CN100524606C - 电介质屏障放电灯 - Google Patents

Abstract

放电管的外侧具备第1电极及第2电极的电介质屏障放电灯，上述第1电极由网格状的导电体构成，上述第2电极由整体状的导电体构成同时其中一部分领域是没有导电体的透光窗，上述透光窗上配置有网格状的导电体，此导电体与上述透光窗周围的整体状上述导电体电连接。

Description

电介质屏障放电灯

技术领域

本发明是有关电介质屏障放电灯的。

背景技术

以前，如特开2000-260396公报所告示，使用图9那样长方形的放电容器103的电介质屏障放电灯100已是众所熟知的。

以前的电介质屏障放电灯的放电管103上方外面设置有整体电极105，下方外面设置有网格电极107。紫外线(图9箭头所指)从网格电极107的网格缝隙中放射出来。紫外线照射到被处理物(液晶显示装置用的玻璃板等)表面上，使被处理物109表面上的有机物分解。以此到达清洗被处理物的目的。

电介质屏障放电灯100放射出的紫外线强度会随着使用而劣化，慢慢地降低。因此，为了掌握电介质屏障放电灯100的更换时期，需要测定紫外线的强度。

但是，以前的电介质屏障放电灯从整体电极105侧是不放射紫外线的，因此不能测定紫外线强度。所以人们自然会想到在网格电极107侧测定紫外线强度，但是，网格电极107侧设置有被处理物109，因此，再要设置测定紫外线强度的传感器的受光器件就比较困难。

发明内容

本发明就是根据上述需求完成的。即，本发明是以提供在整体电极侧能够测定紫外线强度的电介质屏障放电灯为目的的。

作为到达上述目的的手段，在放电管外面设置有第1电极和第2电极的电介质屏障放电灯中，上述第1电极由网格状的导电体构成。上述第2电极由整体(ベタ)状的导电体构成，同时其中一部分领域是没有整体状的导电体的透光窗，上述透光窗上设置有网格状的导电体，此导电体与上述透光窗周围的整体状导电体电连接。

根据本发明，第2电极是整体状的电极，从第2电极侧不会泄漏紫外线。因此，设置在第2电极侧的部件(如电源线的树脂外层)的劣化能得到抑制。另外，第2电极的一部分领域是没有导电体的，让紫外线通过的透光窗，所以可由从此透光窗放射出的紫外线测定紫外线的强度。此处所谓的[整体状电极]是指由不透紫外线的金属导电体构成的膜状电极，同时也意味着因没有孔所以是不泄漏紫外线的电极。但是，因孔太小而实质上不能测定紫外线强度的电极也包括在[整体状电极]内。

如果第2电极上设置有紫外线透过的透光窗(图6中的40)，这一部分不会发生放电。因此，在透光窗对面的第1电极侧的位置(参照图6的位置B)，放射出来的紫外线强度比其他部分(图6中的位置C，D)小。此外紫外线强度的测定误差变大。

但是，在本发明中，透光窗上设置有网格状导电体，而且此导电体与透光窗周围导电体电连接。因此，在透光窗部分也产生放电。在与透光窗相对的第1电极侧的位置上(图7中的位置B)的紫外线强度与其他部分(图7中的位置C，D)基本一样。另外，因透光窗部分也产生放电，所以抑制了从透光窗放射出来的紫外线强度的减低，也抑制了其测定的误差。

在本发明中，透光窗可设置在整体状的上述导电体的端部。比如，图8显示了这一点。根据这样的实施方式也能得到本发明的效果。

透光窗与上述第2电极电连接的导电体，可以是网格状，条纹状，放射状或旋涡状等其他形状。不管导电体是什么形状的，只要能在透光部补充放电就得到了本发明的效果。

根据本申请的电介质屏障放电灯与可检测紫外线强度的传感器组合，能构成紫外线照射装置。这样，就能够提供一种紫外线强度均匀，且可测定紫外线强度变化的紫外线照射装置。

附图说明

图1是电介质屏障放电灯的剖面图。

图2是放电管的立体图。

图3是放电管的立体图。

图4是透光窗的扩大平面图。

图5是放电管(1型)剖面图。

图6是放电管(2型)剖面图。

图7是放电管(3型)剖面图。

图8是有关其他实施方式放电管的立体图。

图9是以前电介质屏障放电灯的立体图。

此处，1表示电介质屏障放电灯，3表示放电管，7表示电极，7A表示第1电极，7B表示第2电极，40表示透光窗，43表示金属膜，45表示金属膜。

具体实施方式

参照图1～图7来说明本发明的一实施方式。

在以下说明中，有关上下方向以图1为基准。前后方向以图1右侧为前方。

本实施方式的电介质屏障放电灯1，在由放电管3形成的放电空间5内充填有电介质屏障放电用的气体。放电管3的外表面上相对设置有一对电极7A，7B。这两个电极7A，7B与导线9连接。电极7A是网格状的，电极7B是整体状的。

整体状的电极7B的一部分具有透光窗40。透光窗40上设置有网格状的导电体43。

电极7A与接地线，电极7B与施加了交流电压的电源装置(图示省略)连接。

电介质屏障放电用气体可使用氙(Xe)，氩(Ar)以及氪(Kr)等稀有气体，或使用氟(F₂)，氯(Cl₂)等卤素气体。电介质屏障放电灯1根据气体的种类发出不同波长(172nm，222nm，308nm等波长)的埃克西玛光。例如，清洗电子零件时，即，要分解附着在电子零件上的有机化合物时，可使用以172nm为中心波长的埃克西玛光。固此时可使用含氙(Xe)的气体。

另，气体的封入压力不特别限制，但是通常以10～60Kpa程度的压力封入。

放电管3是一种将合成石英制成的扁平长方形筒的两端加以封闭的管子。

放电管3的下方外侧有蒸镀形成的网目状(网格状)的铬/镍膜(相当于导电体)的第1电极7A。放电管3的上方外侧则形成铬/镍膜(相当于导电体)的第2电极7B。第1电极7A及第2电极7B的膜厚均以0.1～100μ为理想。

第2电极7B由整体状的金属膜形成，其一部分领域是没有整体状金属膜的用来测定紫外线强度的透光窗40。此构造以后详述。

电极7A，7B形成直至放电管3的两端附近。第1电极7A的前端部形成整体部7C，从整体部7C向前方延伸设置有矩形状的延伸部7D。第2电极7B也有与第1电极7A相同的延伸部7D。

透光窗40位于第2电极7B的后端呈长圆形。此透光窗40的面积没特别限定，但是在0.5cm²以上较理想。因为如有0.5cm²以上，便可从透光窗得到测定紫外线强度的充分的紫外线。另一方面，如图2所示，一般的紫外线传感器的受光部50，因是一直径4mm左右的圆柱形，所以如果透光窗40的面积过大，受光部50将不能受光，而受光部50后方的泄漏紫外线量增多，所以在2cm²以下较理想。

再者，透光窗40部分中设置有网格状的金属膜43，金属膜43与透光窗40周围的金属膜45电连接，网格状的金属膜43是格子状的内有纵横的直线条子。

如图4所示，网格状的金属膜43其开口尺寸L虽无特殊限定，但以3mm以下较理想。因开口尺寸L若大于3mm，透光窗40部分的放电密度与整体状的金属膜45部分相比具有降低的倾向。此外，如果开口尺寸L大于3mm，因放电密度降低就会损害长方向上紫外线强度的分布均匀性。

为了增加放电密度，开口尺寸L尽量以小为好，但线宽W一定时，开口尺寸L小则开口率减少紫外线就难于从线部的缝隙放射出来。因此，为了使开口尺寸L较小又要维持开口率，线的宽度也需随之变小。但是，线的宽度缩小制造时较困难。因此，开口尺寸在1mm以上较为理想。

如上所述，本发明的电介质屏障放电灯1就是这样构成的。在使用此电介质屏障放电灯1时，紫外线强度传感器的受光部50设置在透光窗40的上方位置，由该受光部50来接受测定强度用的紫外线。

<实验1>

在此实验中调查了从透光窗40放射出的紫外线强度及第1电极7A侧放射出的紫外线强度在放电管3轴向上有何种程度的差异。

放电管3，使用了图5～图7剖面图所示的3种。即不设透光窗40的以前的1型(图5)，设置透光窗40的但透光窗40没配置网格状金属膜43的2型(图6)，及设置透光窗40且在透光窗40上配置网格状金属膜43的3型(图7)。

如图5～图7所示，在第2电极7B侧，透光窗40的上方位置A上设置有紫外线强度传感器的受光部50。在第1电极7A侧，与位置A相对的位置B，放电管3的中央位置C，放电管3的图5～图7右端位置D上，各配置有紫外线强度传感器的受光部50，测定A～D各位置的紫外线强度。

无论哪个位置，放电管3与紫外线强度传感器受光部50的间隔约为4mm。

另，不管是上述的哪一型，放电管3的尺寸为约350mm×约40mm×约13mm。封入的气体是氙，以40Kpa的压力封入。点灯时施加在电极间的峰值电压(灯的峰值电压)Vp为6.5kV。另，频率f是一定的，为30kHz。

2型及3型的透光窗40，为长La＝18mm，宽Wa＝8mm的长圆形。构成3型网格的直线部的宽度W为0.4mm，网格的开口尺寸L为2mm(参照图4)。

<结果1>

实验结果如下表1所示

表1

在2型及3型中，透光窗40因设置在第2电极7B上，在第2电极7B侧的A位置上可测定紫外线的强度。对此，1型的透光窗40因没设置在第2电极7B上，在第2电极7B侧的A位置上不能测定紫外线的强度。再者，3型A位置上的紫外线强度是2型的大约4倍，已确认能够减小紫外线强度测定的误差。

在3型中，第1电极7A侧的位置B～D的紫外线强度基本上相同。在2型中，相对于透光窗40位置的B，与位置C及位置D相比紫外线强度较弱。这样，可以知道在3型中，放电管3的管轴方向上的紫外线强度没有偏差。这是因为3型的透光窗40部分也有网格状的金属膜43放电的结果。

<实验2>

对3型进行了使开口尺寸L变化的实验。其他条件与实验1相同。

<结果2>

实验结果如下表2所示。

表2

从其结果可知，如开口尺寸在3mm以下，第1电极7A侧的位置B～D的紫外线强度基本上是相同的。即，放电管3的管轴方向的紫外线强度没有偏差。

(其他实施方式>

本发明并不局限于上述记载及附图说明的实施方式。例如，以下的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

再者，即使是下述以外的实施方式，只要在不脱离发明要旨的范围内，均可以各种变更方式实施。

(1)在上述实施方式中，第1电极7A及第2电极7B都是铬/镍电极。但是，构成电极的导电体并无特殊的限制。例如，在第1电极7A及第2电极7B，除金属之外也可使用金属与陶瓷的中间材料[合金陶瓷]。

(2)在上述实施方式中，透光窗40的形状是长圆形的，但并不限于此形状。

(3)在上述实施方式中，放电管本体13是长方筒形的。但是并不限定此形状。例如，放电管本体13也可以是圆筒形的。

(4)透光窗40的位置不特别限定。如图8所示，透光窗40也可以设置在第2电极7B的端部。

(5)配置在透光窗上的导电体形状不限定于网格状。例如，条纹状，旋涡状，放射状等都可以。

(6)本发明所述的透光窗部分，也可以是[有多数小孔构成的膜状导电体]。这时的第2电极具有在第2电极的一部分上形成有多数密集小孔(这一部分可测定紫外线强度。而且这一部分还具透光部的功能)的膜状导电体的意思。根据这样的方式实施也可得到本发明的效果。而且，在此实施方式中膜状导电体的小孔可以是圆形，长圆形，四角形等的形状。

本专利申请是依据2004年4月7日申请的日本专利申请(专利申请2004-113531)进行的，其内容在此作为参照而记述。

Claims (8)

1.一种电介质屏障放电灯，在放电管的外面具有第1电极及第2电极，其中：

上述第1电极由网格状的导电体构成，

上述第2电极由整体状的导电体构成，同时，其中一部分领域是没有整体状的导电体的透光窗，

上述透光窗上配置有网格状的导电体，此导电体与上述透光窗周围的整体状的上述导电体电连接。

2.根据权利要求1所述的电介质屏障放电灯，其中：

上述透光窗配置在整体状的上述导电体的端部。

3.一种紫外线照射装置，具备权利要求1所述的电介质屏障放电灯、以及测定上述透光窗照射出的紫外线强度的传感器。

4.一种电介质屏障放电灯，具备放电管，其中：

上述放电管的外面具备第1电极及第2电极，

上述第2电极是有透光窗的膜状导电体，

上述透光窗上配置有与上述第2电极电连接的导电体。

5.根据权利要求4所述的电介质屏障放电灯，其中：

与上述第2电极电连接的上述导电体是网格状，条纹状，放射状或旋涡状。

6.根据权利要求4或5所述的电介质屏障放电灯，其中：

上述第1电极由网格状的导电体构成。

7.根据权利要求6所述的电介质屏障放电灯，其中：

上述透光窗配置在上述第2电极的端部。

8.一种紫外线照射装置，具备权利要求4或5所述的电介质屏障放电灯、以及测定上述透光窗照射出的紫外线强度的传感器。

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