JP2014506379A - 半透明導波器電磁波プラズマ光源 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
マイクロ波エネルギで駆動される光源であって、前記光源が、
・密閉されたボイド空間を内部に有する本体と、
・前記本体を取り囲む、マイクロ波を閉じ込めるファラデー箱と、であって、
・前記ファラデー箱内の前記本体が共振導波器である
本体とファラデー箱と、
・前記密閉されたボイド空間において、その内部で発光プラズマを生成するために充填された、マイクロ波のエネルギによって励起可能な充填材と、
・前記充填材にプラズマを誘導するマイクロ波エネルギを伝送するために前記本体の中に設けられたアンテナであって、
・マイクロ波エネルギ源と結合するために前記本体の外側に伸びているアンテナ接続部
を有するアンテナと、
を有し、
・前記本体はそこから出てくる光に対して半透明な材料からなる、固体のプラズマのルツボであり、
・前記ファラデー箱は、前記プラズマのルツボから出てくる光を少なくとも部分的に透過し、
それらの配列が、前記ボイド空間内部のプラズマからの光が前記プラズマのルツボを通過し、前記ファラデー箱を経由して前記プラズマのルツボから放射されるようなものであることを特徴とするマイクロ波で駆動される光源
を記載し、(許可され)権利化している。
・固体誘電材料からなる半透明な導波路であって、
・バルブ型空洞共振器と、
・アンテナ凹部と、
・少なくとも一部が光を伝達するファラデー箱と、
を有する導波路と、
・マイクロ波が励起可能な充填物を有するバルブであって、前記バルブ型空洞共振器内に受け入れられるバルブと、
を備えるランプ
を記載し、(公開によって)権利主張している。
・固体誘電体である半透明な材料と、
・導波器を区切り、
・そこから光を放つために、少なくとも部分的に半透明で、そして、通常は少なくとも部分的に透明で、
・通常は不透明な蓋部を有し、
・加工品を囲う、
・ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波、通常はマイクロ波を前記導波器に導入するための設備と、
を備え、
それらの配列が、電磁波、通常はマイクロ波の導入によって、規定された周波数で、プラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射されるようなものであることを特徴とするマイクロ波プラズマ光源である。
・前記導波器の境界を形成する前記包み込むファラデー箱、
・前記ファラデー箱内の前記固体誘電半透明材料加工品、
・もしあれば、前記ファラデー箱に包み込まれる別の固体誘電材料、
・もしあれば、前記ファラデー箱に包み込まれ、固体誘電材料を有しない空洞、
を一緒に指し示すために使用し、前記固体誘電材料が、前記プラズマと前記ファラデー箱の効果と共に、ファラデー箱内での波の伝播の仕方を決定する、ということに注意すべきである。
前記用語“ファラデー箱”が内部を隠す点に由来する一方で、我々の初期のLUWPL特許および出願において、前記用語を遮電壁に言及するために使用してきた。とりわけ、半透明で、前記ファラデー箱によって範囲を定められる導波器内に電磁波を包み込む遮電壁に。この本明細書においてこの使用法を続ける。
・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射され、
・その配列が、
・前記ファラデー箱の両側の間で広がる、前記導波空間の第1の領域であって、
・前記誘導性の結合手段に適応し、
・比較的高い容量平均誘電率を有する
第1の領域が、そして、
・前記ファラデー箱の両側の間で広がる、前記導波空間の第2の領域であって、
・比較的低い容量平均誘電率を有する
第2の領域が、
あるような
半透明導波器電磁波プラズマ光源が提供される。
・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間の封体
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有し、前記導波空間が
・対称軸
を有するファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射される半透明導波器電磁波プラズマ光源であって、
・それらの配列が、前記導波空間が前の半分と後の半分に理論上容量的に等分された状態で、
・前記前の半分が
・前記加工品と前記前の半分内の前記ボイド空間に、少なくとも部分的に占有され、
・前記ファラデー箱の前方の、半透明部分によって(前記後の半分の部分を除いて)包み込まれ、当該部分を経由して前記ボイド空間からの光が放射され得、
・前記後の半分が、そこから伸びる前記誘導性結合器を有し、
・前記前の半分の中身の誘電率の容量平均が前記後の半分のそれよりも少ない、
ような配列である、
半透明導波器電磁波プラズマ光源が提供される。
・前記加工品は前記導波空間全体を占有し、
・少なくとも一つの空にされた、或いはガスで満たされた空洞を、前記加工品が前記前の半分内に備え、それによって、前記前の半分の誘電率の容量平均を下げ、
・前記空洞は、前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの周壁と、の間で広がり、前記周壁は前記ボイド空間の封体と前記周壁の間の前記空洞の広がりよりも薄い。
・前記加工品は前記導波空間の前の半分を占有し、
・同一の材料の分離体が前記導波空間の残り部分を占有し、
・少なくとも一つの空にされた、或いはガスで満たされた空洞を、前記加工品が前記前の半分内に備え、それによって、前記前の半分の誘電率の容量平均を下げ、
・前記空洞は、前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの周壁と、の間で広がり、前記周壁は前記ボイド空間の封体と前記周壁の間の前記空洞の広がりよりも薄い。
・前記加工品は前記導波空間全体の前部を占有し、
・高誘電率材料製の分離体が、前記導波空間の残り、或いは少なくとも大部分を占有する。
・少なくとも一つの空にされた、或いはガスで満たされた空洞を、前記加工品が前記前の半分内に備え、それによって、前記前の半分と前記後の半分の間の誘電率、容量平均の差を拡大し、
・前記空洞は、前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの周壁と、の間で広がり、前記周壁は前記ボイド空間の封体と前記周壁の間の前記空洞の広がりよりも薄い。
・その電源からの電磁波エネルギ用の入力と、
・前記LUWPLの前記誘導性結合手段への接続出力と、
・を有する電磁波回路
と組み合わせて提供され、
前記電磁波回路は、
・帯域通過フィルタ、および、前記電磁波エネルギ源の出力インピーダンスの前記LUWPLの誘導性入力インピーダンスに対する整合回路として構成される複素インピーダンス回路
である。
・金属性の覆いと、
・それぞれ前記覆い内に接地される、一組の完全導体(PECs)と、
・前記各PECに、一方が入力に他方が出力に接続される一組の接続部と、
・前記覆い内に、それぞれのPECの反対側の遠心端に設置される、それぞれの同調素子と、
を備えてもよい。
・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射され、
・前記加工品は石英製で、
・アルミナ体が、前記導波空間の誘電率の容量平均を上昇させるために、前記導波空間内に設置され、前記誘導性結合手段は前記アルミナ体に設置される、
半透明導波器電磁波プラズマ光源が提供される。
・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射され、
・前記加工品の誘電率の容量平均がその材料の誘電率よりも低い、
半透明導波器電磁波プラズマ光源が提供される。
・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
・前記加工品に隣接し、中で伸びる前記誘導性結合手段を有する、前記導波空間内の固体誘電材料製の本体と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射される、
半透明導波器電磁波プラズマ光源が提供される。
・前記誘導性結合手段は、前記本体と前記加工品の間の境界接触面まで伸びる。
・前記加工品と前記本体は同一の材料製である。
・前記加工品と前記本体は異なる材料製であり、前記本体は誘電率がより高い。
・少なくとも一つの外壁と、後方の壁と、を有する、半透明材料製の封体と、
・前記封体内の空洞と、
・前記空洞の少なくとも一つの壁から、前記空洞内に伸びる、励起材料を包含する電球であって、励起材料を包含するボイド空間を有する電球と、
・前記封体に適合する固体誘電材料製の本体であって、前記空洞の後方の壁とアンテナ穴とを補完する正面を有する本体と、
を備え、
その配列は、前記電球と前記本体を含む前記封体の組み合わせが、前記ファラデー箱に取り囲まれて、電磁的共振システムを形成し、当該電磁的共振システム内で、穴の中のアンテナへの電磁波の利用によって、前記励起材料内のプラズマからの光の放射のために、共振が確立され得るものである、
発光体が提供される。
・前記本体内で偏心し、前記本体の正面でロッドとして処理される、或いはボタンを有する、
或いは、
・都合よく、前記空洞の周囲に対して開いている開口部を経由して、或いは前記後の壁から前記空洞内へ伸びる、それによって前記空洞が封じられ得る閉端管を経由して、前記本体内で偏心し前記封体へ伸びる、
ということもあり得ることが予想され得る。
・前記両プレートの間の、前記封体のボイド空間の周りの、外側の管の内側の環状空洞11で、前記外側の管が密封点12を有し、当該密封点12を通じて、前記空洞が空にされ、大気の10分の1程度の気圧の低圧窒素が補給される、環状空洞11と、
・囲われた凹部13と、
を備える。
1.85mm薄片部
前方領域/後方領域が2.23:8.26に対して、
前の半分/後の半分が2.32:8.26である。
・中央空洞1011
・電球1012
・ボイド空間1013
・後方および前方の壁1015,1016
・円柱状の側方の壁1017
・絶縁間隙1018
・封体1020
・囲い1021
・凹部1022
が形成される。
14:アルミナブロック(本体)
15:穴
16:座繰り穴
18:アンテナ(結合手段)
19:ヘッド(ヘッド部)
20:ファラデー箱
101:加工品
114:アルミナブロック(本体)
120:ファラデー箱
152:環状空隙(空洞)
201:加工品
214:アルミナブロック(本体)
220:ファラデー箱
301:加工品
302:ボイド空間封体(ボイド空間の封体)
310:環状空洞(空洞)
314:石英ブロック(本体)
318:アンテナ(結合手段)
401:加工品
414:アルミナブロック(本体)
420:ファラデー箱
501:加工品
502:プラズマボイド空間封体(ボイド空間の封体)
505:ドーム(前方の壁)
510:空洞
611:空洞
614:アルミナブロック(本体)
1002:発光体
1011:ボイド空間
1012:固体の壁(ボイド空間の封体)
3011:ボイド空間
Claims (54)
- ・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射され、
・配列が、
・前記ファラデー箱の両側の間で広がる、前記導波空間の第1の領域であって、
・前記誘導性の結合手段に適応し、
・比較的高い容量平均誘電率を有する
第1の領域と、
・前記ファラデー箱の両側の間で広がる、前記導波空間の第2の領域であって、
・比較的低い容量平均誘電率を有する
第2の領域が、
存在するような配列である
ことを特徴とする、半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - 前記励起プラズマ材料を内包するボイド空間は、全体として第2の、比較的平均誘電率の低い領域内に配列されることを特徴とする、請求項1に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記励起プラズマ材料を内包するボイド空間は、前記ファラデー箱を通過して伸び、部分的に前記ファラデー箱と前記第2の領域の外側となるように配列されることを特徴とする、請求項1に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記第2の領域は、前記誘導性結合手段から前記ボイド空間を過ぎる方向で、前記ボイド空間を越えて広がることを特徴とする、請求項2或いは請求項3に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記加工品は、前記プラズマ材料のボイド空間とは異なる、少なくとも一つの空洞を有することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記空洞は、前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの周壁と、の間に広がり、前記周壁は、前記封体から前記周壁までの広がりよりも薄いことを特徴とする、請求項5に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記加工品は、少なくとも一つの、前記ファラデー箱のそれぞれの寸法よりも小さい外形寸法を有し、前記加工品と前記ファラデー箱の間の前記導波空間の広がりには固体誘電材料が存在しないことを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記加工品は前記導波空間の、誘導性結合器が配置される端部の反対側の端部から距離を置いた前記ファラデー箱内に配置されることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記誘導性結合手段を取り囲む前記固体誘電材料が、前記加工品のものと同じ材料であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記誘導性結合手段を取り囲む前記固体誘電材料が、前記加工品の材料の誘電率よりも高誘電率の材料であり、前記高誘電率材料が、前記誘導性結合手段を取り囲む本体内にあり、前記加工品に隣接して配置されることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ファラデー箱はそこからの放射状の光放射のために半透明であることを特徴とする、請求項1〜10のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ファラデー箱はそこから前面への光放射のために半透明であり、これは前記導波空間の第1の、比較的高誘電率の領域から離れていることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記誘導性結合手段は細長いアンテナであるか、或いは、細長いアンテナを備えることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 当該誘導性結合手段は比較的高誘電材料製の前記本体内の穴の中を伸びる単純なワイヤであることを特徴とする、請求項13に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記穴は、前記アンテナが前記加工品に隣接する、前記本体内の貫通孔であることを特徴とする、請求項14に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 座繰り穴を前記加工品の高面に隣接する前記分かれた本体の前面に設け、前記アンテナは(輪郭が)T字型で、T字のヘッド部が前記座繰り穴を占有し、前記加工品に隣接することを特徴とする、請求項14に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- ・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間の封体
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有し、前記導波空間が
・対称軸
を有するファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射される半透明導波器電磁波プラズマ光源であって、
・それらの配列が、前記導波空間が前の半分と後の半分に理論上容量的に等分された状態で、
・前記前の半分が
・前記加工品と前記前の半分内の前記ボイド空間に、少なくとも部分的に占有され、
・前記ファラデー箱の前方の、半透明部分によって(前記後の半分の部分を除いて)包み込まれ、当該部分を経由して前記ボイド空間からの光の一部が放射され得、
・前記後の半分が、そこから伸びる前記誘導性結合器を有し、
・前記前の半分の中身の誘電率の容量平均が前記後の半分のそれよりも少ない、
ような配列である、
ことを特徴とする、半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - 前記前の半分と前記後の半分における誘電率の容量平均の違いは、端から端までの非対称性を有し、および/または、前記ファラデー箱内で非対称的に位置する前記加工品によってもたらされることを特徴とする、請求項17に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- ・前記加工品は前記導波空間全体を占有し、
・少なくとも一つの空にされた、或いはガスで満たされた空洞を、前記加工品が前記前の半分内に備え、それによって、前記前の半分の誘電率の容量平均を下げ、
・前記空洞は、前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの周壁と、の間で広がり、前記周壁は前記ボイド空間の封体と前記周壁の間の前記空洞の広がりよりも薄い、
ことを特徴とする、請求項17或いは請求項18に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - ・前記加工品は前記導波空間の前の半分を占有し、
・同一の材料の分離体が前記導波空間の残り部分を占有し、
・少なくとも一つの空にされた、或いはガスで満たされた空洞を、前記加工品が前記前の半分内に備え、それによって、前記前の半分の誘電率の容量平均を下げ、
・前記空洞は、前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの周壁と、の間で広がり、前記周壁は前記ボイド空間の封体と前記周壁の間の前記空洞の広がりよりも薄い、
ことを特徴とする、請求項17或いは請求項18に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - ・前記加工品は前記導波空間全体の前部を占有し、
・高誘電率材料製の分離体が、前記導波空間の残り、或いは少なくとも大部分を占有する、
ことを特徴とする、請求項17或いは請求項18に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - ・少なくとも一つの空にされた、或いはガスで満たされた空洞を、前記加工品が前記前の半分内に備え、それによって、前記前の半分と前記後の半分の間の誘電率や容量平均の差を拡大し、
・前記空洞は、前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの周壁と、の間で広がり、前記周壁は前記ボイド空間の封体と前記周壁の間の前記空洞の広がりよりも薄い、
ことを特徴とする、請求項21に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - 前記或いはそれぞれの空洞は、空にされ、および/または、ゲッターが利用されることを特徴とする、請求項19、請求項20或いは請求項22に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記或いはそれぞれの空洞は、大気の20分の1程度の低圧ガスで占有されることを特徴とする、請求項19、請求項20或いは請求項22に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ガスは窒素であることを特徴とする、請求項24に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体が前記空洞の横方向に、前記加工品の中心軸を横切って伸びることを特徴とする、請求項19、請求項20、請求項22、請求項23、請求項24或いは請求項25のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体は、前記加工品の中心の縦軸、すなわち前から後への軸上に伸びることを特徴とする、請求項19、請求項20、請求項22、請求項23、請求項24或いは請求項25のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体は、前記加工品の前方の壁と後方の壁の両方に結合されることを特徴とする、請求項28に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体は、前記加工品の前方の壁のみに結合されることを特徴とする、請求項28に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体は、前記前方の壁を通り抜け、前記ファラデー箱を部分的に通って伸びることを特徴とする、請求項29或いは請求項30に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記前方の壁はドームであることを特徴とする、請求項29、請求項30或いは請求項31に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記前方の壁は平らで、前記加工品の後方の壁に平行であることを特徴とする、請求項29、請求項30或いは請求項31に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体と前記加工品の残り部分は、同一の半透明な材料製であることを特徴とする、請求項17〜33のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体と、前記加工品の少なくとも一つの外壁とは、異なる半透明な材料製であることを特徴とする、請求項18、請求項19、請求項21、或いは、請求項18、請求項19或いは請求項21に従属する請求項22〜33のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記外壁は紫外線不透過ガラスであることを特徴とする、請求項33に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記導波空間の前記加工品によって占有される部分は、前記前の半分に一致することを特徴とする、請求項17〜5のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- ・前記分離体は前記加工品から、空隙によって間隔を空けられ、前記ファラデー箱に対して横向きに設置されることを特徴とする、請求項20、請求項21、或いは、請求項20或いは請求項21に従属する請求項22〜36のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- ・前記分離体は前記加工品の後面に接触し、前記ファラデー箱に対して横向きに設置されることを特徴とする、請求項20、請求項21、或いは、請求項20或いは請求項21に従属する請求項22〜36のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- ・前記加工品は前記分離体を伴う囲いを有し、前記分離体は、前記加工品の後面に隣接し、前記囲い内に横向きに設置されることを特徴とする、請求項20、請求項21、或いは、請求項20或いは請求項21に従属する請求項22〜36のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記ボイド空間の封体はチューブ状であることを特徴とする、請求項1〜39のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記加工品と固体誘電材料製の前記分離体が備えられる場合には、中心の縦軸に対する回転体であることを特徴とする、請求項1〜40のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記加工品と固体誘電材料製の前記分離体が備えられる場合には、矩形断面であることを特徴とする、請求項1〜42のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- ・その電源からの電磁波エネルギ用の入力と、
・前記半透明導波器電磁波プラズマ光源装置の前記誘導性結合手段への接続出力と、
・を有する電磁波回路
と組み合わせた半透明導波器電磁波プラズマ光源装置であって、
前記電磁波回路は、
・帯域通過フィルタ、および、前記電磁波エネルギ源の出力インピーダンスの前記半透明導波器電磁波プラズマ光源装置の誘導性入力インピーダンスに対する整合回路として構成される複素インピーダンス回路であることを特徴とする、請求項1〜42のいずれか1項に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - 前記電磁波回路は調節可能な櫛形フィルタであることを特徴とする、請求項43に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置と電磁波回路の組み合わせ体。
- 前記電磁波回路は
・金属性の覆いと、
・それぞれ前記覆い内に接地される、一組の完全導体と、
・前記各完全導体に、一方が入力に他方が出力に接続される一組の接続部と、
・前記覆い内に、それぞれの完全導体の反対側の遠心端に設置される、それぞれの同調素子と、
を備えることを特徴とする、請求項43或いは請求項44に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置と電磁波回路の組み合わせ体。 - さらなる同調素子を、各前記完全導体の間に虹彩状に設置することを特徴とする、請求項45に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置と電磁波回路の組み合わせ体。
- ・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射され、
・前記加工品は石英製で、
・アルミナ体が、前記導波空間の誘電率の容量平均を上昇させるために、前記導波空間内に設置され、前記誘導性結合手段は前記アルミナ体に設置される
ことを特徴とする、半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - 前記加工品と前記アルミナ体は一緒に前記導波空間を満たすことを特徴とする、請求項47に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- ・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射され、
・前記加工品の誘電率の容量平均がその材料の誘電率よりも低いことを特徴とする、半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - ・固体誘電体、半透明材料製の加工品であって、少なくとも
・電磁波励起プラズマ材料を内包する密閉されたボイド空間
を備える加工品と、
・ファラデー箱であって、
・前記加工品を包み込み、
・光の放射のために、少なくとも部分的に半透明で、
・導波器の範囲を定め、前記導波器が
・導波空間
を有し、前記加工品が前記導波空間を少なくとも部分的に占有する
ファラデー箱と、
・プラズマ励起電磁波を、固体誘電材料によって、少なくとも実質的に囲まれた位置の導波器に導入するための、少なくとも部分的に誘導性の結合手段と、
・前記加工品に隣接し、中で伸びる前記誘導性結合手段を有する、前記導波空間内の固体誘電材料製の本体と、
を備え、
それによって、既定の周波数の電磁波の導入時にプラズマが前記ボイド空間内に確立され、光が前記ファラデー箱を経由して放射される
ことを特徴とする、半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。 - 前記誘導性結合手段は、前記本体と前記加工品の間の境界接触面まで伸びることを特徴とする、請求項50に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記加工品と前記本体は同一の材料製であることを特徴とする、請求項50或いは請求項51に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 前記加工品と前記本体は異なる材料製であり、前記本体は誘電率がより高いことを特徴とする、請求項50或いは請求項51に記載の半透明導波器電磁波プラズマ光源装置。
- 電磁波源と、アンテナと、ファラデー箱と、と共に使用するための発光体であって、
・少なくとも一つの外壁と、後方の壁と、を有する、半透明材料製の封体と、
・前記封体内の空洞と、
・前記空洞の少なくとも一つの壁から、前記空洞内に伸びる、励起材料を包含する電球であって、励起材料を包含するボイド空間を有する電球と、
・前記封体に適合する固体誘電材料製の本体であって、前記空洞の後方の壁とアンテナ穴とを補完する正面を有する本体と、
を備え、
その配列は、前記電球と前記本体を含む前記封体の組み合わせが、前記ファラデー箱に取り囲まれて、電磁的共振システムを形成し、当該電磁的共振システム内で、穴の中のアンテナへの電磁波の利用によって、前記励起材料内のプラズマからの光の放射のために、共振が確立され得るものであることを特徴とする、発光体。
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