CN101111750A - 用于医疗应用的一次性和可微调的无线压力传感器 - Google Patents

用于医疗应用的一次性和可微调的无线压力传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN101111750A
CN101111750A CNA200580047638XA CN200580047638A CN101111750A CN 101111750 A CN101111750 A CN 101111750A CN A200580047638X A CNA200580047638X A CN A200580047638XA CN 200580047638 A CN200580047638 A CN 200580047638A CN 101111750 A CN101111750 A CN 101111750A
Authority
CN
China
Prior art keywords
inductor
capacitor
barrier film
increase
minimizing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA200580047638XA
Other languages
English (en)
Inventor
P·P·迪劳尔
J·D·库克
J·Z·刘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell International Inc
Original Assignee
Honeywell International Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell International Inc filed Critical Honeywell International Inc
Publication of CN101111750A publication Critical patent/CN101111750A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/02—Detecting, measuring or recording pulse, heart rate, blood pressure or blood flow; Combined pulse/heart-rate/blood pressure determination; Evaluating a cardiovascular condition not otherwise provided for, e.g. using combinations of techniques provided for in this group with electrocardiography or electroauscultation; Heart catheters for measuring blood pressure
    • A61B5/021—Measuring pressure in heart or blood vessels
    • A61B5/0215—Measuring pressure in heart or blood vessels by means inserted into the body
    • A61B5/02152—Measuring pressure in heart or blood vessels by means inserted into the body specially adapted for venous pressure
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/10—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in inductance, i.e. electric circuits therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/03—Detecting, measuring or recording fluid pressure within the body other than blood pressure, e.g. cerebral pressure; Measuring pressure in body tissues or organs
    • A61B5/031—Intracranial pressure

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Cardiology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Physiology (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Vascular Medicine (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

公开了一次性压力传感器方法和系统。提供基底，以及固定到该基底以形成其压力传感器的电容器和电感器。在可变L配置中，电感器可被配置以包括电感器表面和隔膜，使得当隔膜经受压力时，隔膜移动靠近电感器表面，由此导致电感的增加以及与电容器和电感器和其它相关电路相关的谐振频率的减少。在可变C配置中，电容器可被配置以包括表面上的一个电极和隔膜上的一个电极，使得当隔膜经受压力时，隔膜移动靠近电容器表面，由此导致电容的增加以及与电容器和电感器和其它相关电路相关的谐振频率的减少。这种增加和/或减少数据可由外部询问检测。

Description

用于医疗应用的一次性和可微调的无线压力传感器
技术领域
实施例通常涉及感测设备和应用。实施例还涉及压力传感器设备、系统及其方法。实施例另外涉及医疗应用中所使用的压力传感器。实施例另外涉及低成本一次性感测设备。
背景技术
各种传感器可以用于检测诸如压力和温度之类的条件。检测压力和/或温度的能力是对经受可变压力条件的任何设备的优点，所述设备可能受到这些条件的严重影响。这种设备的范例是用于血液透析机的导管或药筒，其当然可能经历温度和压力的改变。已经建议了许多不同的技术用于感测导管和药筒中的压力和/或温度，以及将该信息传送给操作者，使得他或她注意到与导管或药筒以及诸如其中血流的任何液体相关的压力和温度条件。
在压力和温度感测应用中已经得到广泛使用的一类传感器是声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)传感器，所述声表面波传感器可以包括底座上的感测元件和作为盖子部分的压力变换器传感器隔膜。为了使SAW传感器正确行使功能，传感器隔膜通常应当在所有压力等级和温度下与感测元件处于紧密接触。
当前SAW传感器设计、尤其那些适于较低压力范围应用的设计具有的一个问题是，常规SAW感测系统当以有效和低成本方式这样运行时，不能符合低压应用(例如，0到500mmHg)中的要求。这种系统是固有昂贵的、难使用的，并且通常在精确感测气压和温度中是不可靠的。继续需要降低在压力和/或温度感测应用中所使用的传感器、尤其是无线压力传感器的设计成本。
在商业和工业应用中已经利用了大量常规的无源无线技术。例如，LC谐振器(振荡回路(tank))传感器具有作为具有低询问成本的低成本传感器利用的潜能，但是提供了相对差的传感器性能。具有被调节的功率、相关的ASIC等的LC振荡回路也已经得到实施，这种设备对于多感测应用可能是良好的，但是这种配置带来了高传感器成本和大面积线圈。
PVDF声波传感器也是已知的并且基于的成本材料，诸如聚合物以及其柔韧性成分，但是PVDF声波传感器通常是压电和焦热电的(即，依赖高温的)，并且不能经受大于120℃的温度。另外，PVDF传感器的尺寸依赖于频率，使得较高的频率增加了传感器的相关成本。常规传感器的另一范例是磁弹传感器(magneto elastic sensor)，其基于低成本材料，但是这种传感器难以克服周围RF效应，同时还具有与永磁材料相关的长期稳定性问题、温度变化和磁滞问题。
无源传感器的又一范例是石英SAW传感器，其通常是精确的，但是导致了高传感器成本(即，材料和蚀刻)，而其微调降低了Q值，并且因此降低了设备的性能。另外，用于这种设备的询问电子器件(interrogation electronics，IE)可能是贵的。PZT SAW感测设备提出了替代方案。PZT材料具有高耦合系数，所述高耦合系数使之可以在无已蚀刻的隔膜的情况下在低压范围中工作。但是，难以控制PZT的化学性质(例如，结晶粒度、方向、残余应力、对在电极/PZT界面处成核现象(nucleation)的控制、Zr/Ti比控制)。PZTSAW传感器设备也受与电极材料迁移相关的问题影响，是使用这种设备的另一缺点。
常规传感器的又一范例是LiNbO3 SAW传感器，其也具有高耦合系数/灵敏度。这种传感器可以在低压测量中被使用，而无需使用昂贵的蚀刻步骤。与石英SAW传感器相比，该LiNbO3 SAW传感器具有较低成本结构，但是对成本有效的应用而言仍然太高，尤其当考虑到其相关的传感器包装和询问电子器件(IE)成本时。光学传感器表现了常规感测应用的额外类型，并且利用安置在柔性反射隔膜前部的光纤。反射光的强度与隔膜的压力引起的偏转相关。相对位置需要参考传感器，并且因此在感测应用中难以控制对准。光学传感器的另一缺点是，这种设备易受环境干扰影响。
为了降低成本和提高效率，少量部件、不太昂贵的材料以及较少的制造处理步骤是必需的。为了实现这些目标，认为应当实施一次性LC振荡回路压力传感器，连同可重复使用的无线询问。迄今，尚未充分地实现这种部件。
检测压力和/或温度的能力是非常重要的一个领域在于医疗应用。例如，可以利用多种技术测量在透析程序期间内和外的压力。用于这种压力测量的最通用方法也许包括使用压力传感器，所述压力传感器可以模制在管道的一个壁中以测量管道中的液压。在该量具中，针基于一尺度以与管道内的压力成比例的方式被偏转。在一些情况下，标准压力量具可以用变换器代替，所述变换器将压力转换成随后被监视的电信号。压力传感器的一种重要的医学应用包括检测患者血压和/或颅内压。
监视血压的一种典型方法是测量静脉管内的液压，所述静脉管以液压方式耦合到患者静脉。将导管插入患者的静脉，并且将塑料管或管道耦合到该导管。可通过塑料管或管道将盐溶液点滴注入以维持对患者静脉内压力的压力平衡。盐液体用作液压液，以使塑料管内的压力与患者静脉内的压力一致。因此，通过测量管中的液压，将知晓患者的血压。
常规的压力传感器在医疗应用中实施是昂贵的，从而体现了尤其在医疗应用中其广泛使用受到限制。因而，认为对这种问题的解决方案包括一次性低成本传感器包装系统，尤其是适于医疗应用的一种系统。
发明内容
提供本发明的下列概要，以便于理解本发明独特的一些创新特征，并且并不意图成为完整的描述。对本发明的各个方面的全面了解可以通过将整个说明书、权利要求书、附图和摘要看作一个整体；来获得。
因此，本发明的一个方面是提供改进的感测设备和应用。
本发明的另一方面是提供改进的压力传感器设备、系统及其方法。
本发明的又一方面是提供改进的一次性压力传感器。
本发明的附加方面是提供压力传感器，所述压力传感器能够用于医疗应用中(例如，用于血液透析机的导管或药筒)。
如在此所述，现在可以实现本发明的前述方面和其他目的与优点。公开了一次性LC无线压力传感器系统和方法。可以提供基底。例如，该基底可以是塑料、PCB或其他低成本材料。在可变电容设计中，电容器电极和平面电感器可以被印刷在基底上以形成其压力传感器。另一电容器电极可以位于压力隔膜上。在可变电感设计中，电感器可以被配置以包括基底上的平面电感器和铁磁压力隔膜，使得当隔膜经受压力时，隔膜移动靠近平面电感器，由此导致电感的增加以及与电容器和电感器和任何相关电路相关的LC振荡回路谐振电路的谐振频率的减少。
这种增加和/或减少数据可通过外部询问检测。隔膜可以由铁磁材料构造，诸如举例而言，Fe3O4、包含铁、镍或钴的合金、铁氧体叠片(ferrite lamination)等。隔膜也可以被构造为有突起的或起波状结构。询问电子器件可以与包括电感器和/或电容器的压力传感器相关联，以便检测电容或电感改变或谐振频率的变化。利用例如用于激光微调电容器和/或电感器的激光微调机构，可以实现校准。
附图说明
在附图中相同的附图标记遍布各个视图指示相同或功能相似的元件，并且所述附图结合在说明书中并且形成其一部分，所述附图还示出了本发明以及与本发明详述一起用于解释本发明的原理。
图1示出了可以根据优选实施例实施的压力传感器系统的框图；
图2示出了可以根据一个实施例实施的系统的示意图；
图3示出了可以根据替代实施例实施的医疗压力感测系统的示意图；
图4示出了可以根据替代实施例实施的包括相关的询问电子器件的传感器系统的示意图；
图5示出了可以根据替代实施例实施的系统的示意图；
图6示出了可以根据替代实施例实施的透析压力传感器系统的框图；
图7示出了根据图6的替代实施例的系统的示意图，其在电学上表示系统的一些运行功能；
图8示出了可以根据实施例实施的电感器的构造；以及
图9示出了可以根据实施例实施的平面电感器的多层系统的视图。
具体实施方式
在这些非限制性范例中所讨论的特定值和配置可以被改变，并且仅被引用以说明本发明的至少一个实施例，而不意图限制本发明的范围。
图1示出了可以根据优选实施例实施的压力传感器系统的框图。可以提供基底101，其上电容器110和电感器104被固定到基底101以形成其压力传感器。电感器104可以配置以包括平面电感器表面和一个铁磁压力隔膜112，使得当隔膜112经受由箭头108指示的压力时，隔膜112移动靠近电感器表面，由此导致电感的增加以及与电容器110和电感器104和任何其相关电路相关联的LC振荡回路谐振电路的谐振频率的减少。这种增加和/和减少可由外部询问检测。
隔膜112可以由铁磁材料106配置，诸如，举例而言，Fe3O4、包含铁、镍或钴的合金、铁氧体叠片等。隔膜112也可以被配置为有突起的或起波状结构。询问电子器件102可以附加地与包括平面电感器114(作为天线)和其它相关电子器件的压力传感器相关联，以便检测电感改变或谐振频率的变化。利用例如用于激光微调电容器和/或电感器的激光微调机构(图1中未示出)，可以实现校准。
因而，在可变电感配置中，可以实施固定电容器110和固定电感器104，连同可移动隔膜112。铁磁材料106位于隔膜112的外侧表面上。当隔膜112受压时，如由箭头108所指示，隔膜112移动(即，与铁磁材料106一起)靠近电感器104，从而其电感增加并且与其电路相关的任何谐振频率减少。这种频率变化可以利用询问电子器件102检测。
图2示出了可以根据一个实施例实施的系统200的示意图。注意到，在图1-2中，相同或相似的部分或部件通常由相同的附图标记指示。因而，图2中所示的系统100也在图1中示出，其与天线202和发射器/接收器单元204相关联，所述发射器/接收器单元也包括天线206。系统202因而可以从天线202将压力数据发射到天线206。系统200表示一个可能的无线实施例。系统100和发射器/接收器单元204之间的无线通信在图2中通常由箭头201指示。
图3示出了可以根据替代实施例实施的医疗压力感测系统300的示意图。注意到，在图1-3中，相同或相似的部分或部件通常由相同的附图标记指示。因此，图1的传感器或系统100也在图3中在与管道301相对的位置处被示出，所述管道可以实施为例如液体303流过的导管，如由箭头302和304所示。液体303可以是例如血液。系统或传感器100因此可以发射数据到发射器/接收器304和从其接收数据，发射器/接收器包括天线306。这种数据的无线发射在图3中由箭头308指示。系统300因此可以用于测量管道301中的体液压。
图4示出了可以根据替代实施例实施的包括相关询问电子器件的传感器系统400的示意图。系统400通常包括函数发生器402，其给振荡器、VCO 404和采样保持电路406提供可变电压。函数发生器402可以被配置为具有其积分器的振荡器电路。
来自采样保持电路406的输出可以提供给ASIC 410。来自VCO404的输出通常在节点A和节点B提供。询问天线可以是例如电感器或线圈412，并且还通常连接到节点A和节点B，并且位于邻近与电容器416并联的电感器或线圈414。线圈414和电容器416一同可以形成传感器电路。栅陷振荡器(Grid Dip Oscillator，GDO)408可以提供采样数据到采样保持电路406，并且可以另外向ASIC 410提供读取数据，而ASIC 410提供由箭头411指示的线性输出信号。
因此，两个电路401和403经由系统400的配置通过电感耦合有效地互相耦合。第一电路401通常提供询问电子器件(IE)，并且通常包括函数发生器402、电压控制式振荡器(即，VCO 404)、采样保持电路406、GOD 408、ASIC 410和询问电感器或线圈412。第二电路403行使传感器的功能或构成传感器的部分，所述第二电路可以包括与电容器416并联的电感器或线圈414。
电感器或线圈412通常行使探针线圈的功能。因而，当探针线圈412接近传感器电路403的线圈414时，两个电路401和403通过电感耦合而有效地耦合。在振荡器(VCO)404的频率被扫描时，传感器电路403中所感应的振荡的幅度将非常低，直到测试振荡器达到传感器调谐电路的谐振频率，在该点所述振荡将“达到峰值”或者幅度急剧增加。因而，在传感器电路403中出现高环流，其作为高阻抗被反射回GDO 408，趋向于减少振荡的水平或者显示振荡“下沉”。
通过测量该“下沉(dip)”，可以确定传感器的谐振频率以及因此可变元件线圈414、416(L，C或L&C)的位移(或压力)。图4因此示出了整个传感器系统400的框图。通常，函数发生器402用相对低的频率以斜坡或三角形波形振荡，并且使VCO 404在额定频率范围之间扫描其输出。VCO 404的输出被引导到探针线圈412，所述探针线圈电感耦合到由电感器或线圈414和电容器416形成的LC振荡回路传感器电路403。由于LC传感器电路403和探针线圈412之间的谐振条件而引起的探针电路401功率的“下沉”可以由GDO电路408检测。
注意到，采样保持电路406通常具有由函数发生器402的电压输出所提供的输入。采样保持电路406还提供输出电压，所述输出电压可以被保持在恒定值，直到来自GDO 408和比较器的另一脉冲应用于采样保持电路406的“采样”输入，如箭头405所指示。采样保持电路406的输出可以被引导到线性化电路、即ASIC 410中。
如箭头411所指示的ASIC 410输出可以被引导到伏特计或适当的用户输入电路中。另外，函数发生器402可以用相对低的频率(例如，10Hz到100Hz)以斜坡或三角形波形振荡，其使电压控制式振荡器VCO 404在所期望的范围(例如，10MHz+/-1 MHz)之间扫描其输出。
系统400中所示的询问电子器件通常与电感器414和电容器416相关联。注意到，图1中所示的电容器110类似于图4中所示的电容器416。相似地，图1中所示的电感器104类似于图4中所示的电感器或线圈414。同样地，图1中所示的询问电子器件102类似于图1中所示的电路401的询问电子器件。因而，系统400可以在图1-3在此所示的配置的背景下实施。
施加到传感器电路403的压力的确定通常不取决于响应的幅度，而可能仅仅取决于谐振振荡的频率，其本质上是数字测量。数字测量可以通过使用模拟量以较高精确度配置，因为测量漂移和增益不稳定性不影响数字测量。频率计数的精确度仅取决于时基(timebase)的稳定性。利用晶体振荡器时基，例如1PPM的稳定性是普遍的。可以确定传感器的谐振频率所用的精确度仅由解决响应的“峰”或“下沉”的能力所限制。这是变换器谐振电路的响应峰的锐度的函数，其可以由电路“Q”或质量因子决定。由于电路“Q”仅是电路电抗对电路阻抗的比，所以变换器应当被设计以具有尽可能最高的电感或电容以及尽可能最低的阻抗，以确保高“Q”。
图5示出了可以根据替代实施例实施的系统500的示意图。注意到，在图1-5中，相同或相似的部分或部件通常由相同的附图标记指示。因而，在系统500中，函数发生器402可以以相对低的频率(例如，100和1000Hz之间)输出斜坡或三角形波形。函数发生器402的电压输出可以被引导到电压控制式振荡器(VCO)404，其输出是以与输入电压成比例的频率的射频正弦波形。
因此，VCO 404的输出可以实施为在所期望的范围(例如，10MHz+/-1 MHz)之间扫描的扫描射频信号(swept radio frequencysignal)。VCO 404的输出驱动探针线圈412，可以使该探针线圈靠近由电感器414和电容器416形成的LC传感器电路。VCO 404输出的一部分可以被引导到跟踪振荡器408和/或锁相环(PLL)电路502，其输出通常跟踪并保持与来自VCO 404的输入频率同步。与驱动探针线圈412的瞬时功率成比例的信号可以被引导到GDO 408中，以便于当扫描VCO频率时，在如在图5中所指示的“下沉”响应的最小点处产生输出脉冲。注意到，在系统500的配置中，节点B可以被连接到PLL 502，由此如箭头503所示提供输入电压到PLL502。
可以利用许多方法，用于检测“下沉”，诸如由零交叉检测器跟随的微分电路。GDO 408的脉冲输出仅当已经检测到下沉时存在，并且然后仅位于下沉的最小点处，其中导数为零。该输出可以被引导到跟踪振荡器/PLL 502，以便在检测到“下沉”的瞬间以输入频率“冻结”其振荡频率。可以利用相同的信号来选通(gate)频率计数器504，所述频率计数器可以读取跟踪振荡器/PLL 502的输出频率并且显示结果计数。
系统500可以在医疗应用的背景下实施，诸如透析机。透析机通常包括透析药筒。当透析药筒远离透析机时，探针线圈412远离谐振传感器，并且当在其范围内扫描VCO 404时，GDO 408未检测到下沉。当系统500最初被激活时，频率计数器的数字显示为空白，并且保持空白直到检测到下沉。当使透析药筒足够接近探针线圈412而被电感耦合时，该条件被反射回系统500的探针电路501。因而，在每个频率扫描期间都可以检测下沉，这使每次扫描频率计数器504的显示都更新一次。
随着压力改变，传感器的谐振频率也改变，并且该改变可以由GDO 408和频率计数器504检测。由于探针线圈412对其传感器的谐振电路的加载效应，该计数将随着探针线圈412和LC传感器电路403之间的距离而轻微改变。当探针线圈和LC传感器电路403之间的耦合尽可能“松散”时，可以产生对调谐电路的谐振频率最精确的测量。
图6示出了可以根据替代实施例实施的透析压力传感器系统600的框图。图7示出了根据图6的替代实施例的系统700的示意图，其在电学上表示系统600的一些运行功能。注意到，在图1-7中，相同或相似的部分通常由相同的附图标记指示。
系统600通常包括透析机612，该透析机包括询问系统线圈412，其相似于图4-5中所示的线圈412。一次性盒式药筒602(或管组)与透析机612相关联，并且可以布置在传感器隔膜608上方，所述传感器隔膜又位于基底610之上。注意到，图6中所示的传感器隔膜608类似于图1中所示的隔膜112。相似地，图6中所示的基底610类似于图1中所示的基底101。
类似于图1中所示的铁磁材料106的铁氧体磁心604靠近电容器606。微调电容器416(参见图4-5中所示的电容器416)以邻近传感器线圈414(即，参见图4-5中所示的线圈414)方式布置。可以利用前述部件以实施由低成本材料(例如，PCB和模压隔膜608)所配置的电感耦合式压力传感器。通过可移动铁心604和/或包括电容器606的电容压力传感器可以实现对电感的改变。
随着磁心材料604的渗透性增加或者与电容器606相关的电容改变，线圈414的电感直接增加。如果线圈缠绕在铁或铁氧体磁心604周围，则磁心604的渗透性高。如果将铁或铁氧体磁心604从由线圈414形成的线卷中抽离，则磁心604的渗透性降低。随着磁心604渗透性降低，线圈414的电感也降低。这种配置增加了谐振电路的频率。磁心604的渗透性和线圈414的电感随着由压力改变引起的机械移动而改变。
注意到，在图7中，与系统600相关的系统700指明，通过使用可微调电容器416或可调整电容器605可以实现校准。位于图6的压力隔膜608上的铁心604也在图7中示出，邻近线圈414布置，所述线圈414又与线圈412相对布置，由此提供了电感耦合间距702。另外，箭头704指示，可以将电压输出信号提供给栅陷振荡器(GDO)408。通常，传感器/发射机应答器电路包括谐振LC电路部件414和416。传感器(例如，参见传感器403)的这种谐振LC电路可以电磁耦合到外部检测系统(例如，发射器/接收器)。振荡器408可以在5至500 MHz范围中运行，并且以音频速率(audio rate)扫频。振荡器408可以以传感器的谐振频率经历功率下沉，并且可以利用分析器电路401或501检测该下沉。询问间隔通常受耦合系数、功率、天线效率、线圈尺寸等的影响。
图8示出了可以根据实施例实施的电感器802和804的配置。电感器802可以实施为例如在此所示的电感器或线圈412。相似地，电感器804可以实施为例如在此所示的电感器或线圈414。图9示出了可以根据实施例实施的平面电感器904、906和908的多层系统900的视图901。
提出在此所陈述的实施例和范例以最佳地解释本发明及其实际应用，并且由此使本领域技术人员能够制造和利用本发明。然而，本领域技术人员应意识到，已经提出了前述描述和范例仅为了说明和范例的目的。对于本领域技术人员而言，本发明的其它改变和修改将是显然的，并且随附权利要求的意图是覆盖这些改变和修改。
所述的描述不意图为穷举或者限制本发明的范围。根据上述教导，许多修改和改变是可能的，而不脱离下列权利要求的范围。可以预期，本发明的使用可以包括具有不同特征的部件。意图是，本发明的范围由随附于此的权利要求来限定，在所有方面给出了对等效方案的完全认定。

Claims (22)

1.一次性传感器系统，包括：
基底；以及
电容器和电感器，所述电容器和电感器被固定到所述基底以形成其一次性压力传感器，其中所述电感器包括电感器表面、电容器的至少一个电极以及隔膜，其中当所述隔膜经受压力时，所述隔膜移动靠近所述电感器表面和/或所述至少一个电容器电极，由此导致电感和/或电容的增加、以及与所述电容器和所述电感器相关的谐振频率的减少，其中所述增加和所述减少可由外部询问检测。
2.根据权利要求1的系统，其中所述隔膜包括在可变L配置中所安排的铁磁材料或在可变C配置中所安排的涂覆金属的塑料。
3.根据权利要求2的系统，其中所述铁磁材料包括Fe3O4。
4.根据权利要求2的系统，其中所述铁磁材料包括铁合金。
5.根据权利要求4的系统，其中所述铁合金包括金属玻璃。
6.根据权利要求2的系统，其中所述铁磁材料包括铁氧体叠片。
7.根据权利要求2的系统，其中所述隔膜包括有突起的或起波状结构。
8.根据权利要求1的系统，还包括与所述电感器和所述电容器相关联的询问电子器件。
9.根据权利要求8的系统，其中所述询问电子器件检测所述电感和/或所述电容的所述增加以及所述谐振频率的所述减少。
10.根据权利要求1的系统，还包括用于激光微调所述电容器的激光微调机构，以便根据所述谐振频率的所述减少校准数据。
11.根据权利要求1的系统，还包括用于激光微调所述电感器的激光微调机构，以便根据所述电感的所述增加校准数据。
12.一次性传感器系统，包括：
基底；
电容器和电感器，所述电容器和电感器被固定到所述基底以形成其一次性压力传感器，其中所述电感器包括电感器表面、电容器的至少一个电极以及隔膜，其中当所述隔膜经受压力时，所述隔膜移动靠近所述电感器表面和/或所述至少一个电容器电极，由此导致电感和/或电容的增加、以及与所述电容器和所述电感器相关的谐振频率的减少，其中所述增加和所述减少可由外部询问检测；以及
与所述电感器和所述电容器相关联的询问电子器件，其中所述询问电子器件检测所述电感和/或所述电容的所述增加以及所述谐振频率的所述减少。
13.一次性传感器方法，包括下列步骤：
提供基底；
将电容器和电感器以固定方式固定到所述基底以形成其一次性压力传感器；以及
配置所述包括电感器表面、至少一个电容器电极和隔膜，其中当所述隔膜经受压力时，所述隔膜移动靠近所述电感器和/或所述至少一个电容器电极的表面，由此导致电感和/或电容的增加、以及与所述电容器和所述电感器相关的谐振频率的减少，其中所述增加和所述减少可由外部询问检测。
14.根据权利要求13的方法，还包括步骤：从在可变L配置中所安排的铁磁材料或在可变C配置中所安排的涂覆金属的塑料来配置所述隔膜。
15.根据权利要求14的方法，其中所述铁磁材料包括Fe3O4。
16.根据权利要求14的方法，其中所述铁磁材料包括铁合金。
17.根据权利要求16的方法，其中所述铁合金包括金属玻璃。
18.根据权利要求15的方法，其中所述铁磁材料包括铁氧体叠片。
19.根据权利要求15的方法，还包括步骤：配置所述隔膜以具有有突起的或起波状结构。
20.根据权利要求14的方法，还包括步骤：将询问电子器件与所述电感器和所述电容器相关联，其中所述询问电子器件检测所述电感和/或所述电容的所述增加和所述谐振频率的所述减少。
21.根据权利要求14的方法，还包括步骤：利用用于激光微调所述电容器的激光微调机构根据所述谐振频率的所述减少来校准数据。
22.根据权利要求14的方法，还包括步骤：利用用于激光微调所述电感器的激光微调机构根据所述电感的所述增加来校准数据。
CNA200580047638XA 2004-12-02 2005-11-21 用于医疗应用的一次性和可微调的无线压力传感器 Pending CN101111750A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/002,409 US7059195B1 (en) 2004-12-02 2004-12-02 Disposable and trimmable wireless pressure sensor for medical applications
US11/002,409 2004-12-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101111750A true CN101111750A (zh) 2008-01-23

Family

ID=35996160

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA200580047638XA Pending CN101111750A (zh) 2004-12-02 2005-11-21 用于医疗应用的一次性和可微调的无线压力传感器

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7059195B1 (zh)
EP (1) EP1819996A1 (zh)
CN (1) CN101111750A (zh)
WO (1) WO2006060226A1 (zh)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103115704A (zh) * 2013-01-25 2013-05-22 中北大学 高温压力传感器及其制备方法
CN103153169A (zh) * 2010-07-30 2013-06-12 欧费提玛利亚公司 用于iop监视的软性接触镜中的集成化柔性被动传感器
CN103575451A (zh) * 2012-08-02 2014-02-12 罗伯特·博世有限公司 用于确定介质压力的传感器装置和方法以及用于制造这种传感器装置的方法
CN104697679A (zh) * 2015-03-09 2015-06-10 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种电感式应力传感器
CN106052943A (zh) * 2015-04-02 2016-10-26 韩国科学技术研究院 包括混合电子片的压力传感器及可穿戴装置
CN106197766A (zh) * 2016-06-21 2016-12-07 合肥联宝信息技术有限公司 一种拉力感应材料及其测量拉力的方法
CN106573095A (zh) * 2014-09-26 2017-04-19 费森尤斯医疗保健集团 用于体外血液透析机的压力输出装置
CN110243503A (zh) * 2019-06-27 2019-09-17 苏州大学 基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列及其制备方法
CN112683427A (zh) * 2020-11-26 2021-04-20 南京高华科技股份有限公司 一种lc复合式mems压力传感器及其制备方法
CN114041041A (zh) * 2019-06-28 2022-02-11 日立能源瑞士股份公司 谐振器阵列传感器布置
CN114270156A (zh) * 2020-07-23 2022-04-01 株式会社矽因赛德 压力传感器及包含它的耳机

Families Citing this family (70)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7455666B2 (en) 2001-07-13 2008-11-25 Board Of Regents, The University Of Texas System Methods and apparatuses for navigating the subarachnoid space
WO2003103665A1 (ja) * 2002-06-06 2003-12-18 株式会社医薬分子設計研究所 抗アレルギー薬
SE0400330D0 (sv) * 2004-02-12 2004-02-12 Gambro Lundia Ab Pressure sensing
US10369362B2 (en) * 2004-06-28 2019-08-06 The Alfred E. Mann Foundation For Scientific Research Neural prosthetic with touch-like sensing
WO2006110798A2 (en) * 2005-04-12 2006-10-19 Cardiomems, Inc. Electromagnetically coupled hermetic chamber
CA2613241A1 (en) 2005-06-21 2007-01-04 Cardiomems, Inc. Method of manufacturing implantable wireless sensor for in vivo pressure measurement
US7146861B1 (en) * 2005-10-18 2006-12-12 Honeywell International Inc. Disposable and trimmable wireless pressure sensor
US7421903B2 (en) * 2005-10-27 2008-09-09 Amnon Brosh Internal pressure simulator for pressure sensors
JP4720829B2 (ja) * 2006-01-30 2011-07-13 株式会社村田製作所 多層セラミック基板の内蔵コンデンサの容量値調整方法、ならびに多層セラミック基板およびその製造方法
US20070236213A1 (en) * 2006-03-30 2007-10-11 Paden Bradley E Telemetry method and apparatus using magnetically-driven mems resonant structure
MX2009002193A (es) * 2006-08-29 2009-04-28 California Inst Of Techn Sensor de presion inalambrico microfabricado implantado para uso en aplicaciones biomedicas y la medicion de la presion y los metodos de implantacion del sensor.
US8113210B2 (en) * 2006-10-06 2012-02-14 Health Beacons, Inc. Medical tube and system for locating the same in a body using passive integrated transponders
US10003862B2 (en) 2007-03-15 2018-06-19 Endotronix, Inc. Wireless sensor reader
US8570186B2 (en) 2011-04-25 2013-10-29 Endotronix, Inc. Wireless sensor reader
US8154389B2 (en) 2007-03-15 2012-04-10 Endotronix, Inc. Wireless sensor reader
US20080281212A1 (en) * 2007-03-15 2008-11-13 Nunez Anthony I Transseptal monitoring device
US8493187B2 (en) 2007-03-15 2013-07-23 Endotronix, Inc. Wireless sensor reader
US7677107B2 (en) * 2007-07-03 2010-03-16 Endotronix, Inc. Wireless pressure sensor and method for fabricating wireless pressure sensor for integration with an implantable device
US7667547B2 (en) 2007-08-22 2010-02-23 Cardiomems, Inc. Loosely-coupled oscillator
US9199022B2 (en) 2008-09-12 2015-12-01 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Modular reservoir assembly for a hemodialysis and hemofiltration system
US8597505B2 (en) 2007-09-13 2013-12-03 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Portable dialysis machine
US8240636B2 (en) 2009-01-12 2012-08-14 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Valve system
US9358331B2 (en) 2007-09-13 2016-06-07 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Portable dialysis machine with improved reservoir heating system
US9308307B2 (en) 2007-09-13 2016-04-12 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Manifold diaphragms
US8105487B2 (en) 2007-09-25 2012-01-31 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Manifolds for use in conducting dialysis
EP2237814B1 (en) 2007-11-29 2019-03-06 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Manifold for conducting hemodialysis and hemofiltration
CN101959546B (zh) 2008-03-13 2013-07-03 凯希特许有限公司 用于将减压应用于脚上的组织部位的底座歧管、装置、系统和方法
US8926524B2 (en) * 2008-06-02 2015-01-06 California Institute Of Technology System, apparatus and method for biomedical wireless pressure sensing
NZ592653A (en) 2008-10-07 2013-11-29 Fresenius Med Care Hldg Inc Priming system and method for dialysis systems
NZ592652A (en) 2008-10-30 2013-10-25 Fresenius Med Care Hldg Inc Modular, portable dialysis system
US8973584B2 (en) 2009-02-13 2015-03-10 Health Beacons, Inc. Method and apparatus for locating passive integrated transponder tags
US20110092955A1 (en) 2009-10-07 2011-04-21 Purdy Phillip D Pressure-Sensing Medical Devices, Systems and Methods, and Methods of Forming Medical Devices
WO2011058462A2 (en) 2009-11-11 2011-05-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Wireless identification of a component of a pressure support system
US8499639B2 (en) 2010-06-21 2013-08-06 Robert Bosch Gmbh Inductively coupled pressure sensor
JP6014052B2 (ja) * 2011-01-30 2016-11-02 ガイデッド インターヴェンションズ， インコーポレイテッド 圧力検出ガイドワイヤの使用による血圧検出のためのシステム
US10638955B2 (en) 2011-06-30 2020-05-05 Endotronix, Inc. Pressure sensing implant
US10226218B2 (en) 2011-06-30 2019-03-12 Endotronix, Inc. Pressure sensing implant
US11896365B2 (en) 2011-06-30 2024-02-13 Endotronix, Inc. MEMS device for an implant assembly
US9404825B2 (en) 2011-12-07 2016-08-02 Fenwal, Inc. Apparatus with flexible member for sensing fluid pressure
US8984952B2 (en) 2012-09-07 2015-03-24 Dynisco Instruments Llc Capacitive pressure sensor
US8943895B2 (en) 2012-09-07 2015-02-03 Dynisco Instruments Llc Capacitive pressure sensor
US9103738B2 (en) 2012-09-07 2015-08-11 Dynisco Instruments Llc Capacitive pressure sensor with intrinsic temperature compensation
EP3632303B1 (en) 2012-09-14 2022-02-02 Endotronix, Inc. Pressure sensor, anchor, delivery system and method
EP2901121B1 (en) 2012-09-28 2017-03-29 BioFluidix GmbH Capacitive pressure sensor
BR112015013794A2 (pt) * 2012-12-17 2017-07-11 Koninklijke Philips Nv método para carregar e transferir dados e sistema de suporte de pressão
US9201036B2 (en) 2012-12-21 2015-12-01 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Method and system of monitoring electrolyte levels and composition using capacitance or induction
US9157786B2 (en) 2012-12-24 2015-10-13 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Load suspension and weighing system for a dialysis machine reservoir
US8939153B1 (en) 2013-03-15 2015-01-27 Health Beacons, Inc. Transponder strings
US9848775B2 (en) * 2013-05-22 2017-12-26 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Passive and wireless pressure sensor
US9962084B2 (en) * 2013-06-15 2018-05-08 Purdue Research Foundation Wireless interstitial fluid pressure sensor
CN103344379B (zh) * 2013-07-04 2016-01-20 普菲（北京）科技有限公司 机电一体化差压表
US9354640B2 (en) 2013-11-11 2016-05-31 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Smart actuator for valve
US10391227B2 (en) * 2014-05-15 2019-08-27 Novalung Gmbh Medico-technical measuring device and measuring method
CN106132296B (zh) 2014-05-15 2020-05-22 诺瓦朗公司 医疗测量系统和该测量系统的生产方法
JP2017532079A (ja) 2014-08-11 2017-11-02 ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニヴァーシ 温度及び熱輸送特性の分析のための表皮デバイス
KR20170041291A (ko) * 2014-08-11 2017-04-14 더 보오드 오브 트러스티스 오브 더 유니버시티 오브 일리노이즈 생체 유체의 상피 묘사를 위한 장치 및 관련 방법
WO2016025430A1 (en) 2014-08-11 2016-02-18 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Epidermal photonic systems and methods
WO2016032910A1 (en) 2014-08-24 2016-03-03 Health Beacons, Inc. Probe for determining magnetic marker locations
CN104545795B (zh) * 2015-02-09 2016-09-21 中国科学院电子学研究所 平面电感与电容串联的无线连接眼压传感器
JP6837475B2 (ja) 2015-08-14 2021-03-03 イバンティス インコーポレイテッド 圧力センサを備えた眼用インプラントおよび送達システム
US9996712B2 (en) 2015-09-02 2018-06-12 Endotronix, Inc. Self test device and method for wireless sensor reader
EP3159026A1 (de) 2015-10-23 2017-04-26 novalung GmbH Zwischenelement für eine medizintechnische extrakorporale fluidleitung, medizintechnisches extrakorporales fluidsystem und verfahren zum messen eines in einem medizintechnischen extrakorporalen fluidsystem geführten fluid des menschlichen oder tierischen körpers enthaltenen gases
US11433211B2 (en) 2016-03-17 2022-09-06 Zoll Medical Corporation Flow sensor for ventilation
AU2018224198B2 (en) 2017-02-24 2023-06-29 Endotronix, Inc. Wireless sensor reader assembly
US11615257B2 (en) 2017-02-24 2023-03-28 Endotronix, Inc. Method for communicating with implant devices
DE102017109183A1 (de) * 2017-04-28 2018-10-31 Endress+Hauser SE+Co. KG Druckmesseinrichtung
CA3236972A1 (en) 2017-07-19 2019-01-24 Endotronix, Inc. Physiological monitoring system
EP3669154B1 (en) * 2017-08-16 2024-06-19 The Regents of The University of California Miniature implantable wireless pressure sensor
WO2019152851A1 (en) * 2018-02-02 2019-08-08 Cornell University Acoustic transponders for wireless pressure monitoring using flexible acoustic resonators
CN109738094A (zh) * 2019-01-30 2019-05-10 苏州大学 一种无线压力传感器及其制作方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2511413A1 (de) * 1975-03-15 1976-09-23 Knorr Bremse Gmbh Elektrischer messfuehler fuer druck, kraft oder weg
JPS5596141A (en) * 1979-01-16 1980-07-22 Nagano Keiki Seisakusho Kk Cerebral internal pressure meter
US5155708A (en) * 1991-02-26 1992-10-13 Bedi Ram L Acoustic wave sensor and method of making same
JP3552791B2 (ja) * 1995-06-13 2004-08-11 松下電器産業株式会社 電子部品実装方法及び装置
US5675314A (en) * 1996-02-09 1997-10-07 The University Of British Columbia Tire pressure sensor
US5821425A (en) * 1996-09-30 1998-10-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Remote sensing of structural integrity using a surface acoustic wave sensor
US5753820A (en) * 1996-10-25 1998-05-19 Arthur D. Little, Inc. Fluid pressure sensing unit incorporating diaphragm deflection sensing array
DE19746261A1 (de) * 1997-10-20 1999-04-29 Karlsruhe Forschzent Sensor
US6312380B1 (en) 1998-12-23 2001-11-06 Radi Medical Systems Ab Method and sensor for wireless measurement of physiological variables
US6055855A (en) * 1999-05-26 2000-05-02 Trw Inc. Tire pressure sensor wheel attachment apparatus
DE19949738A1 (de) * 1999-10-15 2001-05-23 Karlsruhe Forschzent Verfahren zur Herstellung von Oberflächenwellensensoren und Oberflächenwellensensor
US6939299B1 (en) * 1999-12-13 2005-09-06 Kurt Petersen Implantable continuous intraocular pressure sensor
US6848295B2 (en) * 2002-04-17 2005-02-01 Wayne State University Acoustic wave sensor apparatus, method and system using wide bandgap materials
US6785004B2 (en) * 2000-11-29 2004-08-31 Weatherford/Lamb, Inc. Method and apparatus for interrogating fiber optic sensors
WO2002076289A2 (en) * 2001-03-27 2002-10-03 Kain Aron Z Wireless system for measuring distension in flexible tubes
US6568271B2 (en) * 2001-05-08 2003-05-27 Halliburton Energy Services, Inc. Guided acoustic wave sensor for pipeline build-up monitoring and characterization
CA2357522A1 (en) * 2001-09-20 2003-03-20 Michael Thompson Enhancement of acoustic wave sensor response by electrode modification
US6855115B2 (en) * 2002-01-22 2005-02-15 Cardiomems, Inc. Implantable wireless sensor for pressure measurement within the heart

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103153169A (zh) * 2010-07-30 2013-06-12 欧费提玛利亚公司 用于iop监视的软性接触镜中的集成化柔性被动传感器
CN103575451A (zh) * 2012-08-02 2014-02-12 罗伯特·博世有限公司 用于确定介质压力的传感器装置和方法以及用于制造这种传感器装置的方法
CN103115704B (zh) * 2013-01-25 2015-01-28 中北大学 高温压力传感器制备方法
CN103115704A (zh) * 2013-01-25 2013-05-22 中北大学 高温压力传感器及其制备方法
CN106573095A (zh) * 2014-09-26 2017-04-19 费森尤斯医疗保健集团 用于体外血液透析机的压力输出装置
CN104697679A (zh) * 2015-03-09 2015-06-10 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种电感式应力传感器
CN106052943B (zh) * 2015-04-02 2019-05-28 韩国科学技术研究院 包括混合电子片的压力传感器及可穿戴装置
CN106052943A (zh) * 2015-04-02 2016-10-26 韩国科学技术研究院 包括混合电子片的压力传感器及可穿戴装置
US10568579B2 (en) 2015-04-02 2020-02-25 Korea Institute Of Science And Technology Pressure sensor including hybrid electronic sheet and wearable device including the pressure sensor
CN106197766A (zh) * 2016-06-21 2016-12-07 合肥联宝信息技术有限公司 一种拉力感应材料及其测量拉力的方法
CN110243503A (zh) * 2019-06-27 2019-09-17 苏州大学 基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列及其制备方法
CN110243503B (zh) * 2019-06-27 2021-10-22 苏州大学 基于铁氧体膜的柔性电感式压力传感器阵列及其制备方法
CN114041041A (zh) * 2019-06-28 2022-02-11 日立能源瑞士股份公司 谐振器阵列传感器布置
CN114270156A (zh) * 2020-07-23 2022-04-01 株式会社矽因赛德 压力传感器及包含它的耳机
CN112683427A (zh) * 2020-11-26 2021-04-20 南京高华科技股份有限公司 一种lc复合式mems压力传感器及其制备方法
CN112683427B (zh) * 2020-11-26 2022-04-29 南京高华科技股份有限公司 一种lc复合式mems压力传感器及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
US7059195B1 (en) 2006-06-13
WO2006060226A1 (en) 2006-06-08
EP1819996A1 (en) 2007-08-22
US20060117859A1 (en) 2006-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101111750A (zh) 用于医疗应用的一次性和可微调的无线压力传感器
US7146861B1 (en) Disposable and trimmable wireless pressure sensor
US7290454B2 (en) Pressure flow sensor systems and pressure flow sensors for use therein
US5798462A (en) Magnetic position sensor with magnetic field shield diaphragm
JPH04230599A (ja) 測定値検出および伝送装置
US6011389A (en) Induced current position transducer having a low power electronic circuit
EP1728058B1 (en) Load cell including displacement transducer, and associated methods of use and manufacture
WO2003106952A3 (en) MICROMECHANICAL CAPACITIVE INDUCTIVE SENSOR USEFUL FOR WIRELESS DETECTION OF RELATIVE OR ABSOLUTE PRESSURE
US7059196B1 (en) Disposable wireless pressure sensor
CN103278181A (zh) 一种无源lc谐振式传感器的无线读出电路
CN103512592B (zh) 无线无源lc谐振传感器检测电路及相应的信息获取方法
Park et al. Hermetically sealed inductor-capacitor (LC) resonator for remote pressure monitoring
CN201413117Y (zh) 一种调频变面积电涡流位移传感器
US6119523A (en) Method and apparatus for electronic compensation of erroneous readings caused by resonance in a capacitive pressure transducer
Aschenbrenner et al. Planar high-frequency contactless inductive position sensor
US4866988A (en) Capacitive pressure transducer
CN101561243B (zh) 一种调频变面积电涡流位移传感器
US6016707A (en) Non-intrusive pressure variation monitoring device adapted to monitor abdominal pressure in pregnant women
Pereles et al. A remote query pressure sensor based on magnetic higher order harmonic fields
EP3971533B1 (en) Sensor system and method for position or angle detection
RU2295709C1 (ru) Устройство для измерения давления
Brown A Precision Pressure Tranducer with FM Output in UHF Band
Vernooy et al. Remote excitation and readout of a high Q silicon resonator
JPH07502338A (ja) 同軸共振空洞を使用した線形位置センサー
CN117906795A (zh) 一种电感式压力传感器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication