CN101042421A - 试验对象物的保护电路、保护方法、试验装置和试验方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够防止向试验对象物施加过电压的试验对象物的保护电路。测试电路(5)包括：直流电源(13)；集电极通过测试电路保护用IGBT(16)与直流电源(13)的正极连接的负载线圈(17)；连接该负载线圈(17)的另一端和具有多个IGBT(11)的功率器件(10)的集电极侧的导体(12a)的配线(18)；连接功率器件(10)的发射极侧的导体(12b)和直流电源(13)的负极的配线(20)；和与功率器件(10)并联配置，并且具有IGBT的功率器件保护电路(21)。在功率器件(10)的L负载试验中，功率器件保护电路(21)的IGBT从断开状态切换至接通状态，然后功率器件(10)的各IGBT(11)从接通状态切换至断开状态。

Description

试验对象物的保护电路、保护方法、试验装置和试验方法
技术领域
本发明涉及试验对象物的保护电路、试验对象物的保护方法、试验装置和试验方法，特别是涉及可切换导通/非导通状态的试验对象物的保护电路。
背景技术
已知作为能够流过大电流的功率器件(power device)，使用绝缘栅极双极晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor，以下称为“IGBT”)。IGBT为将MOSFET(MOS型Field Effect Transistor：场效应晶体管)装入栅极部中的双极晶体管。IGBT由栅极-发射极之间的电压驱动，切换集电极(collector)-发射极(emitter)之间的导通(接通)/非导通(断开)状态。
通过成膜处理或蚀刻处理等，在晶片上形成多个使用IGBT的功率器件。在各功率器件中流过电流，进行电特性的试验。在功率器件的电特性试验中使用具有下述部件的试验装置：载置晶片的载置台；与该载置台相对配置并且具有多个触头的探针板(probe card)；和通过配线与该探针板连接的测试电路。在该试验装置中，使载置台上的晶片的规定的功率器件与探针板的触头位置一致，然后载置台上升，使多个触头与在晶片上形成的规定的功率器件接触，通过该多个触头，使大电流在接通状态的规定的功率器件中流过，由此，进行功率器件的电特性试验。
这里，在电特性试验中，若功率器件短路，则急剧地施加过电流，使该功率器件、探针板和测试电路等被破坏。与此相对，已知在连接测试电路和探针板的配线上设置有电流限制电路，抑制施加急剧的过电流的试验装置(例如，参照专利文献1)。
另外，如下所述，即使功率器件不短路，有时过电流也会施加在功率器件上。例如，由于试验装置的配线达到数m，该配线具有规定的寄生电感。在功率器件的电特性试验中，变化比较缓慢的电流或一定的电流在电线中流过，但在电特性试验后，当使功率器件处于断开状态时，在配线中流动的电流急剧地变化。这时，电流的急剧变化和配线的寄生电感引起产生过电压，该过电压施加在与配线连接的功率器件上。
作为消除使功率器件处于断开状态时产生的过电压的装置，已知所谓的缓冲电路。该缓冲电路将产生的过电压变换为热而消耗(例如，参照非专利文献1)。
专利文献1：日本特开2004-77166号公报
非专利文献1：“日立功率器件技术信息，PD Room”(“日立パワ一デバイス技術情報PD Room”)，[online]，1997年5日，株式会社日立制作所，“平成17年10月7日检索”因特网<URL：http//www.pi.hitachi.co.jp/ICSFiles/afieldfile/2004/06/14/pdrm06j.pdf>
然而，由于缓冲电路本身具有配线，所以有寄生电感。另外，由于缓冲电路只消耗过电压，因此缓冲电路不能除去寄生电感，不能完全防止向功率器件施加过电压。另外，为了减小缓冲电路的寄生电感，需要将缓冲电路配置在功率器件附近，缩短配线长度，但因为试验装置具有许多配线，配置场所没有富余，因此难以将缓冲电路配置在功率器件附近。即，难以防止向功率器件施加过电压。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够防止向实验对象物施加过电压的试验对象的保护电路、试验对象物的保护方法、试验装置和试验方法。
为了达到上述目的，发明方面1所述的试验对象物的保护电路，通过配线供给电流，并且与可切换导通/非导通状态的试验对象物并联配置，其特征在于：可切换导通/非导通状态，与上述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，从非导通状态切换至导通状态。
发明方面2所述的试验对象物的保护电路的特征在于：在发明方面1所述的试验对象物的保护电路中，在上述试验对象物从导通状态切换至非导通状态前，从非导通状态切换至导通状态。
发明方面3所述的试验对象物的保护电路的特征在于：在发明方面2所述的试验对象物的保护电路中，在上述试验对象物转移至所希望的试验状态后，从非导通状态切换至导通状态。
发明方面4所述的试验对象物的保护电路的特征在于：在发明方面1～3中任一项所述的试验对象物的保护电路中，上述试验对象物和上述保护电路具有绝缘栅极双极晶体管。
为了达到上述目的，发明方面5所述的试验对象物的保护方法，通过配线供给电流，并且保护可切换导通/非导通状态的试验对象物，其特征在于，包括：保护电路配置步骤，使可切换导通/非导通状态的保护电路与上述试验对象物并联配置；保护电路导通步骤，与上述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，上述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
发明方面6所述的试验对象物的保护方法的特征在于：在发明方面5所述的试验对象物的保护方法中，在上述保护电路导通步骤中，在上述试验对象物从导通状态切换至非导通状态前，上述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
发明方面7所述的试验对象物的保护方法的特征在于：在发明方面6所述的试验对象物的保护方法中，在上述保护电路导通步骤中，在上述试验对象物转移至所希望的试验状态后，上述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
发明方面8所述的试验对象物的保护方法的特征在于：在发明方面5～7中任一项所述的试验对象物的保护方法中，上述试验对象物和上述保护电路具有绝缘栅极双极晶体管。
为了达到上述目的，发明方面9所述的试验装置，具有供给电流的电源、和连接可切换导通/非导通状态的试验对象物与上述电源的配线，其特征在于：具有与上述试验对象物并联配置的可切换导通/非导通状态的保护电路，与供给上述电流的上述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，上述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
为了达到上述目的，发明方面10所述的试验方法，使用具有供给电流的电源、和连接可切换导通/非导通状态的试验对象物与上述电源的配线的试验装置，其特征在于，包括：保护电路配置步骤，在试验装置中，使可切换导通/非导通状态的保护电路与上述试验对象物并联配置；动态特性试验步骤，将上述试验对象物设定为导通状态，向该试验对象物供给上述电流；和保护电路导通步骤，与上述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，上述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
发明方面11所述的试验方的特征在于：在发明方面10所述的试验方法中，还包括进行上述试验对象物的静态特性试验的静态特性试验步骤。
发明方面12所述的试验方法的特征在于：在发明方面11所述的试验方法中，包括：第一静态特性试验步骤，在上述动态特性试验步骤前，进行上述试验对象物的静态特性试验；和第二静态特性试验步骤，在上述动态特性试验步骤后，进行上述试验对象物的静态特性试验。
发明效果
根据发明方面1所述的试验对象物的保护电路、发明方面5所述的试验对象物的保护方法、发明方面9所述的试验装置和发明方面10所述的试验方法，由于与试验对象物并联配置的试验对象物的保护电路，与试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，从非导通状态切换至导通状态，即使将试验对象物从导通状态切换至非导通状态，流过配线的电流也不会急剧变化，由此能够防止发生由于电流急剧变化和配线的寄生电感引起的过电压，因此能够防止向试验对象物施加过电压。
根据发明方面2所述的试验对象物的保护电路和发明方面6所述的试验对象物的保护方法，由于在试验对象物从导通状态切换至非导通状态前，保护电路从非导通状态切换至导通状态，因此能够不断开电流的流路，可靠地防止电流的急剧变化，从而可靠地防止向试验对象物施加过电压。
根据发明方面3所述的试验对象物的保护电路和发明方面7所述的试验对象物的保护方法，在试验对象物移至所希望的试验状态后，保护电路从非导通状态切换至导通状态，利用保护电路从非导通状态向导通状态的切换，能够防止阻碍试验对象物的试验。
根据发明方面4所述的试验对象物的保护电路和发明方面8所述的试验对象物的保护方法，由于试验对象物和保护电路具有绝缘栅极双极晶体管，当将试验对象物从导通状态切换至非导通状态时，能够使电流平稳地流向保护电路。另外，由于具有绝缘栅极双极晶体管的保护电路紧凑，因此容易配置在试验装置中。
根据发明方面11所述的试验方法，由于进行试验对象物的静态特性试验，能够正确地把握试验对象物是否被破坏，因此能够防止次品的流出。
根据发明方面12所述的试验方法，由于在动态特性试验前进行试验对象物的静态特性试验，并且，在动态特性试验后进行试验对象物的静态特性试验，能够避免进行徒劳的动态特性试验，同时能够把握在动态特性试验中试验对象物是否被破坏，因此能够可靠地防止次品的流出。
附图说明
图1为表示本发明实施方式的试验装置的大致结构的图。
图2为表示作为试验对象物的功率器件的大致结构的电路图。
图3为图1的试验装置的测试电路、探针板、信号线和功率器件的电路图。
图4为作为本发明实施方式的试验方法的功率器件特性试验处理的流程图。
图5为表示功率器件的各IGBT的接通/断开状态的切换和与功率器件保护电路的IGBT的接通/断开状态的切换相应的电流供给目的地变化的图。(A)为表示功率器件的各IGBT处于接通状态、并且功率器件保护电路的IGBT处于断开状态时的图；(B)为表示功率器件的各IGBT处于断开状态、并且功率器件保护电路的IGBT处于导通状态时的图。
图6为表示有无功率保护电路的向功率器件施加过电压状态的图形。(A)为表示没有功率器件保护电路时的图形；(B)为表示有功率器件保护电路时的图形。
符号说明
W：晶片；1：试验装置；5：测试电路；6a、6b：触头；10：功率器件；11：IGBT；18、20：配线；21：功率器件保护电路。
具体实施方式
以下，参照附图，说明本发明的实施方式。
图1为表示本实施方式的试验装置的大致结构的图。
在图1中，试验装置1包括：载置形成有多个后述的功率器件10(试验对象物)的晶片W，并且可在图中上下方向和左右方向移动的载置台2；与载置在该载置台2上的晶片W相对配置的探针板3；通过信号线4(配线)，与该探针板3连接的测试电路5和控制各构成元件动作的控制装置(未图示)。
如图2所示，各功率器件10具有多个、例如1～2万个IGBT11。各IGBT11的集电极与导体12a连接，另一方面，各IGBT11的发射极与导体12b连接。因此，各IGBT11互相并联配置。并且，各IGBT11的栅极汇集。通常，IGBT有高的耐压(耐电压)性，由于在功率器件10中，多个IGBT11并联配置，在功率器件10中能够流过大电流。
回到图1，探针板3具有例如298个触头6a和例如2个触头6b。各触头6a与发射极侧的导体12b对应，各触头6b与汇集的IGBT11的栅极对应。在试验装置1中，控制装置控制载置台2上的晶片W的规定的功率器件10与探针板3的触头6a、6b的位置一致，使发射极侧的导体12b与触头6a接触，同时使汇集的IGBT11的栅极与触头6b接触。
图3为图1的试验装置中的测试电路、探针板、信号线和功率器件的电路图。并且，在图3中，功率器件用1个IGBT的记号表示。
在图3中，测试电路5包括：直流电源13；一端与直流电源13的正极连接，并且另一端与直流电源13的负极连接的放电用电阻14；由串联配置的3个电容器构成，与放电用电阻14并联配置的蓄电用电容器组15；集电极与直流电源13的正极连接的测试电路保护用IGBT16；一端与测试电路保护用IGBT16的发射极连接的负载线圈17；连接该负载线圈17的另一端和功率器件10的集电极侧的导体12a的配线18；经由触头6a、探针板3和信号线4，连接功率器件10的发射极侧的导体12b和直流电源13的负极的配线20；和圆环状的电流检测器，即在中心孔中贯通配线18的电流检测器22。
另外，测试电路5具有功率器件保护电路21(试验对象物的保护电路)。功率器件保护电路21具有IGBT，该IGBT的集电极与配线18连接，另一方面，发射极与配线20连接。因此，功率器件保护电路21与功率器件10并联配置。这里，设定功率器件保护电路21的电流容量比功率器件10的电流容量大，设定功率器件保护电路21的内部电阻比功率器件10的内部电阻小。
另外，在测试电路5中，测试电路保护用IGBT16、负载线圈17和功率器件保护电路21分别具有再生电流用的二极管22、23、24。
放电用电阻14，在配线18或配线20断线等情况下，将积蓄在各配线中的电荷变换为热能放出。蓄电用电容器组15蓄积来自直流电源13的电荷，在积蓄规定量的电荷后，将该电荷作为电流，通过测试电路保护用IGBT16和负载线圈17，向功率器件10供给。
测试电路保护用IGBT16的栅极通过栅极电阻(RG)25与栅极驱动单元26连接。栅极驱动单元26通过将驱动电压加在栅极上，切换(switch)测试电路保护用IGBT16的接通/断开状态，控制向功率器件10供给的电流的开始/停止。
负载线圈17具有规定量、例如50μH的电感。另外，由于负载线圈17设置在蓄电用电容器组15和功率器件10之间，控制从蓄电用电容器组15向功率器件10供给的电流量。
电流检测器22检测在配线18中流动的电流量。另外，电流检测器22与示波器27连接，示波器27显示电流检测器22检测的电流量。并且，电流检测器22和栅极驱动单元26连接，当电流检测器22检测出在配线18中流动的电流急剧增加时，将电流急剧增加的意思从电流检测器22传送至栅极驱动单元26，一旦栅极驱动单元26接收电流急剧增加的意思，就会停止向功率器件10供给电流。
功率器件10的汇集的栅极，经由触头6b、探针板3、信号线4和栅极电阻25，与栅极驱动单元29连接。栅极驱动单元29，通过将驱动电压施加在上述汇集的栅极上，切换功率器件10的各IGBT11的接通/断开状态。另外，栅极驱动单元29经由栅极电阻30，与功率器件保护电路21的IGBT的栅极连接，通过将驱动电压施加在功率器件保护电路21的IGBT的栅极上，切换上述IGBT的接通/断开状态。
栅极驱动单元29，通过调整功率器件10的各IGBT11的接通/断开状态的切换时间和功率器件保护电路21的IGBT的接通/断开状态的切换时间，将在配线18中流动的电流的供给目的地设定为功率器件10和功率器件保护电路21中的任何一个。
下面，说明作为本发明实施方式的试验方法的功率器件特性试验。
图4为作为本发明实施方式的试验方法的功率器件特性试验处理的流程图。本处理进行载置台2上的晶片W的规定的功率器件10与探针板3的触头6a、6b的位置对合，发射极侧的导体12b与触头6a接触，并且功率器件10中汇集的栅极与触头6b接触，然后实行测试电路5。另外，本处理进行作为功率器件10的动态特性试验的L负载试验(Inductive Load Test：电感负载测试)。
在图4中，首先，利用开关(未图示)连接直流电源13和蓄电用电容器组15，直流电源13将电荷充电(changing)至蓄电用电容器组15的各电容器中(步骤S101)。若充电至蓄电用电容器组15的各电容器中的电荷总量达到规定量，利用上述开关，使直流电源13与蓄电用电容器组15分离。
其次，栅极驱动单元26将测试电路保护用IGBT16从断开状态切换至接通状态(步骤S102)，并且，栅极驱动单元29将功率器件10的各IGBT11从断开状态切换至接通状态(步骤S103)。这时，充电至蓄电用电容器组15中的电荷，作为电流，经由测试电路保护用IGBT16、负载线圈17和配线18，向功率器件10的集电极供给。另外，在各IGBT11的集电极-发射极间流动的电流和在功率器件10中流动的电流，根据负载线圈17的电感或蓄电用电容器组15供给的电荷量，随着时间的变化而增加。
然后，根据增加的电流量是否达到一定量，判别功率器件10有无异常(步骤S104)，在确认电流量没有达到一定量等功率器件10的异常的情况下，进入步骤S108，判定功率器件10为“NG”(步骤S108)，结束本处理。
另外，步骤S104的判别结果，在电流量达到一定量(移至所希望的试验状态)、没有确认功率器件10异常的情况下，栅极驱动单元29将功率器件保护电路21的IGBT从断开状态切换至接通状态(步骤S105)，并且，在经过200nsec后，将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态(步骤S106)。在试验装置1中，在功率器件10的各IGBT11处于接通状态、并且功率器件保护电路21的IGBT处于断开状态的情况下(图5(A))，向功率器件10供给电流(图中用空心箭头表示)；而在功率器件10的各IGBT11处于断开状态、并且功率器件保护电路21的IGBT处于接通状态的情况下(图5(B))，向功率器件保护电路21供给电流(图中用空心箭头表示)。这时，由于在功率器件10的各IGBT11切换至断开状态前，功率器件保护电路21的IGBT切换至接通状态，因此即使功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态，在配线18或配线20中流动的电流流路也不会被断开。
然后，判定功率器件10为“OK”(步骤S107)，结束本处理。
根据图4的处理，由于在功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态(步骤S106)前，与功率器件10并联配置的功率器件保护电路21的IGBT从断开状态切换至接通状态(步骤S105)，因此即使功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态，在配线18或配线20中流动的电流的流路也不会被断开。因此，在配线18或配线20中流动的电流不会急剧变化，由此能够防止发生由于电流急剧变化和配线18或配线20的寄生电感引起的过电压，从而能够可靠地防止向功率器件10施加过电压。
另外，由于在功率器件10中流动的电流达到一定量后，功率器件保护电路21的IGBT从断开状态切换至接通状态，能够防止由功率器件保护电路21的IGBT的切换产生的干扰对功率器件10的L负载试验的阻碍。
在上述测试电路5中，由于设定功率器件保护电路21的电流容量比功率器件10的电流容量大，设定功率器件保护电路21的内部电阻比功率器件10的内部电阻小，因此可以顺利地进行电流供给目的地的变更(从功率器件10变更至功率器件保护电路21)，可以防止发生干扰等。
另外，在L负载试验等中，当在功率器件10的各IGBT11的集电极-发射极之间流过大电流时，即使该IGBT切换至断开状态，有时电流也会继续在集电极-发射极之间流动(锁定现象)。这种锁定现象只在功率器件具有的多个单元中的几个中发生。这里，在没有与功率器件并联配置的功率器件保护电路的现有试验装置中，一旦功率器件的几个单元中发生锁定现象，大电流就会集中在这几个单元上而被破坏。另一方面，在上述的测试电路5中，当功率器件10的各IGBT11切换至断开状态时，由于电流的供给目的地变更至功率器件保护电路21，即使在功率器件10的几个单元中发锁定现象，大电流也不会集中在这几个单元中流过。因此，能够防止测试电路5因锁定现象造成的单元破坏。
在上述图4的处理中，将功率器件保护电路21的IGBT从断开状态切换至接通状态，并经过200nsec后，将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态；但是也可以将功率器件保护电路21的IGBT从断开状态切换至接通状态，同时将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态。在IGBT中，从断开状态切换至接通状态时集电极-发射极之间可以导通所需要的时间，远小于从接通状态切换至断开状态时集电极-发射极之间不可导通所需要的时间。因此，即使两者的切换同时进行，流过电流的电路不会被断开，该电流不会急剧变化。
另外，功率器件保护电路21的IGBT从断开状态向接通状态的切换，也可以在L负载试验中流过该功率器件10的电流达到一量后立即进行。
另外，由于功率器件10具有多个单元，即使几个单元被破坏，大电流仍可以流过。这里，上述的L负载试验是确认流过功率器件10的电流是否达到一定量的试验。因此，在L负载试验中，难以正确地判定在功率器件10中是否全部单元为正常。另外，有时单元在L负载试验前被破坏，或在L负载试验中供给电流时被破坏。
与此对应，优选在进行上述图4的处理前和处理后，进行功率器件10的静态特性试验。作为静态特性试验，相当于确认处于断开状态的功率器件10的各IGBT11的集电极-发射极之间的绝缘性的泄漏试验、测定使施加在栅极上的驱动电压上升时达到一定量的集电极-发射极之间的电流的饱和(V saturate)试验、和测定切换至接通状态时的驱动电压的电压阈值试验(V threshold)等。由此，能够避免进行徒劳的L负载试验，并且能够把握在L负载试验中功率器件10的IGBT是否被破坏，因此能够可靠地防止次品的流出。
在上述的实施方式中，对于利用试验装置1进行试验的试验对象物为具有IGBT的功率器件的情况进行了说明，但试验对象物不限于此，只要是可切换接通/断开状态、可使大电流流过的装置即可。另外，试验对象物的保护电路也不一定具有IGBT，只要是可切换接通/断开状态、可使大电流流过的电路即可。
(实施例)
下面，具体地说明本发明的实施例。
实施例
首先，准备上述的试验装置1和形成有多个功率器件10的晶片W，利用该试验装置1进行在晶片W上形成的功率器件10的L负载试验。在该L负载试验中，在确认流过该功率器件10的电流达到一定量后，将功率器件保护电路21的IGBT从断开状态切换至接通状态，并且在经过200nsec后，将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态。在这过程中，监测功率器件10的各IGBT11的栅极-发射极之间的电压VGE和集电极-发射极之间的电压VCE，将这些表示在图6(B)所示图形中。
比较例
首先，准备从上述试验装置1的测试电路5除去功率器件保护电路21的试验装置、和形成有多个功率器件10的晶片W，利用该试验装置进行在晶片W上形成的功率器件10的L负载试验。在该L负载试验中，在确认在该功率器件10中流过的电流达到一定量后，将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态。在这过程中，监测功率器件10的各IGBT11的栅极-发射极之间的电压VGE和集电极-发射极之间的电压VCE，将这些表示在图6(A)所示的图形中。
比较图6(A)和图6(B)的图形可知，在比较例中，若将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态，过电压施加在集电极-发射极之间；与此相对，在实施例中，即使将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态，过电压也不会施加在集电极-发射极之间。由此，通过在测试电路5中设置与功率器件10并联配置的功率器件保护电路21，即使将功率器件10的各IGBT11从接通状态切换至断开状态，也能够防止产生过电压。

Claims (12)

1.一种试验对象物的保护电路，通过配线供给电流，并且与可切换导通/非导通状态的试验对象物并联配置，其特征在于：
可切换导通/非导通状态，与所述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，从非导通状态切换至导通状态。
2.如权利要求1所述的试验对象物的保护电路，其特征在于：
在所述试验对象物从导通状态切换至非导通状态前，从非导通状态切换至导通状态。
3.如权利要求2所述的试验对象物的保护电路，其特征在于：
在所述试验对象物转移至所希望的试验状态后，从非导通状态切换至导通状态。
4.如权利要求1～3中任一项所述的试验对象物的保护电路，其特征在于：
所述试验对象物和所述保护电路具有绝缘栅极双极晶体管。
5.一种试验对象物的保护方法，通过配线供给电流，并且保护可切换导通/非导通状态的试验对象物，其特征在于，包括：
保护电路配置步骤，使可切换导通/非导通状态的保护电路与所述试验对象物并联配置；
保护电路导通步骤，与所述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，所述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
6.如权利要求5所述的试验对象物的保护方法，其特征在于：
在所述保护电路导通步骤中，在所述试验对象物从导通状态切换至非导通状态前，所述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
7.如权利要求6所述的试验对象物的保护方法，其特征在于：
在所述保护电路导通步骤中，在所述试验对象物转移至所希望的试验状态后，所述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
8.如权利要求5～7中任一项所述的试验对象物的保护方法，其特征在于：
所述试验对象物和所述保护电路具有绝缘栅极双极晶体管。
9.一种试验装置，具有供给电流的电源、和连接可切换导通/非导通状态的试验对象物与所述电源的配线，其特征在于：
具有与所述试验对象物并联配置的可切换导通/非导通状态的保护电路，
与供给所述电流的所述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，所述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
10.一种试验方法，使用具有供给电流的电源、和连接可切换导通/非导通状态的试验对象物与所述电源的配线的试验装置，其特征在于，包括：
保护电路配置步骤，在所述试验装置中，使可切换导通/非导通状态的保护电路与所述试验对象物并联配置；
动态特性试验步骤，将所述试验对象物设定为导通状态，向该试验对象物供给所述电流；和
保护电路导通步骤，与所述试验对象物从导通状态向非导通状态的切换相应，所述保护电路从非导通状态切换至导通状态。
11.如权利要求10所述的试验方法，其特征在于：
还包括进行所述试验对象物的静态特性试验的静态特性试验步骤。
12.如权利要求11所述的试验方法，其特征在于，包括：
第一静态特性试验步骤，在所述动态特性试验步骤前，进行所述试验对象物的静态特性试验；和
第二静态特性试验步骤，在所述动态特性试验步骤后，进行所述试验对象物的静态特性试验。
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