CN100540310C - 图案形成方法和液滴喷出装置 - Google Patents

Abstract

在喷出头和基板之间设置反射镜。从激光头发射的激光在反射镜和喷出头之间多重反射后，向基板表面的照射位置引导。据此，激光对于反射镜的入射角变小，照射位置的激光的照射角也变小。

Description

图案形成方法和液滴喷出装置

技术领域

本发明涉及图案形成方法和液滴喷出装置。

背景技术

以往，在液晶显示装置或场致发光显示装置等显示装置中设置用于显示图像的基板。在这种基板上，以品种管理和制造管理为目的，形成把制造源或制品编号等信息代码化后的识别代码(例如二维代码)。识别代码由用于再生识别代码的构造体(有色的薄膜或凹部等点)构成。构造体在多个点形成区(数据单元)以给定的图案形成。

作为识别代码的形成方法，在特开平11-77340号公报、特开2003-127537号公报中记载使用溅射法形成代码图案的激光溅射法；对基板喷射包含研磨材料的水，刻印代码图案的喷水法等。

可是，在激光溅射法中，为了取得所需尺寸的代码图案，有必要把金属箔和基板的间隙调整为数～数十μm。因此，对基板和金属箔的各表面要求非常高的平坦性，而且必须以μm级的精度调整金属箔和基板的间隙。结果，能形成识别代码的基板受限制，所以存在损害识别代码的通用性的缺点。此外，在喷水法中，在代码图案的刻印时，水或尘埃或研磨剂等飞散，所以存在污染基板的缺点。

近年，为了解决这样的生产上的问题，作为识别代码的形成方法，喷墨法引人注目。在喷墨法中，从喷嘴喷出包含金属粒子的液滴，把该液滴干燥，形成点。通过使用该方法，能扩大基板的对象范围，此外在形成识别代码时，能避免基板的污染。

可是，在喷墨法中，把落到基板上的液滴干燥时，基板的表面状态或液滴的表面张力等有可能引起以下的问题。即液滴落到基板表面后，该液滴伴随着时间的经过，在基板的表面浸湿扩散。因此，如果把液滴干燥需要给定时间(例如100毫秒)以上，液滴就从数据单元伸出，有时浸入到与该数据单元相邻的数据单元。因此，有可能错误形成代码图案。

认为通过对基板上的液滴照射激光，瞬间把液滴干燥，能避免这样的问题。可是，如图8所示，落在基板表面上的液滴Fb位于液滴喷出头101的正下方时，必须从液滴喷出头101和基板102之间的狭窄空间对液滴照射激光B，必须使激光B的光轴A对于基板102的法线H大幅度倾斜，照射激光B。这时，伴随着光轴A大幅度倾斜，基板的表面上形成的激光B的射束点也增大。结果，存在激光B的照射强度下降，激光B的照射位置的精度下降的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供提高激光的照射强度和照射位置的精度，并且能提高与图案的形状有关的控制性的图案形成方法以及液滴喷出装置。

为了实现所述的目的，在本发明的第一形态中，提供一种方法，从设置在液滴喷出头上的喷出口对基板喷出包含图案形成材料的液滴，从激光源对落到基板上的液滴照射激光，形成图案。在该方法中，从激光源对设置在基板的上方的反射镜发射激光，该激光由反射镜向设置在喷出口的附近的喷嘴板反射，把由反射镜反射的激光由喷嘴板向基板上的所述液滴反射。

在本发明的其他形态中，提供一种液滴喷出装置，包括具有喷出口的液滴喷出头、发射激光的激光源，从喷出口向基板喷出液滴，从激光源对落到基板上的液滴照射激光。该液滴喷出装置包括：设置在基板的上方，把从激光源发射的激光向喷出口的附近反射的反射镜；设置在喷出口的附近，把由反射镜反射的激光向基板上的液滴反射的喷嘴板。

附图说明

下面简要说明附图。

图1是表示具有基于本实施例的图案形成方法的图案的液晶显示装置的平面图。

图2是表示本液滴喷出装置的立体图。

图3是表示液滴喷出头以及激光头的立体图。

图4是表示实施例1的液滴喷出头以及激光头的剖视图。

图5是表示实施例1的液滴喷出装置的电路图。

图6是表示实施例2的液滴喷出头以及激光头的剖视图。

图7是表示实施例2的液滴喷出装置的电路图。

图8是表示以往例的液滴喷出装置的剖视图。

具体实施方式

(实施例1)

以下，按照图1～图5，说明把本发明具体化的实施例1。在说明本发明时，按图2所示那样定义X箭头方向、Y箭头方向、Z箭头方向。

如图1所示，液晶显示装置1具有四角形状的玻璃基板(以下称作基板)2。在基板2的表面2a的大致中央形成封入液晶分子的四角形状的显示部3，在显示部3的外侧形成扫描线驱动电路4和数据线驱动电路5。在液晶显示装置1中，根据从扫描线驱动电路4供给的扫描信号和从数据线驱动电路5供给的数据信号，控制液晶分子的取向状态。而且，按照液晶分子的取向状态把从照明装置(未图示)照射的平面光调制，在基板2的显示部3显示图像。

在基板2的表面2a的左角形成表示液晶显示装置1的制造编号或制造批次的识别代码10。识别代码10由多个点D构成，在代码形成区S内形成给定的图案。代码形成区S由16行×16列构成的256个数据单元C构成，各数据单元C均等虚拟地分割形成边长1mm的正方形的代码形成区S。通过对各单元C内有选择地形成点D，形成识别代码10。这里，以下把形成点D的单元C记载为作为图案形成位置的黑单元C1，把不形成点D的单元C记载为白单元C0。此外，以下把各黑单元C1的中心位置记载为“目标喷出位置P”，把数据单元C的一边的长度记载为“单元宽度W”。

对单元C(黑单元C1)喷出包含作为图案形成材料的金属微粒(例如镍微粒或锰微粒)的液滴Fb，把落在单元C上的液滴Fb干燥和烧结，形成点D(参照图4)。也可以通过照射激光，把液滴Fb干燥，形成点D。

下面，说明用于形成识别代码10的液滴喷出装置。

如图2所示，液滴喷出装置20具有长方体的基台21。在基台21的上部形成在X箭头方向延伸的一对引导沟22。在基台21上配置基板台23，该基板台23通过X轴电动机MX(参照图5)而驱动。如果驱动X轴电动机MX，基板台23就沿着引导沟22，在X箭头方向或反X箭头方向移动。在基板台23的上表面设置吸引式的夹紧机构(未图示)。基板2通过该夹紧机构使表面2a向上(代码形成区S)，配置和固定在基板台23的给定位置。这里，以下把配置在最反X箭头方向的基板台23的位置(图2所示的实线)记载为第一位置，把配置在最Y箭头方向的基板台23的位置(图2所示的双点划线)记载为第二位置。

在基台21的两侧部安装门型的引导部件24。在引导部件24的上部配置收藏液体F(参照图4)的收藏容器25。在引导部件24的下部，形成沿着Y箭头方向延伸的一对导轨26。在导轨26上可移动地支撑滑架27。滑架27与Y轴电动机MY连接(参照图5)，由它驱动。滑架27沿着导轨26在Y箭头方向或反Y箭头方向移动。滑架27在图2中用实线表示的位置和用双点划线表示的位置之间往返移动。

在滑架27的下部搭载喷出液滴Fb(参照图4)的液滴喷出头(以下，称作喷出头)30。图3是从基板2观察喷出头30的立体图。如图3所示，在喷出头30的与基板2相对的面(图3所示的上表面)设置作为第二反射部件的喷嘴板31。喷嘴板31由不锈钢的板部件形成。对喷嘴板31的与基板2相对的面(以下称作第二反射面)31a进行镜面加工，使得发射激光B。

喷嘴板31的第二反射面31a由数百nm左右的疏液膜31b覆盖。疏液膜31b是激光B能透过的膜，由硅树脂或氟树脂形成。因此疏液膜31b对于液体F具有疏液性。在本实施例中，疏液膜31b在第二反射面31a上直接形成，但是可以在第二反射面31a和疏液膜31b之间存在由硅烷耦合剂构成的数nm的紧贴层。通过该紧贴层，第二反射面31a和疏液膜31b的紧贴性提高。

在喷嘴板31上，沿着Y箭头方向，以等间隔形成作为喷出口的多个喷嘴N。各喷嘴N之间的间隔设定为与图1所示的单元宽度W相同的尺寸。如图4所示，喷嘴板31的第二反射面31a与基板的表面2a平行配置。各喷嘴N在与基板的表面2a正交的方向延伸，并且贯通喷嘴板31。这里，以下把与各喷嘴N相对的基板2上的位置记载为“落下位置PF”。

在喷出头30内形成多个腔32。各腔32通过对应的连通孔33以及公共的供给路线34与收藏容器25连通。据此，收藏容器25内的液体F通过腔32对各喷嘴N供给。在各腔32的上方配置能在纵向振动的振动板35。通过振动板35的振动，腔32内的容积扩大，或缩小。在振动板35的上部，在与各喷嘴N对应的位置配置多个压电元件PZ。通过压电元件PZ重复向纵向的收缩和伸展，与压电元件PZ对应的振动板35在纵向振动。

基板台23在X箭头方向输送，以黑单元C1(目标喷出位置P)到达落下位置PF的定时，压电元件PZ收缩和伸展。据此，腔32的容积扩大和缩小，相当于缩小的容积的量的液体F作为液滴Fb从喷嘴N喷出。从喷嘴N喷出的液滴Fb落到位于喷嘴N的正下方的目标喷出位置P(落下位置PF)。落下的液滴Fb伴随着时间的经过，浸湿，扩散，扩大到与单元宽度W相同的尺寸。这里，以下把液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等时的液滴Fb的中心位置(目标喷出位置P)记载为“照射位置PT”。

在喷出头30附近，配置构成搭载作为激光源的多个半导体激光器LD的激光头36。从各半导体激光器LD发射的激光B具有与液体F(分散剂和金属微粒)的吸收波长对应的波长区。在激光头36内设置包含视准透镜37和聚光透镜38的光学系统。视准透镜37把来自半导体激光器LD的激光B收敛为平行的光束。聚光透镜38把通过视准透镜37的激光收敛，向基板2的表面2a引导。光学系统的光轴A对于基板2的表面2a的法线H，以给定角度θ倾斜。以下把该角度记载为“入射角θ1”。

在激光头36，通过安装零件39安装作为第一反射部件的反射镜M。反射镜M位于喷出头30和基板2之间，配置在比照射位置PT更靠X箭头方向。反射镜M的与喷出头30相对的面(第一反射面Ma)与喷嘴板31的第二反射面31a平行配置。反射镜M的第一反射面Ma和喷嘴板31的第二反射面31a之间，激光B多重反射。

激光B的入射角θ1设定为从激光头36发射的激光B在反射镜M(第一反射面Ma)和喷出头30(第二反射面31a)之间多重反射。

该入射角θ1设定为能把多重反射的激光B向基板2的表面的照射位置PT引导的最小角度。据此，能使照射位置PT的激光B的照射角θ2最小。

即激光B通过在反射镜M和喷嘴板31之间多重反射，能使使照射位置PT的激光B的照射角θ2最小。据此，在照射位置PT能抑制激光B的射束点的扩大。因此，能提高激光B对于液滴Fb的照射强度，并且能提高照射位置的精度。在本实施例中，射束点的形状是比数据单元C(液滴Fb)还大的圆形，但是并不局限于此。

如果落在目标喷出位置P的液滴Fb输送到照射位置PT，就从对应的半导体激光器LD发射激光B。激光B在反射镜M和喷嘴板31之间多重反射，对照射位置PT的液滴Fb，以液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等的定时照射。

通过该激光B，使液滴Fb中的分散剂蒸发，抑制液滴Fb的浸湿扩散。此外，液滴Fb中的金属微粒由连续的激光B的照射烧成。结果，在基板2的表面2a形成具有与单元宽度W相同的外径，并且成半球形状的点D。

下面按照图5说明所述的液滴喷出装置20的电路。

如图5所示，控制部41具有CPU、RAM、ROM。控制部41按照ROM中存储的各种数据(例如基板台23的移动速度或单元宽度W)和各种控制程序(例如，识别代码形成程序)，执行基板台23的移动控制、喷出头30以及激光头36的驱动控制。

在控制部41连接包含起动开关、停止开关等操作开关的输入装置42。在控制部41取入来自输入装置42的操作信号、表示识别代码10的图像的描绘数据Ia。如果从输入装置42输入描绘数据Ia，控制部41就对描绘数据Ia实施给定的展开处理。控制部41为了生成识别代码10，根据描绘数据Ia生成表示是否对代码形成区S的各数据单元C喷出液滴Fb的位图数据BMD，把位图数据BMD存储到RAM。位图数据BMD由与数据单元C对应的16×16位的数据构成。根据位图数据BMD决定压电元件PZ的开或关(液滴Fb的喷出或喷出停止)。

而控制部41对描绘数据Ia进行与上述的图数据BMD的展开处理不同的展开处理，生成用于驱动各压电元件PZ的压电元件驱动电压VDP，并且生成用于驱动半导体激光器LD的激光器驱动电压VDL。

在控制部41连接X轴电动机驱动电路43和Y轴电动机驱动电路44。控制部41对X轴电动机驱动电路43输出用于驱动X轴电动机MX的控制信号，对Y轴电动机驱动电路44输出用于驱动Y轴电动机MY的控制信号。X轴电动机驱动电路43响应来自控制部41的驱动控制信号，使X轴电动机MX正转或反转，使基板台23往返移动。Y轴电动机驱动电路44响应来自控制部41的驱动控制信号，使Y轴电动机MY正转或反转，使滑架27往返移动。

在控制部41连接具有摄像功能的基板检测装置45。控制部41根据从基板检测装置45取得的检测信号，计算基板2的位置。

在控制部41连接X轴电动机旋转检测器46和Y轴电动机旋转检测器47。在控制部41，从X轴电动机旋转检测器46和Y轴电动机旋转检测器47取得检测信号。

控制部41根据从X轴电动机旋转检测器46取得的检测信号，检测X轴电动机MX的旋转方向以及旋转量，运算基板2对于喷出头30向X箭头方向的移动方向和移动量。控制部41以各数据单元C的中心位置和落下位置PF一致的定时对喷出头驱动电路48和激光器驱动电路49输出喷出定时信号SG。

控制部41根据从Y轴电动机旋转检测器47取得的检测信号，检测Y轴电动机MY的旋转方向以及旋转量，运算基板2对于喷出头30向Y箭头方向的移动方向和移动量。然后控制部41使滑架27往返移动，在目标喷出位置P的移动路线上配置与各喷嘴N相对的落下位置PF。

在控制部41连接喷出头驱动电路48。控制部41对喷出头驱动电路48依次串行转送使相当于基板2的1次扫描的位图数据BMD与给定的时钟信号同步的头控制信号SCH。此外，控制部41使压电元件驱动电压VDP与给定的时钟信号同步，向喷出头驱动电路48输出。喷出头驱动电路48把从控制部41串行转送的头控制信号SCH与各压电元件PZ对应，进行串行/并行变换。喷出头驱动电路48如果从控制部41收到喷出定时信号SG，就对与头控制信号SCH对应的压电元件PZ供给压电元件驱动电压VDP。结果从与头控制信号SCH(位图数据BMD)对应的喷嘴N喷出液滴Fb。

在控制部41连接激光器驱动电路49。控制部41对激光器驱动电路49依次串行转送头控制信号SCH，并且与给定的时钟信号同步，输出激光器驱动电压VDL。激光器驱动电路49将从控制部41串行转送的头控制信号SCH与各半导体激光器LD对应，进行串行/并行变换。激光器驱动电路49如果从控制部41收到喷出定时信号SG，就待机给定的时间，对与头控制信号SCH对应的半导体激光器LD供给激光器驱动电压VDL。结果从与喷出液滴Fb的喷嘴N对应的半导体激光器LD发射激光B。

这里，以下把从激光器驱动电路49收到喷出定时信号SG到对激光器驱动电压VDL供给半导体激光器LD的时间记载为“待机时间”。待机时间相当于从液滴Fb落到基板2到到达照射位置PT的时间。从喷嘴N喷出液滴Fb后，待机时间经过后，以液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等的定时，从与喷出液滴Fb的喷嘴N对应的半导体激光器LD发射激光B。

下面，按照图2～图5，说明使用液滴喷出装置20的识别代码10的形成方法。

首先在基板台23上，把表面2a向上，固定基板2。这时，基板2配置在比引导部件24更靠反X箭头方向一侧。

接着操作员操作输入装置42，对控制部41输入描绘数据Ia。控制部41生成基于描绘数据Ia的位图数据BMD，还生成用于驱动压电元件PZ的压电元件驱动电压VDP、和用于驱动半导体激光器LD的激光器驱动电压VDL。

接着，控制部41驱动控制Y轴电动机MY，把滑架27从图2中实线所示的位置向Y箭头方向输送。如果滑架27设置到给定的位置，控制部41就驱动控制X轴电动机MX，使基板台23在X箭头方向移动，开始输送基板2。

控制部41根据从基板检测装置45和X轴电动机旋转检测器46取得的检测信号，判断黑单元C1(目标喷出位置P)是否输送到落下位置PF。

在黑单元C1输送到落下位置PF之前，控制部41对喷出头驱动电路48输出压电元件驱动电压VDP和头控制信号SCH。控制部41对激光器驱动电路49输出激光器驱动电压VDL和头控制信号SCH。控制部41等待对喷出头驱动电路48和激光器驱动电路49双方输出喷出定时信号SG的定时。

在第1列的黑单元C1(目标喷出位置P)输送到落下位置PF的时刻，控制部41对喷出头驱动电路48和激光器驱动电路49双方输出喷出定时信号SG。

如果输出喷出定时信号SG，控制部41就对与头控制信号SCH对应的压电元件PZ供给压电元件驱动电压VDP。结果，从与头控制信号SCH对应的喷嘴N一齐喷出液滴Fb。液滴Fb落到基板2的表面的落下位置PF(目标喷出位置P)后，液滴Fb的外径在从落下位置PF输送到照射位置PT之前，扩大到与单元宽度W相同的尺寸。

输出喷出定时信号SG后，待机时间经过后，控制部41对与头控制信号SCH对应的半导体激光器LD供给激光器驱动电压VDL。结果，从对应的半导体激光器LD一齐发射激光B。发射的激光B在反射镜M和喷嘴板31之间多重反射后，对照射位置PT的液滴Fb，以液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等的定时照射。通过激光B，液滴Fb中的分散剂蒸发，进而烧成液滴Fb中的金属微粒。结果，在基板2的表面2a形成具有与单元宽度W相同的外径的点D。这样，在第1列的黑单元C1形成与单元宽度W相同的外径的点D。

以后同样，每当各目标喷出位置P到达落下位置PF时，从对应的喷嘴N一齐喷出液滴Fb。然后，以各液滴Fb的外径变为与单元宽度W相等的定时，从激光头36对各液滴Fb照射激光B。这样，通过以给定的图案在代码形成区S形成点D，形成识别代码10。

根据实施例1，能取得以下的效果。

(1)在喷出头30和基板2之间设置反射镜M。这时，从激光头36发射的激光B在反射镜M的第一反射面Ma和喷出头30的第二反射面31a之间多重反射后，引导到基板2的表面2a的照射位置PT。据此，反射镜M的激光B的入射角θ1减小，照射位置PT的激光B的入射角θ2减小。

由此，在反射镜M和喷嘴板31之间，激光B多重反射，从而能从基板2的表面2a的大致法线方向对照射位置PT的液滴Fb照射激光B。因此，能抑制照射位置PT的激光B的射束点的扩大。因此，能提高对液滴Fb照射的激光B的照射强度和照射位置的精度，提高与点D的形状有关的控制性。

(2)作为第二反射部件，使用喷嘴板31(第二反射面31a)。这时，与另外设置反射部件时相比，能减少液滴喷出装置20的零件数量。即能通过简便的结构，提高激光B的照射强度和照射位置的精度。

(3)喷嘴板31的第二反射面31a由能使激光B透过，并且对液体F具有疏液性的疏液膜31b覆盖。据此，喷嘴板31的第二反射面31a难以被污染。因此。能抑制第二反射面31a的光学性能的下降，所以能使激光B的照射强度和照射位置的精度稳定。

(实施例2)

按照图6和图7说明把本发明具体化的实施例2。对于与实施例1同样的部分，赋予相同的符号，省略详细的说明。在实施例2中，详细说明与实施例1不同，可移动地构成的反射镜M。图6只在基板2上表示1个数据单元C、落在该数据单元C上的一个液滴Fb，但是与实施例1同样，在基板2上可以具有多个数据单元C和液滴Fb。

如图6和图7所示，在激光头36的顶端部安装用于使反射镜M升降的升降机构50。升降机构50由扫描电动机MT驱动。

在图6所示的实线表示的最下位置配置反射镜M时，在反射镜M和喷嘴板31之间多重反射的激光B向照射位置PT引导。而反射镜M配置在图6中用双点划线表示的最上位置时，在反射镜M和喷嘴板31之间多重反射的激光B向从照射位置PT在X箭头方向仅变位单元宽度W的一半距离的位置(照射结束位置PE)引导。即反射镜M从最下位置移动到最上位置(上升)时，激光B从照射位置PT到照射结束位置PE扫描。这里，以下把照射位置PT和照射结束位置PE之间的距离记载为扫描距离Ws。

基板2(基板台23在X箭头方向只移动扫描距离Ws时，反射镜M从最下位置移动上升到最上位置。反射镜M以各目标喷出位置P(液滴Fb的中心位置)通过照射位置PT的定时配置在最下位置，然后上升，以目标喷出位置P(液滴Fb的中心位置)通过照射结束位置PE的定时配置在最上位置。

在作为扫描控制装置的控制部41连接扫描电动机驱动电路51。控制部41对扫描电动机驱动电路51输出喷出定时信号SG。扫描电动机驱动电路51在收到喷出定时信号SG后，待机时间经过后，对扫描电动机MT输出用于使最下位置的反射镜M只上升1次的信号(扫描电动机驱动控制信号)。即控制部41按照半导体激光器LD发射激光B的定时，开始反射镜M的升降。控制部41使激光B的扫描周期与输送到照射位置PT的目标喷出位置P(液滴Fb)的输送周期同步。结果，激光B只扫描扫描距离Ws时，对液滴Fb的中心位置(目标喷出位置P)持续照射激光G。

在控制部41连接激光器驱动电路49。激光器驱动电路49把从控制部41串行转送的头控制信号SCH与各半导体激光器LD对应，进行串行/并行变换。激光器驱动电路49在从控制部41收到喷出定时信号SG后，待机时间经过后，对与头控制信号SCH对应的半导体激光器LD供给激光器驱动电压VDL。这里，以下把供给激光器驱动电压VDL的时间记载为“照射时间”。“照射时间”设定为液滴Fb只移动扫描距离Ws所需的时间即反射镜M只升降1次所需的时间。

反射镜M配置在最下位置时，按照第1列的黑单元C1(目标喷出位置P)通过落下位置PF的定时，控制部41对喷出头驱动电路48、激光器驱动电路49、扫描电动机驱动电路51输出喷出定时信号SG。

输出喷出定时信号SG后，待机时间经过后，落下位置PF的液滴Fb到达照射位置PT。然后，按照液滴Fb通过照射位置PT的定时，控制部41对激光器驱动电路49、扫描电动机驱动电路51输出指示激光B的发射以及反射镜M的上升的控制信号。结果，从半导体激光器LD发射激光B，并且反射镜M开始上升。

这时发射的激光B在反射镜M和喷嘴板31之间多重反射后，对照射位置PT的液滴Fb以照射角θ2照射。然后，基板2在X箭头方向输送，反射镜M继续上升。据此，激光B扫描，所以对液滴Fb，在其中心位置，激光B以照射角θ2持续照射。

照射激光B后，经过“照射时间”后，按照液滴Fb通过照射结束位置PE的定时，控制部41对激光器驱动电路49、扫描电动机驱动电路51输出指示激光B的发射停止和反射镜M的下降的控制信号。

以后同样，控制部41每当液滴Fb(目标喷出位置P)到达照射位置PT，就使反射镜M上升，使激光B扫描。这时，激光B扫描扫描距离Ws时(照射时间)，对液滴Fb的中心位置持续照射激光B。据此，对液滴Fb的激光B的照射量增大。因此，能抑制液滴Fb的干燥不良和烧成不良，能形成与单元宽度W匹配的点D。

根据实施例2，能取得以下的效果。

(1)在激光头36的顶端部可升降地设置反射镜M。这时，通过使反射镜M升降，对基板2的表面2a照射的激光B在X箭头方向扫描。而且，通过使激光B的扫描周期与输送到照射位置PT的目标喷出位置P(液滴Fb)的周期同步，从而能对液滴Fb的中心位置(目标喷出位置P)继续照射激光B。

激光B只扫描扫描距离Ws，就能使激光B对液滴Fb的照射时间变长。据此，能抑制液滴Fb的干燥不良或烧成不良，所以能进一步提高与点D的形状有关的控制性。

所述的各实施例可以按以下变更。

在所述的各实施例中，在反射镜M和喷嘴板31使激光B多次反射，但是在反射镜M和喷嘴板31使激光B可以只反射1次。

在所述的各实施例中，反射镜M的第一反射面Ma和喷嘴板31的第二反射面31a可以为曲面，把在反射镜M和喷嘴板31之间反射的激光B引导到照射位置PT。

在所述的各实施例中，作为第二反射部件，使用喷嘴板31，但是可以在喷嘴板31之外另外设置。

在所述的各实施例中，可以在反射镜M的第一反射面Ma形成疏液膜31b，可以在第一反射面Ma和第二反射面31a双方形成。这时，能使第一反射面Ma和第二反射面31a不被液滴Fb污染。

在实施例2中，使反射镜M升降，扫描激光B，但是可以代替它，在喷嘴板31安装第二反射部件，使第二反射部件升降，或使反射镜M以及第二反射部件双方升降，扫描激光B。

在实施例2中，可以按照激光B的扫描周期调制激光B的强度和波长区。例如可以降低对照射位置PT照射的激光B的强度，按照接近照射结束位置PE，增加激光B的强度。据此，通过低强度的激光B能抑制液滴Fb的突然沸腾，并且通过高强度的激光B能可靠地烧成液滴Fb中的金属微粒。

在所述的各实施例中，把输送基板2的基板台23具体化为相对移动装置，但是可以把滑架27具体化为相对移动装置。

在本实施例中，可以通过激光B的能量，使液滴Fb向所需的方向流动。此外，可以只对液滴Fb的外缘照射激光，只使液滴Fb的表面凝固。即本发明可以应用于对液滴Fb照射激光B，形成图案的任意的方法。

在本实施例中，作为激光源，使用碳酸气体激光器或YAG激光器。即作为激光源，可以使用能输出能把液滴Fb干燥的波长的激光B的任意的激光器。

本发明可以应用于构图形成由从平面状的电子发射元件发射的电子使荧光物质发光的场效应型装置(FED或SED)的绝缘膜或金属布线等的方法。即本发明可以应用于对液滴Fb照射激光，形成图案的任意的方法。

在本实施例中，基板2可以是硅基板、柔性基板、或金属基板。

Claims (7)

1.一种图案形成方法，从设置在液滴喷出头上的喷出口对基板喷出包含图案形成材料的液滴，从激光源对落到所述基板上的液滴照射激光，形成图案，其特征在于：

从所述激光源对设置在所述基板的上方的反射镜发射激光，所述激光由所述反射镜向设置在所述喷出口的附近的喷嘴板反射，由反射镜所反射的激光由所述喷嘴板向所述基板上的所述液滴反射。

2.根据权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于：

按照所述液滴相对所述激光源的移动，变更从所述激光源发射的所述激光的路线，由所述激光扫描所述液滴。

3.一种液滴喷出装置，包括具有喷出口的液滴喷出头、和发射激光的激光源，并且从所述喷出口向基板喷出液滴，从激光源对落到所述基板上的液滴照射激光，其特征在于，

包括：

反射镜，设置在所述基板的上方，将从所述激光源发射的激光向所述喷出口的附近反射；

喷嘴板，设置在所述喷出口的附近，将由所述反射镜所反射的所述激光向所述基板上的所述液滴反射。

4.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于：

所述喷嘴板由具有所述喷出口的喷嘴板构成。

5.根据权利要求3或4所述的液滴喷出装置，其特征在于：

所述反射镜以及所述喷嘴板的至少任意一方的表面由能透过所述激光并且对所述液滴具有疏液性的疏液膜覆盖。

6.根据权利要求3或4所述的液滴喷出装置，其特征在于：

所述反射镜以及所述喷嘴板的至少任意一方变更从所述激光源发射的所述激光的路线，由该激光扫描所述基板上的液滴。

7.根据权利要求3或4所述的液滴喷出装置，其特征在于：

还包括：

相对移动装置，使所述基板相对所述激光源移动；

扫描控制装置，驱动控制所述反射镜以及所述喷嘴板件的至少任意一方，使得按照所述液滴相对所述激光源的移动，扫描从所述激光源发射的所述激光。

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