CN101005012A - 具弯曲连接部的曲状狭缝阀门 - Google Patents

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Abstract

所述实施例提供一种可在处理室中将基板转移通道加以密封的装置。在一实施例中，用于在处理室中将基板转移通道加以密封的装置包括细长的门构件，该门构件具有凹入的密封面，该凹下的密封是通过可形变的连接部连接至致动器。该可形变的连接部是设置成允许该门构件可在相对于该杆臂的至少二平面移动。

Description

具弯曲连接部的曲状狭缝阀门
技术领域
本发明的实施例，一般而言是有关于一种狭缝阀门，用于密封真空处理系统内的基板通道。
背景技术
薄膜晶体管(TFT)通常被用于主动阵列显示器，如计算机、电视监控器、移动电话显示器、个人数字助理(PDAs)和越来越多的其它装置。一般而言，平板是由两个玻璃板组成，有一层液晶材料夹在该些玻璃中间。至少在其中一块玻璃板上设置一层导电薄膜，其连接一电源。从电源提供给导电薄膜的电力改变了液晶材料的方向，产生一显示图案。
随着平板技术被市场的接受，大尺寸、高产出和更低制造成本的需求促使设备制造商研制可容纳大尺寸的玻璃基板的新系统，使其可用来制造平板显示器。目前的玻璃生产设备通常配置成可以容纳大约五平方公尺的基板，预期未来的生产设备将可容纳五平方公尺以上的基板。
玻璃基板典型是在一集群工具(a cluster tool)中进行处理，通过使基板经过多个连续制程，而在基板上制造出组件、导体和绝缘体。这些制程中的每一步骤通常是在一设计来完成制程中某一单独步骤的处理室中完成的。为了有效地完成生产步骤的整个过程，此丛集工具包括若干处理室，每一处理室连接着一中央移送室。在该移送室中放置一机械人，方便在该等处理室和该负载锁定室间转移该等基板，负载锁定室允许多个基板在该丛集工具的真空环境和工厂接口(factoryinterface)的周边环境间被转移。适用于处理玻璃基板的此类丛集工具可以购自AKT公司，该公司是加利福尼亚州Santa Clara市的应用材料公司的独资子公司。
随着用于制造平板显示器的基板尺寸不断地增大，制造这些基板的设备尺寸也须相应地变大。因此，将一真空处理室(或负载锁定室)与另一处理室隔绝的门或闸门就变大了，或者由于两个处理室之间的缝隙开口变得更宽而特别加长，以适应基板通过该缝隙开口时的大宽度。门长度的增加就引起了一技术上的挑战，为了在两个处理室之间得到一好的隔离密封，通过在门和处理室壁之间的缝隙开口周围设置一弹性体的封条以保持所述隔离密封。
图1A绘示了一基板通道108的局部剖视图，该基板通道是穿过处理室体106而形成，并且被一习知的狭缝阀门110选择性地密封。习知的狭缝阀门典型地由一扁平的铝制构件构成，其具有一长的横向跨距。一闭合的外力是施加一在坚硬的转动轴104上，通过连接的支架102朝向门110的中央部，如图1A-B所示。门110在一可密封通道108的位置(如图1A所示)和一通过连接在轴104上的致动器118使其越过通道108的位置之间转动。在门110和处理室主体106之间，设置有一密封件116。
为了让处理室能得到好的隔离，加载在密封件116上的外力必须足够大。施加于靠近门110中心的高负载，会导致靠近门110中心处具有高负载力，接近门两端处则有低的密封力，如代表外力的箭头112所示。轴104在负载作用下可能会偏移，如虚线所示的轴120，这是由于门110在处理室主体106的壁内布置的轴承支撑件114与结合在门110中心的支架102之间具有一很长的跨距。当门110处于关闭位置时，轴104的偏移就加重了门端部密封的低负载状况。在门边的低密封力可能导致穿过通道108的不希望发生的泄漏现象。
为了提供一种不易弯曲的门，其具有均衡的密封负载，应该用更厚的材料或具有更高模数的材料来制造门和/或轴。但是，这种办法会增加负载锁定室的成本，因为高强度材料通常较贵，而且一更大的负载锁定室可能需要提供更大的具有更高强度的门，在操作的时候具有足够大的空隙。由于处理室自身增加了材料和制造费用，加上为了泵出更大的负载锁定室体积而增加的泵的容量，一大的负载锁定室是不受欢迎的。而且，增加的负载锁定室体积通常会增加泵出的时间，这会对系统的整个运作产生负面的影响。
已有人提议使用弯曲狭缝门，其揭示在共同受让的先前的美国专利申请序号第10/867,100号中，其名称为“弯曲狭缝阀门”、申请日为2004年6月14日。在实施一弯曲狭缝门时，工程技术必须面对新的挑战。例如，当压靠该平坦的室壁来密封该负载锁定室时，该曲状狭缝阀门必须能够相应地变化以避免造成门的致动构件的过度损耗。
因此，需要一种改良的狭缝阀门。
发明内容
提供一种用于密封处理室内基板转移通道的设备的实施例。在一实施例中，用于密封处理室内基板转移通道的设备包括细长的门构件，该门构件具有凹入的密封面其通过可形变的连接部(a flexiblecoupling)而连接至致动器。
在另一实施例中，用以在真空处理室内将基板转移通道密封的设备，其包含细长的门构件，该门构件具有凹入的密封面其通过可形变的连接部而连接至杆臂(lever arm)。该可形变的连接部是设置成可允许该门构件能相对该杆臂进行横向移动。
在另一实施例中，可形变的连接部连接一曲状狭缝阀门至致动构件，该可形变的连接部包含数弹性衬套(resilient bushings)。这些弹性衬套可容纳在该门与该致动构件之间至少二个平面上的相对运动。在一实施例，该运动可为转动，而在另外一实施例，该运动是在第一平面与第二面之间转动。
附图说明
图1A是一具有基板通道的处理室主体的局部剖视图，该基板通道由一习知的狭缝阀门选择性地密封。
图1B是门致动器和图1A中的传统狭缝阀门的侧视图，并且处理室主体已被取下。
图2是一用于处理大面积基板的处理系统的实施例的俯视平面图，该基板具有本发明的负载锁定室。
图3是沿图2的线3-3截取的负载锁定室的剖视图。
图4是沿图3的线4-4截取的负载锁定室的剖视图。
图5是一可形变的连接部组件的实施例的一剖视图。
图6A是一曲状狭缝阀门在一开启位置的实施例的剖视图。
图6B是一曲状狭缝阀门转动至关闭的实施例的剖视图。
图7是沿着图4的线5-5截取的一密封块组件(seal packassembly)的实施例的剖视图。
图8是图2中的负载锁定室的实施例的局部切开侧视图。
图9-10是一门构件的实施例的主视图和俯视图。
图11是门构件上的密封力的示意图。
图12是负载锁定室的另一实施例的局部剖视图。
为了容易理解，尽可能指定相同的对照号字来表示各图标共通的组件，预期一实施例的组件及特征能够便利地使用于另外的实施例中时，则未加以详述。
应了解附图只例示本发明的例示性实施例，因此不能认为是限定本发明的范围，本发明可包括其它等效的实施例。
主要组件符号说明
102    支架                      104、120    轴
106    处理室主体                108    通道
110    门                        112    箭头
114    轴承                      116    密封件
118    致动器                    200    负载锁定室
208    移送室                    210    基板
212    工厂接口                  232    处理室
234    真空机械人                236    大气机械人
238    匣盒                      240    隔室
250    处理系统                  300    门组件
302    侧壁                      304    第二侧壁
306    侧壁                      308    底部
310    顶部                      312    处理室主体
314    内壁                      316    基板进出端口
318    侧壁                      320    基板移送室
322    基板移送室                324    基板移送室
330    致动器                    340    端口
342    系统                      344    支撑件
402    门构件                    404    轴
406    轴                        408    密封块组件
410    钟形螺栓                  411    衬套
412    内部致动器臂              413    杆臂
414     外部致动器臂          415     螺帽
419     可形变的连接部        421     止推垫圈
423     间隔物                430     致动器
450     连接构件              502     头部
504     内部直径              512     内部直径
514     直径                  516     固定螺钉
530     凹部                  532     孔
540     凹部                  542     孔
600     虚线                  602     虚线
702     壳体                  704     内轴承
706     外轴承                708     轴密封件
710     数个紧固件            712     O型环
714     通孔                  716     间隔物
718     扣环
720     内侧末端              740     外侧末端
802     键                    902     较长边
904     较长边                906     较短边
908     较短边                910     密封面
912     背面                  914     密封衬片
916     密封件                1000    线
1002    主轴                  1012    密封表面
1102    负载力                1104    负载力
1106    合力                  1200    负载锁定室
1202    致动器                1204    致动器
1212    处理室主体
具体实施方式
如此，通过参照实施例以及附图说明，可以更清楚理解上面本发明详细说明及简要概括的本发明的特征。
本发明一般而言是提供一种改进的狭缝阀门，该阀门尤其适合使用在大面积的基板处理室中。该狭缝阀门包含一曲状密封面及一可形变的连接部，其等能够吸纳该门在伸长度(projected length)上的变化，因此能够延长该门致动机构的使用期限，同时可将因对转动构件的束缚所产生的不欲求粒子降至最低量。本发明将会在下面被描述为使用在平板处理系统统中，例如，可以从AKT公司(应用材料公司在加利福尼亚州Santa Clara市的分部)购得该平板处理系统。然而，应了解本发明也可以用来密封具有不同构造的其它类型的处理设备中的基板转移通道。
图2是处理系统250的一实施例的俯视平面图，该系统适合处理大面积基板(如，平面区域超过约0.16平方公尺的玻璃或聚合体基板)。处理系统250典型地包括一移送室208，其通过一负载锁定室200与一工厂接口212连接。移送室208至少有一真空机械人234置于其中，适以在数个周边的处理室232和负载锁定室200之间进行基板的移送。该等处理室232特别可以是化学气相沉积处理室、物理气相沉积处理室、量测处理室或热处理室等等。典型地，移送室208需保持在真空状态下，以消除在转移每一基板后需调节移送室208和个别处理处理室232之间压力的必要性。
工厂接口212通常包括数个基板存储匣盒238和至少一大气机械人236。匣盒238一般以可拆卸方式设置在数个、建立在工厂接口212一侧的隔室(bay)240中。大气机械人236适于在匣盒238与负载锁定室200之间移送基板210。通常，工厂接口212保持在等于或略微大于大气压力。
图3是图2中负载锁定室200的一实施例的剖面图。负载锁定室200包括狭缝阀门组件300，用于密封工厂接口212与移送室208之间的通道316。一可受益于本发明的负载锁定室的例子揭示在由Kurita等人于2003年10月20日申请，名称为“大面积基板处理系统的负载锁定室(LOADLOCK CHAMBER FOR LARGE AREA SUBSTRATE PROCESSINGEQUIPMENT)”、序列号码为No.60/512,727的美国临时申请；以及由Kurita等人于1999年12月15日申请，名称为“双基板负载锁定室的处理设备(DUAL SUBSTRATE LOADLOCK PROCESS EQUIPMENT”的美国专利申请No.09/464,362中。可以预期，本发明的狭缝阀门组件300可与具有其它设计的负载锁定室一起使用。同样可预期，狭缝阀门组件300也可被用于选择性地密封形成在移送室208、处理室232、或其它真空处理室中的基板端口(substrate port)。
在图3描述的实施例中，负载锁定室200具有一处理室主体312其包括数垂直叠放、与周围环境隔绝的基板移送室，其等被真空密封的水平内壁314所分隔。尽管有三个单独的基板移送室320、322、324图标在图3描述的实施例中，但可以预想，负载锁定室200的处理室主体312可包括两个或更多的垂直叠放的基板移送室。例如，负载锁定室200可能包括由N-1个水平内壁314分隔的N个基板移送室，其中N是一个比1大的整数。
基板移送室320、322、324各自设计成为可容纳一单一大面积基板210，以使每一处理室的体积减到最小，从而提高泵送和排放循环。在图3所描述的实施例中，每一基板移送室320、322、324具有一小于约2000公升的内部体积(在一实施例中内部体积是约1400公升)，以提供具有平面表面积大于约3.7平方公尺的基板，例如大于或等于5平方公尺。可以预见，可以设置本发明的基板移送室具有其它的宽度、长度和/或高度，用以容纳不同尺寸的基板。
处理室主体312包括第一侧壁302、第二侧壁304、第三侧壁306、底部308和顶部310。第四侧壁318(部分图标在图3中)与第三侧壁306相对。主体312由一种适于在真空状态下使用的刚性材料构成。处理室主体312由单独一块(如，一片)铝或其它适合的材料制成，或由模块型材制成。
基板210由第一移送室320的底部308和用以界定出第二和第三基板移送室322、324底部的内壁314，此两者上方的多个基板支撑件344来支承。基板支撑件344被间隔设置以于一高于底部308(或壁314)的高度处来支承基板210，以避免基板与处理室主体312接触。基板支撑件344配置成使基板所受到的括损和污染达到最小程度。在图3绘示的实施例中，基板支撑件344是具有圆形顶端346的不锈钢销。其它合适的基板支撑件揭示在2003年3月5日申请的美国专利申请No.6,528,767、2001年10月27日申请的美国专利申请No.09/982,406以及2003年2月27日中请的美国专利申请No.60/376,857中。
每一基板移送室320、322、324的至少一侧壁包括至少一端口340，该端口贯穿每一处理室内部并且连接泵送系统342，以控制每一处理室内部的真空压力。泵送系统342包括通风孔、泵和流量调节装置，其等能使泵送系统342有选择地排放或泵送该些基板移送室320、322、324中预先确定的一室。可受惠于本发明的泵送系统的一实例揭示于先前并入的由Kurita等人于2003年10月20日申请，案名为“大面积基板处理系统的负载锁定室”、序列号码为No.60/512,727的美国临时申请中。
每一形成在处理室主体312内的基板移送室320、322、324都包括两个基板进出端口316。端口316被设计成便于大面积基板210进出负载锁定室200。在图3描述的实施例中，每一基板移送室320、322、324中的基板进出端口316被设置在处理室主体312的相对两侧，但端口316也可替代地设置在邻近主体312的多个壁上。在一实施例中，第一和第二基板进出端口316、316的宽度至少是1365毫米，但不局限于此。
每一基板进出端口316各自被一相应的狭缝阀门组件300选择性地密封，该狭缝阀门组件是适于选择性地将第一基板移送室320与移送室208和工厂接口212的环境隔离开来。每一狭缝阀门组件300通过至少一致动器330(致动器330通常位于图3中第四壁318上的处理室主体312外侧)在打开和闭合的位置之间移动。
图4是通过狭缝阀门组件300的一的负载锁定室200的水平剖视图。该狭缝阀门组件300包括一门构件402，该门构件通过一杆臂413连接至少一第一杆404。第一杆404及杆臂413可通过致动器330来转动，使得门构件402可在打开和闭合位置之间移动。在图4描述的实施例中，狭缝阀门组件300包括第二杆406，该第二杆通过杆臂413连接于门构件402和第二致动器430，该第二致动器430被图标为连接在处理室主体312的第三壁306外部，用以结合该致动器330来移动该门构件402。该第二致动器430与致动器330共同作用来旋转门构件402。第一和第二致动器330、430可以是液压汽缸、气压汽缸、发动机或者其它适于旋转轴404、406的致动器。
连接各轴404、406的该杆臂413，是通过可形变的连接部419连接该门构件402。该可形变的连接部419允许该门构件402在不束缚该轴404、406或利用其它构件来移动该门构件402的情况下，形变、改变长度、枢转及弯曲。
在一实施例，该可形变的连接部419包含连接构件450，该连接构件450使该门构件402能够在相对该杆臂413的至少二平面转动。
参照图5所绘示的实施例，该可形变的连接部419包含该连接构件450、数弹性衬套411、止推垫圈421、及间隔物423。该连接构件450可以是能够将该门构件402紧固于该杆臂413的任何结构，且在图5所绘示的实施例，该连接构件450是钟形螺丝410及螺帽415。
至少一弹性衬套411设置在形成于该门构件402内的凹部530内。该凹部530包含一个孔532其允许该钟形螺丝410通过该门构件402。该钟形螺丝410亦会通过该衬套411的一个孔504。该钟形螺丝410的头部502能够防止该钟形螺丝410通过该弹性衬套411。该衬套411的弹性允许该钟形螺丝410可相对于该门构件402做万向枢转(亦即，在至少二平面转动，例如绕着X轴及Z轴转动)。
该弹性衬套411的内直径504比该钟形螺丝410的直径506来得大。因此，该钟形螺丝410能够在该弹性衬套411内横向移动，而使该门构件402可相对于该杆臂413横向移动。
在杆臂413内的凹部540内亦设置有至少一弹性衬套411。形成在该凹部540内的孔542，允许该钟形螺丝410可通过该杆臂413。在图5所绘示的实施例中，二弹性衬套411于该杆臂413的凹部内以围绕该钟形螺丝410的方式配置。螺合在该钟形螺丝410上的螺帽415，可抓住在该杆臂413凹部内的该弹性衬套411。该螺帽415可以通过另外的方法加以固定、锁定、或紧固，用以防止其从该钟形螺丝410上意外脱离。在一实施例，使用固定螺钉516来将该螺帽415固定在该钟形螺丝410上。
在图5所绘示的实施例中，具有间隔物423插入其间的二弹性衬套411位于该杆臂413的凹部内的该钟形螺丝410上。该等弹性衬套411允许该钟形螺丝410相对于该杆臂413做万向枢转(例如绕着x轴及y轴转动)。该等弹性衬套411的内直径512大于该钟形螺丝411的一直径514，而使得该门构件402可相对于该杆臂413来横向移动。该钟形间隔物423可为配置在该杆臂413的衬套411内的该钟形螺丝410的移动增加刚性(rigidity)。
一止推垫圈421配置在该门构件402及该杆臂413之间。该止推垫圈421提供一顺应构件用以提高该门构件402与杆臂413之间的抗摩擦性，因此，可在连续地开启及关闭该门构件402的循环间，提高可实质维持该门构件402相对于该反应室密封表面的定位的坚硬性及记忆性。
该衬套411由一弹性材料制成，例如聚合物、或弹簧型式。适合的聚合物材料的例子可以是聚胺基甲酸酯、聚醯胺-醯亚胺，例如TORLON、VITON、或其它适合的弹性材料。其它可构成该衬套411的其它性材料的例子包括弹性形式，例如碟形弹簧(Belleville springs)，是由金属及其它适合的弹簧材料制成。
该衬套411的弹性允许该连接构件450可改变相对于该杆臂413及/或相对于该门构件402的角度及横向位置两者。该衬套411的移动能够弥补该负载锁定室操作期间该门构件402的方位改变。例如，当该门构件402的末端向外移动(在X-方向)使该门变得扁平并接触该处理室主体312时，，该衬套411可在不必将过量的横向力量转移至该杆臂413的情况下，吸纳一往该钟形螺丝410的横向移动。因此，随着该衬套411可实质吸收该横向力的转移，该杆臂413不会被迫使进入一个会产生束缚的位置。而且，该可形变的连接部419可吸纳该门构件402在曲度上的变化(围绕Z-轴)而不会产生束缚及/或使该杆臂413(或轴404、406)变形，因此，能够将磨耗减少最低并减少潜在的粒子源。此外，当通过与该处理室主体接触来对齐的同时，该可形变的连接部419也允许该门构件402可进行枢转(围绕该X-轴)。
回到图4，该侧壁306、318包含形成于其中的凹部416其可容纳至少一部分的该杆臂413，藉此使处理室主体316的宽度和内部体容积最小化。每一轴404、406也各自经由外部致动器臂414而与致动器330、430连接。每一外部致动器臂414和轴404、406都开有键槽(splined)、键(keyed)或其它构造以防止其间出现旋转滑移。
每一轴404、406都会穿过一密封块组件408，该密封块组件允许轴在保持处理室主体312的真空完整性下可以旋转。密封块组件408通常安装在处理室主体312的外部，来减小处理室主体312的宽度和内部容积。
图6A-6B是狭缝阀门构件402在一开启及一关闭位置的剖视图。图6A绘示在一开启的位置的曲状狭缝阀门。在一开启的位置，该门构件402是曲状的，而该弹性衬套411的偏离可容纳位在第一方位的该钟形螺丝410，该第一方位是在该杆臂413及该门构件402之间。当该致动器330、430连接至杆臂413，用以转动该门构件402将其转动至关闭位置，该门构件402在被压靠向该处理室主体时会变得扁平以关闭该狭缝阀门通道316。因为该门构件402变得扁平，该等通过可形变的连接部419连接至杆臂413的末端会往外侧移动。在开始及关闭位置时该门构件402于伸长前后的长度差异(例如曲状和扁平状)，通过第6A-B图所绘示的从该门构件402末端延伸的虚线600、602的偏移来说明。该门构件412的扩展导致该钟形螺丝410改变方位并相对于该杆臂413呈某一角度的倾斜。该衬套411亦允许该钟形螺丝410横向移动，用以弥补该门构件402在长度的变化。该可形变的连接部419亦允许该杆臂413，相对于通过该处理室主体312的该轴404、406实质上维持无变化。此外，当该门构件402枢转至其表面与反应室壁接触对准而使该曲状门构件402变直时所导致的移动，该可形变的连接部419亦提供在第二平面转动。
图7是该密封块组件408的一实施例的剖视图。该密封块组件408包含壳体702、内衬套704、外衬套706、及一或多个轴密封件708。该壳体702通常通过数紧固件710连接至处理室主体312。一个O型环712配置在该壳体702与处理室主体312之间，用以在它们之间提供真空密封。
该壳体702包含通孔714其允许该轴406通过该壳体702。该孔714在每一末端具有数个钻柱坑(counterbores)，用以收容该内外轴承704、706。数个扣环718用以防止该等轴承704、706从孔714移出。该等轴承704、706是压配在该轴406，用以协助转动。在图7所绘示的实施例，该轴承704、706是交叉辊轴承(cross-roller bearings)。
该一或多个轴密封件708是配置在一孔714内，并在该第二轴406与该壳体702之间提供一动态真空密封。图7所绘示的实施例，显示数个轴密封件708被间隔物716隔开。
该第二轴406的一内侧末端720是以一种可确实将旋转移动从该轴406转移至该杆臂413的方式连接至该杆臂413。例如，该杆臂413可以与该轴406相匹配或者包括一键来确保其旋转。或者，杆臂413可以被夹在、钉在、压配在、焊接在或者黏接在轴406上。
图8绘示一杆臂413实施例的示意图，随着该第一轴404的转动运动，该第一轴404的一外部末端740是以一种可确实将该外部致动器臂414的移动加以转移的方式，连接至该外部致动器臂414。该第二轴406的配置也类似。例如，该外部致动器臂414可以与该轴404相匹配或者包括一键802来确保其旋转。或者，内部致动器臂414可以被夹在、钉在、压配在、焊接在或者黏接在轴404上。
图9-10描述门构件402的一实施例的主视图和俯视图。门构件402通常是细长的，由铝或其它适合的材料制造而成。门构件402包括较长边(major sides)902、904，较短边(minor side)906、908，一密封面910和一背面912。该杆臂413是个别通过一可形变的连接部419连接到门构件402的背面912的相对两端，靠近较短边906、908。在一实施例中，门构件402是矩形的，并且在较短边906、908之间的宽度至少为1260毫米。可以预见，门构件402在宽度上可长些或短些，以适合不同尺寸的基板。
密封衬片(seal gland)914形成在诸侧902、904、906、908里面的密封面910内。该密封衬片914可限制门构件402的中心部分，其可覆盖通过处理室主体312的基板进出端口316。密封件916一般设计成当受到致动器330、430的挤压时，可防止门构件402与处理室主体312间有接触。在一实施例中，密封件916由含氟聚合物或其它适合的材料制成的O型环构成。其它密封材料的例子包括氟碳化合物(fkm)或全氟弹性体(ffkm)、腈橡胶(nbr)和硅化物。可见，密封件916和密封衬片914可被选择性地设置在处理室主体312上。
该门构件402的该密封面910至少相对于连接较短边906、908的主轴1002弯曲。该主轴1002平行于由门构件402密封该处理室主体312的一密封表面1012界定的一假想线1000。为清楚起见，在第10图中，该密封表面1012和该门构件402显示为一放大的间隔分离的关系。假想线1000也可以平行于该轴404、406，并且与该较短边906、908垂直。在图10描述的实施例中，该密封面910相对于该线900是凸出的，这样当门构件402闭合时，该密封面910的中心首先接触到处理室主体312，藉此在门构件402内部产生弹力。
在操作中，与设置在较短边906、908上的杆臂413相连的致动器330、430使门构件402旋转关闭。由致动器330、430引起的曲状的门上的负载力在图11中由箭头1102描述。当该门旋转关闭，由该弹性衬套411所提供的该钟形螺栓410的横向移动，因而允许在一相对于该杆臂413的纵向移动。由于门构件402的弯曲，门构件402的中心首先与处理室主体312接触。因为致动器330、430的力使门构件402变平，门构件402的弯曲就产生了一弹力从而增大了门构件402中心区域的密封件916。由门构件402的弹力而引起的负载力在图11中由箭头1104描述。经过致动器330、430的门端部的高负载的合力被门构件402的中心弹力抵消，从而在基板进出端口316的周围均匀地施压和加载密封件916。负载力1102、1104的合力总和在图11中由箭头1106描述。在致动器的合力和门构件402产生的弹力的作用下，变平的密封面910在通过处理室主体312的通道周围提供均匀的密封负载816，藉此确保了通道外围的真空密封均匀而可靠，同时增加了密封的期限。为了预先确定门的几何尺寸和理想的真空状况，密封面910的弯曲程度将由光束的偏转分析决定。
再者，当第一和第二杆404、406比门构件402和负载锁定室200的宽度短时，轴的偏转较小，从而使力更有效地从致动器330、430传递到门构件402。较短的轴404、406还可考虑利用较小的轴直径，藉此减少与成本有关的长轴，其等因硬度需要更大的直径和更大尺寸的相关硬件。另外，由于内部致动器臂412被设置在处理室主体316的凹部416内，为了一提前确定的基板进出开口的宽度，负载锁定室200的宽度和内部体积可以最小化，以利于减少制造负载锁定室200的成本，并通过减小负载锁定室200的体积而增加生产力，需要在运转期间通风和泵送作业。
图12是负载锁定室1200的另一实施例的局部剖视图。除了将闸构件402的相对两端连接的致动器1202、1204设置在处理室主体1212的内部负载锁定室以外，1200基本上类似于上面所描述的负载锁定室，。
虽然上述是本发明的最佳实施例，但应可以在不脱离基本范围的情况下，设计本发明其它的和进一步的实施方式，该范围是由权利要求所决定。

Claims (20)

1.一种处理室，包括：
处理室主体，其具有第一基板移送端口；
门构件，其具有曲状密封力能够改变位置来选择性地密封该第一基板移送端口；
杆臂；
可形变的连接部，连接该杆臂至该狭缝阀门，该可形变的连接部设置成可允许该门相对于该杆臂横向移动。
2.如权利要求1所述的处理室，其中该可形变的连接部更包括：
至少一第一弹性衬套；及
连接构件，其通过该第一弹性衬套、门构件、及该杆臂。
3.如权利要求2所述的处理室，其中该可形变的连接部更包括：
一第二弹性衬套，其具有该连接构件设于其中，该第一与第二弹性衬套由该杆臂所分开。
4.如权利要求3所述的处理室，其中该可形变的连接部更包括：
一第三弹性衬套，其具有该连接构件设于其中，并且其位置邻接该第二弹性衬套。
5.如权利要求4所述的处理室，其中该第二弹性衬与该第三弹性衬套由一间隔物所分开。
6.如权利要求1所述的处理室，其中该可形变的连接部更包括：
螺栓，其通过第一孔，该第一孔是穿过该门构件一末端而形成的、及一第二孔，该第二孔是穿过该杆臂所形成的；
第一弹性衬套，其围绕该螺栓而配置，并通过该门构件而与该杆臂分开；及
第二弹性衬套，其围绕该螺栓而配置，并通过该杆臂来与该门构件分开。
7.如权利要求6所述的处理室，更包括：
一间隔物，其配置在该杆臂与该门构件之间。
8.如权利要求6所述的处理室，其中该杆臂更包括：
形成于其中的凹部，该第二弹性衬套是设置在该凹部内。
9.如权利要求1所述的处理室，其中该可形变的连接部更包括：
连接构件，其允许该门构件相对于该杆臂在二个平面移动的方式来连接该门构件与该杆臂。
10.如权利要求1所述的锁定处理室，更包括：
一轴，其配置成穿过该主体并连接至该杆臂；及
一致动器，以可操作的方式连接至该轴。
11.如权利要求1所述的处理室，其中该杆臂更包括：
第一末端，连接至一贯穿该处理室主体的第一轴；
第二末端，通过该可形变的连接部连接至该门构件的第一末端。
12.如权利要求11所述的处理室，更包括：
第二可形变的连接部；及
第二杆臂其具有第一末端及第二末端，该第一末端是连接至一贯穿该处理室主体的第二轴，该第二末端则通过该第二可形变的连接部连接至该狭缝阀门构件的第二末端。
13.如权利要求1所述的处理室，其中该处理室主体更包括：
数间堆栈的单一基板移送室。
14.一种适合用在基板真空处理系统的处理室，该处理室包括：
处理室主体，具有至少一第一基板移送端口；
狭缝阀门，具有一曲状密封力能够改变位置来选择性地密封该基板移送端口；
杆臂；及
可形变的连接部，连接该杆臂至该狭缝阀门，该可形变的连接部设置成可允许该门能相对于该杆臂环绕着二个轴来转动。
15.如权利要求14所述的处理室，其中该处理室是下列之一，包括化学气相沉积处理室、负载锁定室、量测处理室、热处理室、或物理气相沉积处理室、负载锁定室、基板移送室、或真空处理室。
16.如权利要求14所述的处理室，其中该可形变的连接部包括：
连接构件，其可允许该门构件能相对于该杆臂来横向移动的方式而连接该狭缝阀门与该杆臂。
17.一种负载锁定室，包括：
处理室主体，具有第一基板移送端口及至少一第二基板移送端口；
门构件，其具有一曲状密封力能够改变位置来选择性地密封该第一基板移送端口；
杆臂；及
连接构件，其可允许该门构件能相对于该杆臂来进行横向及旋转运动的方式，将该杆臂连接至该门构件。
18.如权利要求17所述的负载锁定室，更包括：
数个弹性衬套，具有连接构件贯穿其中。
19.如权利要求17所述的负载锁定室，其中所述弹性衬套中至少一个更包括：
一聚合物。
20.如权利要求17所述的负载锁定室，其中所述弹性衬套中至少一个更包括：
一弹簧形式(a spring form)。
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