CN101012668A - 用于对容纳在封闭物内部的设备隔音的封闭物 - Google Patents

用于对容纳在封闭物内部的设备隔音的封闭物 Download PDF

Info

Publication number
CN101012668A
CN101012668A CNA2007100061518A CN200710006151A CN101012668A CN 101012668 A CN101012668 A CN 101012668A CN A2007100061518 A CNA2007100061518 A CN A2007100061518A CN 200710006151 A CN200710006151 A CN 200710006151A CN 101012668 A CN101012668 A CN 101012668A
Authority
CN
China
Prior art keywords
closure
main body
acoustic
enclosure
wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2007100061518A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101012668B (zh
Inventor
A·威舍尔
J·H·M·G·施罗恩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
FEI Co
Original Assignee
FEI Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FEI Co filed Critical FEI Co
Publication of CN101012668A publication Critical patent/CN101012668A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101012668B publication Critical patent/CN101012668B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B1/00—Constructions in general; Structures which are not restricted either to walls, e.g. partitions, or floors or ceilings or roofs
    • E04B1/62—Insulation or other protection; Elements or use of specified material therefor
    • E04B1/74—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls
    • E04B1/82—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls specifically with respect to sound only
    • E04B1/8218—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls specifically with respect to sound only soundproof enclosures
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B1/00—Constructions in general; Structures which are not restricted either to walls, e.g. partitions, or floors or ceilings or roofs
    • E04B1/62—Insulation or other protection; Elements or use of specified material therefor
    • E04B1/74—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls
    • E04B1/82—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls specifically with respect to sound only
    • E04B1/8209—Heat, sound or noise insulation, absorption, or reflection; Other building methods affording favourable thermal or acoustical conditions, e.g. accumulating of heat within walls specifically with respect to sound only sound absorbing devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Building Environments (AREA)
  • Soundproofing, Sound Blocking, And Sound Damping (AREA)
  • Casings For Electric Apparatus (AREA)
  • Motor Or Generator Frames (AREA)

Abstract

本发明涉及一种具有大体上长方形外形的封闭物，其适于容纳对声振动敏感的设备，封闭物包括壁和位于壁内部的声阻尼材料，其中声阻尼材料包括至少一个由声能吸收材料制成的吸收主体，吸收主体邻近封闭物的棱部设置。干扰封闭物内部的设备的工序最多的声振动是由封闭物内部的频率范围在50Hz和1000Hz之间的驻波而引起的。这些声波可通过邻近封闭物的其中一个棱部设置一块声吸收材料而被有效地阻尼，达到这样的程度以致于基本上排除了对厚壁封闭物的需要，从而形成较小体积的封闭物。

Description

用于对容纳在封闭物内部的设备隔音的封闭物
技术领域
本发明涉及对振动敏感或易受振动损坏的设备的隔音。例如，这种设备是晶片分档器和类似电子显微镜的粒子光学设备。但是也不排除其它种类的设备。
背景技术
这种设备不得不经常在存在振动、例如声振动的场地中被操作，像半导体生产工厂，也称为’FAB’。在这样的环境中，重要的是，要使用封闭物隔离设备与环境，并能在它们的边界条件之内操作这些设备。
因此，已知的具有大体上长方形外形的封闭物适于容纳对声振动敏感的设备，该封闭物包括壁和位于壁内的声阻尼材料。
这些已有的封闭物需要体积大、重，以能够起到充分绝缘的效果。这从壁的厚度可以看出来，壁的厚度通常在50mm和100mm之间。然而，该厚度常常不足以提供所要求的隔音。当然，封闭物可以构建得更厚，但是这或者会使封闭物的内部体积变小，使设备周围留下的空间较小，这导致设备安装和保养期间很不便，或者会使封闭物的外部体积变大，导致所用的占地面积增加。
US-A-4 362 222公开了一种具有大体上长方形外形的封闭物，其适于容纳对声振动敏感的设备，封闭物包括壁和位于壁内部的声阻尼材料，其中声阻尼材料包括至少一个由声能吸收材料制成的吸收主体，吸收主体具有平行六面体形状，并邻近封闭物的边缘设置。
在该已有结构中，阻尼材料由仅仅具有有限厚度的平板形成，随之相关，目的仅仅在于有限地使人类耳朵敏感的频率范围内的声频率衰减。
在发明人看来，令人惊讶的是，干扰封闭物内部的设备的工序最多的声振动是由封闭物内的驻波引起的。在大多数情况下，这些设备尤其容易受到由这些设备本身引起的范围在50Hz到1000Hz之间的频率的振动的损坏。该要避免的振动频率区域大大不同于人类耳朵尤其敏感的频率区域。这个差异避免已知的对保护人类听力有效的已有隔音特征仅仅适合于该目的。
更进一步地，DE-U-200 11 448公开了一种建筑物，其中吸收主体布置成悬挂在水平线上，允许主体沿这些线移动，从而允许这些振动吸收主体邻近建筑物的边缘设置。
发明内容
通过上述类型的封闭物，有效地阻尼了该特定频率区域内的声学驻波，其中至少一个吸收主体的至少一侧的尺寸大体上等于同一方向上的封闭物的内部尺寸的1/4。
如果该主体具有大体上长方形的形状，以及如果至少一个吸收主体的至少一侧的尺寸大体上等于同一方向上的封闭物的内部尺寸的1/4，吸收主体所需要的空间甚至可以进一步减少。该特征的另一个优点是，这样的长方形主体容易获得。
为了最小化对封闭物内部的设备的操作的干扰，如果吸收主体的体积尽可能地小以及如果吸收主体集中在单个部位中，这是非常有利的。这是如果封闭物仅仅包括一个吸收主体的情况，主体邻近封闭物的角落设置，吸收主体的全部三个尺寸大体上等于同一方向上的封闭物的相关内部尺寸的1/4。
如果吸收主体位于封闭物的其中一个上角部，甚至可以更进一步降低对封闭物内部的操作的干扰。
虽然不排除其它阻尼材料，像自然羊毛和纤维复合材料，但是，显然，矿物棉作为一种阻尼材料尤其有利，因为它具有良好的吸收性能，重量小，价格便宜。
据发明人看来，密度为10-100kg/m3的矿物棉尤其产生有利的效果。
尽管矿物棉具有有利的性质，但是，矿物棉及其它适合作为吸收材料的纤维状材料会产生灰尘，灰尘不但使封闭物中的人感觉不舒服，而且会对存在于封闭物的精密设备以及由这些设备执行的工序产生灾难性的影响。所以，如果吸收主体用柔性材料制成的封套包装起来，将是非常有利的。这会使吸收主体产生的任何灰尘都留在封套内部，这样灰尘不会排出。当然，应当仔细选择封套的材料，这样，声波适当地传递给吸收主体，波不被反射。
如上所述，本发明基于这样的假定，即干扰设备和其中进行的工序的声振动的主要原因是由驻波引起的。但是，为了防止声振动到达所封装的设备，优选的是，封闭物的壁由每一表面面积具有较大质量的材料制成。这基于来自封闭物外面的声波可以被每一表面面积具有大质量的壁很好地反射回去的观点。这与由邻近封闭物的棱部(rib)放置的吸收器块对驻波的阻尼一起，使封闭物内部的噪声水平减小。
通过研究发现，如果封闭物由质量在10kg/m2和60kg/m2之间的材料制成，可获得最佳的效果。这允许使用较小厚度的材料来提高上面指出的效果，例如钢板。
但是，如果封闭物由厚度在0.5mm和5mm之间的金属板制成，并且在金属板外部涂敷一层厚度大约为金属板厚度的两倍的沥青，可获得更加最佳的效果。
粒子光学设备尤其易于受到声振动的损坏，这样，当封闭物适于容纳粒子光学设备的时候，本发明的优点尤其可以显现。显然，改变封闭物的尺寸，以适应粒子光学设备的尺寸。
附图说明
随后将利用附图阐明本发明，其中：
图1是表示本发明第一实施例的示意图；
图2是表示本发明第二实施例的示意图；
图3是表示本发明第三实施例的示意图；
图4是表示本发明第四实施例的示意图。
具体实施方式
在图1中，所示的封闭物1具有大体上长方形的外形，该外形也被称为平行六面体外形。更特别地，封闭物包括：前壁2，前壁2中设置开口3，门4插入该开口3中；后壁5；两侧壁6、7；和顶壁或房顶8。所有这些壁2、5-8都由厚度为1mm的金属板制成。但是，该厚度可以在0.5mm和5mm之间变化，更优选地在0.75mm和1.5mm之间。这些壁的内表面覆盖有一层沥青或一层具有高比质量的其它材料，以增加壁的每一表面面积的质量，同时阻尼封闭物壁的共振。不排除替代金属板和沥青层两者的其它材料。每一表面面积重量用来改善声波的反射，产生所需要的从封闭物的内部体积到外面的隔音。
在封闭物1内部，设置有示意性描绘的设备10，该设备对声振动敏感。例如，这样的设备是晶片分档器、电子显微镜或其它具有粒子光学性质的设备。封闭物基本上比设备大，以提供用于在设备周围机动和操作的空间。值得提及的是，作为替换，也可以设计具有比具有类似隔音的已有封闭物相比减少的占地面积的封闭物。
为了提供阻尼封闭物内部的驻波的有效方式，由矿物棉制成的声学主体11设置在封闭物的其中一个上角落中。如附图中所描绘的，主体具有大体上长方形或块状的形状。但是，这不是特别要求的；同样可以使用其它形状，像棱形形状和不规则形状。但是优选块状形状，因为决状形状提供了用于封闭物内部的驻波的最佳吸收。
阻尼效应由下面的事实引起，由于波反射到壁的内表面上，不但一阶驻波，而且更高阶驻波都在壁上具有最高压力振幅，这样，壁上的任何吸收材料都非常有效。
因此，吸收材料的最好位置邻近壁。
进一步发现，当材料大体上遍布封闭物纵向尺寸的1/4时，可以获得最佳的吸收，并由此获得最佳的阻尼效应，因为这样覆盖的面积中的声波压力振幅是最大的。
角落中的部位是有利的，因为角落部位在封闭物的全部三个空间尺寸上有效的，而所需要的空间小。如果采取封闭物尺寸的1/4的优选尺寸，假定为长方形封闭物，仅仅封闭物总体积的1/4×1/4×1/4＝1/64被采用。当吸收主体位于如同本实施例中的其中一个顶部角落中时，所占用的空间绝对最小。
优选地，吸收主体设置在封套中，以防止灰尘、细纤维及其它材料到达设备，尤其是当使用矿物棉的时候。
然而，也可以利用遍布棱部全长的声吸收主体。这种情形描绘在图2中，其中声吸收主体12邻近其中一个上棱部设置。该实施例提供了良好的阻尼，因为在三个正交方向中的两个方向上的驻波在驻波存在的体积的全宽度上接触吸收主体。这分别由图示V和H1表示。
图3中的情形中设置有两个声吸收主体13、14，该情形提供了如图2实施倒同样的优点，但是，在有些情形下，空间情况使该实施例具有吸引力。当然，像前述实施例一样，声吸收主体的尺寸应当适合于容纳同样的总计体积。
最后，图4显示了一实施例，其中使用了单个声吸收主体15，其具有L形状，并沿封闭物的两个棱部延伸。该实施例的效果在于，全部三个方向上的驻波都由主体吸收，这样，有效性增加。当然，该主体可由结合在一起的几个单独的主体组成，正像前述实施例一样。
显然，对如上所述的实施例可以进行各种修改。

Claims (10)

1.一种具有大体上长方形外形的封闭物(1)，其适于容纳对声振动敏感的设备(10)，封闭物包括壁(2、5、6、7、8)和位于封闭物内的声阻尼材料，其中声阻尼材料包括至少一个由声能吸收材料制成的吸收主体(11)，其特征在于，主体(11)的长方形外接封套的至少一侧的尺寸大体上等于同一方向上的封闭物(1)的内部尺寸的1/4。
2.如权利要求1所述的封闭物，其特征在于，封闭物(1)仅仅包括一个吸收主体(11)，该主体邻近封闭物(1)的角落设置，吸收主体(11)的全部三个尺寸大体上等于同一方向上的封闭物的相关内部尺寸的1/4。
3.如权利要求1或2所述的封闭物，其特征在于，吸收主体(11)位于封闭物(1)的其中一个上角落上。
4.如前述任一权利要求所述的封闭物，其特征在于，吸收主体(11)由矿物棉制成。
5.如权利要求4所述的封闭物，其特征在于，矿物棉的密度为10-100kg/m3。
6.如前述任一权利要求所述的封闭物，其特征在于，吸收主体被由柔性材料制成的封套包装起来。
7.如前述任一权利要求所述的封闭物，其特征在于，封闭物包括由每一表面面积具有大质量的材料制成的壁。
8.如权利要求7所述的封闭物，其特征在于，封闭物由质量在10kg/m2和60kg/m2之间的材料制成。
9.如权利要求7或8所述的封闭物，其特征在于，封闭物(1)的壁由厚度在0.5mm到5mm之间的金属板制成，并且在金属板外部涂敷一层厚度大约为金属板厚度的两倍的沥青。
10.前述任一权利要求所述的封闭物和对声振动敏感的设备、尤其是粒子光学设备的组合。
CN2007100061518A 2006-02-01 2007-01-31 用于对容纳在封闭物内部的设备隔音的封闭物 Expired - Fee Related CN101012668B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP06101129.2 2006-02-01
EP06101129A EP1816273A1 (en) 2006-02-01 2006-02-01 Enclosure for acoustic insulation of an apparatus contained within said enclosure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101012668A true CN101012668A (zh) 2007-08-08
CN101012668B CN101012668B (zh) 2012-02-15

Family

ID=36658930

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2007100061518A Expired - Fee Related CN101012668B (zh) 2006-02-01 2007-01-31 用于对容纳在封闭物内部的设备隔音的封闭物

Country Status (5)

Country Link
US (2) US8170255B2 (zh)
EP (2) EP1816273A1 (zh)
JP (1) JP2007226216A (zh)
CN (1) CN101012668B (zh)
AT (1) ATE525535T1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103412148A (zh) * 2013-08-09 2013-11-27 兰州大学 一种用于原子力显微镜的隔音箱
CN107447887A (zh) * 2017-09-18 2017-12-08 成都优立方科技有限公司 一种隐藏式改变声学环境的装置

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1816273A1 (en) 2006-02-01 2007-08-08 FEI Company Enclosure for acoustic insulation of an apparatus contained within said enclosure
JP5645934B2 (ja) * 2010-06-16 2014-12-24 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置および防音カバー
JP5537386B2 (ja) * 2010-11-09 2014-07-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
JP6243513B2 (ja) * 2014-03-28 2017-12-06 パイオニア株式会社 スピーカシステム
JP2017050046A (ja) 2015-08-31 2017-03-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3867996A (en) * 1973-11-21 1975-02-25 Modular Sound Systems Inc Speaker enclosure
DE2441230C2 (de) * 1974-08-28 1982-09-02 Bernhard 5500 Trier Kirsch Schalldämmgehäuse für ein Brennkraftmaschinen-Stromerzeugeraggregat
US4146999A (en) * 1977-06-10 1979-04-03 Petrovec David C Acoustical panel with rigidified edges
US4224469A (en) * 1979-01-02 1980-09-23 Karson Theodore R Stereo speaker system
SE427364B (sv) * 1980-04-09 1983-03-28 A & K Byggnadsfysik Ab Diagonalmonterad ljudabsorbent
SE455321B (sv) * 1983-10-31 1988-07-04 Ecophon Ab Anordning for absorption av ljudvagor
US4837837A (en) * 1987-11-05 1989-06-06 Taddeo Anthony R Loudspeaker
US5035298A (en) * 1990-04-02 1991-07-30 Noxon Arthur M Wall attached sound absorptive structure
JPH0549081A (ja) * 1991-08-09 1993-02-26 Pioneer Electron Corp スピーカシステム
US5373564A (en) * 1992-10-02 1994-12-13 Spear; Robert J. Transmission line for planar waves
US6278789B1 (en) * 1993-05-06 2001-08-21 Bose Corporation Frequency selective acoustic waveguide damping
MX9801518A (es) * 1995-09-02 1998-05-31 New Transducers Ltd Vehiculo para pasajeros que incorporan altavoces que comprenden elementos acusticos radiantes en forma de panel.
US5815589A (en) * 1997-02-18 1998-09-29 Wainwright; Charles E. Push-pull transmission line loudspeaker
US6119808A (en) * 1997-08-20 2000-09-19 Steedman; James B. Transportable acoustic screening chamber for testing sound emitters
US6113056A (en) 1998-08-04 2000-09-05 Micrion Corporation Workpiece vibration damper
JP3763682B2 (ja) * 1998-10-14 2006-04-05 パイオニア株式会社 スピーカ装置
US6876305B2 (en) * 1999-12-08 2005-04-05 Gentex Corporation Compact particle sensor
EP1113123A1 (de) * 1999-12-29 2001-07-04 Manfred Elsässer Schallschutz-Verbundsystem für Raumbegrenzungsflächen
TW507312B (en) 2000-02-04 2002-10-21 Philips Electron Optics Bv Particle-optical apparatus, and object carrier therefor
US6669553B2 (en) * 2000-02-21 2003-12-30 Albert G. Adams Noise suppression and sound proof chamber
DE20011448U1 (de) * 2000-06-29 2001-10-31 Illbruck Gmbh Anordnung zur Schalldämmung und/oder Schalldämpfung
JP2002073036A (ja) 2000-09-04 2002-03-12 Nissan Motor Co Ltd 吸遮音構造体
DE20020044U1 (de) * 2000-11-25 2002-04-18 Bohle Isoliertechnik Gmbh Schallabsorber
NL1022886C2 (nl) 2003-03-10 2004-09-14 Fei Co Deeltjes optische inrichting voor het bestralen van een object.
CN2703805Y (zh) * 2003-12-30 2005-06-08 北京丰越达工贸有限公司 组装式隔声房
EP1816273A1 (en) 2006-02-01 2007-08-08 FEI Company Enclosure for acoustic insulation of an apparatus contained within said enclosure

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103412148A (zh) * 2013-08-09 2013-11-27 兰州大学 一种用于原子力显微镜的隔音箱
CN107447887A (zh) * 2017-09-18 2017-12-08 成都优立方科技有限公司 一种隐藏式改变声学环境的装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP1816273A1 (en) 2007-08-08
US20120195452A1 (en) 2012-08-02
JP2007226216A (ja) 2007-09-06
US9453335B2 (en) 2016-09-27
EP1816274A3 (en) 2009-06-17
EP1816274B1 (en) 2011-09-21
EP1816274A2 (en) 2007-08-08
ATE525535T1 (de) 2011-10-15
US20070189567A1 (en) 2007-08-16
CN101012668B (zh) 2012-02-15
US8170255B2 (en) 2012-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101012668B (zh) 用于对容纳在封闭物内部的设备隔音的封闭物
JP5492972B2 (ja) 吸音構造体
KR101750957B1 (ko) 흡음 패널 및 방음벽 설비
EP1525356A1 (en) Sound-absorbing structure and sound-absorbing unit
US8351295B2 (en) Waterproof membrane cover for acoustic arrays in sodar systems
US8004935B2 (en) Sodar housing with non-woven fabric lining for sound absorption
JP2007255098A (ja) 吸音パネル及び防音壁
JP2005017636A (ja) 吸音構造体
KR20110126398A (ko) 층간 흡음패널
JP3065262B2 (ja) 吸音パネル
JP3957128B2 (ja) 吸音機構
JP3755442B2 (ja) 際根太構造体および床構造体
JP4684737B2 (ja) 車両用軽量床材
JP7058169B2 (ja) 防音壁
KR102635232B1 (ko) 흡음률을 향상시킨 투명방음패널
KR100920715B1 (ko) 레질리언트 채널이 형성된 스터드
RU2325478C2 (ru) Панель шумопоглощающая
JP4239705B2 (ja) 吸音構造体
JPH10280702A (ja) 仮設用防音パネル
KR200242770Y1 (ko) 벽체 흡음판
TW494166B (en) Soundproof wall and silencer at the top of soundproof wall
JP2007132081A (ja) 床構造
JP2002371726A (ja) 多機能型住宅用制振装置
JP2022039256A (ja) 吸遮音壁
JP2007223496A (ja) 吸音体およびこれを用いた移動体

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120215

Termination date: 20200131

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee