分别形成作为遮光部的遮光线部，制作过程如下。

即，在A步骤，在各遮光线部、或从各遮光线部内每隔1行或数行选择的特定遮光线部上，分别在行方向上互相分开地设置多个液滴，在C步骤，对于A步骤中设置了液滴的遮光线部的至少1个，将液滴设置在A步骤中设置了液滴的相邻2个位置之间。最好是将液滴设置在A步骤中设置了液滴的相邻2个位置之间，使之与这2个位置都重叠。

由此，在各遮光线部上，提高间隔物的密度。

另外，彩色滤光片中，行方向上排列了多个红色透明着色部的R行、行方向上排列了多个绿色透明着色部的G行、行方向上排列了多个蓝色透明着色部的B行按照此顺序重复设置在列方向上，且在R行与G行之间、G行与B行之间以及B行与R行之间分别形成作为遮光部的遮光线部，制作过程如下。

即，在A步骤，在从各遮光线部内每隔1行或数行选择的特定遮光线部上，分别设置多个在行方向上互相分开的液滴，在C步骤，在A步骤中未选择的遮光线部上，将液滴设置在与A步骤中设置液滴的位置交错的位置上。

这时，能够互相交错地排列间隔物，所以也能够提高间隔物的密度。

并且，在C步骤，可以与A步骤中设置液滴的位置完全不重叠，例如互相交错地设置液滴。

这里，A步骤及C步骤中吐出多个液滴，最好使用行方向排列了多个开口的头装置进行。

接着，本发明第2间隔物的设置方法，是将间隔物设置在彩色滤光片的遮光部上的方法，该彩色滤光片具有：多个透明着色部，其设置为矩阵状；及遮光部，其设置在透明着色部的间隙。并且具备：H步骤，在遮光部上的同一位置供给多个通过从开口吐出含有间隔物的液体而形成的液滴，并使之并合而为一，从而得到合而为一的液滴，并且在遮光部上互相分开地形成多个该合而为一的液滴；B步骤，使H步骤中形成的液滴干燥。

由此，合而为一的液滴中，与单一的液滴相比，间隔物的存在概率变高。因此，能够减少间隔物的未设置部，并且由于提高了彩色滤光片上的间隔物的密度，所以能够抑制空隙的变动。

这里，彩色滤光片中，行方向上排列了多个红色透明着色部的R行、行方向上排列了多个绿色透明着色部的G行、行方向上排列了多个蓝色透明着色部的B行按照此顺序重复设置在列方向上，且在R行与G行之间、G行与B行之间以及B行与R行之间分别形成作为遮光部的遮光线部时，在H步骤，在各遮光线部、或从各遮光线部内每隔1行或数行选择的特定遮光线部上，分别在行方向上互相分开地形成多个合而为一的液滴。

接着，本发明第3间隔物的设置方法，是将间隔物设置在彩色滤光片的遮光部上的方法，该彩色滤光片具有：多个透明着色部，其设置为矩阵状；及遮光部，其设置在透明着色部的间隙。并且具备：I步骤，在遮光部上沿行方向互相重叠地设置液滴，该液滴是通过从开口吐出含有间隔物的液体而形成，并形成线状液滴，在列方向上设置多个该线状液滴；B步骤，使I步骤中设置的液滴干燥。

由此，在遮光部上形成线状液滴，该线状液滴是液滴合而为一形成线状，该线状液滴中间隔物的密度能够比以往孤立液滴中的密度高。由此，与以往相比，能够提高遮光部上间隔物的密度。因此，即使有吐出不含间隔物的单一液滴的情况，也能够抑制作为面板时的空隙变动。这里，通过在列方向上分开形成线状液滴，能够充分保证间隔物设置位置的控制性。

这里，彩色滤光片中，行方向上排列了多个红色透明着色部的R行、行方向上排列了多个绿色透明着色部的G行、行方向上排列了多个蓝色透明着色部的B行按照此顺序重复设置在列方向上，且在R行与G行之间、G行与B行之间以及B行与R行之间分别形成作为遮光部的遮光线部，制造过程如下。即，在I步骤，在各遮光线部、或从各遮光线部内每隔1行或数行选择的特定遮光线部上，分别设置线状液滴。

接着，本发明第4间隔物的设置方法，是将间隔物设置在彩色滤光片的遮光部上的方法，该彩色滤光片具有：多个透明着色部，其设置为矩阵状；及遮光部，其设置在透明着色部的间隙，并且具备：J步骤，在遮光部上锯齿形地设置液滴，该液滴是通过从开口吐出含有间隔物的液体而形成的；B步骤，使J步骤中设置的液滴干燥。

由此，由于在遮光部上锯齿形地设置液滴，液滴直径即使与以往相同，与以往相比，也可以使多个液滴互相不合而为一地设置在彩色滤光片上。因此，彩色滤光片上间隔物的密度变高，即使有形成不含间隔物的单一液滴的情况，也能够降低基板上产生未设置间隔物的地方所带来的影响，能够抑制空隙的变动。

这里，彩色滤光片中，行方向上排列了多个红色透明着色部的R行、行方向上排列了多个绿色透明着色部的G行、行方向上排列了多个蓝色透明着色部的B行按照此顺序重复设置在列方向上，且在R行与G行之间、G行与B行之间以及B行与R行之间分别形成作为遮光部的遮光线部时，在J步骤，在从各遮光线部内每隔1行或数行选择的特定遮光线部上，分别在行方向互相分开且列方向在同一位置上设置液滴，并且，在与特定遮光线部不同的遮光线部上设置液滴，使其位于与特定遮光线部上的液滴交错的位置。

根据本发明，由于能够抑制作为面板时的空隙变动，所以能够降低彩色滤光片的显示不均。

附图说明

图1是用于第1实施方式间隔物设置方法的间隔物散布装置的模式图。

图2是本实施方式所使用的彩色滤光片的剖面图。

图3是将图2的彩色滤光片一部分剖开的俯视图。

图4是图1的剖面模式图。

图5是图4的概略俯视图。

图6是表示由A步骤在彩色滤光片上设置液滴之后的状态的彩色滤光片的俯视图。

图7是表示由B步骤将图6的彩色滤光片上的液滴干燥之后的状态的俯视图。

图8是表示由C1步骤在图7的彩色滤光片上再次设置液滴之后的状态的俯视图。

图9是表示由D步骤将图8的彩色滤光片上的液滴干燥之后的状态的俯视图。

图10是表示第2实施方式中、由C2步骤在图7的彩色滤光片上再次设置液滴之后的状态的俯视图。

图11是表示由D步骤将图10的彩色滤光片上的液滴干燥之后的状态的俯视图。

图12是表示第3实施方式中、由C3步骤在图7的彩色滤光片上再次设置液滴之后的状态的俯视图。

图13是表示由D步骤将图12的彩色滤光片上的液滴干燥之后的状态的俯视图。

图14是用于第4实施方式间隔物设置方法的间隔物散布装置的模式图。

图15是表示第4实施方式的H步骤中、从头装置41F、头装置41R向彩色滤光片设置液滴中途状态的间隔物散布装置的剖面模式图。

图16是表示由H步骤在彩色滤光片上设置液滴中途状态的俯视图。

图17是表示由B步骤将图16的彩色滤光片上的液滴干燥之后的状态的俯视图。

图18是表示第5实施方式的I步骤中、从头装置41F、头装置41R向彩色滤光片设置液滴中途状态的彩色滤光片的俯视图。

图19是表示由B步骤将图18的彩色滤光片上的液滴干燥之后的状态的俯视图。

图20是表示第6实施方式的J步骤中、从头装置41F、头装置41R向彩色滤光片设置液滴中途状态的彩色滤光片的俯视图。

符号说明

10...间隔物

37...开口

41...头装置

100...彩色滤光片

110A、110A^*、110B、110C、110D、110Ha、110Hb、111H、110Ia、110Ib、110Ja、110Jb、112...液滴

120...遮光部

120BR...遮光线部

120RG...遮光线部

120GB...遮光线部

130...透明着色部

130R...红色透明着色部

130G...绿色透明着色部

130B...蓝色透明着色部

130RL...R行

130GL...G行

130BL...B行

具体实施方式

(第一实施方式：A、B、C1、D步骤)

下面说明本发明第一实施方式的间隔物散布方法。图1是本实施方式中使用的间隔物散布装置的概略模式图。该间隔物散布装置1是从头装置41向上方的彩色滤光片100分别喷射含有间隔物的液体、使含有间隔物的液体的液滴附着在彩色滤光片100下面的装置。

本实施方式的间隔物散布装置1主要具备：搅拌槽20，主要用来搅拌含有间隔物的液体12；头装置41，用来向上方的彩色滤光片100喷射含有间隔物的液体12；管线L1，将含有间隔物的液体从搅拌槽20向头装置41引导；管线L2，将含有间隔物的液体从头装置41向搅拌槽20引导；基板移动单元80，使彩色滤光片100在头装置41上方移动；控制器90，用来控制头装置41和基板移动单元80等。

头装置41具有头容器42和喷射部50。头容器42包含形成有开口37的上板103和形成有与开口37连通的头室43的头室形成部件104。另外，喷射部50包含使头室43内含有间隔物的液体从开口37喷射的锤体52及压电元件54。

具体来说，头容器42是在彩色滤光片100的宽度方向上延伸的箱状。在头容器42的上板103上，多个开口37沿彩色滤光片100的宽度方向排列成一列。

这里，开口37的直径例如为10～50μm左右。而开口37间的间隔例如为100μm左右。这是根据从该开口37吐出并附着在彩色滤光片100表面的液滴直径(例如80μm)来决定的，目的是使开口37排列方向上相邻的液滴彼此不合而为一。

头容器42的一端与管线L1连接，头容器42的另一端与管线L2连接。

头容器42内从上到下依次设置了锤体52及压电元件54。该压电元件54的底部固定在头容器42的底部。压电元件54与控制器90连接，根据控制器90发出的信号向上方伸缩。

锤体52固定在压电元件54上。锤体52的上面从下与各开口37相对，同时与各开口37间隔规定距离。锤体52和压电元件54构成喷射部50。

当压电元件54根据外部来的信号向上方伸展时，锤体52向上方移动。因此，开口37附近的含有间隔物的液体12由锤体52的上端面52d从开口37挤出，向上方喷射含有间隔物的液体12的液滴。

搅拌槽20具备由马达17a旋转的搅拌翼17，搅拌含有间隔物的液体12，将间隔物10分散在液体中。间隔物10例如可以使用粒径1～7μm左右的二氧化硅等硅氧化物粒子或硅改性聚合物等塑料粒子等。另外，分散间隔物10的间隔物载液11，可以使用水与IPA的混合液等。

搅拌槽20可以使用超声波分散器来代替搅拌翼17，根据必要，也可以并用搅拌翼17和超声波分散器。另外，搅拌槽也可以使用容器内设置了固定搅拌叶片的、所谓的静态混合机。

该搅拌槽20浸渍在恒温槽26中，使含有间隔物的液体12的温度几乎保持一定。另外，搅拌槽20，上下方向的高度可自由改变，能够调整含有间隔物的液体12的水面位置。

管线L2与循环泵70连接。循环泵70吸引头容器42内含有间隔物的液体，向搅拌槽20排出。循环泵70最好使用例如无滑动部的磁性式泵等。

基板移动单元80具有基板吸引部82和基板移动部84。基板吸引部82在头装置41上方，由静电或减压等吸引彩色滤光片100并支撑彩色滤光片100。基板移动部使吸引了彩色滤光片100的基板吸引部82沿基板移动方向、即与基板宽度方向垂直的方向水平移动。另外，基板移动部84也可将彩色滤光片100向基板宽度方向移动规定距离，使彩色滤光片100的校准成为可能。基板移动部84最好是能够以高精度移动彩色滤光片100的线性马达式。

控制器90是根据预定程序进行处理的计算机装置，与基板移动单元80、压电元件54、循环泵70以及马达17a连接并控制其驱动。

(彩色滤光片)

接着参照图2及图3说明作为上述间隔物散布装置散布间隔物的对象的彩色滤光片100。

彩色滤光片100，如图所示，具备：基板125、黑色矩阵(遮光部)120、红色着色部(透明着色部)130R、绿色着色部(透明着色部)130G、蓝色着色部(透明着色部)130B、上膜160。

基板125是由玻璃等形成的透明平板。

黑色矩阵(遮光部)120是由对可见光遮光的材料所构成的膜。作为黑色矩阵120的材料，例如：铬、铬/氧化铬等的金属系材料和树脂材料等。该黑色矩阵120，如图2及图3所示，分别在行方向和列方向延伸，构成格子形状，形成矩阵状的多个开口120p。黑色矩阵120列方向的宽120W例如可以为5～30μm左右，黑色矩阵120行方向的宽120V例如可以为5～30μm左右。另外，黑色矩阵的高度120h例如可以为0.1～2μm左右。

而且，本实施方式中的黑色矩阵120为格子形状，也可以采用沿行方向或列方向中任意一个方向延伸的条纹状的遮光部。

红色着色部130R、绿色着色部130G、蓝色着色部130B分别在黑色矩阵120的开口120p内按此顺序沿列方向设置。行方向排列同样的着色部，如图3所示，行方向上排列了多个红色着色部130R的R行130RL、行方向上排列了多个绿色着色部130G的G行130GL、行方向上排列了多个蓝色着色部130B的B行130BL按照此顺序在列方向上设置了多个。红色着色部130R、绿色着色部130G、蓝色着色部130B分别由能够选择性地透过各色可见光的透明着色材料构成，例如，可以使用透明着色树脂。各着色部130R、130G、130B列方向的宽130W例如为5～100μm，行方向的宽130V例如为15～300μm。各着色部130R、130G、130B的高度130h例如为1～2μm。

这里，图3中，各着色部130R、130G、130B的高度130h比黑色矩阵120的高度120h还要高。

这里，将遮光部120中行方向延伸于R行130RL与G行130GL之间的部分作为遮光线部120RG，将遮光部120中行方向延伸于G行130GL与B行130BL之间的部分作为遮光线部120GB，将遮光部120中行方向延伸于B行130BL与R行130RL之间的部分作为遮光线部120BR。

然后横跨各着色部130R、130G、130B及黑色矩阵120形成上膜160。该上膜160是从基板110侧依次具有透明电极膜140和取向膜150的层压体。

透明电极膜140是必须与液晶显示器的驱动基板的像素电极(未图示)相对设置的共通电极，由ITO等透明导电材料形成。透明电极膜140的厚度例如约为0.1μm左右。

取向膜150是将液晶沿期望方向取向的膜，例如可以由聚酰亚胺等树脂材料等形成。取向膜150的厚度例如约为0.1μm左右。

对应黑色矩阵120上面与各着色部130R、130G、130B上面的高度差，彩色滤光片100的表面、即上膜160表面中，与各着色部130R、130G、130B相对的部分高于与黑色矩阵120相对的部分。即，上膜160的表面中，黑色矩阵120的遮光线部120BR、120RG、120RG上形成分别在行方向延伸的沟160a。

这样的彩色滤光片100，例如在基板110上由光刻法等形成格子状的黑色矩阵120后，由光刻法等在黑色矩阵120的开口120p上依次使各着色部130R、130G、130B形成为高于黑色矩阵120，然后在黑色矩阵120及各着色部130R、130G、130B上由溅射法或蒸镀法等形成规定厚度的透明电极膜140，再将规定厚度的聚酰亚胺树脂等取向膜材料涂敷在透明电极膜140上并固化，将其表面研磨后作为取向膜150，由此容易得到。

(间隔物散布方法)

接着说明本发明实施方式的间隔物散布方法。

事先在搅拌槽20中投入含有间隔物的液体12(参照图1)。并且使搅拌槽20的水面高度与头室43的开口37的高度几乎相同。

其次，启动马达17a，驱动搅拌翼17，在搅拌槽20内搅拌含有间隔物的液体12，使间隔物10分散。然后，由循环泵70的驱动，使搅拌槽20中间隔物10分散良好的含有间隔物的液体12经管线L1及管线L2在搅拌槽20与头容器42间循环。

接着，如图4及图5所示，使用基板吸引部82，通过吸引水平地支撑彩色滤光片100，使上膜160朝下，并由基板移动部84进行彩色滤光片100的定位(校准)。这里，设置彩色滤光片100时，使遮光线部120BR、120RG、120GB延伸的方向与头容器42的开口37排列的方向(开口排列方向)平行。

然后，使彩色滤光片100沿基板移动方向水平地移动并通过头装置41上方，同时，多次驱动各压电元件54，使头容器42内的含有间隔物的液体从各开口37向上方喷射。这样一来，如图6所示，每次喷射，在彩色滤光片100的下面，含有间隔物的液体的液滴110A与开口37的数量对应，在行方向互相分开一行地附着。各液滴110A通常包含1个间隔物10。液滴110A的体积例如为4×10^-8～8×10^-8cm³，在彩色滤光片100上的直径，例如为70～80μm。

这里，如图6所示，控制基板移动单元80移动彩色滤光片100的移动速度和压电元件54的驱动间隔，使液滴110A仅在彩色滤光片100中的各遮光线部120BR上附着一行(A步骤)。这里，各液滴110A中，无论是行方向相邻的液滴110A之间，还是列方向相邻的液滴110A之间，彼此都互相分开。行方向的液滴110A的间隔，与图5中的开口37的间隔对应。这时，彩色滤光片100的表面上不可避免地生成不含间隔物10的液滴110A^*来代替含有间隔物10的液滴110A。

接着干燥该彩色滤光片的液滴(B步骤)。具体来说，例如将附着了液滴110A的彩色滤光片100，由未图示的基板搬送装置运送至干燥室内。

在干燥室内，由红外线加热器等干燥该彩色滤光片100上的液滴110A。这样一来，由于表面张力等使间隔物10被拉至液滴110A水平方向的中心附近，因此间隔物10被固着在彩色滤光片100表面上附着了液滴110A的位置的中心部附近。即，间隔物10固着在彩色滤光片100的遮光线部120BR上。这一点，在间隔物10的粒子密度高于间隔物传送液11的密度时，或间隔物10的粒子密度低于间隔物传送液11的密度时都一样。

这时，本实施方式中，由于彩色滤光片100表面的遮光线部120BR上有沟160a，所以间隔物10特别整齐地排列在该沟160a上。

而且，干燥时由作用于间隔物的毛管引力等，即使是表面没有进行特殊处理的间隔物10，也足以固着在彩色滤光片100表面，即使之后的步骤中滴下液滴，已经固着的间隔物10也几乎不会发生移动。特别是将可固着于取向膜的聚合物等涂敷在表面的间隔物、或由化学反应使对取向膜有固着性的官能团键结在表面的间隔物等的表面处理间隔物，能够更加牢固地固着在彩色滤光片100表面。

另外，不含间隔物10的液滴110A^*干燥后，形成间隔物未设置部A。

接着，与之前一样，将该彩色间隔物100设置在间隔物散布装置1的基板移动单元80上，然后在彩色滤光片100的表面散布液滴110B(C1步骤)。液滴110B，与液滴110A一样，由从开口37吐出含有间隔物的液体而形成。这时，如图8所示，与先前A步骤中散布液滴110A的位置相同的位置上再次散布液滴110B。即，对于A步骤中滴下液滴110A的遮光部的各个，在与A步骤中散布了液滴110A的相同位置上散布液滴110B。这样一来，新附着的液滴110B内含有，经A步骤及B步骤已经在表面固着的间隔物10和C1步骤中由液滴110B供给的未固着的间隔物10。这时，向间隔物未设置部A也再次供给液滴110B。

然后，与B步骤同样地干燥液滴110B(D步骤)后，如图9所示，彩色滤光片100的遮光线部120BR上也固着了后来供给的间隔物10。这时，间隔物未散布部A上也供给了来自新液滴110B的间隔物10，所以最终明显降低了1个间隔物10都未设置的间隔物未散布部的发生概率。

根据本实施方式，B步骤中通过干燥液滴110A将间隔物10固着在彩色滤光片100的遮光部上之后，C步骤中再次在遮光部上设置液滴110B并干燥。因此，不用在意液滴的合而为一和间隔物的移动等，C步骤中可再将液滴设置在遮光部上任意位置。因此，与以往相比，能够以更高密度设置间隔物10，即使有生成不含间隔物10的液滴110A*的情况，也较以往更能抑制面板形成时彩色滤光片与驱动基板的空隙变动。

另外，A步骤及C1步骤中，分别在同一位置设置液滴，所以在彩色滤光片遮光部大致相同的位置上，分别设置来自多个液滴的间隔物。因此，即使有形成不含间隔物的液滴的情况，供给液滴的位置上1个间隔物都不存在的可能性也变得极小。

另外，仅在B行130BL与R行130RL之间的遮光线部120BR上设置液滴110A、110B，所以间隔物10与G行130GL的距离变远，即使有某种干扰等情况，间隔物被误设置在绿色透明着色部130G上的可能性也明显降低，所以较佳。

而且，彩色滤光片上间隔物的密度为50～300个/mm²左右，较佳为100～200个/mm²左右，更佳为140～160个/mm²左右。

(第2实施方式：A、B、C2、D步骤)

接着参照图10及图11说明本发明的第2实施方式。

本实施方式中，与第1实施方式同样地实施A步骤和B步骤之后，进行C2步骤。C2步骤与第1实施方式的C1步骤的不同点如下所述。即，C2步骤中，在与A步骤中设置液滴110A的位置不同的位置上设置液滴110C。液滴110C与液滴110A一样，由从开口37吐出含有间隔物的液体而形成。具体来说，C2步骤中，如图10所示，在A步骤中设置液滴的遮光线部120BR上，且在A步骤中设置的彼此相邻的液滴110A的位置之间，分别与这两个位置重叠地设置液滴110C(C2步骤)。具体来说，彩色滤光片100的基板移动单元80进行校准时，可以事先将彩色滤光片100稍微向开口37的排列方向偏移后吐出液滴。

然后，由与第1实施方式相同的D步骤使液滴110C干燥后，如图11所示，液滴110C中的间隔物10也固着在彩色滤光片100表面。

据此，经A步骤及B步骤已经使液滴110A干燥并使间隔物10固定，所以C步骤中，即使在与A步骤中设置的位置仅重叠一部分的位置上设置液滴，已固着的间隔物也不会移动。由此，能够在已经固着的间隔物10之间，与这些间隔物10分开，设置新的间隔物10，能够提高彩色滤光片上间隔物的密度。因此，即使有生成不含间隔物的液滴110A^*的情况，产生间隔物的未散布部A，也较以往更能抑制面板形成后的空隙变动。

(第3实施方式：A、B、C3、D步骤)

接着参照图12及图13说明本发明的第3实施方式。

本实施方式中，与第2实施方式同样地实施A步骤和B步骤之后，进行C3步骤。C3步骤与第2实施方式的C2步骤的不同点如下所述。即，C3步骤中，如图12所示，在与A步骤中设置液滴110A的遮光线部120BR不同的遮光线部120RG上设置液滴110D，并且，遮光线部120RG中，分别设置液滴110D，使之相对于A步骤设置液滴110A的位置交错(为锯齿形)。(C3步骤)。设置液滴110A的位置与设置液滴110D的位置，彼此一部分重叠。液滴110D也与液滴110B一样，由从开口37吐出含有间隔物的液体而形成。

然后，由D步骤使液滴110D干燥后，如图13所示，液滴110D中的间隔物10也固着在彩色滤光片100表面。

这时也与第2实施方式一样，能够重新设置间隔物，并且能够交错排列间隔物，更加提高了间隔物的密度，所以，即使由不含间隔物的液滴110A^*产生间隔物未散布部A，也能够抑制空隙的变动。

(第4实施方式：H、D步骤)

接着说明本发明的第4实施方式。本实施方式中，如图14所示，使用基板移动方向上具有2个头装置41F、41R的间隔物散布装置。各头装置41F、41R中，开口37的排列方向是互相平行的。另外，头装置41R、41F自身与第1实施方式的头装置41相同。

首先，H步骤中，如图15及图16所示，散布液滴110。具体来说，该H步骤中，从基板移动方向后侧的头装置41R的开口37吐出含有间隔物的液体，在彩色滤光片100的遮光线部120BR上，分别在行方向互相分开地设置液滴110H，同时，从基板移动方向前侧的头装置41F的开口37吐出含有间隔物的液体，在遮光线部120BR上，分别与液滴110H重叠，并使与液滴110H同等体积的液滴110Hb分别到达，在行方向互相分开地设置分别使液滴合而为一的液滴111H。这里，液滴111最好设定为在列方向上也互相分开。

即，通过在彩色滤光片100表面的同一位置多次设置液滴，来设置使液滴合而为一的液滴111H。

然后，与第1实施方式的B步骤相同，使液滴111H干燥后，如图17所示，液滴111H中的间隔物也固着在彩色滤光片100表面。

据此，合而为一的液滴中，与单一的液滴相比，间隔物的存在概率变高。因此，即使形成不含间隔物10的单一液滴110Ha^*，也能减少间隔物的未设置部，能够提高间隔物的密度，所以能够抑制空隙的变动。特别是，合而为一的液滴彼此的设置位置设定为不与其他合而为一的液滴彼此合而为一时，抑制间隔物不均的效果会很高。

(第5实施方式：I、B步骤)

接着参照图18说明本发明的第5实施方式。

本实施方式中，由I步骤在彩色滤光片100表面设置液滴后，由与第5实施方式相同的B步骤干燥液滴。

I步骤与第4实施方式的H步骤的不同点在于，从头装置41R的开口37吐出与上述相同的含有间隔物的液体，在彩色滤光片的遮光线部120BR上，分别在行方向互相分开地设置液滴110Ia，并从头装置41F的开口37吐出含有间隔物的液体，在彩色滤光片的遮光线部120BR上，分别在液滴110Ia彼此之间设置液滴110Ib。这里，各液滴110Ib设置为与相邻2个液滴110Ia都重合。由此，在彩色滤光片100上，形成沿彩色滤光片行方向延伸的线状的线状液滴112。这里，线状液滴112彼此在列方向上互相分开地设置。

然后，由B步骤使液滴干燥后，如图19所示，液滴110C中的间隔物10也固着在彩色滤光片100表面。

据此，在遮光部上形成使液滴合而为一成线状的线状液滴112，该线状液滴112中间隔物的密度，比以往孤立的液滴还要高。由此，与以往相比，能够提高遮光部上间隔物10的密度。因此，即使有形成不含间隔物10的单一液滴110Ia^*的情况，也能够抑制作为面板时的空隙变动。这里，通过在列方向分开地形成线状液滴，能够充分保证间隔物设置位置的控制性。

(第6实施方式：J、B步骤)

接着参照图20说明本发明的第6实施方式。

本实施方式中，由J步骤在彩色滤光片100表面设置液滴后，由与第5实施方式相同的B步骤干燥液滴。

J步骤与第5实施方式的I步骤的不同点在于，从头装置41R的开口37吐出含有间隔物的液体，在彩色滤光片的遮光线部120BR上，在行方向互相分开地设置液滴110Ja，并从头装置41F的开口37吐出含有间隔物的液体，在彩色滤光片的遮光线部120RG上沿行方向互相分开地设置与液滴110Ja相同的液滴110Jb。这里，各液滴110Jb设置为与液滴110Ja交错、即结合液滴110Jb及液滴110Ja，整体排列为锯齿状。这时，液滴110Jb及液滴110Ja最好彼此分开地设置。

然后，由B步骤使液滴干燥后，如图12所示，液滴110C中的间隔物10也固着在彩色滤光片100表面。

据此，在遮光部上液滴设置为锯齿状，所以，即使液滴的直径与以往相同，与以往相比，能够在彩色滤光片上彼此不合而为一地设置多个液滴。因此，彩色滤光片上间隔物的密度变高，即使有形成不含间隔物的单一液滴110Ja^*的情况，也能够降低基板上间隔物未设置部带来的影响，能够抑制空隙变动。

本发明并未限定于上述实施方式，可以有各种变形方式。

例如，上述实施方式中，是从下向上吐出含有间隔物的液体以在彩色滤光片100的下面上设置液滴，但可以从上向下吐出含有间隔物的液体以在彩色滤光片100的上面上设置液滴。

另外，上述实施方式中，主要是在彩色滤光片的遮光线部120BR上设置间隔物，当然在其他遮光部上设置也可以实施。

另外，上述实施方式中，彩色滤光片100表面的遮光部120BR等上形成沟160a，但没有沟也可以实施。

另外，第1、第2、第4及第5实施方式中，只在遮光线部120BR上设置液滴，但也可以只在除此之外的遮光线部120RG或者只在遮光线部120GB上设置液滴。另外，第1、第2、第4及第5实施方式中，从所有的遮光线部中每隔2个选择出的特定遮光线部上设置液滴，但也可以根据遮光线部间的间隔，从所有的遮光部中每隔1个选择出的特定遮光线部上设置液滴，另外，也可以从所有的遮光部中每隔3个以上选择出的特定遮光线部上设置液滴，而且，还可以在所有的遮光线部上设置液滴。

另外，第3及第6实施方式中，通过在遮光线部120BR及遮光部RG上设置液滴而得到锯齿状的排列，但也可以对任意的遮光部设置液滴来得到锯齿状排列。

另外，第3～第5实施方式中，使用的是具有2个头装置41R、41F的间隔物散布装置，但使用图1所示的具有1个头装置41的间隔物散布装置，由1个头装置41对同样的彩色滤光片进行2次液滴散布，也能够实施第3～第5实施方式。

另外，上述实施方式中头容器42的开口37的间隔，只要是一次吐出所形成的液滴互相不合而为一的间隔，可以为任意值。而且，也可以由扫描具有1个开口的装置41来设置液滴。

而且，上述第2～第3实施方式中，在C步骤，与A步骤设置液滴的位置一部分重叠地设置液滴，但设置为不重叠也可以实施。

Claims

1.一种间隔物的设置方法，是将间隔物设置在彩色滤光片的遮光部上的方法，该彩色滤光片具有：多个透明着色部，其设置为矩阵状；及遮光部，其设置在上述透明着色部的间隙，所述间隔物的设置方法的特征在于，具备：

H步骤，向遮光部上的同一位置供给通过从开口吐出多次含有间隔物的液体而形成的多个液滴，并使之合而为一，从而得到合而为一的液滴，同时在遮光部上互相分开地形成多个该合而为一的液滴；以及

B步骤，使上述H步骤中形成的液滴干燥。

2.根据权利要求1所述的间隔物的设置方法，其中，在上述彩色滤光片中，行方向上排列了多个红色透明着色部的R行、行方向上排列了多个绿色透明着色部的G行、行方向上排列了多个蓝色透明着色部的B行按照此顺序重复设置在列方向上，且在上述R行与上述G 行之间、上述G行与上述B行之间以及上述B行与上述R行之间分别形成作为上述遮光部的遮光线部，

在上述H步骤中，在上述各遮光线部、或从上述各遮光线部内每隔1行或数行选择的特定遮光线部上，分别在行方向上互相分开地形成上述多个合而为一的液滴。