CN101109452A - 真空阀 - Google Patents

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Abstract

真空阀包括阀套，该阀套具有进口孔和出口孔(3)和包围进口孔(2)的阀座(6)，真空阀还包括闭锁单元(8)，闭锁单元(8)包括阀门板(9)，阀门板(9)在打开位置、盖住进口孔(2)但是从阀座(6)抬起的中间位置和盖住进口孔(2)并顶到阀座(6)上的关闭位置之间是可调节的，闭锁元件还包括调节活塞(15)。闭锁单元(8)的工作室(23)受到薄膜密封装置(25)的限定。为了将调节活塞(15)移动到有效位置可给工作室(23)提供压缩气体。在调节活塞(15)上设置从闭锁单元(8)的内腔(16)中通过孔引出的顶杆。当调节活塞(15)从无效位置移动到有效位置时该顶杆直接或者间接地支撑在阀套(1)的出口孔(3)附近区域中。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，它包括一个阀套，该阀套具有一个进口孔和一个出口孔-这两个孔穿过阀套的对置的壁-和一个包围进口孔的阀座、真空阀还包括设置在阀套的内腔中的闭锁单元，所述闭锁单元包括一个阀门板-该阀门板在一个释放进口孔的打开位置、一个盖住进口孔但是从阀座抬起的中间位置和一个盖住进口孔并顶住阀座的关闭位置之间是可调节的-还包括至少一个设置在闭锁单元的内腔中的调节活塞-该调节活塞为了在其中间位置和关闭位置之间调节阀门板该调节活塞可沿它的纵向中间轴线方向在一个无效位置-阀门板在它的中间位置时处于该位置中-和一个有效位置-阀门板在它的关闭位置时处于该位置中-之间是可移动的，其中，闭锁单元的至少一个工作室受到一个薄膜密封装置的限定。为了将至少一个调节活塞移动到它的有效位置可给所述工作室提供压缩气体。
背景技术
US 6,561,484,B2公开了一种真空阀，在该真空阀中阀门板在它的中间位置和它的关闭位置之间借助一个设置在一个闭锁单元中的一个内腔中的调节活塞可移动。闭锁单元包括一个阀门板和一个支撑板。借助调节活塞，阀门板和支撑板可在阀套的内表面之间在环绕进口孔和出口孔的区域中向阀套伸展。在这种情况中用于容纳调节活塞的容纳壳体设置在支撑板或者阀门板上。为了形成可加载压力的工作室，以移动调节活塞，在调节活塞和容纳壳体之间设置起作用密封环。在几个实施形式中在阀门板和支撑板之间至少延伸一个密封气囊箱。除了几个实施形式外-在这些实施形式中闭锁单元在它的打开位置和它的中间位置之间进行调节时是线性可移动的-还介绍了一些按摆式阀门设计的实施形式。在这些实施形式中为了在它的打开位置和它的中间位置之间调节该闭锁单元设置有闭锁单元的支架可绕一个回转轴摆动。
US 2004/007 99 15 A1公开了另一阀门，在此阀门中阀门板借助一个设置在闭锁单元的一个工作室中的调节活塞可在它的中间位置和它的关闭位置之间移动。在此为了移动该调节活塞可向其提供压缩气体的工作室也是由弹性密封环进行密封的。
US 6,776,394 B2公开了一种摆式阀门，在该阀门中在阀套中形成圆孔，在该圆孔中设置调节活塞。借助调节活塞可移动顶杆，以便在阀门板的关闭位置中将这个阀门板顶到阀座上。这些调节活塞也是借助密封装置相对于缸室的壁密封的。
在图5所示的DE 19857201 A1的实施例中公开了本文开头所述类型的真空阀。夹紧缸用作提升体，以便将阀门板顶到阀套上。通过薄膜密封装置将夹紧缸相对于闭锁单元的基本体密封。
US 5,975,492 A公开了借助设置在闭锁单元的内腔中设置的一个促动器将阀门板顶到阀套的阀座上。该促动器由板构成，这些板通过优质钢气囊压力密封地彼此连接(参见图21)。
此外，在其它的应用领域将具有薄膜活塞的调节部件作为真空阀公开，例如在汽车制造业中就制动缸而言，或者在设备制造业中为了夹紧部件，例如待夹紧的工件。
发明内容
本发明的任务是提供一种本文开头所述类型的有利的结构设计紧凑的真空阀。在该真空阀中，当压缩空气出故障时能长时间保持其密封的状态。根据本发明，这点是通过具有权利要求1特征的真空阀成功完成的。
通过借助薄膜密封装置对用于将调节活塞移动到它的有效位置的工作室的密封可使该工作室达到高的密封度。通过这一措施一旦阀门板在关闭位置中压缩气体出故障时能长期保持真空阀的密封状态。
此外，通过根据本发明的设计在进口孔和出口孔之间的阀套的尺寸方面可使真空阀达到一种紧凑的结构。
在本发明的一个有利的实施形式中薄膜密封装置为碟形设计，其中，该薄膜密封装置在它的圆周边缘区域密封地和调节活塞连接，并且在一个中间段靠在用于调节活塞的容纳壳体的壁的内表面上。下述做法是可以设想并且也是可能的，即碟状设计的薄膜在它的圆周边缘区域真空密封地和壁连接，并且在中间段和调节活塞保持接触。此外，薄膜也可设计成环形，并且在它的外圆周边缘和调节活塞或者壁真空密封连接，并且在它的内圆周边缘和这两个部件中的另一部件真空密封连接。
薄膜的至少一个区段，优选的是一个和它的外圆周边缘相连的环形区段是由一种弹性的塑料材料构成。
根据本发明的真空阀由于部件数量少可成本有利地制造。此外，由于磨损少其维护间隔长。
有利地可由薄膜密封装置将已提供压缩空气的工作室相对于闭锁单元的内腔的的其余的区域进行密封，并且闭锁单元的内腔的其余的区域又可相对于真空阀的真空区域进行密封。在这种情况中闭锁单元的内腔的这个其余区域可和大气相通，或者是抽真空的。闭锁单元的内腔的这个其余区域就构成一个位于由薄膜密封装置密封的工作室和真空阀的真空区之间的安全区域，以便一旦已提供压缩空气的工作室出现泄漏时阻止压缩气体流入到真空阀的真空区。
附图说明
下面借助附图对本发明的其它优点和细节进行叙述。这些附图是：
图1：根据本发明的一个真空阀的一个实施例的视图，其中阀门板处于打开位置。
图2：根据图1的视图，其中，阀门碟位于一个部分地盖住进口孔的位置。
图3：根据图2的阀门板所处位置的真空阀的斜视图。
图4：根据图2的阀门板所处位置的真空阀的斜视图，其中，此图为阀门壳体的与图3的对面的一侧。
图5：根据图1的视图，但是为阀门板的盖住进口孔的中间位置。
图6：阀门板位于中间位置时的沿图5的A-A线的简化的部分的示意截面图。
图7：阀门板位于关闭位置时的类似于图6的截面图。
图8：闭锁单元的斜视图。
图9：调节活塞处于有效位置时的闭锁单元截面斜视图。
图10：调节活塞处于无效位置时的类似图9的斜视图。
图11：调节活塞处于有效位置时的根据图8的B-B线的截面图。
图12：调节活塞处于无效位置时的类似于图11的截面图。
图13：图12的C部分的放大细节图。
图14和15：图11和图12的D和E局部放大图。
图16和17：图11和图12的F和G局部放大图。
图18和19：根据本发明的另一实施形式的闭锁单元的截面图。
图20和21：本发明的一个第三实施形式。
图22：根据本发明的一个第四实施形式的一个真空阀的示意图。
图23：图22的H的局部放大图。
图24：类似于图22的一个实施形式，但是阀套的进口孔和出口孔具有较小的宽度。
图25：图24的I的放大详图。
图26：根据本发明的这个实施形式的闭锁单元的斜视图(无密封装置)。
图27：取下了阀门板的图26的闭锁单元，其中，示出调节活塞中的一个从容纳壳体中已取出。
图28和图29：根据这个实施例的薄膜密封装置的斜视图。
图30和图31：图28和图29的薄膜密封装置的纵向中间截面图。
图32和图33：调节活塞位于无效位置和有效位置时的以卷薄膜形式设计的薄膜密封装置的另一实施形式。
具体实施方式
在图1至图17中示出了根据本发明的真空阀的一个实施例。该真空阀具有一个带有一个进口孔2和一个出口孔3的阀套1。所述这些孔穿过阀套1的对置的壁4、5。在具有进口孔2的壁4的内表面上阀座6包围着进口孔2。在所示实施例中该阀座由一个密封面构成。
在阀套1的内腔7中设置一个闭锁单元8，该闭锁单元包括一个阀门板9。阀门板9在所示的实施例中具有一个当真空阀处于关闭状态时用于和阀座6接触的弹性密封环10。原则上讲也可在阀座6设置密封环和在阀门板9上设置一个和该密封环共同作用的密封表面。
在这个实施例中真空阀设计成摆式阀，并且在这种情况下闭锁单元8设置在一个绕一个回转轴11可回转的臂12上。一个旋转驱动装置13用于借助一个该臂12设置其上的轴21回转该臂12。借助该旋转传动装置13闭锁单元8和因此阀门板9可在一个释放进口孔2的位置(参见图1)-在该位置中真空阀具有完全被打开的状态-和一个位置-在该位置中进口孔2的纵轴14的方向看它盖柱了进口孔2-之间回转(参见图5)。因为在这种情况中阀门板9还由阀座6抬起，所以这个位置在本文献的范围内被称之为“中间位置”。在图2到图4中示出了打开位置和中间位置之间的一个中位置。
此外，闭锁单元8还包括一个刚性的调节活塞15。它设置在闭锁单元8的一个容纳壳体的内腔16中。在所示实施例中该容纳壳体的一个壁是由阀门板9构成的。阀门板9优选地可拆卸地设置在该容纳壳体的另一部件上，例如用螺钉固定，并且在这种情况中借助一个密封环51相对于这个另一部件密封(例如参见图11和图12)。容纳壳体的一个与阀门板9对置的壁17具有用于顶杆18穿过的孔。这些顶杆设置在调节活塞15的和该阀门板9相背一侧上。优选地顶杆18从内腔16引出是密封的，例如借助气囊箱19。
借助调节活塞15进行阀门板9在它的中间位置和它的关闭位置之间的调节。在该关闭位置中阀门板在进口孔2纵轴线14方向上看盖住进口孔2，并且顶住了阀座6。为此沿它的纵向中间轴20的方向在一个无效位置(图6、10、12)和一个有效位置(图7至9和11)之间调节调节活塞15。当调节活塞15从它的无效位置移动到它的有效位置时，顶杆18-它们则开始与阀套1的具有出口孔3的壁5保持一定距离-开始向这个壁5的内表面移动，然后阀门板9沿进口孔2的纵轴线14方向或者沿调节活塞15的纵向中间轴线20方向移动，直到该阀门板顶住阀座。在这种情况中在其上设置有臂12的轴21沿它的纵轴方向移动。在摆动式阀门中已公开了轴21的这种移动。例如该轴21在它的和闭锁单元8相背向的端部的区域中具有一个外齿部，旋转驱动装置13的一个齿轮和它啮合，其中，该外齿部可沿轴21的纵向方向相对于该齿轮移动。
优选地进口孔2的纵轴线14和出口孔3的纵轴线平行，其中，优选地这些纵轴线重合。优选的是，在所示的实施例中进口孔2和出口孔3具有相同的直径。
优选地进口孔2的纵轴线14和调节活塞15的纵向中轴线20彼此平行。在所示实施例中这些轴线在阀门板9的关闭位置中重合。
优选地顶杆18在它们的自由端部区域中具有向壁5的弹性止挡部件。
为了使调节活塞15在它的无效位置和它的有效位置之间移动可给工作室22、23提供压缩气体。借助薄膜密封装置24、25对工作室22、23进行密封。在本实施例中薄膜密封装置24、25为碟形结构，并且在它们的圆周边缘区域和调节活塞15的相应的侧面密封连接。在简化的图6和图7中没有详细地示出这种连接。图11至图13示出了这种连接的一个实施例。在这种情况中调节活塞15具有一个环形槽26，相应的薄膜密封装置24、25的一个突起27伸入到该环形槽中。借助一个保持环28和一个将该保持环保持在一个顶到薄膜密封装置24、25位置的夹紧环29-该夹紧环支撑在调节活塞15的一个侧凹的凸肩上-达到密封地固定在调节活塞15上。
在中间段30上薄膜密封装置24和闭锁单元8的壁17的内表面接触，并且薄膜密封装置25和阀门板9的内表面接触。
在图6和图7的简化的图示中这些中间段30只是加厚的表示。例如这些中间段可以粘到壁17的或者阀门板9的内表面上。但是优选地在这个中间段30中薄膜密封装置24、25为刚性设计，并且销钉31用于保持与壁17的或者阀门板9的内表面的接触。这个销钉沿调节活塞15的纵向中间轴线20对准，并且穿过调节活塞15中的一个优选的中心孔。该销钉相对于该中心孔例如借助一个弹性的密封环32进行密封。此外优选地调节活塞15还设置有一个包围该孔的滑动套筒33。
为了保持薄膜密封装置24、25在它们的整个中间段30借助该销钉31和壁17的或者阀门板9的内表面接触，薄膜密封装置24、25在这个中间段30为刚性设计。朝圆周边缘连接着一个柔性的弹性环形段34。
可将中间段30整体地由一种非柔性材料，例如金属构成。优选的是在这个中间段30中用一种弹性塑料对板形的金属部件35进行涂附，或者如在图11、12和16、17中所示的将其嵌入一种弹性塑料36中。优选地该弹性塑料是硫化到该板形金属部件35上的。
薄膜密封装置24、25的弹性塑料优选地由一种弹性体或者一种热塑性弹性体构成。
在这种情况中这种设计基本上与下面借助图28至31所要继续讨论的另一实施例的设计对应。在环形段34的区域中薄膜密封装置24、25完全由弹性塑料构成，优选地由相同的弹性塑料构成。这种弹性塑料在中间段30硫化到金属部件35上。
穿过调节活塞15的容纳壳体的压缩气体通道37、38用于给工作室22、23输送压缩气体。根据图6和图7所示，压缩气体通道37穿过壁17，压缩空气通道38穿过阀门板9。这些压缩气体通道37、38由薄膜密封装置24、25的中间段30中的孔延续，并且通过这些孔进入到工作室22、23中。
例如压缩空气或者处于压力中的氮气可用作压缩气体。
但是优选地两个压缩气体通道37、38通过壁17延伸，其中，压缩气体通道38由穿过薄膜密封装置24的中间段30的一个孔和一个在销钉31中延伸的通道39延续，该通道39在工作室23区域中的销钉31的圆周有出口(参见图11、12、16和17)。
压缩气体通道37、38优选地延伸穿过平坦的设置在壁17的凹槽中的管道40、41。它们的内腔通过穿过它们壁的孔和薄膜密封装置24中的孔相连。薄膜密封装置24中的孔优选地通过薄膜密封装置24的密封凸起相对于管道40、41进行密封。这些密封凸起顶住这些管道40、41。
为简单起见薄膜密封装置25具有和薄膜密封装置24相同的设计。
也可通过销钉31对调节活塞15进行导向。假若有必要可在调节活塞15的圆周区域设置一些附加的导管装置(参见图9和10中的导向销钉52)。
压缩气体通道37、38通过在轴21中的在图中看不见的压缩气体通道延续，以便能在阀套1之外给工作室22、23提供压缩气体。
为了将阀门板9从它的中间位置调节到它的关闭位置给压缩空气通道38提供压缩气体，并且将压缩空气通道37设到大气压力，这样实现给工作室23的加载，并且调节活塞15从它的无效位置移动到它的有效位置。为了返回到中间位置给压缩气体通道37提供压缩气体，并且将压缩气体通道38设到大气压力，由此实现给工作室22的供加载，并且实现调节活塞15返回到它的无效位置。
当将调节活塞15从它的无效位置调节到它的有效位置和相反时薄膜密封装置24、25在它们的环形段34会出现弹性变形。优选地环形段34和调节活塞15的平面在整个调节范围形成在0°和45°之间的夹角。而在其中间段30的区域中薄膜装置24、25不出现变形。
下述做法是可设想的，并且也是可能的，即将薄膜密封装置24、25在它们的圆周边缘区域中固定在壁17的或在阀门板9的内表面上。在中间段可将它们固定在调节活塞15的相应的表面上，或者通过给工作室22、23提供压缩气体顶住调节活塞15，其中，薄膜密封装置分别对这些工作室进行密封。
下述做法原则上讲是可设想的，并且也是可能的，即薄膜密封装置24、25构造为环形，也就是说只设置前述的外段34，并且一面固定在调节活塞15上，另一面固定在壁17的或者阀门板9的内表面上，其中，它们和这些部件真空密封连接。然后它们整体由弹性塑料36形成，并且优选在调节活塞15的整个调节区域和它的主平面又形成一个在0°和45°之间的夹角。
因此，工作室24、25无论是在薄膜密封装置24、25的所示的碟形设计，还是在这些薄膜密封装置的环形设计时相对于调节活塞15的纵向中间轴线20在径向方向上都受到薄膜密封装置24、25的限定。
工作室22、23和闭锁单元8的内腔16的其余区域是通过薄膜密封装置24、25密封的。优选地闭锁单元8的内腔16的这个其余的区域相对于阀门的真空区域是密封的，其中，例如如图示和所描述的为顶杆18设置了气囊箱19。在这种情况中内腔16的这个其余的区域可以有利的方式通过一个在图中未示出的导管与大气连接。可以设想并且也可能例如借助一台预真空泵对内腔的这个其余区域抽真空。这样，给调节活塞15提供的压缩气体的压力通过中间连接一个具有大气压力的或者抽真空的空间而和真空区域分开。这是真空阀的一个附加的安全功能。
图18和19以简单的图示表示一个有些修改的实施形式。在该实施形式中销钉31也是通过一个薄膜密封装置42相对于调节活塞15密封。这个薄膜密封装置为环形设计，并且一面固定在销钉31上，另一面固定在调节活塞15上，其中它相对于这些部件是密封的。在这种结构中不再有动态密封装置，而是所有密封装置均为静态密封装置形式设计。
如图20和21所示，为了使调节活塞15从它的有效位置返回到它的无效位置也可以设置弹簧43。因此在这个实施例中取消了工作室22和对这个工作室进行密封的薄膜密封装置24。因此在这个实施例中代替前面所述的双重作用的调节活塞的是仅设置一个单作用的调节活塞15。优选地又是通过一个穿过销钉31的孔对工作室23提供压缩气体。通过这种供气使调节活塞15调节到它的有效位置。在这种情况中该销钉31在它的远离工作室23的端部上，通过一个密封装置44支撑在管道41上，并且因此间接地支撑在壁17上。
在此实施例中，工作室23也是通过薄膜密封装置25与闭锁单元8的内腔16的其余区域密封的，其中，内腔16的这个其余区域优选地和大气压力连接，或者(通过一个在图中未示出的通道)抽空。
在图22到31所示的实施例中闭锁单元8在阀门板9的打开位置和阀门板9的中间位置之间线性地(直线地)移动。为此它例如设置在一个阀杆45上。该阀杆借助一个线性驱动装置，例如一个在图22和图24示意表示的活塞-缸-单元46可沿它的纵向方向移动。
阀套1中的进口孔2和出口孔3和阀门板9在此实施形式中具有矩形的结构。闭锁单元8例如包括三个调节活塞15。也可以多设置几个或者少设置几个调节活塞15。每个调节活塞15以与前面在图1至图17中描述的实施例类似的方式设计为双作用的，并且薄膜密封装置24、25用于工作室的密封。又可通过至少一个弹簧完成相应的将调节活塞15从它的有效位置复位到它的无效位置，并且在这种情况中又可省掉薄膜密封装置24。
调节活塞15从沿它的纵向中间轴线20方向的视图(图22至25)看具有不同于圆形的周边轮廓，其中，它们在沿周边方向对置的部位设置有隆起部47。在相应的隆起部47的区域中在调节活塞15上设置有一个顶杆18。这些顶杆又从调节活塞15的容纳壳体通过孔引出，并且当调节活塞15位于有效位置时用于使阀门板9顶到阀座6上。
当进口孔和出口孔具有不同的宽度时(参见图22和24)可在不同的转动部位使用相同的调节活塞。应分别和进口孔和出口孔2、3的相应宽度相适配地设计调节活塞15的容纳壳体。
为了在调节活塞15为不同的转动位置，并且在其上设置的薄膜装置24、25为不同的转动位置时通过薄膜装置24的孔48输送压缩气体成为可能，将这个孔48设计成一个沿一个圆弧延伸的长孔形状。
如图29和31所示，对于薄膜装置25来说这个孔优选地由弹性塑料材料包围。
薄膜密封装置24、25在环形段34中又是由弹性塑料构成，并且中间段30为刚性设计。为此，在中间段中金属部件35嵌入到弹性的塑料材料中，或者至少部分地被该塑料材料包围。这点从图30和31中可以看到。弹性塑料材料在金属部件35的面朝壁17的或者阀门板9的内表面的侧面上延伸，并且在金属部件35的一个径向外罩的段中也在金属部件35的对置的表面上延伸。
此外，在图27中示出了用于调节活塞15的导向装置49。这些导向装置设置在相应调节活塞15的周围边缘的区域中。
在图32和33中示出了薄膜密封装置24的另一实施例。在中间段中该薄膜密封装置按前面已借助图30和31所说明的方式设计。在这个实施形式中，环形段34以卷薄膜式设计，其中，当调节活塞15移动时它作一种卷式的运动，也就是说段34的截面为弧形的区域在移动超出这个段34。
薄膜密封装置25可以类似方式设计，其中，孔48可以是关闭的(根据图31)。
这样的卷薄膜可以用在薄膜装置24和/或薄膜装置25的所有已说明的实施形式中。
在不脱离本发明的范围的情况下对所示实施例进行不同的改型是可以设想的和可能的。这样例如可以设置多个销钉31。也可以设置比所示实施例多或者少的顶杆18。在顶杆18的背向调节活塞15的端部也可以设置一个用于和阀套1的壁5的内表面接触的板形的顶压部件。在这种情况中顶杆18通过该板形的顶压部件间接地支撑在阀套1的出口孔3附近区域中上。在这种情况中也可以只设置一个单个的，优选地中心设置的顶杆18。
此外，阀门板也可以设置在至少一个顶杆18的背向调节活塞15的端部。该阀门板可由调节活塞15顶到阀座6上。在这种情况中当至少一个调节活塞15位于有效位置时在围绕出孔3的区域中，至少一个调节活塞15的容纳壳体的壁-该壁和被至少一个顶杆18穿过的壁17对置-紧靠阀套1的具有出口孔3的壁5的内表面上，并且将反作用力传递到阀套1上。
附图标记
1     阀套
2     进口孔
3     出口孔
4     壁
5     壁
6     阀座
7     内腔
8     闭锁单元
9     阀门板
10    密封环
11    转动轴线
12    臂
13    旋转驱动装置
14    纵向轴线
15    调节活塞
16    内腔
17    壁
18    顶杆
19    气囊箱
20    纵向中间轴线
21    轴
22    工作室
23    工作室
24    薄膜密封装置
25    薄膜密封装置
26    环形槽
27    凸起
28    保持装置
29    夹紧环
30    中间段
31    销钉
32    密封环
33    滑动套筒
34    环形段
35    金属部件
36    弹性塑料
37    压缩空气通道
38    压缩空气通道
39    通道
40    管道
41    管道
42    薄膜密封装置
43    弹簧
44    密封装置
45    阀门杆
46    活塞-缸单元
47    隆起部
48    孔
49    导向装置
51    密封环
52    导管销钉

Claims (16)

1.真空阀，它包括
阀套(1)，该阀套具有进口孔(2)和出口孔(3)，这两个孔穿过阀套(1)的对置的壁(4、5)，阀套还具有包围进口孔(2)的阀座(6)，真空阀还包括设置在阀套(1)的内腔(7)中的闭锁单元(8)，所述闭锁单元(8)包括阀门板(9)，该阀门板(9)在释放进口孔(2)的打开位置、盖住进口孔(2)但是从阀座(6)抬起的中间位置和盖住进口孔(2)并顶到阀座(6)上的关闭位置之间是可调节的，闭锁单元(8)还包括至少一个设置在闭锁单元(8)的内腔(16)中的调节活塞(15)，为了在中间位置和关闭位置之间调节阀门板(9)该调节活塞可沿它的纵向中间轴线(20)方向在阀门板(9)在它的中间位置时处于的无效位置和阀门板(9)在它的关闭位置时处于的有效位置之间是可移动的，
其中，闭锁单元(8)的至少一个工作室(23)受到一个薄膜密封装置(25)的限定，
为了将至少一个调节活塞(15)移动到它的有效位置可给所述工作室(23)提供压缩气体，其特征在于，将至少一个顶杆(18)设置在调节活塞(15)的面向出口孔(3)一侧上，该顶杆从闭锁单元(8)的内腔(16)穿过孔引出，并且为了将阀门板(9)压向阀门座(6)在将调节活塞(15)从它的无效位置移动到有效位置时直接地或者间接地支撑在阀套(1)的出口孔(3)附近区域中。
2.按照权利要求1所述的真空阀，其特征在于，闭锁单元(8)的第一工作室(23)和闭锁单元(8)的第二工作室(22)分别由一个薄膜装置(24、25)密封，其中，通过给所述的第一工作室(23)提供压缩气体可将调节活塞(15)移动到它的有效位置，通过给所述的第二工作室(22)提供压缩气体可将调节活塞(15)移动到它的无效位置。
3.按照权利要求1或权利要求2所述的真空阀，其特征在于，阀门板(9)构成闭锁单元(8)的容纳壳体的壁，其中，该容纳壳体具有内腔(7)，在该内腔中设置至少一个调节活塞(15)。
4.按照权利要求1至3之一所述的真空阀，其特征在于，设置至少有两个顶杆(18)，它们在调节活塞(15)从它的无效位置和它的有效位置移动时是直接地或者间接地支撑在阀套(1)的出口孔(3)附近区域上。
5.按权利要求4所述的真空阀，其特征在于，至少一个调节活塞(15)从沿它的纵向中间轴线(20)方向看具有一个不同于圆形的周边轮廓，并且在调节活塞(15)的两个对置的隆起部(47)区域中分别设置顶杆(18)，在所述隆起部(47)中该调节活塞的径向扩展比它的周边的其它区域大。
6.按照权利要求1至5中任一项所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置为碟形。
7.按照权利要求1至6的任一项所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置(24、25)在它的周围边缘区域密封地和调节活塞(15)连接，并且在薄膜密封装置(24、25)和调节活塞(15)之间形成被薄膜密封装置密封的工作室(22、23)。
8.按照权利要求1至7中任一项所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置(24、25)具有刚性的中间段(30)和包围中间段(30)的环形的弹性段(34)。
9.按照权利要求8所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置(24、25)在中间段(30)靠置在限定内腔(16)的壁(9、17)的内表面上，在所述内腔(16)中设置至少一个调节活塞(15)。
10.按权利要求8或9所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置(24、25)的中间的刚性段(30)被至少一个与调节活塞(15)的纵向中间轴线(20)平行延伸的销钉(31)的端部顶到壁(9、17)的内表面上，所述销钉(31)穿过调节活塞(15)中的孔，并且在这种情况中相对于调节活塞(15)密封，其中，所述至少一个销钉(31)在另一端部直接或者间接地支撑在闭锁单元(8)的对置的壁(9、17)上，所述壁限定该闭锁单元(8)的内腔(16)。
11.按照权利要求10所述的真空阀，其特征在于，销钉(31)在两个分别密封工作室(22、23)的薄膜密封装置(24、25)的中间段(30)之间延伸，该销钉将它顶到壁(9、17)的对置的内表面上，这些内表面限定在其中设置有至少一个调节活塞(15)的内腔(16)。
12.按照权利要求10所述的真空阀，其特征在于，销钉在限定用于将调节活塞(15)移动到它的有效位置的工作室(23)的薄膜装置(25)的中间段和对置的壁(17)的内表面之间延伸，所述内表面限定在其中设置有至少一个调节活塞(15)的内腔(16)。
13.按照权利要求1至12中任一项所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置至少部分地由弹性塑料(36)构成。
14.按照权利要求8至13中任一项所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置(24、25)在弹性环形段(34)区域中由弹性塑料材料形成。
15.按照权利要求8至14中任一项所述的真空阀，其特征在于，薄膜密封装置(24、25)在刚性的中间段(30)的区域中具有板形的金属件(35)，所述金属件至少部分地涂覆有弹性的塑料材料(36)。
16.按照权利要求1至15中任一项所述的真空阀，其特征在于，阀门板(9)是刚性的。
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